Miaraka amin'ny fivoarana haingana ny indostrian'ny semiconductor manerantany, ny fizotran'ny famokarana chip dia niditra tanteraka tamin'ny vanim-potoana nanometer. Amin'ity dingana fanamboarana tena marina ity, ny fiovaovan'ny tontolo iainana na ny fahalotoana ara-materialy dia mety hitarika ho amin'ny famotehana ny ampahany manontolo amin'ny wafers. Noho izany, ny gazy elektronika manokana sy ny gazy indostrialy madiodio dia manana anjara toerana tsy azo soloina. Amin'izy ireo, argon rano madio madio dia lasa fitaovana ilaina ilaina amin'ny fampandehanana ny semiconductor fabs isan'andro noho ny tsy fahampian'ny simika farany sy ny fananana ara-batana tena tsara.

Ity lahatsoratra ity dia hamakafaka lalina ny fampiharana fototra amin'ny argon ranoka amin'ny fizotran'ny famokarana chip ary manome torolàlana momba ny fividianana matihanina ho an'ny ekipa famatsiana orinasa.

Fampiharana fototra: Nahoana no tsy azo sarahina amin'ny famokarana Semiconductor ny Argon Liquid?

Ao amin'ny dingana famokarana semiconductor Front-End-of-Line (FEOL), argon ranoka ho an'ny semiconductor dia ampiharina voalohany amin'ireto dingana fototra manaraka ireto izay mamaritra ny vokatra vokatra:

• Fihetsehana etona ara-batana (PVD) / Mitsimoka: Ny entona argon ultra-pure, noforonin'ny entona argon ranoka, no entona miasa mahazatra indrindra amin'ny fizotran'ny PVD sputtering. Ao amin'ny efi-trano banga, ny argon ion dia manafaingana amin'ny alalan'ny sahan-jiro mba hanapoahana baomba ny zavatra kendrena, ka mahatonga ny atôma kendrena hiala sy hametraka mitovy amin'ny ambonin'ny wafer mba hamorona metaly sarimihetsika. Ny fahadiovana avo dia fepetra takiana mba hiantohana ny hakitroky sy ny tsy fitoviana elektrika amin'ny sarimihetsika.
• 
  

• Atmosfera fiarovana tsy azo antoka tanteraka: Nandritra ny dingan'ny fisintonana ny silisiôma monocrystalline (toy ny fizotran'ny Czochralski) sy ny fizotry ny fanodinkodinana amin'ny hafanana, ny silisiôma dia mora mihetsika amin'ny oksizenina amin'ny hafanana avo. Noho izany, ny entona argon dia tsy maintsy ampidirina tsy tapaka mba hanoloana ny rivotra, manome tontolo iainana mitokana tanteraka amin'ny oksizenina sy ny hamandoana, ka miantoka ny fitomboan'ny kristaly silisiôma lattice.
• 
  
• Teknolojia fanadiovana Cryogenics sy Wafer: Amin'ny dingana mandroso toy ny litografika Extreme Ultraviolet (EUV), ny toetra faran'izay ambany amin'ny mari-pana amin'ny argon ranoka (teboka mangotraka -186 ° C) indraindray dia ampiharina amin'ny rafitra fampangatsiahana ny fitaovana tsara. Amin'izay fotoana izay ihany koa, ny teknolojia aerosol argon dia ampiasaina amin'ny fanadiovana mikraoba ara-batana amin'ny nanometer amin'ny tampon'ny wafer, izay mety hanala tsy misy poizina kely.
• 
  

Ny kalitao dia mamaritra ny vokatra: Ny fenitra henjana momba ny argon ranon-javatra madio indrindra

Ny fepetra takian'ny indostrian'ny semiconductor amin'ny akora fototra dia tena henjana. Ny argon ranoka indostrialy mahazatra dia matetika mila mahatratra ny fahadiovan'ny 99.9% na 99.99%, saingy tsy mahafeno ny filan'ny famokarana chip izany. Fa argon ranon-javatra mahafeno fepetra, ny fahadiovan'ny baseline dia takiana amin'ny ankapobeny mba hahatratra 99.999% (5N), ary amin'ny node mandroso, dia mila mahatratra 99.9999% (6N) na ambony aza.

