Huazhong Gas කාර්මික ශිල්පය සහ විද්‍යාව ප්‍රගුණ කිරීමට අප කැපවී ඇත විශේෂිත වායුව නිෂ්පාදනය. වර්තමාන අධි තාක්‍ෂණික ලෝකයේ, විශේෂයෙන් ඇතුළත අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, ඉල්ලුම අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය වායූන් යනු මනාපයක් පමණක් නොවේ; එය පරම අවශ්‍යතාවයකි. මෙම ලිපිය විවේචනාත්මක ලෝකය වෙත යොමු කරයි අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය සඳහා ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු. ඇයි කුඩාම දේ පවා අපි ගවේෂණය කරන්නෙමු අපිරිසිදුකම දැවැන්ත ප්‍රතිවිපාක ඇති කළ හැකිය, අපි මෙම අපැහැදිලි හඳුනා ගන්නේ කෙසේද අපිරිසිදුකම් සොයා ගන්න, සහ ව්‍යාපාර සඳහා එයින් අදහස් කරන්නේ කුමක්ද. අවබෝධය ගෑස් අපද්රව්ය සහ ඔවුන්ගේ ක්‍රම පවිත්ර කිරීම සහ හඳුනාගැනීම, වැනි ICP-MS, නූතනයේ විශ්වසනීයත්වය සහ කාර්ය සාධනය සහතික කිරීම සඳහා ප්රධාන වේ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ. මෙම කොටස ඔබේ කාලය වටින්නේ එය දැඩි ලෙස පවත්වා ගැනීම සඳහා කර්මාන්තශාලා-අභ්‍යන්තර ඉදිරිදර්ශනයක් ලබා දෙන බැවිනි. ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායුවල සංශුද්ධතාවය, මුල්ගලක් අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ අංශ.

ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායු යනු කුමක්ද සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ඒවායේ සංශුද්ධතාවය ඉතා වැදගත් වන්නේ ඇයි?

ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු, බොහෝ විට ලෙස හැඳින්වේ ඉලෙක්ට්රොනික වායු හෝ අර්ධ සන්නායක වායු, යනු අද්විතීය කාණ්ඩයකි ඉහළ පිරිසිදු වායු සහ ගෑස් මිශ්රණ ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනයට සම්බන්ධ සංකීර්ණ ක්‍රියාවලීන් සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. ඔවුන් ඩිජිටල් යුගයේ අදෘශ්‍යමාන ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පීන් ලෙස සිතන්න. මේවා අර්ධ සන්නායකවල භාවිතා කරන වායු නිෂ්පාදනයට සිලිකන් ස්ථර තැන්පත් කිරීම සඳහා සිලේන් (SiH₄), කුටීර පිරිසිදු කිරීම සඳහා නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF₃) වැනි විවිධ පරාසයන් ඇතුළත් වේ. ආගන් (Ar) නිෂ්ක්රිය පලිහක් ලෙස, සහ විවිධ තහනම් වායු ෆොස්ෆීන් (PH₃) හෝ arsine (AsH₃) වැනි විද්‍යුත් ගුණ වෙනස් කිරීමට අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය. නියමය "ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂත්වය"එය විසින්ම ඒවායේ සකස් කරන ලද යෙදුම සහ ඒවායේ සංයුතියේ අවශ්‍ය අතිශය නිරවද්‍යතාවය ඉස්මතු කරයි. මේවා ඔබගේ එදිනෙදා නොවේ කාර්මික වායු; ඒවායේ පිරිවිතරයන් වඩාත් දැඩි වේ.

ඔවුන්ගේ අතිමහත් වැදගත්කම පිරිසිදුකම විශේෂයෙන් සඳහන් කළ නොහැක අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය. නවීන ඒකාබද්ධ පරිපථ (ICs) ට්‍රාන්සිස්ටර සහ සන්නායක මාර්ග ඇදහිය නොහැකි තරම් කුඩා, බොහෝ විට නැනෝමීටරවලින් (මීටරයකින් බිලියනයකින්) මනිනු ලැබේ. මෙම අන්වීක්ෂීය පරිමාණයෙන්, එක් අනවශ්‍ය පරමාණුවක් පවා - an අපිරිසිදුකම- කුඩා ප්‍රවාහයක ගල් පර්වතයක් මෙන් ක්‍රියා කළ හැකි අතර, අපේක්ෂිත විදුලි ප්‍රවාහයට බාධා කිරීම හෝ ව්‍යුහාත්මක දෝෂ ඇති කරයි. මෙය දෝෂ සහිත චිපයකට තුඩු දිය හැකි අතර, එක් වේෆරයක් මත මිලියන ගණනක් චිප් නිපදවන කර්මාන්තයක, පුලුල්ව පැතිර ඇති මූල්‍ය හා කීර්තිනාමය හානි දූෂණය වීම අති විශාල විය හැක. එබැවින්, ද ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායුවල සංශුද්ධතාවය සමස්තය මත පදනම් ස්ථම්භයකි ඉලෙක්ට්රොනික හා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය ස්ථාවර වේ. ඕනෑම අපිරිසිදුකම උපාංගයේ කාර්ය සාධනය, අස්වැන්න සහ විශ්වසනීයත්වය සම්මුතියට පත් කළ හැකි අතර එය දැඩි කරයි වායු සංශුද්ධතාවය පාලනය අත්යවශ්ය.

Huazhong Gas හි, අපගේ පාරිභෝගිකයන් තුළ සිටින බව අපි තේරුම් ගනිමු අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත "පහ නවය" (99.999%) හෝ "හය නවය" (99.9999%) සංශුද්ධතා මට්ටම් සපුරාලන හෝ ඉක්මවන වායූන් සැපයීමට අප මත විශ්වාසය තබන්න. මෙයින් අදහස් කරන්නේ ඕනෑම අපිරිසිදුකම මිලියනයකට කොටස් (ppm) හෝ බිලියනයකට කොටස් (ppb) ට වඩා අඩු සාන්ද්‍රණයක තිබිය යුතුය. එවැන්නක් සාක්ෂාත් කර ගැනීම සහ තහවුරු කිරීම ඉහළ සංශුද්ධතාවය මට්ටම් සංකීර්ණ අවශ්ය වේ පවිත්ර කිරීම තාක්ෂණික ක්රම සහ, තීරණාත්මක ලෙස, උසස් අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය ක්රම. අනපේක්ෂිත පැමිණීම අපිරිසිදුකම සමඟ ගැටළු ද දැක්විය හැකිය ගෑස් සිලින්ඩර හෝ සැපයුම් දාමය, ස්ථාවර තත්ත්ව චෙක්පත් ඉතා වැදගත් කරයි. අපි අපේ සහතිකය නයිට්රජන් සිලින්ඩරය උදාහරණයක් ලෙස, බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පියවරයන්හිදී නයිට්‍රජන් වැඩ අශ්ව වායුවක් වන බැවින් පිරිනැමීම් මෙම නියම ප්‍රමිතීන් සපුරාලයි.

ක්ෂුද්‍ර ලුහුබැඳීමේ අපද්‍රව්‍ය පවා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන මාර්ග පීලිගත කරන්නේ කෙසේද?

