නොදුටු යෝධයා: අධි-පිරිසිදු වායුව අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ මුල්ගල වන්නේ ඇයි?
නවීන තාක්ෂණ ලෝකයේ, ද අර්ධ සන්නායක රජ වේ. මෙම කුඩා, සංකීර්ණ චිප්ස් අපගේ ස්මාර්ට් ජංගම දුරකතනයේ සිට අපගේ මෝටර් රථ සහ අන්තර්ජාලය ක්රියාත්මක කරන දත්ත මධ්යස්ථාන දක්වා සියල්ල බලගන්වයි. නමුත් මෙම චිප්ස් නිර්මාණය කිරීමට බල කරන්නේ කුමක්ද? පිළිතුර, පුදුම සහගතයි ගෑස්. කිසිවක් පමණක් නොවේ ගෑස්, නමුත් ඉහළ පිරිසිදු වායු සිතාගත නොහැකි පිරිසිදුකමකින්. කාර්මික වායු සම්බන්ධයෙන් විශේෂිත වූ නිෂ්පාදන රේඛා හතක් සහිත කර්මාන්ත ශාලාවක හිමිකරු ඇලන් ලෙස, සංශුද්ධතාවය සඳහා ඇති ඉල්ලුම ඉහළ ගොස් ඇති ආකාරය මම සියැසින්ම දුටුවෙමි. මෙම ලිපිය මාර්ක් ෂෙන් වැනි ව්යාපාරික නායකයින් සඳහා වන අතර ඉදිරියෙන්ම සිටී ගෑස් සැපයුම් දාමය. ඔබ ගුණාත්මකභාවය සහ මිල තේරුම් ගනී, නමුත් මෙම වෙළඳපල තුළ සැබවින්ම නායකත්වය දීමට, ඔබ තේරුම් ගත යුතුය ඇයි. අපි සංකීර්ණ ලෝකය අවමානයට ලක් කරන්නෙමු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, තනි අයාලේ යන හේතුව සරලව පැහැදිලි කිරීම අංශුව a තුළ ගෑස් ප්රවාහයට කර්මාන්ත ශාලාවකට මිලියන ගණනක් වැය විය හැකිය. මෙම භාෂාව කතා කිරීම සඳහා ඔබේ මාර්ගෝපදේශයයි අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය සහ අත්යවශ්ය සහකරුවෙකු බවට පත්වීම.
අර්ධ සන්නායක චිපයක් සෑදීමේදී ගෑස් ඉටු කරන කාර්යභාරය කුමක්ද?
එහි හරය තුළ, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය තුනී තැටියක් මත අන්වීක්ෂීය, බහු-ස්ථර විද්යුත් පරිපථ ගොඩනැගීමේ ක්රියාවලියකි සිලිකන්, ලෙස හැඳින්වේ වේෆර්. තැපැල් මුද්දරයක ප්රමාණයේ, කාමර බිලියන ගණනින් සහ ශාලා සහිත අහස උසට ගොඩනැඟිල්ලක් තැනීමට උත්සාහ කිරීම ගැන සිතන්න. අපි කතා කරන පරිමාණය එයයි. මෙය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා, ඔබට භෞතික මෙවලම් භාවිතා කළ නොහැක. ඒ වෙනුවට, සමස්ත නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය නිශ්චිත රසායනික ප්රතික්රියා මාලාවක් මත රඳා පවතින අතර, මෙම ප්රතික්රියා සඳහා ප්රාථමික වාහනය වේ ගෑස්.
වායූන් මෙම පරිපථ ගොඩනඟන අදෘශ්යමාන හස්තයන් ලෙස ක්රියා කරයි. ඔවුන් තීරණාත්මක කාර්යයන් කිහිපයක් සිදු කරයි. සමහර, වගේ නයිට්රජන්, සම්පූර්ණයෙන්ම පිරිසිදු සහ ස්ථාවර පරිසරයක් නිර්මාණය කිරීම, අනවශ්ය ප්රතික්රියා වළක්වා ගැනීම. ක්රියාවලි වායූන් ලෙස හඳුන්වන අනෙකුත් ඒවා සැබෑ ගොඩනැඟිලි කොටස් හෝ කැටයම් මෙවලම් වේ. උදාහරණයක් ලෙස, විශේෂිත ගෑස් වර්ගය සන්නායක ද්රව්ය අන්වීක්ෂීය ස්ථරයක් තැන්පත් කිරීමට භාවිතා කළ හැකි අතර, තවත් ගෑස් හරියටම භාවිතා වේ ආදිය පරිපථ මාර්ගයක් සෑදීමට ද්රව්ය ඉවතට. පිරිසිදු කිරීමේ සිට සෑම පියවරක්ම වේෆර් අවසාන ට්රාන්සිස්ටර තැනීම සඳහා විශේෂිත වූවක් ඇතුළත් වේ ගෑස් හෝ වායු මිශ්රණය. හි නිරවද්යතාවය ගෑස් ප්රවාහය සහ එහි රසායනික සංයුතිය සෘජුවම සාර්ථකත්වය නියම කරයි චිප් නිෂ්පාදනය ක්රියාවලිය.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී සංශුද්ධතාවය ඉතා වැදගත් වන්නේ ඇයි?
