Semiconductor Kugadzira kunovimba akasiyana siyana magasi, ayo anogona kuiswa mumhando nhatu huru: Magasi mazhinji, Specialty magasi, uye ma gasi. Iyi magasi inofanira kunge ichinatsa zvakanyanya kudzivirira kusvibiswa, iyo inogona kukanganisa maitiro akaomesesa uye akaoma maitiro.

Magasi mazhinji

Nitrogen (n₂):

Basa: N₂ Inoshandira zvizhinji zvinangwa zvakawanda, kusanganisira kuchenesa maitiro emakamuri uye kupa iyo inerting mamiriro panguva dzakasiyana siyana dzeMicononductor kugadzira.
Zvimwe Zvinyorwa: Nitrogen zvinowanzoshanda mukutakura uye kuchengetwa kweSilicon Wafers kuti uderedze oxidation. Isimba rayo rinosimbisa kuti hazviite nezvimwe zvinhu, zvichiita kuti ive yakakodzera kuchengetedza nzvimbo dzakachena dzekugadzirisa.

Argon (ar):
Basa: Pamusoro pekubatanidzwa kwaro muPlasma maitiro, Argon ari anoshanda mumakero anodzora gasi conitions akakosha.
Zvimwe Zvinyorwa: Nekuti hazviite nezvakawanda zvinhu, Argon inoshandiswawo kwekutsvaira, izvo zvinobatsira mukuisa mafirimu esimbi kana dielelectric zvinofanirwa kuchengetedzwa pasina kusvibiswa.

Helium (iye):
Basa: Helium's Fermal Zvivakwa zvinoita kuti zvive zvakakosha pakutonhora uye kuchengetedza tembiricha yekusimbisa panguva yekugadzirisa maitiro.
Zvimwe Zvinyorwa: zvinowanzoshandiswa mune yakakwira-simba laser masisitimu eLitegraphy nekuda kwesimba rayo risinganzwisisike uye kugona kuchengetedza nzira yemahara isina kusvibiswa.

Hydrogen (H₂):
Basa racho: Kupfuura zvayo kunyorera mukuwedzera, hydrogen zvakare vanobatsira mukuchenesa nzvimbo ye wafers uye inogona kubatanidzwa mukuita kwemakemikari panguva yekuita epitaxy.
Zvimwe Zvinyorwa: Iko kushandiswa kwehydrogen mune yakaiswa mafirimu mafirita kunobvumidza kudzora kwakanyanya pamusoro pekutakura kwekutakura muMicumonductor zvinhu, kugadzirisa zvivakwa zvemagetsi zvinokanganisika.

Specialty Gasi uye Dopants

Silane (Sih₄):
Basa: Kunze kwekuve precursor for silicon discount
Zvimwe Zvinyorwa: Kuona kwayo kunoda kubata kwekungwarira nekuda kwekuchengetedza kunetsekana, kunyanya kana kwakasanganiswa nemhepo kana okisijeni.

Ammonia (NH₃):
Basa: Kuwedzera pakugadzira mafirimu ekutungamira, Ammonia akakosha mukugadzira zvigadziko zvekusiyana-siyana zvinowedzera kuvimbika kweMicononductor Matombo.
Zvimwe Zvinyorwa: Inogona kuita mafambiro ayo anoda nitrogen yekubatanidza kupinda mu silicon, kuvandudza zvemagetsi zvemagetsi.

Phosphine (Ph₃), Arsine (Ash₃), uye Dibhorene (B₂H₆):
Basa: Aya magasi haangove akakosha pakubata asiwo akatsoropodza kuti awane zvimiro zvemagetsi zvemagetsi mune zvemutemo wepamberi semiconductor midziyo.
Zvimwe Zvinyorwa: Kuwedzera kwavo kuutura kunoita kuti uwedzere kunongedza protocols uye tarisiro masisitimu munzvimbo dzekutyaira kuti dzideredze njodzi.

Etching uye kuchenesa magasi

Fluorocarbons (CF₄, SF₆):
Basa: Aya magasi anoshandirwa mumakero akaoma ekutora, ayo anopa yakanyanya kujairika achienzanisa nzira dzekunyorova.
Zvimwe Zvinyorwa: CF₄ uye SF₆ zvakakosha nekuda kwekugona kwavo kuEtch Silicon-based zvinhu zvakabudirira, kubvumira iyo yakanaka maitiro ekugadzirisa maitiro emazuva ano.

Chlorine (cl₂) uye hydrogen fluoride (Hf):
Basa: Chlllorine inopa hutsinye hwekuita zvehasha, kunyanya yesimbi, nepo HF yakakosha yeSilicon Dioxide Kubvisa.
Zvinyorwa zvakareko: Iko kusanganiswa kwemagasi aya kunobvumira kuti ubviswe kubviswa kwekuita panguva dzakasiyana-siyana dzekutyaira

Nitrogen Trifluoride (NF₃):
Basa: NF₃ iri pivotal yekuchenesa kwezvakatipoteredza muCVD masisitimu, kupindura nezvakashata kuti urambe wakakwana kuita.
Zvimwe Zvinyorwa: Pasinei nekunetseka nezvechisimba chayo greenhouse

Oxygen (O₂):
Basa: Iyo oxidation processes inofambiswa neokisijeni inogona kuumba yakakosha inonhuwirira zviyero mumicononductor zvivakwa.
Zvimwe Zvinyorwa: Basa reokisijeni mukuvandudza iyo oxidation yeSilicon kuti iite Sio₂ matema ndeyekutsoropodzwa kwezvikamu uye kuchengetedzwa kwedunhu.

Kubuda magasi mumicononductor kugadzira

Pamusoro peiyo magasi echinyakare zvakanyorwa pamusoro, mamwe magasi ari kuwana hanya mumifananidzo yeMiconondUctor maitiro, kusanganisira:

Carbon dioxide (co₂): Inoshandiswa mune kumwe kuchenesa uye kufungidzira zvinoshandiswa, kunyanya izvo zvinosanganisira zvinhu zvepamberi.

Silicon Dioxide (Sio₂): Kunyangwe isiri iyo gasi pasi pemamiriro ezvinhu, mafomu ePaporized of silicon dioxide anoshandiswa mune mamwe maitiro ekuiswa.

Kufunga kwezvakatipoteredza

Indasitiri yeSemiconductor iri kuwedzera kutarisisa pakudzora maitiro emamiriro ekunze yakabatana nekushandiswa kwemagasi akasiyana-siyana, kunyanya iyo ine simba greenhouse magasi. Izvi zvakaita kuti ubudirire kune inokwana gasi manejimendi masisitimu uye kuongorora kweimwe magasi ayo anogona kupa zvakanakira zvakafanana neyekudzikira nzvimbo.

Mhedziso

Magasi anoshandiswa muSemiconductor Goodcturing anotamba chinzvimbo chakakosha mukuita kuti fungadzano uye kushanda kwehunyanzvi hwekugadzira maitiro. Semunhu tekinoroji inofambira mberi, indasitiri yeSemiconductor inoenderera ichishungurudza yekuvandudzwa kwegasi kuchena uye manejimendi, ndichirevawo zvekuchengetedza zvakabatana nekushandiswa kwavo.