නූතන ලෝකය දුවන්නේ චිප්ස් මත ය. ඔබගේ සාක්කුවේ ඇති ස්මාර්ට් ජංගම දුරකතනයේ සිට අභ්‍යවකාශ ඉංජිනේරු විද්‍යාවේ මාර්ගෝපදේශ පද්ධති දක්වා කුඩා අර්ධ සන්නායක උපාංගය ඩිජිටල් යුගයේ අසහාය වීරයා වේ. නමුත් වීරයා පිටුපස සිටින වීරයා කුමක්ද? එය අදෘශ්‍යමාන, බොහෝ විට වාෂ්පශීලී විශේෂිත වායූන්ගේ ලෝකයයි. විශේෂයෙන්, ෆ්ලෝරීන් රසායන විද්යාව හි තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සරලව ප්රතිස්ථාපනය කළ නොහැකි ක්රියාවලිය.

ඔබ සැපයුම් දාමයක් කළමනාකරණය කරන්නේ නම් හෝ නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය අධීක්ෂණය කරන්නේ නම් අර්ධ සන්නායක Foundry, ඔබ දන්නවා දෝෂයේ ආන්තිකය ශුන්‍ය බව. එක් තෙතමනයක් හෝ අන්වීක්ෂීය අංශුවක් ඩොලර් මිලියන ගණනක නිෂ්පාදනයක් විනාශ කළ හැකිය. මෙම ලිපිය භූමිකාව ගැඹුරට කිමිදෙයි ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායු - අපි ඒවා භාවිතා කරන්නේ ඇයි, ඒවා ඵලදායී බවට පත් කරන නිශ්චිත රසායන විද්යාව සහ සැපයුම් දාමයේ ස්ථායිතාව සහ සංශුද්ධතාවයේ තීරණාත්මක වැදගත්කම. මේවා කෙසේදැයි අපි සොයා බලමු ඉහළ පිරිසිදු වායු තුළ භාවිතා වේ ආදිය සහ තැන්පත් කිරීමේ පියවර, සහ ඒවා විශ්වාසදායක සහකරුවෙකුගෙන් ලබා ගැනීම මෙම වසරේ ඔබට ගත හැකි වැදගත්ම තීරණය වේ.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් මත රඳා පවතින්නේ ඇයි?

තේරුම් ගැනීමට අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, ඔබ ආවර්තිතා වගුව දෙස බැලිය යුතුය. සිලිකන් කැන්වසය, නමුත් ෆ්ලෝරීන් බුරුසුව වේ. ද අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය ක්‍රියාවලියට ද්‍රව්‍ය ස්ථර තැනීම සහ පරිපථ නිර්මාණය කිරීම සඳහා ඒවා තෝරා බේරා ඉවත් කිරීම ඇතුළත් වේ. මෙම ඉවත් කිරීමේ ක්රියාවලිය Eching ලෙස හැඳින්වේ.

ෆ්ලෝරීන් වඩාත්ම විද්යුත් සෘණ මූලද්රව්යය වේ. සරලව කිවහොත්, එය ඉලෙක්ට්‍රෝන සඳහා ඇදහිය නොහැකි තරම් කුසගින්නකි. අපි හඳුන්වා දෙන විට ෆ්ලෝරීන් වායුව හෝ ෆ්ලෝරිනීකෘත සංයෝග ප්ලාස්මා කුටියක් තුළට, ෆ්ලෝරීන් පරමාණු සිලිකන් සමඟ ආක්‍රමණශීලී ලෙස ප්‍රතික්‍රියා කරයි. සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ්. මෙම රසායනික ප්‍රතික්‍රියාව මගින් ඝන සිලිකන් වාෂ්පශීලී වායූන් බවට පත් කරයි (සිලිකන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් වැනි) ඒවා පහසුවෙන් පොම්ප කළ හැකිය. මෙම රසායනික ප්‍රතික්‍රියාශීලීත්වය නොමැතිව, අපට නවීන සඳහා අවශ්‍ය අන්වීක්ෂීය අගල් සහ සම්බන්ධතා සිදුරු නිර්මාණය කළ නොහැක. ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග.