අපගේ එදිනෙදා ජීවිතයේදී, කුඩා දූවිලි හෝ වායු දූෂණය යන්න ලොකු දෙයක් නොවේ. නමුත් ඇතුළත අ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කම්හල, හෝ "ෆැබ්," එය ව්යසනයකි. ඒ මත ගොඩනගා ඇති සංරචක සිලිකන් වේෆර් බොහෝ විට නැනෝමීටර වලින් මනිනු ලැබේ - එය මීටරයෙන් බිලියනයෙන් පංගුවකි. එය ඉදිරිදර්ශනය කිරීම සඳහා, එක් මිනිස් හිසකෙස් නැනෝමීටර් 75,000 ක් පමණ පළල වේ. කුඩා දූවිලි අංශුව ලෝකයේ ඇති යෝධ ගල් පර්වතයක් ඔබට නොපෙනේ අර්ධ සන්නායක නිශ්පාදනය.
මේ නිසයි පිරිසිදුකම වායූන්ගේ වැදගත්ම ලක්ෂණය වේ අර්ධ සන්නායකවල භාවිතා වේ නිෂ්පාදනය. ඕනෑම අනවශ්ය අණුවක් - එය අයාලේ යන ජල අණුවක් වුවත්, කුඩා ලෝහයක් වුවත් අංශුව, හෝ වෙනස් ගෑස් අණු - ලෙස සැලකේ අපිරිසිදුකම. මේ දූෂණය වීම සියුම්ව සම්පූර්ණයෙන්ම කඩාකප්පල් කළ හැකිය රසායනික ප්රතික්රියාව මත සිදුවෙමින් පවතී වේෆර්ගේ මතුපිට. තනිකඩයෙක් අපිරිසිදුකම පරිපථයක් සෑදීම අවහිර කිරීමට, කෙටි පරිපථයක් ඇති කිරීමට හෝ වෙනස් කිරීමට හැකිය අර්ධ සන්නායකයේ විද්යුත් ගුණාංග ද්රව්ය. මොකද තනිකඩයෙක් වේෆර් තනි චිප් සිය ගණනක් හෝ දහස් ගණනක් අඩංගු විය හැක, එක් කුඩා අත්වැරදීමකින් දැවැන්ත මූල්ය අලාභයක් සිදු විය හැක. සමස්ත ක්රියාවලියම ඉල්ලා සිටින්නේ ඉහළම මට්ටමේ සංශුද්ධතාවය සම්පූර්ණයෙන්ම වැඩ කිරීමට.
වායුවල ඇති අපිරිසිදුකම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය විනාශ කරන්නේ කෙසේද?
විට ක අපිරිසිදුකම ක්රියාවලියක පවතී ගෑස්, එය "ඝාතකයෙකු" ඇති කළ හැකිය දෝෂය." මෙය කුඩා වරදක් පමණක් නොවේ; එය a දෝෂය එම කොටසෙහි සම්පූර්ණ මයික්රොචිපයම ලබා දෙයි වේෆර් වැඩකට නැති. මෙය සිදුවන්නේ කෙසේදැයි බලමු. කාලය තුළ තැන්පත් වීම අදියර, තුනී පටල ස්ථරයෙන් ස්ථරය ගොඩනගනු ලබන, අනවශ්ය අංශුව මතුපිටට ගොඩ බැසීමට හැකිය. ඊළඟ ස්ථරය ඉහළට තැබූ විට, එය අන්වීක්ෂීය ගැටිත්තක් හෝ හිස්බවක් නිර්මාණය කරයි. මෙම දෝෂය මගින් විදුලි සම්බන්ධතාවය බිඳ දැමීම හෝ අනපේක්ෂිත එකක් නිර්මාණය කිරීම, ඉදිවෙමින් පවතින ට්රාන්සිස්ටරය ඵලදායී ලෙස විනාශ කළ හැකිය.
