Ny famokarana semiconductor dia miankina amin'ny gazy isan-karazany, izay azo sokajiana ho karazana telo telo: Gases be dia be, Gases manokana, ary gazy etching. Ireo entona ireo dia tsy tokony ho fahadiovana be loatra mba hisorohana ny fandotoana, izay mety hanimba ny fizotry ny lamba sy pitsiny.

Gases be dia be

Nitrogen (n₂):

Anrasitra: N₂ Manompo momba ny tanjona maro, anisan'izany ny efitrano fanadiovana ny fizahana fizahana ary manome rivo-piainana tsy misy fotony mandritra ny dingana isan-karazany amin'ny fanamboarana semiconductor.
Fanamarihana fanampiny: Ny azota azota dia matetika miasa amin'ny fitaterana ary fitahirizana ny silicon wasfers mba hampihenana ny oxidation. Ny natiora tsy ara-dalàna dia manome antoka fa tsy mihetsika amin'ny fitaovana hafa, izay mahatonga azy io ho tsara indrindra amin'ny fitazonana tontolo fanodinana madio.

Argon (ar):
Andraikitra: Ho fanampin'ny fandraisany anjara amin'ny fizotran'ny ranon-dra, Argon dia manan-kery amin'ny fizotran'ireo fizarana entona voafehy.
Fanamarihana fanampiny: Satria tsy mihetsika amin'ny ankamaroan'ny fitaovana, dia ampiasaina ihany koa i Argon, izay manampy amin'ny fametrahana ny sarimihetsika metaly na dielectric izay tsy maintsy tazonina tsy misy fandotoana.

Helium (he):
Andrasana: Ny fananana thermal thermal helium dia mahatonga azy ho sarobidy amin'ny hatsiaka sy ny fitazonana ny fiovan'ny mari-pana mandritra ny fizotran'ny reaktitive.
Fanamarihana fanampiny: Matetika ampiasaina amin'ny rafitra Laser avo lenta ho an'ny lithografika noho ny toetrany tsy mavitrika sy ny fahaizany mitazona ny lalana optika tsy misy fandotoana.

Hidrogen (h₂):
Andrasana: Ankoatry ny fampiharana azy ao an-tokotany, ny hydrogen dia manampy koa amin'ny fanadiovana ny velarantany ary afaka mandray anjara amin'ny fanehoan-kevitra simika mandritra ny epitaxika.
Fanamarihana fanampiny: Ny fampiasana ny hydrogen ao amin'ny fanilihana sarimihetsika manify dia ahafahana mifehy bebe kokoa amin'ny fifantohana lavitra amin'ny fitaovam-pitaterana amin'ny fitaovana Semiconductor, manova ny fananany herinaratra.

Gases sy dopants manokana

Silane (Sih₄):
Andraikitra: Ankoatra ny maha-mpiandraikitra ny fandroahana silika, i Silane dia mety ho polymerized ho filma mihetsika izay manatsara ny toetra elektronika.
Fanamarihana fanampiny: Ny fihemorana dia mitaky fitandremana amim-pitandremana noho ny ahiahy momba ny fiarovana, indrindra rehefa mifangaro amin'ny rivotra na oksizenina.

Amonia (Nh₃):
Andrasana: Ankoatry ny famokarana horonantsary nitride, i Ammonia dia manan-danja amin'ny famokarana sosona passivation izay manatsara ny fahatokisan'ny fitaovana semiconductor.
Fanamarihana fanampiny: afaka mandray anjara amin'ny fizotrany izay mitaky fampidirana azota any amin'ny silicon, fanatsarana ny fananana elektronika.

Phosphine (ph₃), arsine (ash₃), ary ny andilaney (b₂h₆):
Andraikona: Tsy dia ilaina fotsiny ny gazy ireo fa ny fitsikerana ihany koa amin'ny fanatanterahana ireo fitaovana elektrika tadiavina ao amin'ny fitaovana Semiconductor Advented.
Fanamarihana fanampiny: Ny fahaizany dia mila protocols fiarovana sy fanaraha-maso ireo rafitra fanaraha-maso ny tontolo iainana mba hanalefahana loza.

