ඔබේ දුරකථනය, ඔබේ ලැප්ටොප් පරිගණකය, ඔබේ මෝටර් රථය පවා බලගන්වන කුඩා පරිගණක චිප්ස් ගැන සිතන්න. මෙම ඇදහිය නොහැකි තරම් සංකීර්ණ උපාංග අතිශය නිරවද්‍යතාවයකින් ගොඩනගා ඇති අතර, ඒවායේ නිෂ්පාදනයේ හදවතේ නිහඬ නමුත් අත්‍යවශ්‍ය බලයක් පවතී: විශේෂිත වායු. මෙම ලිපිය අර්ධ සන්නායකය තුළ මෙම අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා වායූන් ඉටු කරන තීරණාත්මක කාර්යභාරය ගවේෂණය කරයි. ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ කර්මාන්ත, ඒවායේ ගුණාත්මකභාවය ප්‍රමුඛ වන්නේ ඇයි සහ ඒවා සක්‍රීය කරන්නේ කෙසේද යන්න පැහැදිලි කිරීම නිශ්පාදනය අපි දිනපතා රඳා පවතින තාක්ෂණයෙන්. මේ ආකාරයට සිතන්න: මෙම වායු නවීන බවට පත් කරන රහස් අමුද්රව්ය වේ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ හැකි ඔවුන්ගේ වැදගත්කම අවබෝධ කර ගැනීම තාක්ෂණයේ අනාගතය අවබෝධ කර ගැනීම සඳහා ප්රධාන වේ.

විස්තර සොයා බැලීම: වායුවල වැදගත් කාර්යභාරය

මෙම එක් එක් ප්‍රශ්නය විස්තරාත්මකව ගවේෂණය කරමු.

1. වායුවක් "අර්ධ සන්නායක වායුවක්" හෝ "ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවක්" බවට පත් කරන්නේ කුමක් ද?

සියල්ලම නොවේ ගෑස් විශේෂයෙන්ම එය සියුම් ක්රියාවලියට පැමිණෙන විට සමාන ලෙස නිර්මාණය කර ඇත අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය. අර්ධ සන්නායක වායු, ලෙසද හැඳින්වේ ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු, සුවිශේෂී ලෙස ඉහළ මට්ටම් සතු පිරිසිදුකම. මෙයින් අදහස් කරන්නේ ඒවා සම්පූර්ණයෙන්ම පාහේ අපේක්ෂිත දේවලින් සමන්විත බවයි ගෑස්, අනෙකුත් ද්‍රව්‍යවල කුඩා ප්‍රමාණයන් සමඟ, බොහෝ විට මනිනු ලබන්නේ බිලියනයකට කොටස් වශයෙන් (ppb). මෙන් නොව තොග වායු වෙනත් කර්මාන්ත වල භාවිතා වේ, මේවා විශේෂිත වායු ඒවායේ නිශ්චිත රසායනික ගුණාංග සහ ඒවායේ නිශ්චිත කාර්යයන් ඉටු කිරීමට ඇති හැකියාව සඳහා නිර්මාණය කර ඇත නිශ්පාදනය සංකීර්ණ ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග. මේවා වායු භාවිතා වේ අමුද්රව්ය ලෙස පමණක් නොව, සංකීර්ණයේ ක්රියාකාරී සහභාගිවන්නන් ලෙස රසායනික ප්රතික්රියා හදනවා කියලා අර්ධ සන්නායක උපාංග.

හි නිර්වචන ලක්ෂණය ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු එහි පාලනය වේ පිරිසිදු ක්රියාවලිය වායු. මේවා වායූන් සහ වායු මිශ්රණ බොහෝ විට ප්රතික්රියාශීලී හෝ නිෂ්ක්රිය, ඔවුන්ගේ හැකියාව සඳහා ප්රවේශමෙන් තෝරා ඇත ආදිය, මාත්‍රාව, හෝ a මත නිශ්චිත ස්ථර සාදන්න සිලිකන් වේෆර්. උදාහරණයක් ලෙස, සමහරක් වායූන් තුනී පටල තැන්පත් කිරීමට භාවිතා කරයි (තැන්පත් වීම), අනෙක් ඒවා භාවිතා වේ ආදියඅනවශ්‍ය ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය. ද දැඩි හි අවශ්යතා ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තය ඉල්ලුම ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ සැපයුම් අවසාන තරඟයේ විශ්වසනීයත්වය සහ කාර්ය සාධනය සහතික කිරීම සඳහා ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග. පවතින විවිධත්වය තේරුම් ගැනීමට ඔබට අපගේ වායු පරාසය ගවේෂණය කළ හැකිය.

2. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන වායු සඳහා Ultra-High Purity ඉතා තීරණාත්මක වන්නේ ඇයි?

සෙලවෙන ගඩොල්වලින් අහස උසට ගොඩනැඟිල්ලක් සෑදීමට උත්සාහ කිරීම ගැන සිතන්න - එය සරලව ක්රියා නොකරනු ඇත. ඒ හා සමානව, ද නිශ්පාදනය හි අර්ධ සන්නායක චිප්ස් ඉල්ලීම් අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය. පවා හෝඩුවාවක් ප්රමාණ අපිරිසිදුකම තුළ භාවිතා කරන වායු ව්යසනකාරී ප්රතිවිපාක ඇති කළ හැකිය. මේවා අපිරිසිදුකම මූලද්රව්ය, වැනි ඔක්සිජන් සහ තෙතමනය, සියුම් දේට බාධා කළ හැකිය රසායනික ප්රතික්රියා අතරතුර අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, දෝෂ වලට තුඩු දෙන අතර අවසානයේ, අසාර්ථක වීම අර්ධ සන්නායක උපාංග.

ද සංශුද්ධතාවයේ මට්ටම සඳහා අවශ්ය වේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ වායූන් වේ ලෝකයේ වඩාත්ම දැඩි අතර. අපි කතා කරන්නේ අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය, දූෂක බිලියනයකට කොටස් පවා හානිකර විය හැක. උදාහරණයක් ලෙස, අනවශ්ය පැමිණීම අයනs හි විද්‍යුත් ගුණාංග වෙනස් කළ හැක සිලිකන්, විදැහුම්කරණය වේෆර් වැඩකට නැති. මේ නිසා සූක්ෂම තත්ත්ව පාලනය සහ උසස් පවිත්ර කිරීම ඕනෑම දෙයකට ශිල්පීය ක්‍රම අත්‍යවශ්‍ය වේ සැපයුම්කරු හි අර්ධ සන්නායක වායු. එය කේක් එකක් පිළිස්සීමක් මෙන් සිතන්න - වැරදි අමුද්‍රව්‍යයේ කුඩා ප්‍රමාණයක් පවා මුළු දේම විනාශ කළ හැකිය.

3. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වැඩ අශ්වයන් වන්නේ කුමන වායුද?

බොහෝ විට විශේෂිත වායු භූමිකාවක් ඉටු කරයි, සමහරක් අත්‍යවශ්‍ය වැඩ අශ්වයන් වේ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය. නයිට්රජන් ලෙස බහුලව භාවිතා වේ නිෂ්ක්රිය ගෑස් පාලිත වායුගෝලයක් නිර්මාණය කිරීම, අනවශ්ය දේ වළක්වා ගැනීම රසායනික ප්රතික්රියා. ආගන්, තවත් එකක් නිෂ්ක්රිය දුර්ලභ වායුව, මෙම පාලිත පරිසරයන් නිර්මාණය කිරීම සඳහා ද ඉතා වැදගත් වේ, විශේෂයෙන් ම ඉසීම සහ වෙනත් ය තැන්පත් වීම ක්රියාවලීන්. හයිඩ්රජන් අඩු කිරීම සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි ඔක්සයිඩ් ස්ථර සහ වාහකයක් ලෙස ගෑස්.

