Ny smartphone ao am-paosinao, ny solosaina eo amin'ny latabatrao, ny rafitra mandroso ao anaty kodiaranao - tsy misy na iray aza tsy misy asa mangina sy tsy hita maso amin'ny gazy manokana. Amin'ny maha-tompon'ny orinasa mpanao babo indostrialy, i Allen, dia nahita ny fomba namoronana ireo fitaovana kritika ireo. Ho an'ireo mpitarika ny raharaham-barotra toa an'i Mark Shen, izay mivezivezy ny rojo famatsiana manerantany, ny fahatakarana ireo gazy ireo dia fanalahidy hanokafana ny fotoana vaovao. Ity lahatsoratra ity dia torolàlana feno anao amin'ny iray amin'ireo mpilalao manan-danja indrindra amin'ity sehatra ity: Nitrogen trifluoride (nf₃). Hofehezinay io mahery io mandatsa-dranomaso, diniho ny anjara toerany lehibe ao amin'ny Semiconductor Fomba fanamboaranaary hazavao ny antony maha-zava-dehibe ny kalitao sy ny famatsiana azy manontolo Fanamboarana elektronika Indostria.

Inona marina ny entona nitrogen Trifluoride Nitrogen Trifluoride (NF₃)?

Tamin'ny voalohany, Nitrogen trifluoride, matetika antsoina hoe fomba simika azy Nf₃, mety ho toy ny indostria iray hafa ihany mandatsa-dranomaso. Tsy misy loko tsy misy loko, tsy misy afangaro, ary somary tsy misy fofona iombonana amin'ny. Na izany aza, eo amin'ny tontolon'ny Fanamboarana lalan-tany, ity mandatsa-dranomaso dia fitaovana avo lenta. Izy io dia vokarina synthetically iombonana amin'ny vita amin'ny atiny Nitrogen iray sy telo fluor atoms. Ny lakilen'ny heriny dia ao anatin'ity firafitra ity. Amin'ny mari-pana amin'ny efitrano, Nf₃ somary milamina ary inert, mampidi-doza ny fitaterana sy ny fitantanana raha ampitahaina amin'ny entona maro kokoa.

Mitranga ny ody rehefa ampiharina ny angovo. Eo ambanin'ny fepetra avo lenta ao anaty a semiconductor Fitaovana famokarana, toy ny RANON-DRA efi-trano, ny Nf₃ molekiola potipotika. Misaraka izy ireo ary mamoaka tena reactive fluor radical. Eritrereto ny fipoahana voafehy amin'ny haben'ny mikroskopika. Ireo maimaimpoana ireo fluor ny atom dia tena mahomby amin'ny fanehoan-kevitra sy manala ireo fitaovana tsy ilaina, indrindra silisiôma ary ny sombiny. Ity fahaizana ity dia azo tanterahina rehefa mila izany ary tena be loatra reactive Rehefa maniry ianao Gasikara nitrogen trifluoride fananana sarobidy iray ao amin'ny tontolon'ny Fanamboarana Chip Manufacturing.

Io toetra tsy manam-paharoa io dia ny antony Nf₃ dia nanjary vato fehizoro amin'ny maoderina Fanaovana semiconductor. Ny fahamarinan-toerana dia manome antoka ny fiarovana sy ny fahatokisana ao amin'ny rojo famatsiana, raha ny fihetsik'izy ireo dia manome ny fahaiza-manaon'ny fanadiovana sy ny fanadiovana avo lenta izay ilain'ny mpanolo-tsaina. Rehefa mandinika lalina kokoa isika dia ho hitanao hoe ahoana no fomba tsotra ity? mandatsa-dranomaso Mamela ny fananganana ireo fitaovana sarotra indrindra eto an-tany.

Fa maninona no misy gazy manokana ho an'ny indostrian'ny semiconductor?

