Ammonia (Nh₃), ho toy ny rariny ara-pahasalamana simika iray, dia miparitaka be amin'ny sehatra indostria isan-karazany, miaraka amin'ny andraikiny manokana amin'ny fanamboarana semiconductor. Ny Ammonia dia manana anjara toerana lehibe amin'ny dingana maromaro amin'ny famokarana semiconductor, ao anatin'izany ny fandroahana ny nitres, ion implantation ary ny doping, ny fanadiovana ary ny fizotran-javatra, ary ny fanadiovana, ary ny fizotry ny fanadiovana, ary ny fizotry ny fanadiovana, ary ny fizotry ny fanadiovana, ary ny fanadiovana, ary ny fanadiovana, ary ny fanadiovana, ary ny fanadiovana, ary ny fanadiovana, ary ny fanadiovana, ary ny fanadiovana, ary ny fanadiovana ary ny fanadiovana ary ny fanadiovana ary ny fanadiovana ary ny fanadiovana ary ny fizotran-javatra. Ity lahatsoratra ity dia hodinihin'ireo indostrian'ny Amoniana ao amin'ny indostrian'ny Semiconductor, ny famakafakana ny anjara toerany manan-danja amin'ny fanatsarana ny fampandehanana fitaovana, ny fampihenana ny vidiny, ary ny fanavaozana indostria iray, raha miresaka momba ny firongatry ny fampandrosoana azy sy ny firoboroboana kosa izy io.

1. Ny fananana fototra sy ny fihetsika simika ao Ammonia

Ammonia dia fitambaran-jaton'ny azota sy ny hidrogen sy ny hidrogen, izay fantatra amin'ny alkalinité mahery ary matetika hita ao amin'ny famokarana nitrogen zezika indostrialy. Ny ammonia dia misy toy ny entona amin'ny mari-pana amin'ny mari-pana fa mety ho milentika amin'ny hafanana ambany, ka mahatonga azy ho loharano entona be dia be. Ao amin'ny indostrian'ny semiconductor, ny fananana simika ao amin'ny Amoniana dia manamboatra singa iray amin'ny fizotran'ny fizotran-javatra maro be, indrindra amin'ny fampandroana simika simika (CVD), Ion Implantation, ary ny fanadiovana / umplantation / etching asa.

Ny molekiola Amônia dia afaka mihetsika amin'ny metaly, silicon, ary fitaovana hafa mba hamolavolana narrides na hampiala azy ireo. Ireo fanehoan-kevitra ireo dia tsy fanampiana fotsiny amin'ny fananganana ireo fitaovana manify iriana fa manatsara ny fanatsarana herinaratra sy malefaka ary mekanika ireo fitaovana, ary mitabataba ny teknolojia semiconductor.

2. Ny fampiharana ny ammonia ao amin'ny Semiconductor Manufacturing

Ammonia dia manana anjara toerana lehibe amin'ny fanamboarana semiconductor, indrindra amin'ireo faritra manaraka ireto:

2.1 Fandroahana ny sarimihetsika manify narride

Amin'ny fanamboarana semiconductor maoderina, ny sarimihetsika manify, toy ny silicon Narride Mandritra ny fandroahana ireo sarimihetsika nitride ireo dia loharano nitrogen lehibe indrindra ireo Amona.

Ny fampandroana simika simika (CVD) dia iray amin'ireo fomba mahazatra indrindra amin'ny deposition NITRIDE. amoniaka mihetsika amin'ny entona toy ny silane (sih₄) amin'ny hafanana avo lenta ka hampihena sy hamorona ny sarimihetsika nitride silicon. Toy izao ny fanehoan-kevitra:

3Sih4 + 4nh3 → si3n4 + 12h2

Ity dingana ity dia miteraka ny fananganana takelaka NITRINIDE NITRIDE amin'ny silicon waffer. Ammonia dia manome loharanom-pitaovana maharitra ary mamela ny fifehezana tsara ny fanehoan-kevitra amin'ny loharanom-basy hafa ao anaty fepetra manokana, ary avy eo mifehy ny kalitao, ny hateviny ary ny fitoviana amin'ilay sarimihetsika.

