Warshadaha guddiga

Iyadoo horumarinta tignoolajiyada bandhiga flat panel, macaamiishu waxay u baahan yihiin gaas gaar ah oo dheeraad ah iyo aqoon xirfadeed iyo khibrad la xidhiidha. Huazhong Gas waxay siisaa macaamiisha bandhiga fidsan noocyo kala duwan oo gaas gaar ah, oo ay ku jiraan doping, dhigista filimada, etching iyo hababka nadiifinta qolka Codsiyada.

Alaabooyinka lagu taliyay ee warshadahaaga

Siilaanyo

Gaaska silane ee darajada elektarooniga ah waxaa inta badan loo adeegsadaa soo saarista TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) ee warshadaha bandhiga, iyo dhigista TFT ama LTPS substrates ee LCDs.

Ammonia

Marka lagu daro silane, waxay samaysaa lakabka nitride silicon ee a-Si transistors.

Gaaska isku dhafan

Soo saarista LTPS iyo MOS transistor-ka ayaa kordhisay isticmaalka nitrous oxide. Marka loo eego isticmaalka iyo isticmaalka MO wax soo saarka, N2O waxay dhaaftay NF3 si ay u noqoto qalabka elektiroonigga ah ee loogu isticmaalka badan yahay MO.

nitrogen trifluoride

NF3 waa shayga ugu badan ee elektiroonigga ah ee loo isticmaalo a-Si iyo LTPS soosaarka bandhiga waxaana inta badan loo isticmaalaa nadiifinta qolalka PECVD.