Mba hahatakatra ny maha-zava-dehibe ny Nf₃, mila mankasitraka ny andraikitra lehibe kokoa isika Ilaina ny gazy Fa ao amin'ny Indostrian'ny semiconductor. Manamboatra an Circuit mitambatra dia toy ny fananganana skyscraper amin'ny kanvas ny haben'ny hajiao. Dia dingana iray hanampiana sy fanesorana ireo sosona tsy misy tonon-tsolika am-polony amin'ny a silisiôma mofo manify. Isaky ny dingana, avy amin'ny famoronana barazy mofo manify amin'ny sombintsombiny farany, miantehitra amin'ny rivo-piainana mifehy manokana Gazy elektronika.

Ireo entona ireo dia manao asa mafy be. Ny sasany, toa Argon SY hélium, dia ampiasaina ho toy ny gazy an-tsokosoko amin'ny alàlan'ny tontolo iainana tsy misy fepetra sy tsy mihetsika ary manalefaka ny entona mihetsiketsika kokoa. Ny hafa dia ampiasaina deposition, izay misy a mandatsa-dranomaso ampiasaina amin'ny petra-bola sarimihetsika manify amin'ny fitaovana mankany amin'ny mofo manify. Ohatra, amin'ny simika zavona Deposition (CVD), ny entona dia mihetsika mba hamolavola horonantsary matevina izay lasa ampahany amin'ny circuitry chip. Avy eo misy entona etching, toy ny Nf₃, izay ampiasaina hanamboarana fomba am-pahatsorana ireo lamina ireo ao amin'ireo sosona ireo, ka mamorona lalana hentitra ho an'ny herinaratra hikoriana.

Tsy misy lalandava, ultra-Ny fahadiovana avo famatsiana ireo entona isan-karazany ireo, ny iray manontolo Ny fizotry ny famokarana dia hirotsaka ho tapaka. Na minuscule aza fahalotoana ao a mandatsa-dranomaso mety hanimba ny andian-javamaniry iray manontolo ny andian-javamaniry iray, mandany vola an-tapitrisany dolara. Izany no antony Mpanamboatra Semiconductor tsy dia mahatalanjona ny kalitao sy ny fahatokisan'ny mpamatsy entona azy ireo. Ny fahadiovan'ny mandatsa-dranomaso mandika mivantana amin'ny kalitao sy Vokatra famokarana ny vokatra farany.

Ahoana ny fampiasana ny entona NF₃ amin'ny fizotran'ny famokarana semiconductor?

Nitrogen trifluoride manana roa voalohany, fampiharana mitsikera ao Semiconductor Fomba famokarana fizarana: Plasma etching sy efitrano fanadiovana efitrano. Samy ilaina ny mamorona microchips avo lenta, avy amin'ny mpizara mankany Fitadidy Flash.

Voalohany, andao isika hiresaka momba ny sekta. Aorian'ny sosona ara-batana silisiôma karbonika napetraka amin'ny a mofo manify, ny modely iray dia atolotra amin'ny fampiasana azy io. ny etch Ny dingana avy eo dia manaisotra ireo fitaovana avy amin'ireo faritra tsy voaro. Nf₃ ampidirina ao anaty efitrano iray ary averimberina hamorona a RANON-DRA-Misy rahona voampanga ion singa sy reactive fluor radical. Ireo radical radikaly ireo dia manapoaka ny mofo manify ny tany, ny fanehoan-kevitra amin'ny silisiôma ary mamadika azy ao anaty a gaseous iombonana amin'ny (silisiôma TetraAfluoride) izay mora fehezina avy ao amin'ny efi-trano. Ny fototry an'io fizotran-javatra io dia tsy misy dikany, mamela ny injeniera amin'ny endri-javatra misy sary izay misy enim-bolo mihoatra ny volon'olombelona.

