ໂມເນຍ (NH₃), ເປັນສານເຄມີທີ່ສໍາຄັນ, ມີໂປແກຼມທີ່ກວ້າງຂວາງທົ່ວສະຫນາມອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆ, ໂດຍມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດ semiconductor. Ammonia ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຫຼາຍໆໄລຍະຂອງການຜະລິດ semiconductor, ລວມທັງການຝາກຂອງ nitrides, ການຝັງ, ການເຮັດຄວາມສະອາດ, ແລະການແກ້ໄຂ. ບົດຂຽນນີ້ຈະບໍ່ເຂົ້າໄປໃນແອັບພລິເຄຊັນຂອງ ammonia ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ການປ່ຽນແປງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການປັບປຸງ, ໃນຂະນະທີ່ສົນທະນາກ່ຽວກັບຄວາມທ້າທາຍທີ່ມັນປະເຊີນກັບແລະມີແນວໂນ້ມການພັດທະນາໃນອະນາຄົດ.

1. ຄຸນລັກສະນະພື້ນຖານແລະພຶດຕິກໍາທາງເຄມີຂອງອາໂມເນຍ

ອໍາໂມນແມ່ນປະສົມປະສານຂອງໄນໂຕຣເຈນແລະ hydrogen, ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການເປັນດ່າງທີ່ແຂງແຮງແລະມີຄວາມພົບກັນທົ່ວໄປໃນການຜະລິດທາດໄນໂຕຣເຈນທີ່ເປັນອຸດສາຫະກໍາ. Ammonia ມີອາຍແກັສຢູ່ໃນອຸນຫະພູມໃນຫ້ອງແຕ່ສາມາດລອກໄດ້ໃນອຸນຫະພູມຕໍ່າ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນແຫຼ່ງອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາສູງ. ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ຄຸນລັກສະນະຂອງສານອາໂມເນຍເຮັດໃຫ້ມັນເປັນສ່ວນປະກອບທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍ, ໂດຍສະເພາະການຝາກສານເຄມີ, ແລະການເຮັດຄວາມສະອາດ / ການດໍາເນີນງານ.

ໂມເລກຸນໂມດູນສາມາດຕອບໂຕ້ກັບໂລຫະປະເພດຕ່າງໆ, ຊິລິໂຄນ, ຊິລິໂຄນ, ແລະວັດສະດຸອື່ນໆເພື່ອປະກອບທາດໄນໂຕຣເຈນຫຼືເຮັດໃຫ້ພວກມັນລຸດລົງ. ປະຕິກິລິຍາເຫຼົ່ານີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ຊ່ວຍໃນການປະກອບເອກະສານຮູບເງົາບາງໆທີ່ຕ້ອງການເທົ່ານັ້ນແຕ່ຍັງປັບປຸງຄຸນລັກສະນະດ້ານໄຟຟ້າ, ຄວາມຮ້ອນ, ແລະກົນຈັກດ້ານເຕັກໂນໂລຢີ.

2. ການນໍາໃຊ້ອາໂມເນຍໃນການຜະລິດ semiconductor

Ammonia ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນຂົງເຂດຕໍ່ໄປນີ້:

2.1 ການຝາກຂອງຫນັງນ້ອຍ

ໃນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ, ຮູບເງົາບາງໆ nitride, ເຊັ່ນ: ນ້ໍາຊິລິໂຄນ (ແລະ titanium nitride (Tin), ໃນລະຫວ່າງການຝາກເງິນຂອງຫນັງ nitride ເຫຼົ່ານີ້, ອາໂມມອນເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນທາດໄນໂຕຣເຈນທີ່ສໍາຄັນ.

ເງິນຝາກ vapor ທາງເຄມີ (CVD) ແມ່ນຫນຶ່ງໃນວິທີການທົ່ວໄປທີ່ສຸດສໍາລັບການຝາກຫນັງ nitride. ອໍາໂມນ ປະຕິກິລິຍາກັບທາດອາຍຜິດເຊັ່ນ Silane (Sih₄) ໃນອຸນຫະພູມສູງໃນການເນົ່າເປື່ອຍແລະປະກອບຮູບເງົາຊິລິໂຄນຊິລິໂຄນ. ປະຕິກິລິຍາແມ່ນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

3sih4 + 4nh3 → si3n4 + 12h2

ຂະບວນການນີ້ສົ່ງຜົນໃຫ້ມີການສ້າງຕັ້ງສະລອຍນ້ໍາຊິລິໂຄນທີ່ເປັນເອກະພາບໃນພື້ນທີ່ເຮັດໃຫ້ຊິລິໂຄນ. Ammonia ໃຫ້ແຫຼ່ງໄນໂຕຣເຈນທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເຮັດໃຫ້ມີການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນກັບແຫຼ່ງອາຍແກັສອື່ນໆທີ່ຢູ່ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຕ່າງໆ, ຄວາມຫນາ, ແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຮູບເງົາ.