මෙතරම් කුඩා දෙයක් කෙසේ දැයි සිතීම සමහර විට දුෂ්කර ය අපිරිසිදුකම සොයා ගන්න බිලියනයකට කොටස් (ppb) හෝ ට්‍රිලියනයකට කොටස් (ppt) වලින් මනින විට, එවැනි සැලකිය යුතු ගැටළු ඇති විය හැක. නමුත් ලෝකයේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, මෙම අන්වීක්ෂීය දූෂක ප්‍රධාන දුෂ්ටයෝ වෙති. අපි සාමාන්‍ය අර්ධ සන්නායක නිපදවීමේ ක්‍රියාවලියක් සලකා බලමු: එයට තැන්පත් වීම (තුනී පටල දැමීම), කැටයම් කිරීම (ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම) සහ අයන තැන්පත් කිරීම (විශේෂිත පරමාණු ඇතුළු කිරීම) වැනි සියුම් පියවර දුසිම් ගනනක්, සමහර විට සිය ගණනක් ඇතුළත් වේ. සෑම පියවරක්ම නිශ්චිතවම පාලනය කරන ලද රසායනික පරිසරයක් මත රඳා පවතී, බොහෝ විට නිර්මාණය කර හෝ නඩත්තු කරනු ලැබේ ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු. අ භාවිතා කරන ලද ගෑස් මෙම පියවර වලින් එකක අනවශ්‍ය දෙයක් දරයි අපිරිසිදුකම, බව අපිරිසිදුකම හි සියුම් ස්ථරවලට ඇතුළත් කළ හැකිය අර්ධ සන්නායක උපාංගය.

උදාහරණයක් වශයෙන්, ලෝහමය අපද්රව්ය සෝඩියම්, යකඩ හෝ තඹ වැනි, ඉතා අඩු සාන්ද්‍රණයක දී පවා, සිලිකන් වල විද්‍යුත් ගුණාංග දැඩි ලෙස වෙනස් කළ හැකිය. ඒවා අනවශ්‍ය සන්නායක මාර්ග නිර්මාණය කර, කෙටි පරිපථ වලට මග පාදයි, නැතහොත් ඉලෙක්ට්‍රෝන ගලායාමට බාධා කරන "උගුල්" ලෙස ක්‍රියා කරයි, උපාංගයේ වේගය අඩු කරයි හෝ එය සම්පූර්ණයෙන්ම අසාර්ථක විය හැක. ඇන් අපිරිසිදුකම ක්‍රියාවලි පියවරකදී අදහස් කරන රසායනික ප්‍රතික්‍රියා වලටද බාධා කළ හැක. උදාහරණයක් ලෙස, a දූෂක කැටයම් වායුවක අඩු කැටයම් හෝ අධික ලෙස කැටයම් කිරීමට හේතු විය හැක, වේෆරයේ නිවැරදි රටා විනාශ කරයි. බලපෑම තනි චිප්ස් මත පමණක් නොවේ; හඳුනා නොගත් අපිරිසිදුකම මෙම ප්‍රශ්නය මඟින් සම්පූර්ණ වේෆර් කාණ්ඩ ඉවත් කිරීමට හේතු විය හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස ඩොලර් මිලියන ගණනක පාඩුවක්, නිෂ්පාදන ප්‍රමාදයක් සහ ගුණාත්මක ද්‍රව්‍යවල ස්ථාවර සැපයුමක් සහතික කළ යුතු මාර්ක් ෂෙන් වැනි ප්‍රසම්පාදන නිලධාරීන්ට හිසරදයක් ඇති වේ. මෙය ශක්තිමත් සඳහා තීරනාත්මක අවශ්යතාව ඉස්මතු කරයි අපද්‍රව්‍ය මැනීම සොයා ගන්න.

අභියෝගය වන්නේ ඕනෑම කෙනෙකුට "පිළිගත හැකි" මට්ටමයි අපිරිසිදුකම ලෙස හැකිලෙමින් පවතී අර්ධ සන්නායක උපාංග විශේෂාංග කුඩා වේ. පිළිගත හැකි දෙයක් ලෙස සැලකූ දේ අපිරිසිදුකම දශකයකට පෙර මට්ටම ව්යසනකාරී විය හැකිය දූෂණය වීම අද. කුඩාකරණය සඳහා වූ මෙම නොපසුබට උත්සාහය වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා ගෑස් නිෂ්පාදකයින් සහ විශ්ලේෂණ විද්‍යාගාර මත දැවැන්ත පීඩනයක් ඇති කරයි. හඳුනාගැනීමේ සීමාව හැකියාවන්. පවා අංශු අපද්‍රව්‍ය, පියවි ඇසට නොපෙනෙන කුඩා දූවිලි පැල්ලම්, ඡායාරූප ශිලාලේඛන පියවරවලදී ආලෝකය අවහිර කිරීමට හෝ වේෆර් මතුපිට භෞතික දෝෂ ඇති කළ හැකිය. එබැවින්, සෑම විභවයක්ම පාලනය කිරීම අපිරිසිදුකම - වායුමය, ලෝහමය, හෝ අංශු - තීරණාත්මක වේ. ද අපිරිසිදු පරාසය විස්තීරණ අවශ්‍යතාවය අවධාරණය කරමින් ගැටලු ඇති කළ හැකි බව අති විශාලය ගෑස් විශ්ලේෂණය.

වඩාත් පොදු කරදර ඇති කරන්නන් මොනවාද? ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ සඳහා වායු වල අපිරිසිදුකම හඳුනා ගැනීම.

ගැන කතා කරන විට වායුවල අපිරිසිදුකම සඳහා අදහස් කර ඇත ඉලෙක්ට්රොනික හා අර්ධ සන්නායක අංශය, අපි විවිධ චරිත නිරූපණය කරමින් සිටිමු, ඒ සෑම එකක්ම සැලකිය යුතු හානියක් කිරීමට හැකියාව ඇත. මේවා අනාවරණය කළ යුතු අපද්රව්ය පුළුල් ලෙස වායුමය, ලෝහමය සහ අංශු ආකාර ලෙස වර්ග කළ හැක. මෙම පොදු කරදර කරන්නන් තේරුම් ගැනීම ඵලදායී වීමේ පළමු පියවරයි අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය සහ පාලනය. විශේෂිත පවතින අපිරිසිදුකම් වායුව, එහි නිෂ්පාදන ක්රමය, ගබඩා කිරීම සහ හැසිරවීම මත පදනම්ව වෙනස් විය හැක.

වායුමය අපිරිසිදුකම් ප්රධාන වශයෙන් පවතින අනෙකුත් වායු වේ විශේෂිත වායුව. උදාහරණයක් ලෙස, in ඉහළ සංශුද්ධතාවය නයිට්රජන්, පොදු වායුමය අපිරිසිදුකම් ඔක්සිජන් (O₂), තෙතමනය (H₂O), කාබන් ඩයොක්සයිඩ් (CO₂), කාබන් මොනොක්සයිඩ් (CO) සහ හයිඩ්රොකාබන (CHₓ) ඇතුළත් විය හැක. ඔක්සිජන් සහ තෙතමනය ඉතා ප්‍රතික්‍රියාශීලී වන අතර අනවශ්‍ය ඔක්සිකරණයට හේතු විය හැකි බැවින් විශේෂයෙන් ගැටළුකාරී වේ. අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය හෝ ක්රියාවලිය උපකරණ. දී පවා නිෂ්ක්රිය වායුව වගේ ආගන්, මේවා අංශු මාත්‍රවල පැවතිය හැක. සමාගමක් ලෙස, අපි බොහෝ විට විශ්ලේෂණය සඳහා ඉල්ලීම් දකින්නෙමු a පුළුල් පරාසයක අපද්රව්ය, මෙම ප්රතික්රියාකාරක විශේෂ ඇතුළුව. උදාහරණයක් ලෙස, අපගේ හැකියාවන්ට සංකීර්ණ නිෂ්පාදනය ඇතුළත් වේ වායු මිශ්‍රණය විභව වායුමය ඇතුළුව එක් එක් සංරචක පාලනය කරන නිෂ්පාදන අපිරිසිදුකම්, ප්‍රමුඛ වේ.

