Indaneri ea Panel

Ka nts'etsopele ea theknoloji ea panera ea sephatlalatso, bareki ba hloka likhase tse khethehileng le boiphihlelo tse amanang le tsebo le boiphihlelo. Huazhong Gar e fana ka li-par tsa phallo ea li-panene tse ngata ka lisebelisoa tse fapaneng tsa khase tse fapaneng tsa khase, ho kenyelletsa le lijo tsa pholoso.

Lihlahisoa tse khothalelitsoeng tsa indasteri ea hau

Silane

Seteishene sa K'hane sa elektronike

Ammonia

E kopantsoe le Silane, e etsa karolo ea silicon nitride ea bafeti ea liva--ea sin.

Perimixture

Ho hlahisoa ha LTPS le liloko tsa babusi li eketsa tšebeliso ea nitrous oxide. Ho tloha ka pono ea tšebeliso le tšebeliso ea tlhahiso, N2O e feta NF3 ho ba thepa e sebelisoang haholo ea elektroniki ka ho fetisisa ea tlhahiso.

Nitrogen Trifluor

NF3 ke eona ntho e tloaelehileng e sebelisoang haholo ea elektroniki e bonts'a tlhahiso ea bonts'a 'me e sebelisoa haholo bakeng sa ho hloekisa likamore tsa pecvd.