මේවායින් ඔබ්බට, ඔක්සිජන් සිලිකන් සෑදීම සඳහා ඔක්සිකරණ ක්රියාවලීන්හිදී භාවිතා වේ ඩයොක්සයිඩ්, වැදගත් පරිවාරක ද්රව්ය. කාබන්ඩයොක්සයිඩ් නිශ්චිතවම යෙදුම් සොයා ගනී ආදියක්රියාවලීන්. හීලියම්, තවත් එකක් දුර්ලභ වායුව, කාන්දු හඳුනාගැනීම සඳහා සහ ක්‍රයොජනික් සිසිලනකාරකයක් ලෙස භාවිතා කරයි. එක් එක් විශේෂිත ගුණාංග තේරුම් ගැනීම ගෑස් විවිධ අවධීන් ප්‍රශස්ත කිරීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය. විවිධ රැකියා සඳහා විවිධ මෙවලම් අවශ්‍ය වන්නා සේම, විවිධ වේ වායූන් චිපයක් සෑදීමේ විවිධ පියවර සඳහා අවශ්ය වේ. ඔබට අපගේ උසස් තත්ත්වය පිළිබඳ වැඩිදුර ඉගෙන ගත හැකිය නයිට්රජන් සිලින්ඩරය විකල්ප.

4. අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදන සඳහා හයිඩ්‍රජන් නිශ්චිතව භාවිතා කරන්නේ කෙසේද?

හයිඩ්රජන් බහුකාර්ය වේ ගෑස් තීරණාත්මක යෙදුම් කිහිපයක් සමඟ අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ නිෂ්පාදනය. එහි මූලික භාවිතයන්ගෙන් එකක් වන්නේ ලෝහ අඩු කිරීමයි ඔක්සයිඩ්s. සමහර අදියර තුළ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, අනවශ්ය ඔක්සයිඩ් මත ස්ථර සෑදිය හැක සිලිකන් වේෆර්. ඉහළ පිරිසිදුකම හයිඩ්රජන් සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කරමින් අඩු කිරීමේ කාරකයක් ලෙස ක්‍රියා කරයි ඔක්සයිඩ් එය ඉවත් කර පිරිසිදු කිරීමට සිලිකන් මතුපිට.

තවද, හයිඩ්රජන් වාහකයක් ලෙස නිතර භාවිතා වේ ගෑස් විවිධ දී තැන්පත් වීම ක්රියාවලීන්. එය වෙනත් ප්රතික්රියාකාරක ප්රවාහනය කිරීමට උපකාරී වේ වායූන් වෙත වේෆර් පාලිත ආකාරයකින් මතුපිට, ඒකාකාර පටල වර්ධනය සහතික කිරීම. තිරසාරභාවය කෙරෙහි වැඩි අවධානයක් යොමු කිරීම ද උනන්දුව වැඩි කරයි හරිත හයිඩ්රජන් මෙම යෙදුම් සඳහා. විසින් පිරිනමනු ලබන නිවැරදි පාලනය හයිඩ්රජන් මයික්‍රොචිප් වල සංකීර්ණ ව්‍යුහයන් නිර්මාණය කිරීමේදී එය අගනා මෙවලමක් බවට පත් කරයි. අපි විශ්වාසදායක ලෙස පිරිනමන්නෙමු හයිඩ්රජන් සිලින්ඩරය ඔබේ අවශ්යතා සඳහා විසඳුම්.

5. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීමේදී නයිට්‍රජන් ඉටු කරන කාර්යභාරය කුමක්ද?

නයිට්රජන් යනු සර්වසම්පූර්ණ හා අත්‍යවශ්‍ය දෙයකි ගෑස් තුළ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, මූලික වශයෙන් එහි හේතුවෙන් නිෂ්ක්රිය ස්වභාවය. වැනි ප්‍රතික්‍රියාශීලී මූලද්‍රව්‍ය වලින් තොර වායුගෝලයක් නිර්මාණය කිරීම සහ පවත්වාගෙන යාම එහි ප්‍රධාන කාර්යභාරයයි ඔක්සිජන් සහ තෙතමනය, සංවේදී දූෂිත විය හැක අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය සහ මැදිහත් වන්න රසායනික ප්රතික්රියා. නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය සඳහා ආරක්ෂිත බ්ලැන්කට්ටුවක් ලෙස සිතන්න.