ලෝහමය අපද්රව්ය තවත් ප්රධාන සැලකිල්ලක් වේ. මේවා සෝඩියම් (Na), පොටෑසියම් (K), කැල්සියම් (Ca), යකඩ (Fe), තඹ (Cu), නිකල් (Ni), ක්‍රෝමියම් (Cr) සහ ඇලුමිනියම් (Al) වැනි ලෝහවල පරමාණු වේ. ඒවා අමුද්‍රව්‍ය, නිෂ්පාදන උපකරණ (නල මාර්ග සහ ප්‍රතික්‍රියාකාරක වැනි) හෝ ද ඇති විය හැක ගෑස් සිලින්ඩර තමන්ට නිසි ප්‍රතිකාර නොකළහොත්. සඳහන් කළ පරිදි, මේවා ලෝහ අපද්රව්ය හි විදුලි ක්‍රියාකාරිත්වයට දැඩි ලෙස බලපෑ හැකිය අර්ධ සන්නායක උපාංග. ppb හෝ ppt මට්ටම්වලදී මේවා හඳුනා ගැනීම සඳහා Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry වැනි ඉතා සංවේදී විශ්ලේෂණ ශිල්පීය ක්‍රම අවශ්‍ය වේ (ICP-MS) අපිත් සලකා බැලිය යුතුයි අංශු කාරණය. මේවා කුඩා ඝන හෝ ද්‍රව අංශු වේ ගෑස් ප්රවාහය. ඒවා වේෆර්වල භෞතික දෝෂ ඇති කළ හැකිය, උපකරණවල තුණ්ඩ අවහිර කළ හැකිය, නැතහොත් වෙනත් ඒවා හඳුන්වා දිය හැකිය දූෂක. අංශු ඉවත් කිරීම සඳහා පෙරීම ප්‍රධාන වේ, නමුත් ඒවායේ මට්ටම් නිරීක්ෂණය කිරීම ද විස්තීර්ණ කොටසකි. ගෑස් ගුණාත්මකභාවය වැඩසටහන. සමහරක් ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු ද වේ විඛාදන වායු හෝ විෂ වායු, එය ඔවුන්ගේ හැසිරවීමට සහ විශ්ලේෂණයට තවත් සංකීර්ණතා ස්ථරයක් එක් කරයි, එය සහතික කරයි අපිරිසිදුකම පැතිකඩ මෙම අන්තරායන් උත්සන්න නොකරයි.

ICP-MS: අර්ධ සන්නායක වායුවල ලෝහමය අපද්‍රව්‍ය හඳුනාගැනීමේ රන් ප්‍රමිතිය?

එය පැමිණි විට ලෝහමය අපද්රව්ය විශ්ලේෂණය තුළ අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා වායු, Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry, හෝ ICP-MS, ප්‍රමුඛ තාක්‍ෂණයක් ලෙස පුළුල් ලෙස සැලකේ. එය පුළුල් පරාසයක් හඳුනාගෙන ප්‍රමාණ කළ හැකි ප්‍රබල විශ්ලේෂණ ශිල්පීය ක්‍රමයකි මූලද්රව්ය අපද්රව්ය, බොහෝ විට විශ්මය ජනක ලෙස පහත් මට්ටම් දක්වා පහළට - සමහර මූලද්‍රව්‍ය සඳහා කොටස්-ට්‍රිලියනයකට (ppt) හෝ කොටස්-හතරකට (ppq) පවා සිතන්න. මෙම සංවේදීතාව හරියටම හේතුවයි ICP-MS සඳහා ඉතා තීරණාත්මක වී ඇත අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, එහිදී, අප සාකච්ඡා කර ඇති පරිදි, කුඩා හෝඩුවාවන් පවා ලෝහමය අපද්රව්ය හානි විය හැක නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය.

කොහොමද කරන්නේ ICP-MS එහි මැජික් වැඩ කරන්නේද? සරලව කිවහොත්, ද නියැදි වායුව (හෝ වායුවෙන් ලබාගත් ද්‍රාවණයක්) සාමාන්‍යයෙන් සෑදූ ඉතා උණුසුම් ප්ලාස්මාවකට හඳුන්වා දෙනු ලැබේ ආගන්. මෙම ප්ලාස්මාව, 6,000 සිට 10,000 ° C දක්වා උෂ්ණත්වයකට ළඟා වන අතර, වායු අණු බිඳ දැමීමට සහ පවතින පරමාණු අයනීකරණය කිරීමට තරම් ශක්තිජනක වේ. ලෝහමය අපද්රව්ය. මෙම අයන පසුව ප්ලාස්මාවෙන් නිස්සාරණය කර ස්කන්ධ වර්ණාවලීක්ෂයක් වෙත යොමු කෙරේ. ස්කන්ධ වර්ණාවලීක්ෂය ඉතා නිරවද්‍ය පෙරහනක් ලෙස ක්‍රියා කරයි, ඒවායේ ස්කන්ධ-ආරෝපණ අනුපාතය මත පදනම්ව අයන වෙන් කරයි. ඒ අනාවරකය ඉන්පසුව එක් එක් නිශ්චිත ස්කන්ධය සඳහා අයන ගණනය කරයි, කුමන මූලද්‍රව්‍ය තිබේද සහ කුමන ප්‍රමාණයකින්ද යන්න හඳුනා ගැනීමට අපට ඉඩ සලසයි. හි හැකියාව ICP-MS පුළුල් වර්ණාවලියක් සඳහා ස්කෑන් කිරීමට විශේෂිත වායුවල ලෝහමය අපද්රව්ය එකවර එය ඉතා කාර්යක්ෂම කරයි.

අතර ICP-MS ඇදහිය නොහැකි තරම් බලවත් ය, එය එහි අභියෝග නොමැතිව නොවේ, විශේෂයෙන් ගනුදෙනු කිරීමේදී අර්ධ සන්නායකවල භාවිතා කරන වායු නිශ්පාදනය. එක් පොදු ප්රවේශයක් වන්නේ උගුලට හසු කර ගැනීමයි අපිරිසිදුකම් විශාල වායු පරිමාවකින් එකතු කිරීමේ මාධ්‍යයකට හෝ ද්‍රවයකට, පසුව විශ්ලේෂණය කරනු ලැබේ ICP-MS. කෙසේ වෙතත්, සෘජු ගෑස් සෘජු එන්නත් කිරීම තුලට ICP-MS විශේෂිත අතුරුමුහුණත් අවශ්‍ය වුවද, ඇතැම් යෙදුම් සඳහා පද්ධතිය වඩාත් සුලභ වෙමින් පවතී. ක්රමය තෝරා ගැනීම විශේෂිත මත රඳා පවතී ගෑස් අපද්රව්ය උනන්දුව, matrix වායුව සහ අවශ්ය හඳුනාගැනීමේ සීමාව. Huazhong Gas හි, අපි ඇතුළුව අති නවීන විශ්ලේෂණ උපකරණ සඳහා විශාල වශයෙන් ආයෝජනය කරමු ICP-MS හැකියාවන්, විශ්වාසදායක බව අපි දන්නා නිසා අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය අපගේ ගනුදෙනුකරුවන් අප කෙරෙහි තබා ඇති විශ්වාසය සඳහා දත්ත මූලික වේ ඉහළ පිරිසිදු ඉලෙක්ට්රොනික වායූන්. වල නිරවද්‍යතාවය ICP-MS බව සහතික කිරීමට උපකාරී වේ වායූන්ගේ සංශුද්ධතාවය සඳහා දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලයි ඉලෙක්ට්රොනික ශ්රේණියේ ද්රව්ය.