තුළ අධි පරිමා නිෂ්පාදනය, වේගය සහ නිරවද්‍යතාවය සෑම දෙයක්ම වේ. ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායු එක් ද්‍රව්‍යයකට යටින් ඇති ස්තරයට හානි නොවන ලෙස කපා හැරීමට තෝරා ගැනීමේ හැකියාව ලබා දෙන අතරම, ප්‍රතිදානය ඉහළ නැංවීමට අවශ්‍ය ඉහළ අකුරු අනුපාත සපයන්න. එය සියුම් සමතුලිත ක්‍රියාවකි රසායන විද්යාව සහ භෞතික විද්යාව.

ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් කැටයම් කිරීම සඳහා ෆ්ලෝරීන් රසායන විද්‍යාව සුවිශේෂී වන්නේ කුමක් ද?

ඔබ අසනු ඇත, ක්ලෝරීන් හෝ බ්‍රෝමීන් භාවිතා නොකරන්නේ මන්ද? අපි සමහර ස්ථර සඳහා කරන්නෙමු. කෙසේ වෙතත්, ෆ්ලෝරීන් රසායන විද්යාව සිලිකන් මත පදනම් වූ ද්රව්ය කැටයම් කිරීමේදී අද්විතීය වාසියක් ලබා දෙයි. සිලිකන් සහ ෆ්ලෝරීන් අතර බැඳීම ඇදහිය නොහැකි තරම් ශක්තිමත් ය. කවදාද ෆ්ලෝරීන් අඩංගු ප්ලාස්මා වේෆරයට පහර දෙයි, ප්රතික්රියාව තාපජ හා ස්වයංසිද්ධ වේ.

මායාව සිදු වන්නේ ය ප්ලාස්මා. ඒ අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලිය කුටීරය, අපි කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් (CF4) හෝ සල්ෆර් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (SF6) වැනි ස්ථායී වායුවකට අධි ශක්තිය යොදන්නෙමු. මෙය ප්‍රතික්‍රියාකාරක මුදාහරිමින් වායුව වෙන් කරයි ෆ්ලෝරීන් රැඩිකල්. මෙම රැඩිකලුන් මතුපිටට පහර දෙයි වේෆර්.

"නිශ්චිතතාවය ආදිය චිපයේ කාර්ය සාධනය නිර්වචනය කරයි. ඔබේ ගෑස් සංශුද්ධතාවය උච්චාවචනය වේ නම්, ඔබේ අකුරු අනුපාතය උච්චාවචනය වන අතර ඔබේ අස්වැන්න කඩා වැටේ.

යන සංකල්පයට මග පාදයි ඇනිසොට්රොපික් කැටයම් කිරීම - පැත්තකට කෑම නොගෙන කෙළින්ම කැපීම. මිශ්ර කිරීමෙන් ෆ්ලෝරීන් වෙනත් සමග ක්රියාවලිය වායු, ඉංජිනේරුවන්ට අගලේ පැතිකඩ පරිපූර්ණ ලෙස පාලනය කළ හැකිය. අපගමනය නැනෝමීටරයක් ​​පවා අසාර්ථක වන කුඩා නෝඩ් (7nm, 5nm සහ පහළ) වෙත ගමන් කරන විට මෙම හැකියාව අත්‍යවශ්‍ය වේ.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ වායූන් උසස් අකුරු ක්‍රියාවලි මෙහෙයවන්නේ කෙසේද?

Etch ක්රියාවලි හි මූර්ති මෙවලම් වේ ෆැබ්ස්. ප්‍රධාන වර්ග දෙකක් තිබේ: තෙත් කැටයම් (ද්‍රව රසායනික ද්‍රව්‍ය භාවිතා කිරීම හයිඩ්රජන් ෆ්ලෝරයිඩ්) සහ වියළි කැටයම් (ප්ලාස්මා භාවිතයෙන්). නවීන උසස් අර්ධ සන්නායක නෝඩ් තනිකරම පාහේ වියළි ප්ලාස්මා කැටයම් මත රඳා පවතින්නේ එය වඩාත් නිරවද්‍ය බැවිනි.

සාමාන්යයෙන් ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම අනුපිළිවෙල, a ෆ්ලෝරීන් වායුව හඳුන්වා දෙනු ලැබේ. භාවිතා කරන විවිධත්වය දෙස බලමු:

• කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් (CF4): ඔක්සයිඩ් කැටයම් කිරීම සඳහා වැඩ අශ්වයා.
• Octafluorocyclobutane (C4F8): අගලේ පැති බැම්ම මත පොලිමර් තට්ටුවක් තැන්පත් කිරීමට භාවිතා කරයි, පතුල ගැඹුරට කැටයම් කර ඇති අතර ඒවා ආරක්ෂා කරයි.
• සල්ෆර් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (SF6): අතිශය වේගවත් සිලිකන් කැටයම් අනුපාත සඳහා ප්රසිද්ධය.