මෙහි ප්රතිවිපාක ෆැබ්ගේ පහළම රේඛාවට විනාශකාරී ය. A හි සාර්ථකත්වය සඳහා මූලික මිනුම් දණ්ඩ අර්ධ සන්නායක fab යනු "අස්වැන්න" - තනි එකකින් නිපදවන වැඩ කරන චිප්ස් ප්රතිශතය වේෆර්. කුඩා වැටීමක් පවා අස්වැන්න, 95% සිට 90% දක්වා, අහිමි වූ ආදායමෙන් ඩොලර් මිලියන ගණනක් නියෝජනය කළ හැකිය. ගෑස් අපද්රව්ය අඩුවීමට සෘජු හේතුවකි අස්වැන්න. මේ නිසයි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් ආසාවෙන් ඉන්නේ වායු සංශුද්ධතාවය. බව ඔවුන්ට සහතික විය යුතුය ගෑස් ඔවුන්ගේ ඩොලර් බිලියන ගණනක මෙවලම් ඇතුළු කිරීම කිසිවකින් සම්පූර්ණයෙන්ම නොමිලේ දූෂක පීලි පැනීමට හැකි බව අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය. එය දෝෂ සඳහා ශුන්ය ඉඩක් ඇති අන්වීක්ෂීය නිරවද්යතාවයේ ක්රීඩාවකි.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා වන ප්රධාන වායු මොනවාද?
භාවිතා කරන වායු පරාසය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය විශාල වේ, නමුත් ඒවා සාමාන්යයෙන් කාණ්ඩ දෙකකට වැටේ: තොග වායු සහ විශේෂ වායු.
-
තොග වායු: මේවා විශාල වශයෙන් භාවිතා වන අතර නිෂ්පාදන පරිසරයේ පදනම සාදයි.
- නයිට්රජන් (N₂): මේ තමයි වැඩකාරයා. Ultra-high පිරිසිදුකම නයිට්රජන් නිශ්ක්රීය "වායුගෝලය" නිර්මාණය කිරීමට යොදා ගනී. මෙය ඔක්සිජන්, තෙතමනය සහ අනෙකුත් අංශු පිරිසිදු කරයි, අනවශ්ය ඔක්සිකරණය වැළැක්වීම හෝ දූෂණය වීම හි වේෆර්.
- හයිඩ්රජන් (H₂): බොහෝ විට වෙනත් වායූන් සමඟ ඒකාබද්ධව භාවිතා වේ, හයිඩ්රජන් නියත වශයෙන්ම තීරණාත්මක වේ තැන්පත් වීම ක්රියාවලි සහ ට්රාන්සිස්ටර ව්යුහයන් තැනීමට අවශ්ය අතිශය විශේෂිත රසායනික පරිසරයන් නිර්මාණය කිරීම සඳහා.
- ආගන් (Ar): නිෂ්ක්රිය ලෙස ගෑස්, Argon භාවිතා කරනුයේ sputtering නම් ක්රියාවලියක වන අතර, එහිදී එය ඉලක්ක ද්රව්යයකට බෝම්බ හෙලීමට භාවිතා කරයි, පරමාණු ලිහිල් කර පසුව තැන්පත් වේ. වේෆර්. එය නිර්මාණය කිරීමට ද භාවිතා වේ ප්ලාස්මා බොහෝ තුළ ආදිය ක්රියාවලීන්.
-
විශේෂ වායු: මේවා විශේෂිත ක්රියාවලි පියවරයන් සඳහා භාවිතා කරන සංකීර්ණ, බොහෝ විට අනතුරුදායක සහ ඉහළ ඉංජිනේරුමය වායු වේ. ඒවා "ක්රියාකාරී" අමුද්රව්ය වේ.
- එචන්ට්ස්: ක්ලෝරීන් (Cl₂) සහ හයිඩ්රජන් බ්රෝමයිඩ් (HBr) වැනි වායූන් නිශ්චිතව කැටයම් කිරීමට හෝ ආදිය වල ස්ථර වලට රටා වේෆර්.
- මාත්රාව: අර්සීන් (AsH₃) සහ ෆොස්ෆීන් (PH₃) වැනි වායූන් හිතාමතාම නිශ්චිත දෙයක් හඳුන්වා දීමට භාවිතා කරයි. අපිරිසිදුකම තුලට සිලිකන් ට්රාන්සිස්ටර පාලනය කරන ආකාරය එහි විද්යුත් ගුණාංග වෙනස් කිරීමට.