නොසැලෙන වායු සංශුද්ධතාවය ඉලෙක්ට්‍රොනික හා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත සඳහා සාකච්ඡා කළ නොහැකි දෙයක් වන්නේ ඇයි?

නොසැලෙන අවශ්යතාව වායු සංශුද්ධතාවය තුළ ඉලෙක්ට්රොනික හා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත හුදු මනාපයක් නොවේ; එය නවීන උපාංග නිෂ්පාදනයේ භෞතික විද්‍යාව සහ ආර්ථික විද්‍යාව මගින් මෙහෙයවනු ලබන මූලික අවශ්‍යතාවයකි. ලෙස අර්ධ සන්නායක උපාංග විශේෂාංග නැනෝමීටර පරිමාණයට හැකිලීම, ඕනෑම ආකාරයකට ඒවායේ සංවේදීතාව දූෂණය වීම අහස උසට. ඇන් අපිරිසිදුකම පැරණි, විශාල උපාංගවල නොසැලකිලිමත් විය හැකි ඒවා දැන් අති නවීන චිප්ස්වල ව්යසනකාරී අසාර්ථකත්වයන් ඇති කළ හැකිය. මෙය සෘජුවම අස්වැන්නට බලපායි - වේෆරයකට හොඳ චිප්ස් ප්‍රතිශතය - සහ අස්වැන්නේ කුඩා පහත වැටීමක් පවා ඩොලර් මිලියන ගණනක ආදායමක් අහිමි විය හැකිය. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයා.

නවීන මයික්රොප්රොසෙසරයක හෝ මතක චිපයක සංකීර්ණ ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය ගැන සිතන්න. එහි ට්‍රාන්සිස්ටර බිලියන ගණනක් අඩංගු වන අතර, ඒ සෑම එකක්ම කුඩා ඉංජිනේරු විද්‍යාවේ ආශ්චර්යයකි. මෙම ට්‍රාන්සිස්ටරවල ක්‍රියාකාරීත්වය රඳා පවතින්නේ එහි නිශ්චිත විද්‍යුත් ගුණාංග මතය අර්ධ සන්නායක භාවිතා කරන ද්‍රව්‍ය, අනෙක් අතට, එයට බෙහෙවින් ගොදුරු වේ අපිරිසිදුකම්. උදාහරණයක් ලෙස, නිශ්චිත ලෝහමය අපද්රව්ය සිලිකන් කලාප පරතරය තුළ අනවශ්‍ය ශක්ති මට්ටම් හඳුන්වා දිය හැකි අතර, කාන්දු වන ධාරාව වැඩි කිරීමට හෝ වාහක සංචලනය අඩු කිරීමට හේතු වේ. මෙයින් අදහස් කරන්නේ මන්දගාමී, අඩු කාර්යක්ෂම හෝ සම්පූර්ණයෙන්ම ක්‍රියාකාරී නොවන උපාංග. වායුමය අපිරිසිදුකම් ඔක්සිජන් හෝ තෙතමනය වැනි අනපේක්ෂිත ඔක්සයිඩ් ස්ථර සෑදීමට හේතු විය හැක, චිත්රපට ඝණකම වෙනස් කිරීම හෝ උපාංගයේ ක්රියාකාරිත්වය සඳහා තීරණාත්මක අතුරු මුහුණත් ගුණාංග. සමස්තය ගෑස් ගුණාත්මකභාවය කෙලින්ම පරිවර්තනය කරයි නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය සහ විශ්වසනීයත්වය.

තවද, ද ඉලෙක්ට්රොනික හා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත ඉතා සංකීර්ණ හා මිල අධික නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් මගින් සංලක්ෂිත වේ. තනිකඩයෙක් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කම්හල ("fab") ගොඩනැගීමට සහ සන්නද්ධ කිරීමට ඩොලර් බිලියන ගණනක් වැය විය හැකිය. ද භාවිතා කරන වායු මෙම මිල අධික ක්‍රියාවලි පියවර බොහොමයකට අනිවාර්ය වේ. අ විශේෂිත වායුව සමඟ දූෂිත වේ අපිරිසිදුකම, එය දැනට සකසන ලද වේෆර් වලට පමණක් බලපාන්නේ නැත; එය මිල අධික සැකසුම් උපකරණ ද දූෂණය කළ හැකිය. මෙය පිරිසිදු කිරීම සහ නැවත සුදුසුකම් ලබා ගැනීම සඳහා දිගුකාලීන අක්‍රීය වීමට හේතු විය හැක, තවදුරටත් පිරිවැය එකතු කිරීම සහ නිෂ්පාදන කාලසටහන කඩාකප්පල් කිරීම - තම පාරිභෝගිකයින්ගේ ඉල්ලීම් සපුරාලීම සඳහා නියමිත වේලාවට බෙදා හැරීම මත යැපෙන මාර්ක් ෂෙන් වැනි කෙනෙකුට ප්‍රධාන වේදනාවකි. එබැවින්, සහතික කිරීම ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායුවල සංශුද්ධතාවය දැඩි හරහා අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය සමස්ත සැපයුම් දාමය සඳහා තීරණාත්මක අවදානම් අවම කිරීමේ උපාය මාර්ගයකි. කෙරෙහි අවධානය යොමු කිරීම ඉහළ පිරිසිදු වායු කොටස් ඇදහිය නොහැකි තරම් ඉහළ බැවින් නිර්දය වේ.

විශේෂ වායුවල ලෝහමය අපද්‍රව්‍ය විශ්ලේෂණය කිරීමේදී අප මුහුණ දෙන ප්‍රධාන අභියෝග මොනවාද?

විශ්ලේෂණය කිරීම ලෝහමය අපද්රව්ය තුළ විශේෂ වායු, විශේෂයෙන් භාවිතා කරන ඒවා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, අද්විතීය අභියෝග මාලාවක් ඉදිරිපත් කරයි. මූලික දුෂ්කරතාවය පැන නගින්නේ මේවා ඉතා අඩු සාන්ද්‍රණයෙනි අපිරිසිදුකම් ගැටළුකාරී විය හැක - බොහෝ විට කොටස්-බිලියනයකට (ppb) හෝ කොටස්-ට්‍රිලියනයකට (ppt) පරාසයක. එවැනි මිනිත්තු ප්‍රමාණයන් හඳුනා ගැනීම සහ නිවැරදිව ප්‍රමාණ කිරීම වැනි ඉතා සංවේදී විශ්ලේෂණ උපකරණ පමණක් අවශ්‍ය වේ. ICP-MS නමුත් බාහිරව හඳුන්වා දීම වැළැක්වීම සඳහා විශ්ලේෂණාත්මක පරිසරයන් සහ සූක්ෂම නියැදි හැසිරවීමේ ප්‍රොටෝකෝල සුවිශේෂී ලෙස පිරිසිදු කරන්න දූෂණය වීම.