Etching sy fanadiovana entona

Fluorocarbons (cf₄, sf₆):
Andraikitra: Ireo entona ireo dia miasa amin'ny fizotran-damba maina, izay manolotra mialoha tsara raha oharina amin'ireo fomba fiasa mando.
Fanamarihana fanampiny: Ny CF₄ sy SF₆ dia manan-danja noho ny fahaizany manatsara ny fitaovana silika amin'ny fomba mahomby, mamela ny fanapahana modely tsara amin'ny fomba tsara amin'ny Microelectronics maoderina.

Klôro (clorine) sy fluoride hidrogen (HF):
Andrasana: Ny klômia dia manome fahaiza-manao mahery vaika, indrindra fa ny metaly, raha ny HF dia zava-dehibe amin'ny fanesorana ny diokside silika.
Fanamarihana fanampiny: Ny fitambaran'ny entona ireo dia mamela ny fanesorana sosona mahomby mandritra ny dingana fanodinana isan-karazany, miantoka ny fandehanana madio amin'ny dingana fanodinana manaraka.

Nitrogen trifluoride (nf₃):
Andrasana: Ny zava-dehibe dia ny fanadiovana ny tontolo iainana ao amin'ny rafitra CVD ao amin'ny CVD Systems, dia mamaly ireo voaloto mba hitazomana ny fampisehoana tsara.
Fanamarihana fanampiny: na dia eo aza ny ahiahy momba ny fahafaha-manao entona maintso, ny fahombiazan'ny NF₃ amin'ny fanadiovana dia manome safidy tsara indrindra amin'ny orinasa maro, na dia ny fampiasana azy aza dia mila fandinihana tsara ny tontolo iainana.

Oxygen (o₂):
Andraikitra: Ny fizotran'ny oxygen dia afaka mamorona sosona manan-danja amin'ny rafitry ny semiconductor.
Fanamarihana fanampiny: ny anjara asan'i Oxygen amin'ny fampitomboana ny fanangonam-bolo ny silika mba hamoronana sosona SIO₂ dia zava-dehibe ny fitokanana sy ny fiarovana ny singa amin'ny fizaran-tany.

Ny entona mipoitra ao amin'ny Semiconductor Manufacturing

Ho fanampin'ny entona nentim-paharazana voatanisa etsy ambony, ny entona hafa dia mihaino ao amin'ny fizotran'ny semiconductor, anisan'izany:

Karbonika karbonika (co₂): Ampiasaina amin'ny fampiharana fanadiovana sy ny fampifangaroana, indrindra ireo izay misy fitaovana mandroso.

Silicon dioksida (sio₂): Na dia tsy entona eo ambanin'ny toe-javatra mahazatra aza, ny endrika silika silika dia ampiasaina amin'ny fizotran'ny fandroahana sasantsasany.

Fandinihana ny tontolo iainana

Ny indostrian'ny semiconductor dia mihamalalaka hatrany amin'ny fampihenana ny fiantraikan'ny tontolo iainana mifandraika amin'ny fampiasana entona isan-karazany, indrindra fa ireo izay gazy lehibe. Izany dia nahatonga ny fampandrosoana ny rafitra fitantanana entona maoderina sy ny fitrandrahana entona hafa izay afaka manome tombony mitovy amin'ny dian-tongotra ambany kokoa.

Famaranana

Ny entona ampiasaina amin'ny fanamboarana semiconductor dia mitana andraikitra lehibe amin'ny fiantohana ny fitrandrahana sy ny fahombiazan'ny fizotran'ny lamba. Rehefa mandroso ny teknolojia, ny indostrian'ny semiconductor dia miezaka hatrany ny fanatsarana ny fahadiovan'ny entona sy ny fitantanana, ary koa ny fiahiahiana fiarovana sy tontolo iainana mifandray amin'ny fampiasana azy ireo.