- තැන්පත් වායු: සිලේන් (SiH₄) සම්භාව්ය උදාහරණයකි, මූලාශ්රය ලෙස භාවිතා වේ සිලිකන් තුනී පටල තැන්පත් කිරීමට.
මාර්ක් වැනි ප්රසම්පාදන නිලධාරියෙකු සඳහා, මෙම සියලු වායූන් වෙනස් වන අතර, ඒවා එක් පොදු අවශ්යතාවයක් බෙදා ගන්නා බව දැන ගැනීම ඉතා වැදගත් වේ: අන්ත පිරිසිදුකම.
තැන්පත් කිරීම සහ කැටයම් කිරීම සරල වචන වලින් පැහැදිලි කළ හැකිද?
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය පියවර සිය ගණනක් ඇතුළත් වේ, නමුත් ඒවායින් බොහොමයක් මූලික ක්රියාවලීන් දෙකක වෙනස්කම් වේ: තැන්පත් වීම සහ ආදිය. මේවා සරල වචන වලින් තේරුම් ගැනීම භූමිකාව අවබෝධ කර ගැනීම සඳහා ප්රධාන වේ ගෑස්.
1. තැන්පත් කිරීම: ස්ථර ගොඩනැගීම
සිතන්න තැන්පත් වීම අණු සමග ඉසින-පින්තාරු වැනි. ඉලක්කය වන්නේ ද්රව්යයක අතිශය තුනී, පරිපූර්ණ ඒකාකාර තට්ටුවක් එකතු කිරීමයි සිලිකන් වේෆර්.
- ක්රියාවලිය: ක්රියාවලියකි ගෑස් (silane වැනි) a සමඟ මිශ්ර වේ වාහක වායුව (වැනි නයිට්රජන් හෝ හයිඩ්රජන්) මේ ගෑස් පසුව මිශ්රණය අඩංගු කුටියකට හඳුන්වා දෙනු ලැබේ වේෆර්. ඒ රසායනික ප්රතික්රියාව බොහෝ විට තාපය හෝ a මගින් අවුලුවන ප්ලාස්මා, අණු පිටතට "අවසානය" ඇති කරයි ගෑස් සහ ඝන සාදයි තුනී පටල මත වේෆර්ගේ මතුපිට.
- පිරිසිදුකම වැදගත් වන්නේ ඇයි: දූෂකයක් තිබේ නම් අංශුව තුළ ගෑස් ප්රවාහය, එය හරියට ඔබේ ඉසින තීන්ත තුළට දූවිලි පැල්ලමක් ඇතුළු වීම වැනිය. එය ව්යුහයක් නිර්මාණය කරමින් නව ස්ථරයේ තැන්පත් කරනු ඇත දෝෂය. අනවශ්ය දෙයක් තියෙනවා නම් ගෑස් අණුව, එය වැරදි ලෙස ප්රතික්රියා කළ හැකි අතර, ස්ථරයේ රසායනික සංයුතිය සහ විද්යුත් ගුණාංග වෙනස් කරයි.
2. කැටයම් කිරීම: පරිපථ කැටයම් කිරීම
ස්තරයක් ගොඩනඟා ගැනීමෙන් පසු, ඔබ එය තුළට පරිපථ රටාව කැටයම් කළ යුතුය. ආදිය ද්රව්ය තෝරා ගැනීමෙන් ඉවත් කිරීමේ ක්රියාවලිය වේ.
- ක්රියාවලිය: ද වේෆර් photoresist ලෙස හඳුන්වන ආලෝකයට සංවේදී ද්රව්යයකින් ආලේප කර ඇත. රටාවක් එය මත ප්රක්ෂේපණය කර ඇත (ස්ටෙන්සිල් වැනි). එවිට නිරාවරණය වූ ප්රදේශ දැඩි වේ. ද වේෆර් ඉන්පසුව etchant පුරවන ලද කුටියක තබා ඇත ගෑස් (ෆ්ලෝරීන් මත පදනම් වූ සංයෝගයක් වැනි). මේ ගෑස් a බවට ශක්තිජනක වේ ප්ලාස්මා තත්වය, එය ඉතා ප්රතික්රියාශීලී කරයි. ද ප්ලාස්මා බෝම්බ හෙළයි වේෆර්, රසායනිකව ද්රව්ය ආහාරයට ගැනීම පමණි ස්ටෙන්සිල් මගින් ආරක්ෂා නොකළ ප්රදේශ වල.