එක් වැදගත් අභියෝගයක් වන්නේ නියැදි හැඳින්වීමයි. බොහෝ භාවිතා කරන විශේෂිත වායු තුළ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ ඉතා ප්‍රතික්‍රියාශීලී, විඛාදන හෝ pyrophoric (වාතයේදී ස්වයංසිද්ධව දැල්වීම) වේ. ආරක්ෂිතව සහ ඵලදායී ලෙස මේවා මාරු කිරීම වායූන් වැනි විශ්ලේෂණ උපකරණයක් බවට ICP-MS වෙනස් නොකර නියැදි වායුව හෝ උපකරණය දූෂණය කිරීම සඳහා විශේෂිත අතුරුමුහුණත් සහ හැසිරවීමේ ක්රියා පටිපාටි අවශ්ය වේ. උදාහරණයක් ලෙස, සෘජුවම එන්නත් කිරීම a විඛාදන වායුව හයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ් (HCl) වැනි ප්‍රමිතියකට ICP-MS පද්ධතිය බරපතල ලෙස හානි කළ හැකිය. එබැවින්, වක්‍ර ක්‍රම, එනම් ඉම්පිංගර් උගුල් දැමීම (ග්‍රහණය කිරීම සඳහා ද්‍රවයක් හරහා වායුව බුබුලු දැමීම අපිරිසිදුකම්) හෝ ක්‍රයොජනික් උගුල් බොහෝ විට භාවිතා වේ. කෙසේ වෙතත්, මෙම ක්රම මගින් ඔවුන්ගේම විභව මූලාශ්ර හඳුන්වා දිය හැකිය දූෂණය වීම හෝ පරිපූර්ණ ලෙස සිදු නොකළහොත් විශ්ලේෂණ පාඩුව. තෝරා ගැනීම වාහක වායුව තනුක කිරීම සඳහා, අවශ්ය නම්, ද නිර්දෝෂී විය යුතුය පිරිසිදුකම.

තවත් අභියෝගයක් වන්නේ "matrix effect" ය. තොගය ගෑස් එයම (උදා. ආගන්, නයිට්රජන්, හයිඩ්රජන්) හඳුනා ගැනීමට බාධා කළ හැකිය අපිරිසිදුකම් සොයා ගන්න. උදාහරණයක් ලෙස, in ICP-MS, ප්ලාස්මා තොගයෙන් සෑදී ඇත ගෑස් යම් ඉලක්කයකට සමාන ස්කන්ධ-ආරෝපණ අනුපාතයක් ඇති බහුපරමාණුක අයන සෑදිය හැක ලෝහමය අපද්රව්ය, ව්‍යාජ ධනාත්මක හෝ සාවද්‍ය ප්‍රමාණකරණයට මග පාදයි. විශ්ලේෂකයින් ඝට්ටන/ප්‍රතික්‍රියා සෛල වැනි ශිල්පීය ක්‍රම භාවිතා කළ යුතුය ICP-MS හෝ මෙම වර්ණාවලි මැදිහත්වීම් ජය ගැනීම සඳහා අධි-විභේදන ස්කන්ධ වර්ණාවලීක්ෂය. තවද, ප්‍රමාණ කිරීම සඳහා භාවිතා කරන ක්‍රමාංකන ප්‍රමිතීන් ලෝහ අපද්රව්ය අතිශයින්ම නිවැරදි හා සොයා ගත හැකි විය යුතු අතර, විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම සඳහා සම්පූර්ණ විශ්ලේෂණ ක්රියාවලිය වලංගු විය යුතුය. අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය ප්රතිඵල. අපි, සැපයුම්කරුවෙකු ලෙස, අඛණ්ඩතාව ගැන ද කනස්සල්ලට පත්ව සිටිමු ගෑස් සිලින්ඩර සහ දායක වීමට ඔවුන්ගේ හැකියාව ලෝහමය අපද්රව්ය කාලයත් සමඟම, අඛණ්ඩ තත්ත්ව පාලනයක් අවශ්‍ය වේ.

ගෑස් හුවමාරු උපාංගයක් භාවිතා කිරීමෙන් අපද්‍රව්‍ය මැනීමේ නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කළ හැකිද?

ඔව්, ගෑස් හුවමාරු උපාංගයක් භාවිතා කිරීම වල නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කිරීමේදී සැලකිය යුතු කාර්යභාරයක් ඉටු කළ හැකිය අපද්‍රව්‍ය මැනීම සොයා ගන්න, විශේෂයෙන්ම අභියෝග සමඟ කටයුතු කරන විට ගෑස් matrices හෝ Ultra-low සඳහා ඉලක්ක කරන විට හඳුනාගැනීමේ සීමාවන්. ඒ ගෑස් හුවමාරු උපාංගය, සමහර විට matrix තුරන් කිරීමේ පද්ධතියක් ලෙස හඳුන්වනු ලැබේ, අත්‍යවශ්‍යයෙන්ම ක්‍රියා කරන්නේ තොග තෝරාගෙන ඉවත් කිරීමෙනි ගෑස් (හි ප්‍රධාන අංගය නියැදි වායුව) අවධානය යොමු කරන අතරතුර අපිරිසිදුකම් සොයා ගන්න උනන්දුව. මෙම පූර්ව සාන්ද්‍රණ පියවර මගින් පසුකාලීන විශ්ලේෂණ ශිල්පීය ක්‍රමවල සංවේදීතාව නාටකාකාර ලෙස වැඩිදියුණු කළ හැක. ICP-MS හෝ ගෑස් වර්ණදේහය පද්ධති.

බොහෝ දේ පිටුපස ඇති මූලධර්මය ගෑස් හුවමාරු උපකරණ අර්ධ-පාරගම්‍ය පටලයක් හෝ තෝරාගත් adsorption/desorption යාන්ත්‍රණයක් ඇතුළත් වේ. උදාහරණයක් ලෙස, a වෙතින් හයිඩ්‍රජන් වරණයෙන් ඉවත් කිරීමට පැලේඩියම් පටලයක් භාවිතා කළ හැක ගෑස් මිශ්රණය, වෙනත් ඉඩ ලබා දීම වායුවල අපිරිසිදුකම සාන්ද්රණය කර සම්මත කිරීමට a අනාවරකය. ඒ හා සමානව, නිශ්චිත adsorbent ද්රව්ය සමහර උගුලට හසු විය හැක අපිරිසිදුකම් ගලා යාමකින් ගෑස් ප්‍රවාහය, පසුව පිරිසිදු කුඩා පරිමාවකින් තාපයෙන් ඉවත් කළ හැක වාහක වායුව විශ්ලේෂණය සඳහා. තොග ප්‍රමාණය අඩු කිරීමෙන් ගෑස් වෙත ළඟා වේ අනාවරකය, මෙම උපාංග matrix මැදිහත්වීම් අවම කරයි, පසුබිම් ශබ්දය අඩු කරයි, සහ ඉලක්කය සඳහා සංඥා-ශබ්ද අනුපාතය ඵලදායී ලෙස වැඩි කරයි. අපිරිසිදුකම් සොයා ගන්න. මෙය පහත වැටීමට හේතු විය හැක හඳුනාගැනීමේ සීමාව.