අතර අන්තර්ක්‍රියා ප්ලාස්මා සහ උපස්ථරය සංකීර්ණ වේ. එයට අයන මගින් භෞතික බෝම්බ හෙලීම සහ රැඩිකල් මගින් රසායනික ප්‍රතික්‍රියාව ඇතුළත් වේ. ද අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණ මෙම වායූන්ගේ ප්රවාහය, පීඩනය සහ මිශ්රණය දැඩි ලෙස පාලනය කළ යුතුය. නම් විශේෂිත වායුව තෙතමනය වැනි අපද්‍රව්‍ය අඩංගු වේ, එය බෙදා හැරීමේ රේඛා හෝ කුටීරය තුළ හයිඩ්‍රොෆ්ලෝරික් අම්ලය සෑදිය හැකි අතර, විඛාදනයට හා අංශු දෝෂ ඇති කරයි.

නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් කුටීර පිරිසිදු කිරීමේ යෙදුම්වල රජු වන්නේ ඇයි?

අතර කැටයම් කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීම අත්වැල් බැඳගෙන, නිෂ්පාදන උපකරණ පිරිසිදු කිරීම වේෆරය සැකසීම තරම්ම වැදගත් වේ. අතරතුර රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD), සිලිකන් හෝ ටංස්ටන් වැනි ද්‍රව්‍ය වේෆර් මත තැන්පත් වේ. කෙසේ වෙතත්, මෙම ද්රව්ය ද කුටියේ බිත්ති ආවරණය කරයි. මෙම අපද්‍රව්‍ය ගොඩ නැගුනහොත් එය පියලි ගැලවී වේෆර් මතට වැටී දෝෂ ඇතිවේ.

ඇතුල් කරන්න නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3).

වසර ගණනාවකට පෙර, කර්මාන්තය භාවිතා කරන ලදී ෆ්ලෝරීන් හරිතාගාර කුටීර පිරිසිදු කිරීම සඳහා C2F6 වැනි වායු. කෙසේ වෙතත්, NF3 සඳහා සම්මතය වී ඇත කුටිය පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලීන් එහි ඉහළ කාර්යක්ෂමතාව නිසා. දුරස්ථ ප්ලාස්මා ප්‍රභවයක බිඳී ගිය විට, NF3 විශාල ප්‍රමාණයක් ජනනය කරයි ෆ්ලෝරීන් පරමාණු. මෙම පරමාණු කුටීර බිත්ති පිරිසිදු කර, ඝන අපද්‍රව්‍ය පිටතට පොම්ප කරන වායු බවට පත් කරයි.

නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් වැඩි භාවිත අනුපාතයක් (වැඩිපුර වායුව ඇත්ත වශයෙන්ම භාවිතා වේ) සහ පැරණි ඒවාට සාපේක්ෂව අඩු විමෝචනයක් ඇති බැවින් වඩාත් කැමති වේ පිරිසිදු කිරීමේ නියෝජිතයන්. පහසුකම් කළමණාකරුවෙකු සඳහා, මෙයින් අදහස් කරන්නේ නඩත්තුව සඳහා අඩු අක්‍රීය කාලයක් සහ වේගවත් ප්‍රතිදානයකි.

අධි පරිමා නිෂ්පාදනය සඳහා අත්‍යවශ්‍ය ෆ්ලෝරීන් සංයෝග මොනවාද?

ද අර්ධ සන්නායක සැපයුම් දාමය විශේෂිත කූඩයක් මත රඳා පවතී ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායු. එක් එක් විශේෂිත "වට්ටෝරුවක්" හෝ යෙදුමක් ඇත. දී Jiangsu Huazhong ගෑස්, අපි පහත සඳහන් දෑ සඳහා දැවැන්ත ඉල්ලුමක් දකිමු:

මේවා ෆ්ලෝරිනීකෘත සංයෝග ගේ ජීවනාලිය වේ අධි පරිමා නිෂ්පාදනය. මේවායේ ස්ථාවර ධාරාවක් නොමැතිව අර්ධ සන්නායකවල වායූන් නිෂ්පාදනය, රේඛා නතර වේ. එය එතරම් සරල ය. Eric Miller වැනි මිලදී ගැනීමේ කළමනාකරුවන් නිරන්තරයෙන් නිරීක්ෂණය කරන්නේ එබැවිනි සැපයුම් දාමය බාධා කිරීම් සඳහා.

අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් වායු අර්ධ සන්නායක අස්වැන්නේ කොඳු නාරටිය වන්නේ ඇයි?

මට මෙය ප්‍රමාණවත් ලෙස අවධාරණය කළ නොහැක: පාරිශුද්ධත්වය යනු සියල්ලයි.

ගැන කතා කරන විට ඉහළ පිරිසිදු වායු, අපි වෑල්ඩින් සඳහා භාවිතා කරන "කාර්මික ශ්රේණිය" ගැන කතා නොකරමු. අපි කතා කරන්නේ 5N (99.999%) හෝ 6N (99.9999%) සංශුද්ධතාවය ගැන.

ඇයි? මොකද ඒ අර්ධ සන්නායක උපාංගය නැනෝමීටර වලින් මනිනු ලබන ලක්ෂණ ඇත. ලෝහ අපිරිසිදුකමක තනි අණුවක් හෝ තෙතමන ප්‍රමාණයක් (H2O) කෙටි පරිපථයක් ඇති කිරීමට හෝ ස්ථරයක් ඇලවීම වැළැක්විය හැකිය.

• තෙතමනය: සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කරයි ෆ්ලෝරීන් ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධතිය විඛාදනයට ලක් කරන HF නිර්මාණය කිරීමට.
• ඔක්සිජන්: පාලනයකින් තොරව සිලිකන් ඔක්සිකරණය කරයි.
• බැර ලෝහ: ට්‍රාන්සිස්ටරයේ විද්‍යුත් ගුණාංග විනාශ කරන්න.

සැපයුම්කරුවෙකු ලෙස, අපගේ කාර්යය වන්නේ එය සහතික කිරීමයි ඉහළ පිරිසිදු සෙනෝන් හෝ ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියේ නයිට්‍රස් ඔක්සයිඩ් ඔබට දැඩි හමුවීම් ලැබේ කර්මාන්ත ප්රමිතීන්. හඳුනා ගැනීමට අපි උසස් වායු වර්ණදේහ භාවිතා කරමු අපිරිසිදුකම් සොයා ගන්න බිලියනයකට කොටස් දක්වා (ppb). ගැණුම්කරුවෙකු සඳහා, විශ්ලේෂණ සහතිකය (COA) දැකීම ලේඛන කටයුතු පමණක් නොවේ; එය ඔවුන්ගේ සහතිකයයි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය විනාශකාරී අස්වැන්න කඩා වැටීමකට මුහුණ නොදෙනු ඇත.

කර්මාන්තය හරිතාගාර වායු විමෝචනය සහ GWP කළමනාකරණය කරන්නේ කෙසේද?

කාමරයේ අලියෙක් ඇත: පරිසරය. බොහෝ ෆ්ලෝරිනීකෘත වායු ඉහළ අගයක් ඇත ගෝලීය උනුසුම් විභවය (GWP). උදාහරණයක් ලෙස, සල්ෆර් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (SF6) යනු වඩාත්ම එකකි බලගතු හරිතාගාර වායු CO2 ට වඩා දහස් ගුණයකින් වැඩි GWP සමඟ මිනිසා දන්නා.

ද අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තය එහි කාබන් පියසටහන අඩු කිරීම සඳහා දැවැන්ත පීඩනයක් යටතේ පවතී. මෙය ප්රධාන මාරුවීම් දෙකකට හේතු වී ඇත:

1. අඩු කිරීම: ෆැබ්ස් ඔවුන්ගේ පිටකිරීමේ රේඛා මත දැවැන්ත "පිළිස්සුම් පෙට්ටි" හෝ ස්ක්‍රබර් ස්ථාපනය කරයි. මෙම පද්ධති ප්රතික්රියා නොකළ දේ බිඳ දමයි හරිතාගාර වායු එය වායුගෝලයට මුදා හැරීමට පෙර.
2. ආදේශනය: පර්යේෂකයන් විකල්ප සොයමින් සිටිති ආදිය අඩු GWP සහිත වායු. කෙසේ වෙතත්, පාරිසරික බලපෑමකින් තොරව C4F8 හෝ SF6 ක්‍රියා කරන අණුවක් සොයා ගැනීම රසායනිකව අපහසුය.

නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් එය පිරිසිදු කිරීම සඳහා නිවැරදි දිශාවට පියවරක් විය, මන්ද එය පැරණි PFC වලට වඩා පහසුවෙන් බිඳ වැටෙන අතර, සමස්තයක් වශයෙන් අඩු ප්‍රතිඵලයක් ඇති කරයි. විමෝචනය අඩු කිරීමේ පද්ධති නිවැරදිව වැඩ කරන්නේ නම්. අඩු කිරීම හරිතාගාර වායු විමෝචනය තවදුරටත් PR පියවරක් පමණක් නොවේ; එය EU සහ US හි නියාමන අවශ්‍යතාවයකි.

අර්ධ සන්නායක සැපයුම් දාමය විශේෂිත ගෑස් හිඟයකට ගොදුරු විය හැකිද?

පසුගිය වසර කිහිපය අපට යමක් ඉගැන්වූයේ නම්, එයයි සැපයුම් දාමය බිඳෙන සුළු වේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් නියොන් සිට සෑම දෙයකම හිඟයකට මුහුණ දී ඇත ෆ්ලෝරොපොලිමර්.

සැපයීම ෆ්ලෝරීන් වායුව සහ එහි ව්‍යුත්පන්නයන් ෆ්ලෝස්පාර් (කැල්සියම් ෆ්ලෝරයිඩ්) කැණීම මත රඳා පවතී. චීනය මෙම අමුද්‍රව්‍යයේ ප්‍රධාන ගෝලීය ප්‍රභවයකි. භූ දේශපාලනික ආතතීන් ඉහළ යන විට හෝ සැපයුම් මාර්ග අවහිර වන විට, මෙම තීරණාත්මක ක්රියාවලිය වායු පහත වැටෙන අතර මිල ගණන් අහස උසට නැඟේ.

එරික් වැනි ගැණුම්කරුවෙකුට "Force Majeure" බිය සැබෑ ය. මෙය අවම කිරීම සඳහා, බුද්ධිමත් සමාගම් ඔවුන්ගේ සැපයුම්කරුවන් විවිධාංගීකරණය කරයි. ඔවුන් තමන්ගේම හවුල්කරුවන් සොයමින් සිටිති iso ටැංකි සහ සැපයුම් ජාල ස්ථාපිත කර ඇත. තුළ විශ්වසනීයත්වය සැපයුම් වායුවේ සංශුද්ධතාවය මෙන්ම වැදගත් වේ. ඔබට පිරිසිදුම දේ ලබා ගත හැකිය C4F8 ගෑස් ලෝකයේ, නමුත් එය වරායක සිරවී ඇත්නම්, එය ට වැඩක් නැත fab.

හයිඩ්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් සහ අනෙකුත් විෂ ද්‍රව්‍ය හැසිරවීමේ ආරක්ෂිත ප්‍රොටෝකෝල මොනවාද?

ආරක්ෂාව අපේ කර්මාන්තයේ පදනමයි. බොහෝ ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් එක්කෝ විෂ සහිත, හුස්ම හිරවීම හෝ ඉතා ප්‍රතික්‍රියාශීලී වේ. හයිඩ්රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් (HF), බොහෝ විට තෙත් කැටයම්වල භාවිතා වන හෝ අතුරු නිෂ්පාදනයක් ලෙස ජනනය කිරීම විශේෂයෙන් භයානක ය. එය සමට විනිවිද යන අතර අස්ථි ව්යුහයට පහර දෙයි.

මෙම ද්රව්ය හැසිරවීම සඳහා දැඩි පුහුණුවක් සහ විශේෂිත උපකරණ අවශ්ය වේ.

• සිලින්ඩර: DOT/ISO සහතික කර තිබිය යුතු අතර අභ්‍යන්තර විඛාදනය සඳහා නිතිපතා පරීක්ෂා කළ යුතුය.
• කපාට: කාන්දු වීම වැළැක්වීම සඳහා ප්රාචීර කපාට භාවිතා වේ.
• සංවේදක: අර්ධ සන්නායක ෆැබ්ස් ගෑස් හඳුනාගැනීමේ සංවේදක වලින් ආවරණය කර ඇති අතර එය සුළු කාන්දු වීමකදී අනතුරු ඇඟවීමක් කරයි.