- පිරිසිදුකම වැදගත් වන්නේ ඇයි: වායුවල අපිරිසිදුකම කැටයම් කිරීම සඳහා භාවිතා කරන ප්රතික්රියා වේගය වෙනස් කළ හැක. මෙය පරිපථ ඉතා පළල, ඉතා පටු හෝ කිසිසේත්ම කැටයම් කිරීමට හේතු විය හැක. ලෝහයකි අංශුව අපිරිසිදුකම පවා අවහිර කළ හැකිය ආදිය පරිපථය කෙටි කරන අනවශ්ය ද්රව්යවල "පසුවීමක්" ඉතිරි කරමින්, එක් කුඩා ස්ථානයක ක්රියාවට නංවන්න.
Ultra-High Gas Purity මනිනු ලබන්නේ සහ නඩත්තු කරන්නේ කෙසේද?
දී ගෝලීය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, "සියයට" වැනි සම්මත සංශුද්ධතා මිනුම් නිෂ්ඵලයි. අපි ගනුදෙනු කරනවා දූෂණය වීම තේරුම් ගැනීමට අපහසු පරිමාණයකින්. සංශුද්ධතාවය මනිනු ලැබේ ට්රිලියනයකට කොටස් (ppt). මෙයින් අදහස් කරන්නේ සෑම කෙනෙකුටම ය ට්රිලියනයක් ගෑස් අණු, අපිරිසිදු අණු එකක් හෝ දෙකක් පමණක් තිබිය හැක.
මෙම මට්ටම සාක්ෂාත් කර ගැනීමට සහ තහවුරු කිරීමට වායු සංශුද්ධතාවය, සංකීර්ණ පද්ධතියකි ගෑස් පිරිසිදු කිරීම සහ විශ්ලේෂණය අවශ්ය වේ.
| සංශුද්ධතා මට්ටම | අර්ථය | සාදෘශ්යය |
|---|---|---|
| මිලියනයකට කොටස් (ppm) | අණු 1,000,000කට 1 අපිරිසිදුකම | බැරල් 2000 ක නරක ඇපල් එකක්. |
| බිලියනයකට කොටස් (ppb) | අණු 1,000,000,000කට 1 අපිරිසිදුකම | වසර 32කට ආසන්න කාලයකදී තත්පරයක්. |
| ට්රිලියනයකට කොටස් (ppt) | අණු 1,000,000,000,000කට 1 අපිරිසිදුකම | වසර 32,000 කින් තත්පරයක්. |
අපේ කර්මාන්ත ශාලාවේදී අපි නිෂ්පාදනය කරන්නේ නිකම්ම නෙවෙයි ගෑස්; අපි ජීවත් වෙනවා සහ හුස්ම ගන්නවා තත්ත්ව පාලනය. ද ගෑස් සැපයුම a සඳහා දාමය අර්ධ සන්නායක fab භාවිතා කරන ස්ථානයේම සවි කර ඇති විශේෂිත පිරිසිදුකාරක ඇතුළත් වේ. තවද, උසස් ගෑස් විශ්ලේෂණය මෙවලම් භාවිතා කරනු ලැබේ තත්ය කාලීන අධීක්ෂණය. වැනි තාක්ෂණික ක්රම වායුගෝලීය පීඩනය අයනීකරණ ස්කන්ධය වර්ණාවලීක්ෂය (APIMS) ක්රියා කළ හැක අපිරිසිදුකම හඳුනාගැනීම ට්රිලියනයකට කොටස් මට්ටම දක්වා පහළට, සහතික කරයි uhp ගෑස් (අති-ඉහළ සංශුද්ධතාවය) ක්රියාවලි මෙවලමට ඇතුළු වීම පරිපූර්ණයි.
අධි-පිරිසිදු ගෑස් සැපයුම්කරුවෙකු විශ්වාසදායක වන්නේ කුමක් ද?
නැව්ගත කිරීමේ ප්රමාදයේ සහ වංචා සහගත සහතිකවල වේදනාව අත්විඳින ලද මාක් වැනි ප්රසම්පාදන ප්රධානියෙකුට, විශ්වසනීයත්වය සෑම දෙයක්ම වේ. ලෝකයේ අධි පිරිසිදු අර්ධ සන්නායක වායු, විශ්වසනීයත්වය කුළුණු තුනක් මත රඳා පවතී: නිෂ්පාදන අනුකූලතාව, තත්ත්ව සහතිකය සහ ලොජිස්ටික් විශේෂඥතාව.