Ny faharoa sy ny mahazatra, Fampiasana an'i Nitrogen Trifluoride dia toy ny Fanadiovana entona. Mandritra ny Fandroahana simika simika (CVD) Ny dingana, izay misy ny sarimihetsika manify dia maniry ao amin'ny mofo manify, ny fitaovana tsy tiana dia manorina amin'ny rindrina anatiny ao anaty efitrano fandraisam-bahiny. izany sisa tavela, matetika silisiôma na silicon Narride, dia tsy maintsy esorina tanteraka eo anelanelan'ny fanodinana tsirairay mofo manify na andevo. Raha tsy izany dia mety hiposaka ny fanamboarana sy hiparitaka amin'ny manaraka mofo manify, miteraka kilema. Eto, Nf₃ atsipy ao anaty efitrano fanao foana ary a RANON-DRA tsy azo tsinontsinoavina. Ny mahery fluor Mihorakoraka ny radia ny rindrina ao amin'ny rindrina madio, manova ny mafy orina sisa tavela ao a gaseous ateraky izay mora esorina mora. Ity tsingerin'ny fanadiovana ity dia mitsikera amin'ny fitazonana ny fahadiovan'ny tontolo famokarana sy ny fiantohana avo Vokatra famokarana.

Inona no mahatonga ny baomba fanadiovana tsara kokoa raha oharina amin'ny hafa?

Nandritra ny taona maro, ny Indostrian'ny semiconductor niantehitra tamin'ny perfluorocarbons (pfcs) toy ny karbônina tetrôbluoride (cf₄) sy hexafluoroethane (Cìf₆) amin'ny fanadiovana sy ny fahagagana. Mandritra ny mahomby, ireo scotund ireo dia niaraka tamin'ny hetsi-panoherana lehibe: ny gazy maotina be dia be izy ireo miaraka amin'ny androm-piainana malefaka lava. Ohatra, i C₂f₆ dia manana a Fahaiza-manaitra avo lenta (GWP) ary maharitra hatrany amin'ny habakabaka mandritra ny 10,000 taona. Raha nohamafisina ny lalàna momba ny tontolo iainana dia mila vahaolana tsara kokoa ny indostria.

Ity no misy Nf₃ nipoitra ho mpandresy mazava. raha Nitrogen trifluoride dia a Gazy goavana, dia misy ny andro mafana kokoa (manodidina ny 500 taona). Ny zava-dehibe kokoa dia mahomby kokoa amin'ny fomba fanadiovana. Ao anaty RANON-DRA efitrano, ny isan-jaton'ny maro kokoa Nf₃ Ny molekiola dia nirodana hamoaka ny fihetsik'izy ireo fluor raha oharina amin'ny pfcs. Midika izany fa kely kokoa unreakted mandatsa-dranomaso lany amin'ny efi-trano. ANKEHITRINY Fafatra Semiconductor mametraka ihany koa ny rafitra abatement (scrubders) izay manimba ny rehetra unreakted Nf₃ ary manimba ateraky gazy alohan'ny hamoahana azy ireo.

Ny fitambaran'ny fahombiazana avo kokoa sy ny fanitsakitsahana mahomby kokoa dia midika fa ny tena izy Fotoam-pandrosoana Greenhouse avy amin'ny fampiasana Nf₃ dia ambany noho ireo avy amin'ireo avy amin'ireo gazy pfc taloha. Ity fampisehoana ambony ity dia antony lehibe iray amin'ny fananganan'anaka miparitaka.

Inona no vokarin'i Nitrogen Trifluoride?