අපි සිලින්ඩරයක් පුරවන විට ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියේ නයිට්‍රස් ඔක්සයිඩ් හෝ විෂ සහිත etchant, අපි එය පටවන ලද ආයුධයක් ලෙස සලකමු. අංශු වැළැක්වීම සඳහා සිලින්ඩරය අභ්‍යන්තරව ඔප දමා ඇති බවත් කපාටය ආවරණය කර මුද්‍රා තබා ඇති බවත් අපි සහතික කරමු. අපගේ පාරිභෝගිකයන් සඳහා, බව දැන වාහක වායුව හෝ etchant ආරක්ෂිත, අනුකූල ඇසුරුම්වල පැමිණෙන්නේ විශාල සහනයක්.

අර්ධ සන්නායක නිපදවීමේ ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන ද්‍රව්‍ය සඳහා ඉදිරියෙන් ඇත්තේ කුමක්ද?

ද අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය මාර්ග සිතියම ආක්‍රමණශීලී ය. චිප්ස් Gate-All-Around (GAA) ට්‍රාන්සිස්ටර වැනි ත්‍රිමාණ ව්‍යුහයන් වෙත ගමන් කරන විට, සංකීර්ණත්වය කැටයම් කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීම වැඩි වේ. වඩා විදේශීය සඳහා ඉල්ලුමක් අපි දකිමු ෆ්ලෝරීන් වායුව පරමාණුක නිරවද්‍යතාවයෙන් ගැඹුරු, පටු සිදුරු කැටයම් කළ හැකි මිශ්‍රණ.

පරමාණුක ස්තර කැටයම් කිරීම (ALE) එක් වරකට එක් පරමාණුක ස්ථරයක් ඉවත් කරන නැගී එන තාක්ෂණයකි. මේ සඳහා ඇදහිය නොහැකි තරම් නිරවද්‍ය මාත්‍රාවක් අවශ්‍ය වේ ප්රතික්රියාකාරක වායු. තවද, "හරිත" නිෂ්පාදනය සඳහා වන තල්ලුව නව භාවිතයට හේතු වනු ඇත ෆ්ලෝරීන් රසායන විද්යාව එය අඩු සමග එකම කාර්ය සාධනය ලබා දෙයි GWP.

අනාගතය අයත් වන්නේ ගෑස් සංස්ලේෂණය සහ පිරිසිදු කිරීම යන දෙකෙහිම නව්‍යකරණය කළ හැකි අයටයි. ලෙස අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය පරිණාමය වේ, ඒවා හැඩගැන්වීමට භාවිතා කරන වායු ද පරිණාමය විය යුතුය.

ප්රධාන රැගෙන යාම

• ෆ්ලෝරීන් අත්යවශ්ය වේ: ෆ්ලෝරීන් රසායන විද්යාව සඳහා යතුර සක්‍රීය කරන්නා වේ ආදිය සහ පිරිසිදු පියවර අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය.
• පාරිශුද්ධත්වය රජ: ඉහළ පිරිසිදුකම (6N) දෝෂ වැළැක්වීම සහ සහතික කිරීම සඳහා සාකච්ඡා කළ නොහැක ක්රියාවලිය ස්ථාවරත්වය.
• වායු විවිධත්වය: CF4, SF6, සහ වැනි විවිධ වායු නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් තුළ නිශ්චිත භූමිකාවන් ඉටු කරයි නිශ්පාදනය.
• පාරිසරික බලපෑම: කළමනාකරණය හරිතාගාර වායු විමෝචනය සහ අඩු කිරීම තීරනාත්මක කර්මාන්ත අභියෝගයකි.
• සැපයුම් ආරක්ෂාව: ශක්තිමත් එකක් සැපයුම් දාමය නිෂ්පාදන නැවැත්වීම වළක්වා ගැනීම සඳහා විශ්වාසදායක හවුල්කරුවන් අවශ්‍ය වේ.

Jiangsu Huazhong Gas හි, අපි මෙම අභියෝග තේරුම් ගන්නේ අපි ඒවා දිනපතා ජීවත් වන බැවිනි. ඔබට අවශ්ය වුවද අධි සංශුද්ධතාවය සෙනෝන් ඔබගේ නවතම අකුරු ක්‍රියාවලිය සඳහා හෝ සම්මත කාර්මික වායු විශ්වාසනීය ලෙස බෙදා හැරීම සඳහා, අනාගතය ගොඩනඟන තාක්ෂණයට සහාය වීමට අපි මෙහි සිටිමු.