හි ප්රතිලාභ ගෑස් හුවමාරු උපාංගයක් භාවිතා කිරීම විශ්ලේෂණය කිරීමේදී විශේෂයෙන් පැහැදිලි වේ ඉලෙක්ට්රොනික් වල අපිරිසිදුකම් සෘජුව හැසිරවීමට අපහසු හෝ විශ්ලේෂණාත්මක උපකරණවල සැලකිය යුතු මැදිහත්වීමක් ඇති කරන වායූන්. උදාහරණයක් ලෙස, ඉහළ ප්‍රතික්‍රියාකාරකයක හෝඩුවාවක් ඔක්සිජන් හෝ තෙතමනය මැනීමට උත්සාහ කරන විට විශේෂිත වායුව, ඒ ගෑස් හුවමාරු උපාංගය මේවා වෙන් කළ හැකිය අපිරිසිදුකම් වඩාත් හිතකර බවට වාහක වායුව වගේ ආගන් හෝ හීලියම් වෙත ළඟා වීමට පෙර අනාවරකය. මෙය නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කරනවා පමණක් නොව සංවේදී විශ්ලේෂණ සංරචක ආරක්ෂා කිරීමටද හැකිය. නිෂ්පාදකයෙකු ලෙස 99.999% සංශුද්ධතාවය 50L Cylinder Xenon Gas, ව්‍යතිරේක සත්‍යාපනය කිරීමේදී එවැනි උසස් තාක්ෂණික ක්‍රමවල වටිනාකම අපි තේරුම් ගනිමු පිරිසිදුකම දුර්ලභ සහ විශේෂ වායු. මෙම තාක්ෂණය විවේචනාත්මකව උපකාරී වේ ගෑස් පිරිසිදු කිරීම සහ තහවුරු කිරීමේ අදියර.

විවේචනාත්මක සබැඳිය: අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සෘජුවම භාවිතා කරන වායුවල අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය.

ද අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා සෘජුවම භාවිතා කරන වායු නිශ්පාදන ක්‍රියාවලියේ ජීව රුධිරය වේ. මේවාට ඇතුළත් වන්නේ හුදෙක් නොවේ තොග වායු නයිට්රජන් වැනි සහ ආගන්, නමුත් පුළුල් පරාසයක් ද ඇත ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු ආදි epitaxial වායු (උදා., වර්ධනය වන ස්ඵටික ස්ථර සඳහා සිලේන්, ජර්මන්) කැටයම් වායු (උදා., NF₃, SF₆, Cl₂ රටා සඳහා), අයන තැන්පත් වායු (උදා: ආසීන්, පොස්පයින්, මාත්‍රණය සඳහා බෝරෝන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ්) සහ තැන්පත් වායු. මේ එක් එක් සඳහා අවශ්ය වායු, පිළිගත හැකි මට්ටම සහ වර්ගය අපිරිසිදුකම ඕනෑම අපගමනය සෘජුවම දෝෂ බවට පරිවර්තනය කළ හැකි බැවින් දැඩි ලෙස අර්ථ දක්වා ඇත අර්ධ සන්නායක වේෆර්. මෙය කරයි අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය මේවා සඳහා ක්රියාවලිය වායු පරම තීරණාත්මක තත්ත්ව පාලන පියවරකි.

ට්‍රාන්සිස්ටරවල පොදු පරිවාරකයක් වන තුනී සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් ස්ථරයක් තැන්පත් වීම සලකා බලන්න. ඔක්සිජන් නම් ගෑස් භාවිතා වේ මෙම ක්රියාවලිය සඳහා හයිඩ්රොකාබන් අඩංගු වේ අපිරිසිදුකම්, කාබන් ඔක්සයිඩ් ස්ථරයට ඇතුළත් කළ හැකි අතර, එහි පරිවාරක ගුණ පිරිහීම සහ උපාංගයේ අසාර්ථකත්වයට හේතු විය හැක. ඒ හා සමානව, කැටයම් කිරීමක් නම් ගෑස් අනපේක්ෂිත එකක් අඩංගු වේ අපිරිසිදුකම, එය ඉතා විශාල, ඉතා කුඩා, හෝ වැරදි ලෙස හැඩගස්වා ඇති විශේෂාංගවලට මඟ පාදන එච්ච් අනුපාතය හෝ තේරීම වෙනස් කළ හැකිය. පවා අපිරිසිදුකම තුළ නිෂ්ක්රිය වායුව වගේ ආගන් ගෑස් සිලින්ඩරය ස්පුටර් කිරීම සඳහා භාවිතා කරන ලද වේෆර් මතුපිටට මාරු කළ හැකි අතර, එය චිත්රපටයේ ගුණාත්මක භාවයට බලපායි. ක බලපෑම අපිරිසිදුකම බොහෝ විට ක්‍රියාවලියට විශේෂිත වේ, එනම් an අපිරිසිදුකම එක් පියවරක් තුළ ඉවසා සිටීම විවේචනාත්මක විය හැකිය දූෂක තවත් එකක.

මෙම තීරණාත්මක සබැඳිය සඳහා පුළුල් ප්‍රවේශයක් අවශ්‍ය වේ අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය. එය අවසන් නිෂ්පාදනය පරීක්ෂා කිරීම පමණක් නොවේ; එයට අමුද්‍රව්‍ය, ක්‍රියාවලියේ ප්‍රවාහ සහ අවසාන නිරීක්ෂණ ඇතුළත් වේ ගෑස් පිරිසිදු කිරීමේ අදියර. සඳහා අර්ධ සන්නායක විශේෂත්වය වායු, සඳහා පිරිවිතර අර්ධ සන්නායකවල අපද්රව්ය යෙදුම් බොහෝ විට අතිශයින් දැඩි වන අතර, විශ්ලේෂණාත්මක හඳුනාගැනීමේ සීමාවන් තල්ලු කරයි. අපි අපගේ ගනුදෙනුකරුවන් සමඟ සමීපව කටයුතු කරමු අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ ඔවුන්ගේ විශේෂිත අවබෝධය සඳහා ක්ෂේත්රය අපිරිසිදුකම විවිධ සඳහා සංවේදීතාව වායූන් සහ වායු මිශ්රණ. මෙම සහයෝගී ප්‍රවේශය එය සහතික කිරීමට උපකාරී වේ සංශුද්ධතාවය විශේෂිත වායු අපි ඔවුන්ගේ උසස් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්ගේ ඉල්ලුමට සරිලන අවශ්‍යතා සපුරන්නෙමු. අභියෝගය වන්නේ a හඳුනාගැනීමයි පුළුල් පරාසයක අපද්රව්ය නිරන්තරයෙන් අඩු වන මට්ටම් වල.

රසායනාගාරයෙන් ඔබ්බට: දූෂණය වැලැක්වීම සඳහා අධි-පිරිසිදු අර්ධ සන්නායක වායු හැසිරවීම සඳහා හොඳම භාවිතයන්.