- නිෂ්පාදන අනුකූලතාව: විශ්වසනීය සැපයුම්කරුවෙකුට ශක්තිමත් සහ අතිරික්ත නිෂ්පාදන හැකියාවන් තිබිය යුතුය. අපගේ කර්මාන්තශාලාවේ නිෂ්පාදන රේඛා හත, උදාහරණයක් ලෙස, අපට හැකි බව සහතික කරයි ඉහළ ඉල්ලුම සපුරාලීම එක් පේළියක ගැටලුවක් අපගේ සම්පූර්ණ ප්රතිදානය නතර නොකරන බව. මෙය ඩොලර් බිලියන ගණනක මුදලක් වසා දැමිය හැකි සැපයුම් කඩාකප්පල් වීමේ අවදානම අවම කරයි අර්ධ සන්නායක fab.
- සත්යාපනය කළ හැකි තත්ත්ව සහතිකය: ඔබට ඇති බව පැවසීම පමණක් ප්රමාණවත් නොවේ ඉහළ සංශුද්ධතාවය වායුව. ඔබට එය ඔප්පු කිරීමට හැකි විය යුතුය. මෙයින් අදහස් කරන්නේ නවීනතම විශ්ලේෂණ උපකරණ සඳහා ආයෝජනය කිරීමයි අපිරිසිදුකම හඳුනාගැනීම. සෑම නැව්ගත කිරීමක් සමඟම විනිවිද පෙනෙන, සොයා ගත හැකි විශ්ලේෂණ සහතික (CoA) සැපයීම ද එයින් අදහස් වේ. සහතික වංචාවට එරෙහිව සටන් කිරීම යනු විශ්වාසය සහ සත්යාපනය කළ හැකි දත්ත මත පදනම්ව දිගුකාලීන සබඳතාවක් ගොඩනගා ගැනීමයි.
- ලොජිස්ටික් විශේෂඥතාව: ලබා ගැනීම විඛාදන වායුව හෝ චීනයේ සිට ඇමරිකා එක්සත් ජනපදය දක්වා ක්රයොජනික් දියර සරල නොවේ. ඒ සඳහා විශේෂිත බහාලුම්, ජාත්යන්තර නැව්ගත කිරීමේ රෙගුලාසි පිළිබඳ දැනුම සහ ප්රමාදයන් වළක්වා ගැනීම සඳහා සියුම් සැලසුම් කිරීම අවශ්ය වේ. මෙය හුදෙක් පෙට්ටියක් යැවීම පමණක් නොවන බව විශ්වාසදායක සැපයුම්කරුවෙකු තේරුම් ගනී. එය ගෝලීය වශයෙන් තීරණාත්මක කොටසක් කළමනාකරණය කරයි අර්ධ සන්නායක සැපයුම් දාමය.
තොග ගෑස් සහ විශේෂ වායු අතර වෙනස කුමක්ද?
අතර වෙනස තේරුම් ගැනීම තොග ගෑස් සහ විශේෂිත වායුව සඳහා මූලාශ්ර ලබා ගැනීමට සම්බන්ධ ඕනෑම කෙනෙකුට ප්රධාන වේ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය. දෙකම අන්ත අවශ්ය වන අතර පිරිසිදුකම, ඒවායේ පරිමාණය, හැසිරවීම සහ යෙදුම බෙහෙවින් වෙනස් ය.
තොග වායු, වගේ තොග අධි සංශුද්ධතා විශේෂ වායු, යොමු කරන්න නයිට්රජන් වැනි වායු, ඔක්සිජන්, ආගන් සහ හයිඩ්රජන්. ඔවුන් ෆැබ්ගේ පරිසරයේ පදනම වේ. "තොග" යන්නෙන් අදහස් කරන්නේ භාවිතා කරන දැවැන්ත ප්රමාණයි. මෙම වායූන් බොහෝ විට එම ස්ථානයේ හෝ ඒ ආසන්නයේ නිපදවන අතර විශේෂිත නල මාර්ග හරහා සෘජුවම ෆැබ් හි අභ්යන්තර බෙදා හැරීමේ පද්ධතියට ලබා දේ. මෙහි ඇති ප්රධාන අභියෝග වන්නේ නඩත්තු කිරීමයි පිරිසිදුකම විශාල බෙදාහැරීමේ ජාල හරහා සහ බාධාවකින් තොරව, ඉහළ පරිමා සැපයුමක් සහතික කිරීම.