ຮູບເງົາ nitride ມີສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການຕິດກະແສໄຟຟ້າ, ແລະຕ້ານການຜຸພັງ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍໃນການຜະລິດ semiconductor. ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການປະສົມປະສານ (ICS) ເປັນຊັ້ນສນວນ, ຊັ້ນສະຫນັບສະຫນູນໄຟຟ້າ, ແລະປ່ອງຢ້ຽມ optical ໃນ optoelectronics.

2.2 ion implantation ແລະ doping

ອໍາໂມນ ນອກຈາກນີ້ຍັງມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການ doping ຂອງວັດສະດຸ semiconductor. Doping ແມ່ນເທັກນິກທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນການຄວບຄຸມການເຮັດກະແສໄຟຟ້າຂອງວັດສະດຸໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor. ອາໂມເນຍ, ເປັນແຫຼ່ງໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍສົມທົບກັບອາຍແກັສອື່ນໆ (ເຊັ່ນ: phosphine ph₃ແລະ dionenide (Gaas arsenide (Gaas) ຜ່ານ ion ion.

ຍົກຕົວຢ່າງ, nitrogen doping ສາມາດປັບຄຸນລັກສະນະຂອງໄຟຟ້າຂອງ Silicon ເພື່ອສ້າງ N-Type Semiconductors. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການນ້ໍາມັນໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີປະສິດຕິພາບ, Ammonia ໃຫ້ແຫຼ່ງໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຮັບປະກັນການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນ, ການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດ miniaturization ແລະການຜະລິດອຸປະກອນທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງໃນການຜະລິດທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ (VLSI).

2.3 ທໍາຄວາມສະອາດແລະ Etching

ຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດແລະ etching ແມ່ນກຸນແຈສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບດ້ານຂອງອຸປະກອນຕ່າງໆໃນການຜະລິດ semiconductor. Ammonia ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້, ໂດຍສະເພາະໃນການເຮັດຄວາມສະອາດຂອງ plasma ແລະການເຮັດດ້ວຍສານເຄມີ.

ໃນ Apsma, ammonia ສາມາດຖືກລວມເຂົ້າກັບທາດອາຍຜິດອື່ນໆ (ເຊັ່ນ: chlorine, cl₂) ເພື່ອຊ່ວຍກໍາຈັດຜູ້ປົນເປື້ອນອິນຊີ, ຊັ້ນຜຸພັງແລະແລະຄວາມບໍ່ສະອາດໂລຫະຈາກພື້ນຜິວ. ຍົກຕົວຢ່າງ, ອາໂມເນຍມີປະຕິກິລິຍາກັບອົກຊີເຈນທີ່ຈະສ້າງແນວພັນອົກຊີເຈນ (ເຊັ່ນO₃ແລະO₂), ເຊິ່ງກໍາຈັດຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຫນ້າແລະຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນຂະບວນການຕໍ່ໄປ.

ນອກຈາກນັ້ນ, Ammonia ສາມາດເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຕົວແກ້ໄຂໃນຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດ, ຊ່ວຍເອົາສິ່ງເສດເຫຼືອຂອງ Trace ໄດ້ສ້າງຂຶ້ນຍ້ອນຄວາມຜິດພາດທາງເຄມີຫຼືການຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງເຄື່ອງປະດັບ.

3. ຂໍ້ດີຂອງອາໂມເນຍໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor

Ammonia ສະເຫນີຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼາຍຢ່າງໃນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນຂົງເຂດຕໍ່ໄປນີ້:

3.1 ແຫຼ່ງໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີປະສິດທິພາບ

Ammonia ແມ່ນແຫຼ່ງໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະບໍລິສຸດທີ່ໃຫ້ການສະຫນອງທາດໄນໂຕຣເຈນທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຊັດເຈນແລະຊັດເຈນຂອງການຝາກຂອງ Nitr. ນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດຈຸລະພາກຂອງຈຸລະພາກແລະ Nano-Screen ໃນການຜະລິດ semiconductor. ໃນຫລາຍໆກໍລະນີ, ອາໂມເນຍແມ່ນມີປະຕິກິລິຍາແລະສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ຫຼາຍກ່ວາທາດອາຍພິດທີ່ໃຊ້ nitrogen ອື່ນໆ (ເຊັ່ນ: ນ້ໍາມັນໄນໂຕຣເຈນຫຼືໄນໂຕຣເຈນໄວ້).

3.2 ການຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ດີເລີດ

ການປະຕິກິລິຍາຂອງອາໂມໂນໂມນຊ່ວຍໃຫ້ມັນສາມາດຄວບຄຸມອັດຕາການຕິກິຣິຍາແລະຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາໄດ້ຢ່າງຊັດເຈນໃນບາງຂະບວນການທີ່ສັບສົນ. ໂດຍການປັບອັດຕາການໄຫຼຂອງອາໂມເນຍ, ອຸນຫະພູມ, ແລະເວລາຕິກິຣິຍາ, ມັນສາມາດຄວບຄຸມຄວາມຫນາ, ຄວາມຫນາ, ແລະສ່ວນຕົວຂອງໂຄງສ້າງຂອງຮູບເງົາ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງດີທີ່ຈະເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ.

3.3 ຄວາມເປັນຈິງແລະຄວາມເປັນມິດດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມ

ເມື່ອປຽບທຽບກັບທາດແຫຼວທີ່ໃຊ້ nitrogen ອື່ນໆ, ammonia ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງຕໍ່າແລະມີປະສິດທິພາບການນໍາໃຊ້ໄນໂຕຣເຈນສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນມີປະສິດຕິພາບສູງໃນການຜະລິດທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ການລີໄຊເຄີນ ammonia ແລະ Reuse ແມ່ນເພີ່ມຂື້ນເລື້ອຍໆ, ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນຄວາມເປັນມິດສະພາບສິ່ງແວດລ້ອມ.

4. ສິ່ງທ້າທາຍດ້ານຄວາມປອດໄພແລະສິ່ງແວດລ້ອມ

ເຖິງວ່າຈະມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, Amonia ສະເຫນີຄວາມອັນຕະລາຍທີ່ອາດເກີດຂື້ນ. ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ, ammonia ແມ່ນອາຍແກັສ, ແລະໃນຮູບແບບຂອງແຫຼວ, ມັນຖືກຕັດສູງແລະເປັນພິດ, ຕ້ອງການວັດແທກຄວາມປອດໄພໃນລະຫວ່າງການນໍາໃຊ້.

1. ການເກັບຮັກສາແລະການຂົນສົ່ງ: Ammonia ຕ້ອງໄດ້ເກັບຮັກສາໄວ້ໃນອຸນຫະພູມຕໍ່າແລະຄວາມກົດດັນສູງ, ໂດຍໃຊ້ຖັງແລະທໍ່ທີ່ຊ່ຽວຊານເພື່ອປ້ອງກັນການຮົ່ວໄຫລ.
2. ຄວາມປອດໄພໃນການດໍາເນີນງານ: ຜູ້ປະຕິບັດການໃນສາຍການຜະລິດ semiconductor ຕ້ອງການໃສ່ອຸປະກອນປ້ອງກັນ, ເຊັ່ນ: ແວ່ນຕາ, ຖົງມື, ແລະຫນ້າກາກອາຍແກັສ, ເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອາໂມເນຍສໍາຜັດກັບຮ່າງກາຍຂອງມະນຸດ.
3. ການຮັກສາອາຍແກັສເສຍສິ່ງເສດເຫຼືອ: ການນໍາໃຊ້ອາໂມເນຍອາດຈະຜະລິດອາຍແກັສສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ເປັນອັນຕະລາຍ, ສະນັ້ນລະບົບການປິ່ນປົວອາຍແກັສທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງເພື່ອຮັບປະກັນວ່າການປ່ອຍອາຍພິດສະເຫນີມາດຕະຖານສິ່ງແວດລ້ອມ.

ໃນຂະນະທີ່ຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ສືບຕໍ່ກ້າວຫນ້າແລະຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸປະກອນທີ່ສູງຂື້ນ, ບົດບາດຂອງ Amonia ໃນອຸດສະຫະກໍາຈະສືບຕໍ່ເຕີບໃຫຍ່. ນີ້ແມ່ນຄວາມຈິງໂດຍສະເພາະໃນວົງຈອນປະສົມປະສານທີ່ມີຄວາມຈໍາເປັນລະດັບສູງ, ການຄິດໄລ່ຄອມພິວເຕີ້ quantum, ແລະເຕັກໂນໂລຢີການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ກ້າວຫນ້າ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເປັນລະບຽບການສິ່ງແວດລ້ອມກາຍເປັນອຸປະຕິເຫດ, ການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີການຜະລິດສີຂຽວແກ່ສໍາລັບອາໂມນຽມຈະກາຍເປັນປັດໃຈທີ່ສໍາຄັນໃນອະນາຄົດຂອງອຸດສາຫະກໍາ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ Ammonia ໃນອຸດສະຫະກໍາ semiconductor ໃຫ້ພື້ນຖານທີ່ແຂງສໍາລັບການພັດທະນາເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ທັນສະໄຫມ. ພາລະບົດບາດຂອງມັນໃນການປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດແລະການຂັບຂີ່ເຕັກໂນໂລຢີເຕັກໂນໂລຢີແມ່ນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້. ໃນຖານະເປັນເຕັກໂນໂລຢີຄວາມກ້າວຫນ້າ, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງ Amonia ຈະສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍ, ຊ່ວຍອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ພັດທະນາໄປສູ່ປະສິດທິພາບຂອງສິ່ງແວດລ້ອມ.

ອໍາໂມນ, ເປັນສານເຄມີທີ່ສໍາຄັນ, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor. ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການຝາກຂອງ Nitr.ide Films, Doping, Doping, ແລະ Processes. ດ້ວຍຄວາມຄືບຫນ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງເຕັກໂນໂລຍີ Semiconductor ຂອງ semiconductor, ການສະຫມັກຂອງ Ammonia ແມ່ນກໍານົດໃຫ້ເຕີບໃຫຍ່, ມີການຊ່ວຍເຫຼືອດ້ານເຕັກນິກເຕັກໂນໂລຢີແລະການເປັນທາງທິດທາງທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງກວ່າເກົ່າແລະເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