Puslaidininkių pramonė

Integrinių grandynų/puslaidininkių klientams teikiame įvairias specialias dujas, reikalingas tokiems procesams kaip difuzija, litografija, nusodinimas, ėsdinimas, dopingas ir valymas.

Rekomenduojami produktai jūsų pramonei

Azoto trifluoridas

Cheminė reakcija tarp elektronų dujų ir ėsdinamo objekto reikalinga ėsdinimo pramoniniame procese. Plokščių gamybos ėsdinimo procese būtina naudoti elektronams būdingas dujas, kad būtų pašalinta išgraviruota dalis, kad būtų pasiektas kryptinio ėsdinimo tikslas.

Silanas

Puslaidininkių pramonėje silanas daugiausia naudojamas didelio grynumo polisilicio, silicio dioksido plėvelės, silicio nitrido plėvelės, polisilicio izoliacinio sluoksnio ir kt. gamybai, taip pat gali būti naudojamas saulės elementų, optinių skaidulų, fotoelektrinių jutiklių ir kt.

Dujų mišinys

Azoto oksidas, kaip elektronų dujos, daugiausia naudojamas dielektrinės plonos plėvelės procese puslaidininkinių optoelektroninių prietaisų kūrimui ir gamybai. Tai nepakeičiama pagrindinės koncepcijos dujos, kurios tiesiogiai veikia optoelektroninių prietaisų kokybę.