විශේෂ ගෑස් (හෝ ඉලෙක්ට්රොනික වායුව) යනු කැටයම් කිරීම වැනි නිශ්චිත ක්රියාවලි පියවරයන් සඳහා කුඩා ප්රමාණවලින් භාවිතා කරන බොහෝ විට විදේශීය, ප්රතික්රියාශීලී හෝ අන්තරායකර වායුවල පුළුල් කාණ්ඩයකි. තැන්පත් වීම. උදාහරණ ලෙස සිලේන්, ඇමෝනියා, බෝරෝන් ට්රයික්ලෝරයිඩ් සහ නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් ඇතුළත් වේ. මේවා එක් එක් අධි පීඩන සිලින්ඩරවල බෙදා හරිනු ලැබේ. සමඟ ඇති අභියෝග විශේෂිත වායුව හැසිරවීමේදී අතිශයින්ම ආරක්ෂාව, වායු මිශ්රණ සඳහා පරිපූර්ණ මිශ්ර අනුකූලතාවක් සහතික කිරීම සහ සිලින්ඩරය තුළ සම්මුතියකට ලක්විය හැකි රසායනික ප්රතික්රියා වැළැක්වීම ගෑස් ගුණාත්මකභාවය.
අධි-පිරිසිදු අර්ධ සන්නායක වායුව සඳහා ඉල්ලුම වර්ධනය වන්නේ කෙසේද?
ද අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය කිසිදා නිශ්චල නොවේ. මුවර්ගේ නියමය, චිපයක ඇති ට්රාන්සිස්ටර සංඛ්යාව දළ වශයෙන් සෑම වසර දෙකකට වරක් දෙගුණ වන බව නිරීක්ෂණය කිරීම භෞතික විද්යාවේ සීමා මායිම් දිගටම තල්ලු කරයි. ට්රාන්සිස්ටර හැකිළෙන විට, ඒවා ඝාතීය ලෙස වඩාත් සංවේදී වේ දූෂණය වීම. ඒ අංශු ප්රමාණය වසර පහකට පෙර පිළිගත හැකි වූයේ "මිනීමරුවෙකු" යන්නයි දෝෂය"අද.
කුඩා හා වඩා බලවත් චිප්ස් සඳහා මෙම නිර්දය ධාවකය අදහස් කරන්නේ ඊටත් වඩා ඉහළ මට්ටම් සඳහා ඇති ඉල්ලුමයි වායු සංශුද්ධතාවය වර්ධනය වෙමින් පවතී. අපි බිලියනයකට කොටස් රන් ප්රමිතියක් වූ ලෝකයක සිට ට්රිලියනයකට කොටස් සඳහා අවම ප්රවේශ අවශ්යතාවය වන ලෝකයකට ගමන් කරමින් සිටිමු. උසස් අර්ධ සන්නායක නෝඩ්. තවද, 3D NAND සහ Gate-All-Around (GAA) ට්රාන්සිස්ටර වැනි නව ද්රව්ය සහ චිප් ගෘහනිර්මාණ සඳහා සම්පූර්ණ නව කළඹක් අවශ්ය වේ. ඊළඟ පරම්පරාවේ ගෑස් මිශ්රණ සහ පූර්වගාමීන්. ලෙස ගෑස් නිෂ්පාදකයින්, අපි නව්යකරණයේ නිරන්තර තරඟයක සිටිමු, නව පිරිසිදු කිරීමේ තාක්ෂණයන් සහ විශ්ලේෂණාත්මක ක්රම දියුණු කරමින් ගෝලීය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය.
ගැනුම්කරුවෙකු ලෙස, මා සෙවිය යුතු තත්ත්ව සහතික මොනවාද?
විශේෂයෙන්ම තාක්ෂණික නිෂ්පාදන සමඟ කටයුතු කිරීමේදී සැපයුම්කරුවන්ගේ ලෝකය සැරිසැරීම දුෂ්කර විය හැකිය. සහතික කිරීම් සැපයුම්කරුවෙකුගේ හැකියාවන් සහ ගුණාත්මකභාවය සඳහා කැපවීම පිළිබඳ තීරණාත්මක, තෙවන පාර්ශවීය වලංගු කිරීමක් සපයයි. මූලාශ්ර කරන විට ඉහළ පිරිසිදු වායු සඳහා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, සෙවිය යුතු කරුණු කිහිපයක් මෙන්න:
- ISO 9001: තත්ත්ව කළමනාකරණ පද්ධති සඳහා මෙය මූලික සහතිකයකි. නිෂ්පාදනය, පරීක්ෂා කිරීම සහ බෙදා හැරීම සඳහා සැපයුම්කරුට හොඳින් අර්ථ දක්වා ඇති සහ පුනරාවර්තනය කළ හැකි ක්රියාවලීන් ඇති බව එයින් පෙන්නුම් කෙරේ.