විවිධ අදියරයන් හරහා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, ස්ඵටික වර්ධනයේ සිට වේෆර් සැකසීම සහ එකලස් කිරීම, නයිට්රජන් උපකරණ පිරිසිදු කිරීම, පිරිසිදු කාමර පරිසරයන් නිර්මාණය කිරීම සහ ඔක්සිකරණය වැළැක්වීම සඳහා භාවිතා වේ. මෙය අඩුපාඩු අවම කර ගැනීමට සහ අවසාන කොටසේ උසස් තත්ත්වයේ සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීමට උපකාරී වේ අර්ධ සන්නායක උපාංග. ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ ස්ථාවර සහ විශ්වාසනීය සැපයුම නයිට්රජන් සඳහා ප්රමුඛ වේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින්. අපගේ විවිධත්වය ගවේෂණය කරන්න නයිට්රජන් ඔබේ නිෂ්පාදනය සුමටව සිදු වන බව සහතික කිරීම සඳහා සැපයුම් විකල්ප.

6. අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලි වලදී ආගන් බොහෝ විට නිෂ්ක්‍රීය වායුවක් ලෙස ප්‍රිය කරන්නේ ඇයි?

සමානයි නයිට්රජන්, ආගන් උත්තමයෙකි ගෑස් ඒ නිසා රසායනිකව නිෂ්ක්රිය, පාලිත වායුගෝලය නිර්මාණය කිරීම සඳහා එය විශිෂ්ට තේරීමක් කරයි අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන්. අතර නයිට්රජන් බහුලව භාවිතා වේ, ආගන් විශේෂිත යෙදුම්වල යම් වාසි ලබා දෙයි. සාපේක්ෂව එහි ඉහළ පරමාණුක බර නයිට්රජන් අනවශ්ය ලෙස පැතිරීම වැළැක්වීම සඳහා එය වඩාත් ඵලදායී කරයි අපිරිසිදුකම පරමාණු.

ආගන් sputtering බහුලව භාවිතා වේ, a තැන්පත් වීම ඉලක්ක ද්රව්යයක් බෝම්බ හෙලන තාක්ෂණය අයනs, පරමාණු විමෝචනය කර තුනී පටලයක් ලෙස තැන්පත් කිරීමට හේතු වේ වේෆර්. එහි නිෂ්ක්‍රියතාවය ඉලක්ක ද්‍රව්‍ය හෝ තැන්පත් වූ පටලය සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කිරීමෙන් වළක්වයි. ආගන් ප්ලාස්මා වල ද භාවිතා වේ ආදියක්රියාවලීන්. කැමති නයිට්රජන්, ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ ස්ථාවර සැපයුමක් ආගන් හි අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය. අපගේ විශ්වාසවන්ත බව සලකන්න ආගන් ගෑස් සිලින්ඩරය ඔබේ පහසුකම සඳහා විකල්ප.

7. මූලික කරුණු වලින් ඔබ්බට: අත්‍යවශ්‍ය වෙනත් ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායු මොනවාද?

අතර හයිඩ්රජන්, නයිට්රජන්, සහ ආගන් පදනම් වේ, වෙනත් පරාසයක ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු විශේෂිත යෙදුම් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය. ෆොස්ෆින් යතුරකි dopant පොස්පරස් හඳුන්වාදීම සඳහා මූලාශ්රය සිලිකන්, එහි විද්යුත් සන්නායකතාව වෙනස් කිරීම. ඒ හා සමානව, arsine (ආසනික් අඩංගු) සහ diborane (අඩංගු බෝරෝන්) ලෙස භාවිතා වේ dopants.