Ny filma Nitride dia manana fitoniana tena tsara, ny insulasi elektrika, ary ny fanoherana ny oxidation, izay mahatonga azy ireo ho tena zava-dehibe amin'ny fanamboarana semiconductor. Izy ireo dia ampiasaina amin'ny faribolana mitambatra (ics) ho toy ny sosona, elektrôgy mitokana ary optical windows ao amin'ny fitaovana Optoelectronic.

2.2 Ion implantation sy doping

amoniaka Milalao ny anjara toerana lehibe amin'ny diplaing ny fitaovana semiconductor. Ny Doping dia teknika manan-danja ampiasaina amin'ny fifehezana ny herinaratra ny fitaovana amin'ny fitaovana ao anaty fanoratana ny fitaovana Semiconductor. Ammonia, ho loharanom-pahombiazana mahomby, dia matetika ampiasaina amin'ny entona hafa (toy ny phosphine ph₃ sy ny andilan-damba amin'ny akanjony ho toy ny silicon sy ny Gallium Arsenide (gaas) amin'ny alàlan'ny Ion IMPLANTION.

Ohatra, ny doping Nitrogen Doping dia afaka manitsy ny fananana elektrika amin'ny silicon mba hamoronana semiconductors n-type na p-type. Mandritra ny fizotran'ny fitrandrahana azota azota, dia manome loharanom-piofanana avo lenta i Ammonia, miantoka ny fifehezana tsara amin'ny fitrandrahana. Ity dia zava-dehibe amin'ny famokarana miniaturization sy famokarana fitaovana avo lenta amin'ny fanamboarana be dia be (VLSI).

2.3 Manadio sy manadio

Ny fanadiovana sy ny fanadiovana dia fanalahidy hiantohana ny kalitaon'ny fitaovana ao amin'ny fanamboarana semiconductor. Ammonia dia ampiasaina betsaka amin'ireto dingana ireto, indrindra amin'ny plasma etching sy fanadiovana simika.

Ao amin'ny Plasma Enching, i Ammonia dia afaka atambatra amin'ny gazy hafa (toy ny klôro, clor, cl₂) mba hanampy amin'ny fanesorana ireo klaminants organika, ny takelaka oxide, ary ny loto vy avy amin'ny hantsana. Ohatra, ny Amoniana dia naneho ny oksizenina mba hiteraka karazana oksizenina mavitrika (toy ny O₃ sy O₂), izay manaisotra amin'ny fomba mahomby amin'ny oxides sy ny fiantohana amin'ny dingana manaraka.

Ankoatr'izay, ny Amonia dia afaka mihetsika toy ny solika amin'ny fomba fanadiovana, manampy amin'ny fanesorana ireo ambiny vita amin'ny tadivavarana noho ny fanehoan-kevitra simika na ny fahavoazan'ny tsy fahaizany.

3. Ny tombony amin'ny Ammonia ao amin'ny indostrian'ny Semiconductor

Ammonia dia manolotra tombony maromaro amin'ny fanamboarana semiconductor, indrindra amin'ireto faritra manaraka ireto:

3.1 Loharano Nitrogen mahomby

Ammonia dia loharanom-pitaovana tsara sy madio izay manome atomina miorim-paka sy voafaritra tsara amin'ny atoms an'ny Nitroge Zava-dehibe ho an'ny fanoratana ny fitaovana micro- sy nano-scale amin'ny fanamboarana semiconductor. Amin'ny tranga maro, i Ammonia dia mavitrika kokoa sy fehezina kokoa noho ny entona loharanom-baovao Nitrogen (toy ny entona azota azota na nitrogen).

3.2 Ny fanaraha-maso tsara

Ny fihetsiky ny Amoniana dia mamela azy hamaritana tsara ny tahan'ny fihetseham-po sy ny hateviny amin'ny fomba maro samihafa. Amin'ny fanitsiana ny habetsaky ny fiakaran'ny fandehan-jotra, ny hafanana ary ny fotoam-pitsarana, dia azo atao tsara ny mifehy tsara ny hateviny, ny fitoviana ary ny toetran'ny sarimihetsika, ka manatsara ny fanatanterahana ny fitaovana.