Amin'ny maha mpanamboatra azy, afaka milaza aminao aho fa mamokatra Nf₃ dia sarotra sy mifehy tena Ny fizotran'ny famokarana. Ny tanjona dia ny hamorona vokatra farany izay tsy madiodio matetika - matetika 99.999% fahadiovana na avo kokoa - satria ny kely indrindra aza fahalotoana mety ho loza mahatsiravina Famokarana Semiconductor. Ny dingana dia mitaky fahaiza-manao amin'ny fitantanana ny simika tena be dia be, indrindra fluor.

ny Nf₃ Production Matetika misy ny fanehoan-kevitra amoniaka (a iombonana amin'ny misy azota) na ammonium fluoride mifangaro amin'ny singa fluor entona ao anaty reactor amin'ny mari-pana avo. Ity fihetsika ity dia miteraka fangaro entona, ao anatin'izany Nf₃, fitaovana tsy miova ary isan-karazany. Ny tena fanamby, ary izay misy ny manam-pahaizana momba ny mpamatsy dia tena maneho, ao amin'ny fanadiovana dingana manaraka.

Ny raw gaseous mandalo maro ny fangaro fanadiovana dingana hanesorana ireo sôkôla tsy tiana. Matetika dia misy andiany maro be, adsorptionary ny fizotran'ny cryogen. ny Ny fizotran'ny distillation, indrindra indrindra, dia mampiasa hafanana tena ambany mba hampisarahana ireo gazy samihafa mifototra amin'ny heviny mangotraka, manala ny Nf₃ avy amin'ny loto rehetra sisa tavela. Ny dingana rehetra dia arahi-maso amin'ny fitaovana famakafakana mandroso mba hahazoana antoka fa ny vokatra farany dia mahafeno ny fepetra hentitra momba ny semiconductor Indostria. Ity fanoloran-tena momba ny fifehezana kalitao ity dia izay mampisaraka ny mpamatsy azo itokisana amin'ny ambiny.

Inona avy ireo filaminana sy fikarakarana ny entona NF₃?

Ny fiarovana dia laharam-pahamehana indrindra amin'ny indostria mandatsa-dranomaso Business. raha Nf₃ tsy azo tonon-kanina sy somary milamina amin'ny mari-pana amin'ny efitrano, dia mpandraharaha mahery vaika, indrindra amin'ny mari-pana avo kokoa. Midika izany fa afaka mihetsika mahery setra amin'ny fitaovana mirehitra ary mitaky fitantanana amim-pitandremana. Ny risika voalohany dia ny fombany; inhling ny mandatsa-dranomaso mety hanimba, ka ny fitrandrahana mety sy ny fitaovana fiarovana manokana dia ilaina amin'ny rehetra Toerana famokarana.

Ny rojo famatsiana manontolo, avy amin'ny orinasa ao amin'ny orinasa ho an'ny mpanjifa semiconductor fab, namboarina manodidina ny fiarovana. Nf₃ dia ampidirina ao amin'ny klioela vy manokana namboarina tamin'ny fanerena avo lenta. Ireo cylinders ireo dia miatrika fitsapana sy fanamarinana hentitra mba hahazoana antoka fa afaka misy ny mandatsa-dranomaso. Amin'ny maha mpamatsy azy, izahay dia manome takelaka fampahalalana momba ny fiarovana (SDS) amin'ny antsipirihany sy fampiofanana ireo mpanjifantsika amin'ny fitahirizana, fifandraisana ary fitantanana fomba. Anisan'izany ny torolàlana momba Mikoriana fanaraha-maso sy rafitra fanaraha-maso.

Ho an'ny tompon'ny orinasa dia toa an'i Mark, izay ny fiahiahiana lehibe dia ny rojo famatsiana malefaka sy azo itokisana, miara-miasa amin'ny mpamatsy izay manana rakitsoratra voaporofo fa zava-dehibe ny firaketana fiarovana. Ny fifandraisana tsy mahomby na ny tsy fisian'ny protocols azo antoka avy amin'ny mpamatsy dia saina mena lehibe. Izahay dia mirehareha amin'ny fanomezana fa tsy vokatra fotsiny, fa serivisy feno izay misy ny fanohanana lojika sy ny fiarovana ny fiarovana, ny fiantohana ny mandatsa-dranomaso tonga ary raikitra soa aman-tsara isaky ny dingana.