- ISO/IEC 17025: මෙය විවේචනාත්මක එකකි. එය පරීක්ෂණ සහ ක්රමාංකන රසායනාගාරවල නිපුණතාවය සඳහා වන ප්රමිතියයි. මෙම සහතිකය සහිත සැපයුම්කරුවෙකු ඔවුන්ගේ අභ්යන්තර විද්යාගාරය-ඔබේ විශ්ලේෂණ සහතිකය ජනනය කරන-නිවැරදි සහ විශ්වාසදායක බව ඔප්පු කර ඇත.
- සොයා ගත හැකි විශ්ලේෂණය: සෑම සිලින්ඩරයක් හෝ කණ්ඩායමක් සඳහාම සෑම විටම විශ්ලේෂණ සහතිකයක් (CoA) ඉල්ලා සිටින්න. මෙම සහතිකය විවේචනාත්මක නිශ්චිත මට්ටම විස්තර කළ යුතුය වායුවේ අපද්රව්ය, වැනි විශේෂිත විශ්ලේෂණ ක්රම මගින් මනිනු ලැබේ ගෑස් වර්ණදේහය හෝ ස්කන්ධ වර්ණාවලීක්ෂය.
මාර්ක් වැනි තීරණාත්මක නායකයෙකු ලෙස, ඔබේ හොඳම මෙවලම වන්නේ විමර්ශන ප්රශ්න ඇසීමයි. නිකන් අහන්න එපා "මේකද ගෑස් පිරිසිදුද?" අසන්න "එය පිරිසිදු බව ඔබ ඔප්පු කරන්නේ කෙසේද? මට ඔබේ විද්යාගාරයේ සහතිකය පෙන්වන්න. ගොඩක්-ගොඩක් අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා ඔබේ ක්රියාවලිය පැහැදිලි කරන්න." සැබවින්ම ප්රවීණ සහ විශ්වාසදායක හවුල්කරුවෙකු මෙම ප්රශ්න පිළිගනු ඇති අතර විශ්වාසදායක, විනිවිද පෙනෙන පිළිතුරු ඇත.
ප්රධාන රැගෙන යාම
- ගෑස් යනු මෙවලමකි: තුළ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, වායූන් යනු ද්රව්ය පමණක් නොවේ; ඒවා a මත අන්වීක්ෂීය පරිපථ තැනීමට සහ කැටයම් කිරීමට භාවිතා කරන නිරවද්ය මෙවලම් වේ සිලිකන් වේෆර්.
- පාරිශුද්ධත්වය යනු සියල්ල: පරිමාණය චිප් නිෂ්පාදනය තනි අනවශ්ය තරම් කුඩා වේ අංශුව හෝ අපිරිසිදුකම අණුවක් සෑදීමෙන් චිපයක් විනාශ කළ හැකිය අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය සාකච්ඡා කළ නොහැකි අවශ්යතාවයකි.
- අස්වැන්න ඉලක්කයයි: මූලික බලපෑම ගෑස් දූෂණය නිෂ්පාදනය අඩු කිරීමකි අස්වැන්නසඳහා අහිමි වූ ආදායමෙන් ඩොලර් මිලියන ගණනකට සෘජුවම පරිවර්තනය කරයි අර්ධ සන්නායක ෆැබ්ස්.
- ප්රධාන ක්රියාවලි දෙකක්: චිපයක් සෑදීමේ බොහෝ පියවරයන් ඇතුළත් වේ තැන්පත් වීම (ගොඩනැගිලි ස්ථර) හෝ ආදිය (කැටයම් රටා), මේ දෙකම පිරිසිදු වායූන්ගේ නිශ්චිත රසායනික ප්රතික්රියා මත සම්පූර්ණයෙන්ම රඳා පවතී.
- විශ්වසනීයත්වය ප්රධාන වේ: හි විශ්වාසවන්ත සැපයුම්කරුවෙකි අර්ධ සන්නායක වායුව වෙළඳපල නිෂ්පාදන අනුකූලතාව, සහතික කළ රසායනාගාර හරහා සත්යාපනය කළ හැකි තත්ත්ව සහතිකය සහ විශේෂඥ සැපයුම් කළමනාකරණය පෙන්නුම් කළ යුතුය.
- අනාගතය වඩාත් පිරිසිදු ය: අර්ධ සන්නායක වඩාත් දියුණු වන විට, ඊටත් වඩා ඉහළ මට්ටම් සඳහා ඉල්ලුම වායු සංශුද්ධතාවය (ප්රකෝටියකට-ට්රිලියනයකට) පමණක් දිගටම වර්ධනය වනු ඇත.