හීලියම්, ආලෝකයක් දුර්ලභ වායුව, රික්ත පද්ධතිවල කාන්දුවීම් හඳුනාගැනීම සඳහා සහ එහි අඩු තාපාංකය හේතුවෙන් සිසිලන කාරකයක් ලෙස භාවිතා කරයි. ෆ්ලෝරීන්- අඩංගු වායූන්සල්ෆර් හෙක්සැෆ්ලෝරයිඩ් වැනි ප්ලාස්මා වල භාවිතා වේ ආදියing ද්‍රව්‍ය තෝරාගෙන ඉවත් කිරීමට ඇති හැකියාව හේතුවෙන්. නිශ්චිත සංයෝජනය වායූන් සහ වායු මිශ්රණ භාවිතා කරනුයේ නිරවද්‍යතාවය මත ය අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන් සම්බන්ධයි. අපි පුළුල් ලෙස පිරිනමන්නෙමු වායු පරාසය විවිධ නිෂ්පාදන අවශ්යතා සපුරාලීමට.

8. අර්ධ සන්නායක වායුවල ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහතික කරන දැඩි පියවර මොනවාද?

නඩත්තු කිරීම අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය හි අර්ධ සන්නායක වායු අතිශයින්ම සමග බහු-ස්ථර ප්රවේශයක් අවශ්ය වේ දැඩි නිෂ්පාදනයේ සිට බෙදා හැරීම දක්වා සෑම අදියරකදීම පියවර. පවිත්ර කිරීම ක්‍රියාවලි වලට ආසවනය, අවශෝෂණය, සහ පටල වෙන් කිරීම වැනි උසස් තාක්ෂණික ක්‍රම ඇතුළත් වේ. අපිරිසිදුකම. සූක්ෂම විශ්ලේෂකයs අඛණ්ඩව නිරීක්ෂණය කිරීමට භාවිතා කරයි වායු සංශුද්ධතාවය.

සිලින්ඩරයමේවා ගබඩා කිරීම සහ ප්‍රවාහනය කිරීම සඳහා භාවිතා වේ වායූන් දූෂණය වැලැක්වීම සඳහා දැඩි පිරිසිදු කිරීම සහ පරීක්ෂණ සිදු කරන්න. සැපයුම්කරුමෙම කර්මාන්තයේ s ඉහළම පිළිපැදිය යුතුය තත්ත්ව පාලනය ප්‍රමිති සහ බොහෝ විට මෙම ඉල්ලුම් කරන අවශ්‍යතා සපුරාලීමට ඇති හැකියාව පෙන්නුම් කරන සහතික පවත්වයි. සම්පූර්ණ සැපයුම් දාමය නිර්මාණය කර ඇත්තේ ඕනෑම දෙයක් හඳුන්වා දීමේ අවදානම අවම කිරීම සඳහා ය අපිරිසිදුකම මෙම විවේචනාත්මක ද්රව්ය වලට. නිෂ්පාදන රේඛා 7 කින් සමන්විත අපගේ කර්මාන්තශාලාව ඉහළම සංශුද්ධතාවය සහතික කරයි.

9. අර්ධ සන්නායක වායුවල අපිරිසිදුකම අවසාන ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදනයට බලපාන්නේ කෙසේද?

ඉතා සුළු ප්‍රමාණයක පවා බලපෑම අපිරිසිදුකම තුළ අර්ධ සන්නායක වායු සැලකිය යුතු විය හැකි අතර, අවසාන තරඟයේදී අඩුපාඩු හා කාර්ය සාධනය අඩු කරයි ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග. දූෂිත ද්රව්ය සියුම් කඩාකප්පල් කළ හැකිය රසායනික ප්රතික්රියා අතරතුර තැන්පත් වීම සහ ආදියing, ඒකාකාර නොවන ස්ථර හෝ අනවශ්‍ය කැටයම් වලට තුඩු දෙයි. අපිරිසිදුකම පරමාණු ද ඇතුළත් කළ හැක සිලිකන් දැලිස්, එහි විද්‍යුත් ගුණාංග වෙනස් කිරීම සහ උපාංග අසාර්ථක වීමට හේතු විය හැක.