Mitrogen Trifluoride ve ny entona maitso? Fahatakarana ny fiantraikan'ny tontolo iainana.

Zava-dehibe ny mangarahara momba ny lafiny tontolo iainana Nf₃. Eny, Nitrogen trifluoride dia mahery Gasikara. Ny tontolon'ny intergovernmental amin'ny fiovan'ny toetr'andro (ipcc) dia nanisa fa manana hery manentana maneran-tany (GWP) an'arivony lehibe kokoa noho ny karbonina karbonika mihoatra ny 100 taona. Zava-misy izany fa ny indostria dia tena matotra.

Na izany aza, tsy mifarana ny tantara. ny fiatraikany amin'ny tontolo iainana Tsy miankina amin'ny mety ho an'ny entona fotsiny, fa ny hoe ohatrinona ny tena avoaka ao anaty habakabaka. Araka ny efa voalaza teo aloha, Nf₃ tena mahomby. Amin'ny maoderina semiconductor trano, ny ankamaroan'ny Gasikara nampiasaina dia levona na potika mandritra ny dingana famokarana. ny RANON-DRA manapotika azy, ary misy unreakted mandatsa-dranomaso Ny reraka dia alefa any amin'ny rafi-pandevenana. Ireo rafitra ireo dia tena mandaitra, matetika manimba ny 99% amin'ny sisa Nf₃.

Ny fifindran'ny indostria avy amin'ny PFC Nf₃, natambatra tamin'ny fampiasana ny haitao tsy misy teknolojia, dia nitarika ny fampihenana ny harato iray Fotoam-pandrosoana Greenhouse isaky ny andiany famokarana. tompon'andraikitra Mpanamboatra Semiconductor ary ny mpamatsy solika dia miara-miasa mba hiantohana fa mihalehibe ny famoahana. Tafiditra amin'izany ny fanokanana ny fomba fanadiovana mba hampiasa ny habetsaky ny kely indrindra mandatsa-dranomaso ilaina sy fitazonana ireo rafitra fanarenana ho an'ny fampisehoana tampoka. Koa, raha Nf₃ dia mahery Gasikara Ao amin'ny toerana misy laboratoara, ny dian-tongony tena izy Fanamboarana semiconductor tantanana tsara sy ambany noho ny safidy hafa nosoloany.

Inona ny anjara asan'ny tarika gas-site an-toerana ho an'ny fambolena semiconductor lehibe?

Ny maridrefy maoderina Fanamboarana semiconductor Mahagaga. Ny trano lehibe indrindra, fantatra amin'ny anarana hoe Mega-Fabs, dia mandany gasiana be dia be. Ho an'ny entona sasany, toy ny azota azota, dia mahomby kokoa ny mamokatra azy ireo mivantana amin'ny trano fa tsy kamiao amin'ny kamiao an'arivony. Io dia fantatra amin'ny eo an-toerana taranaka. Ho an'ny tena manam-pahaizana manokana sy mavitrika mandatsa-dranomaso TOY Nf₃, Modely iray somary samy hafa no mipoitra: eo an-toerana Fanadiovana sy famakafakana.

Raha feno Nf₃ Production amin'ny fab dia tsy fahita firy noho ny fahasarotany, ireo mpampiasa lehibe matetika dia matetika saro-pady eo an-toerana Rafitra fitantanana entona. Famatsiana marobe amin'ny Nf₃ dia atolotra amin'ny fab, ary avy eo ity rafitra ity dia manao dingana farany fanadiovana ary ny famakafakana mitohy mitohy eo alohan'ny mandatsa-dranomaso miditra amin'ny fitaovana famokarana lafo vidy. Izany dia manome fifehezana ny kalitao farany, miantoka fa misy zava-dratsy mety hitranga amin'ny tsipika famatsiana. Ity fomba fiasa ity dia mampifangaro ny tombontsoa ara-toekarena amin'ny fividianana be dia be amin'ny fahatokiana kalitao eo an-toerana Fitantanana.