Ny tena zava-dehibe dia ny fifehezana ny loto. Ny votoatin'ny oksizenina, ny azota, ny hamandoana, ny hydrocarbon total (THC), ary ny ion metaly trace dia tsy maintsy fehezina amin'ny haavon'ny ppb (ampahany isaky ny miliara) na ppt (ampahany isaky ny trillion). Na dia mifangaro ao anaty fantsona entona aza ny habetsan'ny loto ao anatin'ny minitra iray, dia hiteraka fahasimbana madinika eo amin'ny eny ambonin'ny wafer izany, ka mahatonga ny fikorotanana fohy na ny fivoahana amin'izao fotoana izao, misintona mivantana ny tahan'ny vokatra ary mitondra fatiantoka ara-toekarena goavana.

Torolàlana momba ny fividianana: Ahoana ny fanombanana sy fifantenana mpamatsy Argon ranoka matihanina?

Raha jerena ny andraikitry ny entona madio indrindra amin'ny fampandehanana ny tsipika famokarana, ny fitadiavana sy ny fiarovana ny mpamatsy argon ranon-javatra mahafeno fepetra sy mahay dia asa fototra ho an'ny ekipan'ny famatsiana sy famatsiana. Rehefa manombatombana ireo mpamatsy mety dia aroso ny hifantoka amin'ireto lafiny telo ireto:

Fanaraha-maso kalitao henjana sy fahaiza-manao fitiliana: Ny mpamatsy tena tsara dia tsy maintsy manana fitaovana famakafakana trace ambony toy ny Gas Chromatographs (GC) sy Mass Spectrometers (MS). Tsy maintsy afaka manome COA (Certificate of Analysis) amin'ny antsipiriany ho an'ny andiany tsirairay izy ireo mba hiantohana ny fahadiovana tanteraka eo amin'ny fanaterana.

Faharetan'ny rojo famatsiana matanjaka sy fitoniana fanaterana: Matetika ny Fabs dia miasa 24/7/365, ary lafo be ny vidin'ny ora fiatoana. Noho izany, ny mpamatsy dia tsy maintsy manana fahaiza-manao fitahirizana ranon-javatra be dia be eo an-toerana, ny fiaramanidin'ny kamiao mpitatitra cryogenic azy manokana, ary drafi-pitantanana feno ho an'ny antoka famatsiana maika.

Kaontenera mandroso sy Teknolojia manohitra ny "fahalotoana faharoa": Na dia avo toy inona aza ny fahadiovan'ny entona dia tsy misy ilana azy raha voaloto mandritra ny fitaterana. Ny fifantohana dia tokony hifantoka amin'ny tanky fitahirizana cryogenic mpamatsy sy ny teknolojia fitsaboana rindrina anatiny (toy ny hoe efa nandalo fitsaboana Electropolishing / EP), ary koa ny Standard Operating Procedures (SOP) ho an'ny fanadiovana valva sy fantsona mandritra ny dingana famenoana sy famindrana, hiantohana fa ny fahadiovana avo dia azo alefa mivantana avy amin'ny orinasa mankany amin'ny terminal mpanjifa.

Famaranana

Eo ambanin'ny fandrosoana mitohy amin'ny Lalàn'i Moore, ny argon rano madio madio dia tsy azo ampiasaina fotsiny, fa koa "escort tsy hita maso" ho an'ny fizotran'ny semiconductor mandroso. Fanombanana sy fifantenana ara-tsiansa sy henjana a mpamatsy argon ranoka miaraka amin'ny tanjaka feno mba hiantohana ny famatsiana argon ranon-javatra avo lenta sy maharitra ho an'ny semiconductor dia vato fehizoro ho an'ny orinasa mpamokatra semiconductor rehetra mba hanatsarana ny vokatra sy handresy amin'ny fifaninanana tsena manerantany.