3.3 Ny vidiny sy ny maha-namana ara-tontolo tontolo iainana

Raha ampitahaina amin'ny entona loharanom-baovao Nitrogen hafa, Ammonia dia ambany ary manana fahombiazana amin'ny fampiasana Nitrogen avo indrindra, ka tena mahasoa amin'ny famokarana semiconductor be dia be. Ankoatr'izay, ny fanodikodinana ammonia sy ny teknolojia indray dia lasa mandroso kokoa, mandray anjara amin'ny fisakaizan'ny tontolo iainana.

4. Ny fanamby fiarovana sy tontolo iainana

Na dia eo aza ny anjara toerany lehibe ao amin'ny fanamboarana semiconductor, ny Amoniana dia manolotra loza mety hitranga. Amin'ny mari-pana ao amin'ny efitrano, ny ammonia dia entona, ary amin'ny endriny ranon-javatra, dia tena maharary sy poizina ary mitaky refesina hentitra mandritra ny fampiasana.

1. Fitehirizana sy fitaterana: I Ammonia dia tokony hotehirizina amin'ny hafanana ambany sy ny fanerena avo, amin'ny fampiasana fitoeran-drano sy piparia manokana mba hisorohana ny leaks.
2. Fiarovana fiarovana: Ireo mpandraharaha ao amin'ny tsipika famokarana semiconductor dia mila manao fitaovana fiarovana, toy ny goggles, fonon-tanana ary saron-tava, mba hisorohana ny fiparitahan'ny Amonia.
3. Fitsaboana entona fako: Ny fampiasana ammonia dia mety hiteraka gazy manimba, ka ny rafitra fitsaboana fitsaboana entona mahomby dia tsy maintsy ho eo amin'ny toerany mba hahazoana antoka fa mivory ny fenitra tontolo iainana.

Raha mbola mandroso hatrany ny fizotran'ny famokarana semiconductor ary ny fangatahana fampisehoana fitaovana ambony dia hitombo ny anjara asan'ny Amonia. Tena marina izany indrindra amin'ny faribolana avo lenta an-tsokosoko an-tsokosoko, ny sombin-tsarimihetsika sy ny haino aman-jery mandroso. Ankoatr'izay, amin'ny maha-hentitra ny lalàna momba ny tontolo iainana, ny fampandrosoana ny famokarana ny famokarana maitso sy ny teknolojia fanodinana ho an'ny Ammonia dia ho zava-dehibe amin'ny hoavin'ny indostria.

Ny fampiharana an'i Ammonia ao amin'ny indostrian'ny Semiconductor dia manome fototra mafy orina ho an'ny fampandrosoana ny elektronika maoderina. Ny andraikiny amin'ny fanatsarana ny fahombiazan'ny famokarana famokarana, ny fampihenana ny vidin'ny famokarana ary ny fanavaozana ara-teknolojia dia tsy ilaina. Rehefa mandroso ny teknolojia, mbola hanitatra hatrany ny fangatahan'ny Amonia, ny fanampiana ny indostrian'ny semiconductor dia mivoatra mankany amin'ny fahombiazana sy ny faharetan'ny tontolo iainana.

amoniaka, amin'ny maha-zava-dehibe simika simika tena ilaina, dia manana anjara toerana manan-danja amin'ny fanamboarana semiconductor. Zava-dehibe ny fanilihana ny sarimihetsika Nitride, doping, ary ny fanadiovana / etching. Miaraka amin'ny fandrosoana hatrany ny teknolojia semiconductor, ny fampiharana an'i Ammonia dia napetraka, izay mandray anjara lehibe amin'ny fandrosoana ara-teknolojika ary manampy ny indostrian'ny semicondubtor dia mivoatra amin'ny lalana mahomby sy tsara kokoa amin'ny tontolo iainana.