Ny fahatakarana ireo modely mivoatra ireo dia zava-dehibe. Amin'ny maha mpamatsy azy, dia nanitatra ny serivisinay mihoatra ny famenoana cylinders izahay. Miara-miasa isika izao Mpanamboatra Semiconductor manerantany Mamolavola sy mampihatra ny vahaolana momba ny fandefasana entona sy ny fitantanana enti-mifehy. Mety ho voatokana ho an'ny fanoloran-tena izany tsipika famokarana fahaiza-manao ho an'ny mpanjifa lehibe, logistika manokana, na fampidirana azy ireo eo an-toerana Systems. Mikasika ny fanomezana rojo famatsiana mora sy azo itokisana izay mahafeno ny filàna mitaky Fanamboarana taonjato faha-21. Ity dia ampahany lehibe amin'ny paikaizantsika, indrindra fa rehefa manompo ny mpanjifa misy dikany lehibe fahaiza-manao famokarana.

Ahoana no fiantraikan'ny fahadiovan'ny NF₃ amin'ny famokarana ny famokarana chip?

Ao amin'ny semiconductor Izao tontolo izao, "ny" vokatra "dia ny zava-drehetra. Io no isan-jaton'ny tsara sy ny akorandriaka vokarina avy amin'ny iray silisiôma mofo manify. Ny vokatra avo dia midika hoe tombony be; Ny vokatra ambany dia mety hanimba ara-bola. Ny fahadiovan'ny gazy amin'ny fizotrany, indrindra fa ny reactive mandatsa-dranomaso TOY Nf₃, misy fiatraikany mivantana sy manaitra Vokatra famokarana.

Eritrereto ange fahalotoana Toy ny sombin-kibony bitika (h₂o) na iray hafa gaseous iombonana amin'ny mifangaro amin'ny Nf₃. Mandritra ny dingana saro-pady, izay fahalotoana afaka manelingelina ny fihetseham-po simika, ka mahatonga ny kilema mikroskopika ao amin'ny Circuitry Chip. Mety hanakana ny etch, avelao ny fitaovana tsy tokony hisy, na miteraka onja, manala baraka be loatra. Na izany na tsy izany, ny vokatr'izany Circuit mitambatra tsy hahomby ny fitsapana farany. Rehefa manao transistor an-tapitrisany ianao amin'ny sombintsombiny iray, na dia iray aza "mpamono olona" nateraky ny iray fahalotoana afaka manome ny sôkôlà iray manontolo.

Izany no antony mahatonga anay mampiditra vola be amin'ny fifehezana kalitao. Amin'ny fanomezana voamarina, ultra-Ny fahadiovana avo Nf₃, Matoky ny mpanjifantsika isika fa ny mandatsa-dranomaso tsy ho loharanom-pahalemana. Mifehy ny fifantohana amin'ny singa rehetra ao amin'ny faritra-paritra sy ny haavon-tapitrisany dia miantoka fa ny Ny fizotry ny famokarana dia maharitra sy averina. Ny dingana maharitra dia mitarika ho azo antoka sy avo Vokatra famokarana, izay no tanjona farany amin'ny tsirairay semiconductor Mpanamboatra. Ny asantsika amin'ny maha mpamatsy azy Ny gazy isan-karazany dia ny fanesorana ny variabes ary hanome vokatra tsy mahomby.

Inona no tokony hotadiavinao ao amin'ny mpamatsy Nitrogen Trifluoride?

