Skydų pramonė

Tobulėjant plokščiųjų ekranų technologijoms, klientams reikia daugiau specialių dujų ir susijusių profesinių žinių bei patirties. „Huazhong Gas“ teikia plokščiųjų ekranų klientams daugybę specialių dujų medžiagų, įskaitant dopingo, plėvelės nusodinimo, ėsdinimo ir kamerų valymo procesus.

Rekomenduojami produktai jūsų pramonei

Silanas

Elektroninės silano dujos daugiausia naudojamos gaminant TFT (plonos plėvelės tranzistorius) / LCD (skystųjų kristalų ekraną) ekranų skydų pramonėje ir nusodinant TFT arba LTPS substratus LCD ekranams.

Amoniakas

Kartu su silanu jis sudaro a-Si tranzistorių silicio nitrido sluoksnį.

Dujų mišinys

LTPS ir MOS tranzistorių gamyba padidino azoto oksido naudojimą. Vartojimo ir naudojimo MO gamyboje požiūriu, N2O pranoko NF3 ir tapo dažniausiai MO gamyboje naudojama elektronine medžiaga.

azoto trifluoridas

NF3 yra dažniausiai naudojama elektroninė medžiaga a-Si ir LTPS ekranų gamyboje ir daugiausia naudojama PECVD kameroms valyti.