සහතික කිරීම ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායුවල සංශුද්ධතාවය විට අවසන් නොවේ ගෑස් අපගේ නිෂ්පාදන පහසුකම හැර යයි. ඒක නඩත්තු කරනවා පිරිසිදුකම a හි භාවිතා වන ස්ථානය දක්වාම අර්ධ සන්නායක fab හැසිරවීම, ගබඩා කිරීම සහ බෙදා හැරීම කෙරෙහි සියුම් අවධානයක් අවශ්‍ය වේ. ඉහළම පවා පිරිසිදු වායුව නිවැරදිව කළමනාකරණය නොකළහොත් දූෂිත විය හැක. Huazhong Gas හි අපි අවධානය යොමු කරන්නේ නිෂ්පාදනය කෙරෙහි පමණක් නොවේ ඉහළ පිරිසිදු වායු නමුත් පහළට වැලැක්වීම සඳහා හොඳම භාවිතයන් පිළිබඳව අපගේ ගනුදෙනුකරුවන්ට උපදෙස් දෙන්න දූෂණය වීම.

ප්රධාන හොඳම භාවිතයන් ඇතුළත් වේ:

• සංරචක තේරීම: ගෑස් බෙදාහැරීමේ පද්ධතියේ සියලුම සංරචක - ඇතුළුව ගෑස් සිලින්ඩර, නියාමකයින්, කපාට, නල සහ සවිකෘත - සුදුසු ද්‍රව්‍ය වලින් සෑදිය යුතුය (උදා: විද්‍යුත් පොලිෂ් කරන ලද මල නොබැඳෙන වානේ) සහ ඒ සඳහා විශේෂයෙන් පිරිසිදු කර සහතික කළ යුතුය. අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය (UHP) සේවාව. වැරදි ද්‍රව්‍ය භාවිතා කිරීම වායුව පිටතට යාමට හේතු විය හැක අපිරිසිදුකම් හෝ ඒ ලෝහමය අපිරිසිදුකම තුලට කාන්දු වීම ගෑස් ප්රවාහය.
• පද්ධති අඛණ්ඩතාව: ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධතිය කාන්දු නොවන විය යුතුය. කුඩා කාන්දුවීම් පවා වායුගෝලයට ඉඩ දිය හැකිය දූෂක ඔක්සිජන්, තෙතමනය, සහ අංශු පද්ධතියට ඇතුළු වීමට කාරණයක්, සම්මුතියක් ඇති කරයි වායු සංශුද්ධතාවය. නිතිපතා කාන්දුවීම් පරීක්ෂා කිරීම අත්යවශ්ය වේ.
• පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියා පටිපාටි: සම්බන්ධතාවයක් සිදු කරන විට හෝ සිලින්ඩරයක් වෙනස් කරන සෑම අවස්ථාවකම නිසි පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියා පටිපාටි ඉතා වැදගත් වේ. මෙයට a සමඟ රේඛා සේදීම ඇතුළත් වේ ඉහළ සංශුද්ධතාවය නිෂ්ක්රිය වායුව (වැනි ආගන් හෝ නයිට්‍රජන්) සිරවී ඇති වාතය ඉවත් කිරීමට හෝ අපිරිසිදුකම්. ප්‍රමාණවත් නොවන පිරිසිදු කිරීම පොදු ප්‍රභවයකි දූෂණය වීම. අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා අපි බොහෝ විට ස්වයංක්‍රීය පිරිසිදු කිරීමේ පැනල් නිර්දේශ කරමු.
• කැපවූ උපකරණ: විශේෂිත නියාමකයින් සහ රේඛා භාවිතා කිරීම වායූන් හෝ පවුල්වල වායූන් හරස් දූෂණය වළක්වා ගත හැකිය. අතර මාරු වන විට මෙය විශේෂයෙන් වැදගත් වේ නිෂ්ක්රිය වායුව සහ ප්රතික්රියාකාරකයක් හෝ විඛාදන වායුව.
• සිලින්ඩර හැසිරවීම: ගෑස් සිලින්ඩර හානි වළක්වා ගැනීම සඳහා ප්රවේශමෙන් හැසිරවිය යුතුය. ඒවා නම් කරන ලද, හොඳින් වාතාශ්‍රය ඇති ප්‍රදේශවල ගබඩා කළ යුතු අතර, "පළමුවෙන්, පළමුවෙන් පිටතට" ඉන්වෙන්ටරි කළමනාකරණය ප්‍රගුණ කළ යුතුය. භාවිතා කරමින් කැප වූ තෙතමනය සහ ඔක්සිජන් තීරනාත්මක ලක්ෂ්‍යවල විශ්ලේෂකයන්ට මෙම පොදු ඕනෑම ඇතුල්වීමක් නිරීක්ෂණය කිරීමට ද උපකාර කළ හැක අපිරිසිදුකම්.

මාර්ක් ෂෙන් වැනි පාරිභෝගිකයින්ට, නැවත විකිණීම සඳහා හෝ නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කිරීම සඳහා වායු ලබා ගැනීම සඳහා, මෙම හැසිරවීමේ පිළිවෙත් අවබෝධ කර ගැනීම ඉතා වැදගත් වේ. නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය ඔවුන් තමන්ගේම ගනුදෙනුකරුවන්ට පොරොන්දු වෙනවා. එය හවුල් වගකීමකි. අපි අපේ සහතිකය හයිඩ්රජන් සිලින්ඩරය නිෂ්පාදන, උදාහරණයක් ලෙස, වැළැක්වීම සඳහා පුරවා නඩත්තු කර ඇත අපිරිසිදුකම ඇතුල් වීම, නමුත් අවසාන පරිශීලක පද්ධතිය සමානව වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. එරෙහි සටන අපිරිසිදුකම නිෂ්පාදනයේ සිට යෙදුම දක්වා අඛණ්ඩ උත්සාහයකි.

පළිඟු බෝලය දෙස බැලීම: ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියේ වායු සඳහා අපිරිසිදු බව හඳුනාගැනීමේදී අපට අපේක්ෂා කළ හැකි අනාගත නවෝත්පාදන මොනවාද?

සදාතනිකව ඉහළට යන ගවේෂණය පිරිසිදුකම තුළ ඉලෙක්ට්රොනික ශ්රේණියේ වායු සහ වඩාත් සංවේදී අපිරිසිදුකම හඳුනාගැනීම ක්‍රම යනු නව්‍යකරණයේ නිර්දය වේගය විසින් මෙහෙයවනු ලබන අඛණ්ඩ ගමනකි අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය. උපාංගයේ විශේෂාංග නැනෝමීටර 10 ට වැඩි කලාපයට හැකිළෙන අතර නව ද්‍රව්‍ය සහ ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය (3D NAND සහ Gate-All-Around ට්‍රාන්සිස්ටර වැනි) මතුවන විට, ඊටත් වඩා දුර්වලතාවයේ බලපෑම අපිරිසිදුකම් සොයා ගන්න වඩාත් පැහැදිලිව පෙනෙනු ඇත. මේ දෙකෙහිම තවත් දියුණුවක් අවශ්‍ය වනු ඇත ගෑස් පිරිසිදු කිරීම තාක්ෂණයන් සහ අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය හැකියාවන්.