අවසානයේ, අපිරිසිදුකම ක්රියාකාරී අස්වැන්න අඩු කළ හැකිය අර්ධ සන්නායක උපාංග, නිෂ්පාදන පිරිවැය වැඩි කිරීම, සහ අවසන් විශ්වසනීයත්වය සම්මුතියට පත් කිරීම ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ. මේ නිසා ය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය මත එතරම් දැඩි අවධාරණයක් තබයි වායු සංශුද්ධතාවය සහ සමීපව කටයුතු කරයි සැපයුම්කරුඅවශ්ය සහතික කළ හැකි s අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය. එක් දූවිලි අංශුවක් අන්වීක්ෂීය පරිපථයක් විනාශ කරන බව සිතන්න - අභියෝගයේ පරිමාණය එයයි.

10. ඉදිරි දැක්ම: අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික සඳහා වායුවල අනාගත ප්‍රවණතා මොනවාද?

ද අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය නිරන්තරයෙන් විකාශනය වන අතර, ඉල්ලීම් අර්ධ සන්නායක වායු ඒකත් එක්ක වෙනස් වෙනවා. ප්‍රවණතාවලට ඊටත් වඩා වැඩි ඉල්ලුමක් ඇතුළත් වේ පිරිසිදු වායු චිප්ස් වල විශේෂාංග ප්‍රමාණය හැකිලෙන බැවින්. නව සංවර්ධනය කෙරෙහි වැඩි අවධානයක් ද පවතී විශේෂිත වායු සහ වායු සහ මිශ්රණ උසස් නිෂ්පාදන ශිල්පීය ක්‍රම සඳහා වැඩි දියුණු කළ ගුණාංග සමඟ.

තිරසාරභාවය තවත් ප්‍රධාන ධාවකයක් වන අතර, උනන්දුව වැඩි කරයි හරිත හයිඩ්රජන් සහ අනෙකුත් පරිසර හිතකාමී වායූන්. දියුණු සංවර්ධනය විශ්ලේෂකය ඊටත් වඩා අඩු මට්ටම් හඳුනාගැනීමේ තාක්ෂණය අපිරිසිදුකම ද තීරණාත්මක වනු ඇත. හි අනාගතය ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ මෙම අත්‍යාවශ්‍ය නිෂ්පාදනයේ සහ හැසිරවීමේ ප්‍රගතිය සමඟ වෙන් කළ නොහැකි ලෙස බැඳී ඇත වායූන්.

ප්රධාන ප්රවේශයන්: අර්ධ සන්නායක වායු වල වැදගත්කම

• විශේෂිත වායු සමඟ අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය සඳහා අත්යවශ්ය වේ අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ නිෂ්පාදනය.
• පවා හෝඩුවාවක් ප්රමාණ අපිරිසිදුකම වල ගුණාත්මකභාවය සහ විශ්වසනීයත්වය කෙරෙහි දැඩි ලෙස බලපෑ හැකිය ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග.
• නයිට්රජන් සහ ආගන් නිර්මාණය කිරීම සඳහා තීරණාත්මක වේ නිෂ්ක්රිය වායුගෝලය, අතරතුර හයිඩ්රජන් අඩු කිරීම සහ වාහක යෙදුම් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
• වෙනත් පරාසයක් ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායු, වගේ පොස්ෆීන් සහ හීලියම්, විශේෂිත ක්රියාවලීන් සඳහා භාවිතා වේ.
• සහතික කිරීම සඳහා දැඩි ක්‍රියාමාර්ග ක්‍රියාත්මක වේ ඉහළ සංශුද්ධතාවය මේවායින් වායූන් සැපයුම් දාමය පුරා.
• හි අනාගතය ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තය අඛණ්ඩ නවෝත්පාදනය මත රඳා පවතී අර්ධ සන්නායක වායුව තාක්ෂණය.

විශ්වසනීයත්වය සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ සැපයුම් කාර්මික වායු, ඇතුළුව නයිට්රජන්, ආගන්, සහ හයිඩ්රජන්, අපව අමතන්න Huazhong Gas හි. ඔබට අපගේ පිරිනැමීම් ද ගවේෂණය කළ හැකිය අඩු උෂ්ණත්ව පරිවාරක ගෑස් සිලින්ඩරය සහ අපගේ පරාසය ආගන් ගෑස් සිලින්ඩරය.