Ho an'ny mpiasan'ny mpamatsy iray toa an'i Mark, misafidy ny mpamatsy mety ho an'ny zavatra kritika Nf₃ mandeha lavitra noho ny fampitahàna ny vidiny fotsiny. Ny loza ateraky ny fahatarana ny fiaraha-miasa ratsy, ny olana momba ny fandefasana kalitao, ny fifandraisana tsara, ny fifandraisana ratsy - dia avo loatra. Miorina amin'ny zavatra niainako, indreto ireo antony lehibe tokony hodinihina:

Kalitao voalohany sy fanamarinana ary fanamarinana. Ny mpamatsy azo itokisana dia hanome taratasy fanamarinana famakafakana (COA) miaraka amin'ny fandefasana rehetra, antsipirihany ny haavon'ny fahadiovana ary ny lisitry ny loto rehetra. Tokony ho vonona amin'ny fenitra iraisam-pirenena toa an'i Iso 9001 izy ireo. Manontania momba ny fahaizany famakafakana azy ireo. Manana fitaovana hamantarana ny fahalotoana amin'ny ambaratonga takiana semiconductor fampiharana?

Faharoa, famatsiana ny tombom-bavam-bokatra sy ny fangaraharana. Afaka manavaka tambajotra logistics robaust ve ny mpamatsy mba hisorohana ny fahatarana? Manana be dia be izy ireo fahaiza-manao famokarana hiantohana ny famatsiana maharitra? Ny serasera dia fanalahidy eto. Ny mpamatsy anao dia tokony ho mavitrika, manome fanavaozana amin'ny fandefasana entana ary mora vakiana hamaly ireo fanontaniana. Izany dia miresaka mivantana amin'ny fomba mampijaly ny fifandraisana tsy mahomby.

Farany, mitadiava fahaiza-manao teknika. Ny mpamatsy tsara dia tsy mivarotra vokatra fotsiny; Manome vahaolana izy ireo. Tokony ho takatr'izy ireo ny fangatahanao ary afaka manolotra fanohanana ara-teknika ianao. Tokony ho fantatra ny momba ny fiarovana, ny fitantanana ary na ny fitsipika momba ny tontolo iainana manodidina ny Fampiharana entona. Ny mpamatsy izay afaka miasa toy ny mpiara-miasa mahay dia tsy manan-danja kokoa noho ny iray izay mpivarotra fotsiny. Ity manam-pahaizana ity no fototry ny fifandraisana maharitra sy mahasoa. Miezaka ny ho mpiara-miasa ho an'ny mpanjifanay rehetra izahay, tsy manome fotsiny ny mandatsa-dranomaso fa ny fiadanan-tsaina izay miaraka aminy.

Fitaovana fanalahidy

• Fitaovana tena ilaina: Nitrogen trifluoride (nf₃) dia manam-pahaizana manokana mandatsa-dranomaso nampiasaina ho an'ny plasma etching sy ny fanadiovana efitrano ao amin'ny Semiconductor Fomba fanamboarana.
• Fampisehoana tsara kokoa: Nf₃ Mahasoa kokoa ary manana fiantraikany amin'ny tontolo iainana ambany kokoa noho ny entona PFC taloha izay nosoloany, noho ny habetsaky ny fampiasana avo sy ny rafitra fanodinana maoderina.
• Ny fahadiovana dia tombony: Ny fahadiovan'ny ultra-avo Nf₃ tsy azo resahina. Na ny loto mandavantaona aza dia mety hiteraka lesoka amin'ny a silisiôma mofo manify, mampihena fatratra ny Vokatra famokarana ary tombony amin'ny Fanamboarana Chip Manufacturing.
• Ny fiarovana sy ny fitantanana dia lakile: Raha maharitra, Nf₃ dia poizina sy oxidizing mandatsa-dranomaso Izany dia mitaky fitantanana manokana, cylinders voamarina ary ny fahatakarana lalina ny protocols fiarovana.
• Ny safidy mpamatsy dia zava-dehibe: Rehefa mifidy an Nf₃ Ny mpamatsy, dia laharam-pahamehana tsara toetra, ny famokarana ny hokarakaraka, ny fifampiraharahana amin'ny fifandraisana, ary ny fahaizana ara-teknika lalina kokoa.