අපට ප්‍රවණතා කිහිපයක් අපේක්ෂා කළ හැකිය:

• පහළ හඳුනාගැනීමේ සීමාවන්: වැනි විශ්ලේෂණ ශිල්පීය ක්‍රම ICP-MS, Gas Chromatography-Mass Spectrometry (GC-MS), සහ Cavity Ring-Down Spectroscopy (CRDS) ඉදිරියට තල්ලු වෙමින් පරිණාමය වනු ඇත. හඳුනාගැනීමේ සීමාවන් පුළුල් සඳහා අපිරිසිදු පරාසය තනි ඉලක්කම් ppt මට්ටම් දක්වා හෝ ppq වසම වෙත පවා. මේ සඳහා අයන මූලාශ්‍ර, ස්කන්ධ විශ්ලේෂක සහ නවෝත්පාදන අවශ්‍ය වේ අනාවරකය තාක්ෂණය.
• ස්ථානීය සහ තත්‍ය කාලීන අධීක්‍ෂණය: නිරීක්ෂණය කළ හැකි විශ්ලේෂණ පද්ධති සඳහා වැඩි ඉල්ලුමක් පවතී වායු සංශුද්ධතාවය තත්‍ය කාලීනව, කෙලින්ම භාවිතා කරන ස්ථානයේ අර්ධ සන්නායක fab. මෙය ඕනෑම දෙයක් ක්ෂණිකව හඳුනා ගැනීමට ඉඩ සලසයි දූෂණය වීම සිදුවීම් හෝ ප්ලාවනය අපිරිසිදුකම මට්ටම්, වේගවත් නිවැරදි කිරීමේ ක්‍රියාමාර්ග සක්‍රීය කිරීම සහ නිෂ්පාදන අලාභය අවම කිරීම. කුඩා කළ සංවේදක සහ උසස් රසායනික ඇල්ගොරිතම මෙහි ප්‍රධාන කාර්යභාරයක් ඉටු කරනු ඇත.
• සංකීර්ණ වායු මිශ්රණ විශ්ලේෂණය: අනාගතය අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන් වඩාත් සංකීර්ණ විය හැක ගෑස් මිශ්රණ බහු ප්රතික්රියාකාරක සංරචක සමඟ. විශ්ලේෂණය කිරීම අපිරිසිදුකම් එවැනි අභියෝගාත්මක න්‍යාසයන් සඳහා නව විශ්ලේෂණාත්මක උපාය මාර්ග සහ නවීන දත්ත පරිවර්ථන මෙවලම් අවශ්‍ය වේ. මැනීමේ හැකියාව ඇ අපිරිසිදුකම අනෙක් අයගේ මැදිහත් වීමකින් තොරව එක් සංරචකයක් තුළ තීරණාත්මක වනු ඇත.
• "ඝාතකයා" අපද්‍රව්‍ය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන්න: නිශ්චිත හඳුනාගැනීම සඳහා පර්යේෂණ දිගටම කරගෙන යනු ඇත අර්ධ සන්නායකවල අපද්රව්ය උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වයට හෝ අස්වැන්නට අසමාන ලෙස විශාල බලපෑමක් ඇති කරන සැකසුම්, අතිශය අඩු මට්ටම්වලදී පවා. විශ්ලේෂණ ක්‍රම මෙම "ඝාතකයා" වෙත වඩාත් ඉලක්ක වනු ඇත. අපිරිසිදුකම්.
• දත්ත විශ්ලේෂණ සහ AI: උසස් විසින් ජනනය කරන ලද අතිවිශාල දත්ත ප්‍රමාණයක් අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය ප්‍රවණතා හඳුනා ගැනීමට, විභවය පුරෝකථනය කිරීමට AI සහ යන්ත්‍ර ඉගෙනීම භාවිතයෙන් පද්ධති ප්‍රයෝජනයට ගනු ඇත දූෂණය වීම ගැටළු, සහ ප්‍රශස්ත කරන්න ගෑස් පිරිසිදු කිරීම ක්රියාවලීන්. මෙය ප්‍රතික්‍රියාශීලී ගැටළු විසඳීමට වඩා ක්‍රියාශීලී තත්ත්ව පාලනයට උපකාරී වේ.

Huazhong Gas හි, මෙම වර්ධනයන්හි ඉදිරියෙන්ම සිටීමට අපි කැපවී සිටිමු. අපි අඛණ්ඩව පර්යේෂණ සහ සංවර්ධනය සඳහා ආයෝජනය කරන්නෙමු, විද්‍යාව දියුණු කිරීම සඳහා කර්මාන්ත හවුල්කරුවන් සහ අධ්‍යයන ආයතන සමඟ සහයෝගයෙන් කටයුතු කරන්නෙමු ඉහළ සංශුද්ධතාවය වායුව නිෂ්පාදනය සහ අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය. මාර්ක් ෂෙන් වැනි ගුණාත්මක භාවයෙන් යුත් අය ඇතුළුව අපගේ ගනුදෙනුකරුවන් සඳහා, මෙයින් අදහස් කරන්නේ විශ්වාසදායක සැපයුමකි ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු හි පරිණාමය වන අවශ්‍යතා සපුරාලන බව ඉලෙක්ට්රොනික හා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත. අපගේ පරාසය හීලියම්, එහි උදාසීනත්වය සහ විශේෂිත යෙදුම්වල භාවිතය සඳහා ප්‍රසිද්ධ, අවම සහතික කිරීම සඳහා මෙම උසස් විශ්ලේෂණ පරීක්ෂාවෙන් ද ප්‍රතිලාභ ලබයි අපිරිසිදුකම මට්ටම්.

මතක තබා ගත යුතු ප්‍රධාන කරුණු:

• ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු සඳහා මූලික වේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, සහ ඔවුන්ගේ පිරිසිදුකම සාකච්ඡා කළ නොහැකි ය.
• පවා අපිරිසිදුකම් සොයා ගන්න, ppb හෝ ppt වලින් මනිනු ලබන අතර, සැලකිය යුතු දෝෂ සහ අස්වැන්න අහිමි වීමට හේතු විය හැක අර්ධ සන්නායක උපාංග.
• පොදු වායුවල අපිරිසිදුකම වෙනත් වායූන් ඇතුළත් වේ (O₂, H₂O වැනි), ලෝහමය අපද්රව්ය, සහ අංශු කාරණය.
• ICP-MS a හඳුනාගැනීම සඳහා මූලික තාක්ෂණයකි පුළුල් පරාසයක අපද්රව්ය, විශේෂයෙන්ම ලෝහමය අපද්රව්ය, අතිශය අඩු මට්ටම් වල.
• නඩත්තු කරනවා වායු සංශුද්ධතාවය සිට සූක්ෂම ලෙස හැසිරවීම සහ පද්ධති අඛණ්ඩතාව අවශ්ය වේ ගෑස් සිලින්ඩරය වැළැක්වීම සඳහා භාවිතා කරන ස්ථානයට දූෂණය වීම.
• අනාගතය ඊටත් වඩා පහත වැටෙනු ඇත හඳුනාගැනීමේ සීමාවන්, තත්‍ය කාලීන අධීක්‍ෂණය, සහ AI මත ධාවනය වේ අපිරිසිදු විශ්ලේෂණය සඳහා ඉලෙක්ට්රොනික ශ්රේණියේ වායූන්.
• සෑම විභවයක්ම පාලනය කිරීම අපිරිසිදුකම සහතික කිරීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය සහ නවීන විශ්වසනීයත්වය ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ.