ໂທລະສັບສະຫຼາດໃນກະເປົາຂອງທ່ານ, ຄອມພິວເຕີຢູ່ເທິງໂຕະຂອງທ່ານ, ລະບົບທີ່ກ້າວຫນ້າໃນລົດຂອງທ່ານ, ບໍ່ມີຄວາມຫມາຍທີ່ງຽບສະຫງັດ, ເບິ່ງບໍ່ເຫັນຂອງທາດອາຍຜິດ. ໃນຖານະເປັນເຈົ້າຂອງໂຮງງານຜະລິດອາຍແກັສອຸດສາຫະກໍາ, ຂ້າພະເຈົ້າ, ໄດ້ເຫັນດ້ວຍຕົນເອງວ່າວັດສະດຸສໍາຄັນເຫຼົ່ານີ້ປະກອບເປັນ bedrock ຂອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມ. ສໍາລັບຜູ້ນໍາດ້ານທຸລະກິດຄືກັບ Mark Shen, ເຊິ່ງຄົ້ນຫາລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງໂລກສັບຊ້ອນທີ່ສັບສົນ, ເຂົ້າໃຈທາດອາຍຜິດເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນກຸນແຈໃນການປົດລັອກໂອກາດໃຫມ່. ບົດຂຽນນີ້ແມ່ນຄໍາແນະນໍາທີ່ສົມບູນແບບຂອງທ່ານກັບຫນຶ່ງໃນບັນດານັກຫຼີ້ນທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນພາກສະຫນາມນີ້: Nitrogen Trifluoride (NF₃). ພວກເຮົາຈະຍົກເລີກທີ່ມີພະລັງນີ້ ແກັສ, ຄົ້ນຫາບົດບາດທີ່ສໍາຄັນຂອງມັນໃນ ຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ແລະອະທິບາຍວ່າເປັນຫຍັງຄຸນນະພາບແລະການສະຫນອງຂອງມັນແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບທັງຫມົດ ການຜະລິດເອເລັກໂຕຣນິກ ອຸດສາຫະກໍາ.

ສິ່ງທີ່ແນ່ນອນແມ່ນທາດອາຍອາຍແກັສ (nf₃) ແມ່ນຫຍັງ?

ຢູ່ glance ທໍາອິດ, Titrogen Trifluoride, ມັກຈະຖືກເອີ້ນໂດຍສູດທາງເຄມີຂອງມັນ ລະດົມ, ອາດເບິ່ງຄືວ່າຄ້າຍຄືກັບອຸດສາຫະກໍາອື່ນ ແກັສ. ມັນເປັນສິ່ງທີ່ບໍ່ມີສີ, ບໍ່ມີສີ, ແລະມີກິ່ນທີ່ເປັນຫມີ່ທີ່ເປັນຫມັນເລັກນ້ອຍ ປະສົມ. ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ໃນໂລກຂອງ ການຜະລິດຂັ້ນສູງ, ນີ້ ແກັສ ແມ່ນເຄື່ອງມືທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ມັນແມ່ນຜະລິດຕະພັນທີ່ຖືກຜະລິດ ປະສົມ ເຮັດດ້ວຍຫນຶ່ງ nitrogen Atom ແລະສາມ fluorine ນ້ໍາ ອະຕອມ. ກຸນແຈສໍາຄັນຕໍ່ອໍານາດຂອງມັນແມ່ນຢູ່ໃນໂຄງສ້າງນີ້. ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ, ລະດົມ ແມ່ນຂ້ອນຂ້າງຫມັ້ນຄົງແລະ ບໍ່ແຮກ, ເຮັດໃຫ້ມັນປອດໄພໃນການຂົນສົ່ງແລະຈັບໄດ້ປຽບທຽບກັບທາດອາຍຜິດທີ່ມີການເຫນັງຕີງຫຼາຍ.

ເວດມົນເກີດຂື້ນເມື່ອພະລັງງານຖືກນໍາໃຊ້. ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ມີພະລັງງານສູງພາຍໃນກ semicondorctor ເຄື່ອງມືຜະລິດ, ເຊັ່ນ: ກ ແພັກໂຂ ສະພາ, ລະດົມ ໂມເລກຸນ ເນົ່າເປື່ອຍ. ພວກເຂົາແຍກອອກນອກແລະປ່ອຍສູງ reactive fluorine ນ້ໍາ ຮາກ. ຄິດວ່າມັນຄ້າຍຄືກັບການລະເບີດທີ່ຄວບຄຸມໃນລະດັບກ້ອງຈຸລະທັດ. ເຫຼົ່ານີ້ບໍ່ເສຍຄ່າ fluorine ນ້ໍາ ອະຕອມແມ່ນມີປະສິດຕິຜົນທີ່ບໍ່ຫນ້າເຊື່ອໃນການປະຕິກິລິຍາກັບແລະກໍາຈັດວັດສະດຸທີ່ບໍ່ຕ້ອງການໂດຍສະເພາະ ຊິລິກາ ແລະທາດປະສົມຂອງມັນ. ຄວາມສາມາດນີ້ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນເວລາທີ່ທ່ານຕ້ອງການແລະສູງ reactive ເມື່ອທ່ານຕ້ອງການມັນເຮັດ ອາຍແກັສ Titrogen Trifluoride ຊັບສິນທີ່ລ້ໍາຄ່າໃນໂລກທີ່ຊັດເຈນຂອງ ການຜະລິດຊິບ.

ທໍາມະຊາດສອງຢ່າງທີ່ເປັນເອກະລັກສະເພາະແມ່ນເປັນຫຍັງ ລະດົມ ໄດ້ກາຍເປັນພື້ນຖານທີ່ທັນສະໄຫມ ປະຊຸມຍ່ອຍ. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມັນຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງ, ໃນຂະນະທີ່ປະຕິກິລິຍາຂອງມັນໃຫ້ຄວາມສະອາດແລະຄວາມສາມາດດ້ານຄວາມສາມາດສູງທີ່ຜູ້ຜະລິດຕ້ອງການ. ດັ່ງທີ່ພວກເຮົາ delve ເລິກກວ່າ, ທ່ານຈະເຫັນວິທີການທີ່ງ່າຍດາຍນີ້ ແກັສ ເຮັດໃຫ້ການສ້າງອຸປະກອນທີ່ສັບສົນທີ່ສຸດໃນໂລກ.

ເປັນຫຍັງທາດອາຍທີ່ເປັນເອກະພາບພິເສດສໍາລັບອຸດສະຫະກໍາ semiconductor?

ເພື່ອເຂົ້າໃຈຄວາມສໍາຄັນຂອງ ລະດົມ, ກ່ອນອື່ນຫມົດພວກເຮົາຕ້ອງຮູ້ຄຸນຄ່າທີ່ກວ້າງຂວາງທີ່ ທາດອາຍຜິດແມ່ນຈໍາເປັນ ສໍາລັບໃນ ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ການຜະລິດກ ວົງຈອນປະສົມປະສານ ແມ່ນຄ້າຍຄືການກໍ່ສ້າງຕຶກອາຄານເທິງຜ້າໃບທີ່ມີຂະຫນາດຂອງຮູບນ້ອຍຂອງທ່ານ. ມັນເປັນຂະບວນການທີ່ຈະເພີ່ມແລະກໍາຈັດຊັ້ນຫນຶ່ງທີ່ສຸດຂອງວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃສ່ກ ຊິລິກາ Wafer. ທຸກໆບາດກ້າວ, ຈາກການສ້າງຄວາມເປົ່າ Wafer ເຖິງຊິບສຸດທ້າຍ, ອາໄສບັນຍາກາດທີ່ຄວບຄຸມຢ່າງລະມັດລະວັງຂອງຄວາມຊ່ຽວຊານ ທາດອາຍພິດອີເລັກໂທຣນິກ.

ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ປະຕິບັດຫນ້າທີ່ຫຼາຍຢ່າງ. ບາງຄົນ, ຄື ປະມາດ ແລະ ເຮື່ອເອກ, ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນອຸປະກອນ Carrier ທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດເພື່ອສ້າງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ບໍ່ຫມັ້ນຄົງ, ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາແລະເພື່ອລະລາຍອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຫຼາຍຂື້ນ. ຄົນອື່ນແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບ ເງິນຝາກ, ບ່ອນທີ່ ແກັສ ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອ ຝາກເງິນ ຮູບເງົາບາງໆຂອງວັດສະດຸໃສ່ Wafer. ຕົວຢ່າງ, ໃນສານເຄມີ ອາຍ ເງິນຝາກ (ປະຕິໄພ້ CVD), ທາດອາຍຜິດມີປະຕິກິລິຍາໃນການສ້າງຮູບເງົາທີ່ແຂງເຊິ່ງກາຍເປັນສ່ວນຫນຶ່ງຂອງວົງຈອນຂອງຊິບ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ມີທາດອາຍຜິດ, ຄື ລະດົມເຊິ່ງຖືກໃຊ້ເພື່ອໃຫ້ຊັດເຈນສະກັດຮູບແບບໃນຊັ້ນເຫຼົ່ານີ້, ສ້າງເສັ້ນທາງທີ່ສະຫຼັບຊັບຊ້ອນສໍາລັບກະແສໄຟຟ້າທີ່ຈະໄຫຼ.

ໂດຍບໍ່ມີຄົງທີ່, ultra-ຄວາມບໍລິສຸດ ການສະຫນອງອາຍແກັສຕ່າງໆເຫຼົ່ານີ້ທັງຫມົດ ຂະບວນການຜະລິດ ຈະ grind ກັບ halt ໄດ້. ເຖິງແມ່ນວ່າ minuscule ໄດ້ ມະລະ ໃນ ແກັສ ສາມາດທໍາລາຍກະເປົາທັງຫມົດ, ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການເປັນເງິນລ້ານໂດລາ. ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນ ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຢ່າງບໍ່ຫນ້າເຊື່ອກັບຄຸນນະພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຜູ້ສະຫນອງອາຍແກັສຂອງພວກເຂົາ. ຄວາມບໍລິສຸດຂອງ ແກັສ ແປໂດຍກົງກັບຄຸນນະພາບແລະ ຜົນຜະລິດການຜະລິດ ຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.

NF₃ອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນແນວໃດ?

Titrogen Trifluoride ມີສອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫລັກ, ສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນ ຂະບວນການຜະລິດ semiconductor: Plasma Etching ແລະທໍາຄວາມສະອາດຫ້ອງ. ທັງສອງແມ່ນສິ່ງທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການສ້າງ microchips ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ, ຈາກໂປເຊດເຊີໃຫ້ Nand Flash ຄວາມຊົງຈໍາ.

ຫນ້າທໍາອິດ, ໃຫ້ເວົ້າກ່ຽວກັບການ etching. ຫຼັງຈາກຊັ້ນຂອງວັດສະດຸເຊັ່ນ ຊິລິກາ ຊິງເຫລັກ ແມ່ນຝາກໃສ່ a Wafer, ຮູບແບບແມ່ນຄາດວ່າມັນຈະໃຊ້ມັນໂດຍໃຊ້ແສງສະຫວ່າງ. ໄດ້ ດາກ ຂະບວນການຫຼັງຈາກນັ້ນເອົາເອກະສານອອກຈາກພື້ນທີ່ທີ່ບໍ່ໄດ້ປ້ອງກັນ. ລະດົມ ຖືກນໍາສະເຫນີເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງປະກອບແລະແຂງແຮງໃນການສ້າງ ແພັກໂຂ-A ຟັງຂອງຄິດຄ່າທໍານຽມ ໄຂ້ ອະນຸພາກແລະປະຕິກິລິຍາ fluorine ນ້ໍາ ຮາກ. eradical ເຫຼົ່ານີ້ bombard ໄດ້ Wafer ດ້ານ, ປະຕິກິລິຍາກັບ ຊິລິກາ ແລະປ່ຽນມັນເຂົ້າໃນ a ຂີ້ສຸສານ ປະສົມ (ຊິລິກາ tetrafluoride) ທີ່ສາມາດສູບໄດ້ງ່າຍຈາກຫ້ອງ. ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຂະບວນການນີ້ແມ່ນການກ້າຫານ, ອະນຸຍາດໃຫ້ວິສະວະກອນມີລັກສະນະທີ່ມີລັກສະນະເປັນພັນໆກ່ວາຜົມຂອງມະນຸດ.

ຄັ້ງທີສອງ, ແລະອື່ນໆທີ່ພົບເລື້ອຍ, ການນໍາໃຊ້ trifluoride ໄນໂຕຣເຈນ ແມ່ນເປັນ a ທໍາຄວາມສະອາດອາຍແກັສ. ໃນລະຫວ່າງການ ເງິນຝາກ vapor ທາງເຄມີ (ປະຕິໄພ້ CVD) ຂະບວນການ, ບ່ອນທີ່ຮູບເງົາບາງໆແມ່ນປູກຢູ່ໃນ Wafer, ອຸປະກອນທີ່ບໍ່ຕ້ອງການກໍ່ສ້າງຂື້ນຢູ່ໃນຝາພາຍໃນຂອງຫ້ອງປະມວນຜົນ. ນີ້ ເວນແຢກ, ມັກເຮັດດ້ວຍ ຊິລິກາ ຫຼື nitride silicon, ຕ້ອງໄດ້ໂຍກຍ້າຍອອກຢ່າງສິ້ນເຊີງລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງແຕ່ລະຄົນ Wafer ຫຼື batch ຂອງ wafers. ຖ້າບໍ່, ການກໍ່ສ້າງນີ້ສາມາດ flake ອອກແລະລົງຈອດຢູ່ຕໍ່ໄປ Wafer, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງ. ນີ້, ລະດົມ ຖືກດູດເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງເປົ່າຫວ່າງແລະກ ແພັກໂຂ ແມ່ນ ignited. ຜູ້ມີອໍານາດ fluorine ນ້ໍາ ຮາກຖານຖູຝາຫ້ອງທີ່ສະອາດ, ແປງແຂງ ເວນແຢກ ເຂົ້າໄປໃນ ຂີ້ສຸສານ ຜະລິດຕະພັນ ທີ່ຖືກໂຍກຍ້າຍອອກໄດ້ງ່າຍ. ວົງຈອນທໍາຄວາມສະອາດນີ້ແມ່ນ ສໍາຄັນສໍາລັບການຮັກສາ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດແລະຮັບປະກັນສູງ ຜົນຜະລິດການຜະລິດ.

ສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້NF₃ອາຍແກັສທໍາຄວາມສະອາດດີກວ່າທຽບໃສ່ທາງເລືອກອື່ນ?

ເປັນເວລາຫລາຍປີ, ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ອີງໃສ່ນ້ໍາຫອມ (PFCS) ຄືກັບກາກບອນ Tetrafluoride (CF₄) ແລະ hexafluoroToTorethane (c₂f₆) ສໍາລັບການເຮັດຄວາມສະອາດແລະການອອກກໍາລັງກາຍ. ໃນຂະນະທີ່ມີປະສິດຕິຜົນ, ທາດປະສົມເຫຼົ່ານີ້ມາພ້ອມກັບຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ສໍາຄັນ: ພວກມັນແມ່ນອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວທີ່ມີທ່າແຮງທີ່ສຸດທີ່ມີບັນຍາກາດທີ່ມີບັນຍາກາດຍາວນານ. ຍົກຕົວຢ່າງ, c₂f₆ມີ ທ່າແຮງໃນໂລກທີ່ມີຄວາມອົບອຸ່ນທົ່ວໂລກ (GWP) ແລະສາມາດຕໍ່ສູ້ໃນບັນຍາກາດເປັນເວລາ 10,000 ປີ. ໃນຖານະເປັນກົດລະບຽບດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມເຄັ່ງຄັດຂື້ນ, ອຸດສາຫະກໍາທີ່ຕ້ອງການການແກ້ໄຂທີ່ດີກວ່າ.

ນີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ ລະດົມ ເກີດເປັນຜູ້ຊະນະທີ່ຈະແຈ້ງ. ໃນຂະນະທີ່ Titrogen Trifluoride ກໍ່ແມ່ນກ ອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວທີ່ມີພະລັງມັນມີຕະຫຼອດບັນຍາກາດທີ່ສັ້ນກວ່າ (ປະມານ 500 ປີ). ສິ່ງທີ່ສໍາຄັນກວ່ານັ້ນ, ມັນມີປະສິດທິພາບຫຼາຍໃນຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດ. ພາຍໃນ ແພັກໂຂ ສະພາ, ອັດຕາສ່ວນທີ່ສູງກວ່າຂອງ ລະດົມ ໂມເລກຸນແຕກຫັກເພື່ອປ່ອຍປະຕິກິລິຍາຂອງພວກເຂົາ fluorine ນ້ໍາ ເມື່ອທຽບໃສ່ກັບ PFCs. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າຫນ້ອຍກວ່າ ບໍ່ມີເງື່ອນໄຂ ແກັສ ແມ່ນຫມົດຈາກຫ້ອງ. ທັນສະໄຫມ semiconductor fabs ພ້ອມທັງຕິດຕັ້ງລະບົບຂອບເຂດ (Scrubbers) ທີ່ທໍາລາຍເກືອບທັງຫມົດຂອງ ບໍ່ມີເງື່ອນໄຂ ລະດົມ ແລະເປັນອັນຕະລາຍ ຜະລິດຕະພັນ ອາຍແກັສກ່ອນທີ່ພວກມັນຈະຖືກປ່ອຍຕົວ.

ການປະສົມປະສານຂອງປະສິດທິພາບສູງແລະການລະບຸໄວ້ທີ່ມີປະສິດຕິຜົນຫຼາຍກວ່າເກົ່າຫມາຍຄວາມວ່າຕົວຈິງ ການປ່ອຍອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວ ຈາກການນໍາໃຊ້ ລະດົມ ແມ່ນຕໍ່າກ່ວາທີ່ສຸດກ່ວາຜູ້ທີ່ມາຈາກ gases pfc ທີ່ເກົ່າແກ່. ການປະຕິບັດງານທີ່ເຫນືອກວ່ານີ້ແມ່ນເຫດຜົນສໍາຄັນສໍາລັບການຮັບຮອງເອົາຢ່າງແຜ່ຫຼາຍ.

ການຜະລິດທາດໄນໂຕຣເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ຖືກຜະລິດໄດ້ແນວໃດ?

ເປັນຜູ້ຜະລິດ, ຂ້ອຍສາມາດບອກເຈົ້າວ່າການຜະລິດນັ້ນ ລະດົມ ແມ່ນສະລັບສັບຊ້ອນແລະຄວບຄຸມໄດ້ສູງ ຂັ້ນຕອນການຜະລິດ. ເປົ້າຫມາຍແມ່ນເພື່ອສ້າງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດທີ່ບໍ່ຄ່ອຍແນ່ນອນ - ມັກຈະມີຄວາມບໍລິສຸດ 99,999% ຫຼືສູງກວ່ານັ້ນ ມະລະ ສາມາດເປັນໂຣກຮ້າຍແຮງສໍາລັບ semiconductor ການຜະລິດ. ຂະບວນການຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມຊໍານານໃນການຈັດການກັບສານເຄມີທີ່ມີປະຕິກິລິຍາສູງ, ໂດຍສະເພາະ fluorine ນ້ໍາ.

ໄດ້ ການຜະລິດNF₃ ໂດຍປົກກະຕິກ່ຽວຂ້ອງກັບການປະຕິກິລິຍາ ອໍາໂມນ (ກ ປະສົມ ບັນຈຸທາດໄນໂຕຣເຈນ) ຫຼື ammonium fluuoride ປະສົມກັບອົງປະກອບ fluorine ນ້ໍາ ອາຍແກັສໃນເຕົາປະຕິກອນທີ່ ອຸນຫະພູມສູງ. ປະຕິກິລິຍານີ້ເຮັດໃຫ້ເກີດການປະສົມຂອງທາດອາຍ, ລວມທັງ ລະດົມ, ວັດສະດຸທີ່ບໍ່ມີເຫດຜົນ, ແລະຜະລິດຕະພັນຕ່າງໆ. ສິ່ງທ້າທາຍທີ່ແທ້ຈິງ, ແລະບ່ອນທີ່ຜູ້ຊ່ຽວຊານຂອງຜູ້ສະຫນອງສະແດງໃຫ້ເຫັນແທ້ໆ, ແມ່ນຢູ່ໃນ ຄວາມປອດໄພ ຂັ້ນຕອນຂອງການທີ່ປະຕິບັດຕາມ.

ດິບ ຂີ້ສຸສານ ປະສົມຜ່ານຫຼາຍ ຄວາມປອດໄພ ຂັ້ນຕອນໃນການກໍາຈັດທາດປະສົມທີ່ບໍ່ຕ້ອງການໃດໆ. ນີ້ມັກຈະກ່ຽວຂ້ອງກັບການຖູ, ການໂຄສະນາ, ແລະຂະບວນການກັ່ນຕອງທີ່ບໍ່ມີປະສິດຕິພາບ. ໄດ້ ຂະບວນການກັ່ນໂດຍສະເພາະ, ໃຊ້ອຸນຫະພູມຕ່ໍາທີ່ສຸດເພື່ອແຍກທາດອາຍຜິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນໂດຍອີງໃສ່ຈຸດທີ່ຕົ້ມຂອງພວກເຂົາ, ໂດດດ່ຽວ ລະດົມ ຈາກຄວາມບໍ່ສະອາດທີ່ຍັງເຫຼືອ. ທຸກໆບາດກ້າວແມ່ນຖືກຕິດຕາມດ້ວຍອຸປະກອນການວິເຄາະແບບພິເສດເພື່ອຮັບປະກັນຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍຕອບສະຫນອງສະເພາະຂອງ semicondorctor ອຸດສາຫະກໍາ. ຄໍາຫມັ້ນສັນຍານີ້ຕໍ່ການຄວບຄຸມທີ່ມີຄຸນນະພາບແມ່ນສິ່ງທີ່ແຍກຜູ້ສະຫນອງທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ຈາກສ່ວນທີ່ເຫຼືອ.

ການພິຈາລະນາຄວາມປອດໄພແລະການຈັດການກັບອາຍແກັສNf₃ມີຄວາມປອດໄພຫຍັງ?

ຄວາມປອດໄພແມ່ນບຸລິມະສິດອັນດັບຫນຶ່ງໃນອຸດສາຫະກໍາ ແກັສ ທຸລະກິດ. ໃນຂະນະທີ່ ລະດົມ ແມ່ນບໍ່ມີໄຟໄຫມ້ແລະຂ້ອນຂ້າງຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມໃນຫ້ອງ, ມັນແມ່ນຕົວແທນຜຸພັງທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ໂດຍສະເພາະໃນອຸນຫະພູມສູງຂື້ນ. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າມັນສາມາດປະຕິກິລິຍາຢ່າງຮຸນແຮງກັບວັດສະດຸທີ່ໄວໄຟແລະຕ້ອງການການຈັດການທີ່ລະມັດລະວັງ. ຄວາມສ່ຽງຕົ້ນຕໍແມ່ນຄວາມເປັນພິດຂອງມັນ; inhaling ໄດ້ ແກັສ ສາມາດເປັນອັນຕະລາຍ, ສະນັ້ນອຸປະກອນການສູບຫາຍໃຈທີ່ຖືກຕ້ອງແລະສ່ວນບຸກຄົນແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນໃນເວລາໃດກໍ່ຕາມ ສະຖານທີ່ຜະລິດ.

ລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງທັງຫມົດ, ຈາກໂຮງງານຂອງພວກເຮົາກັບລູກຄ້າ semicondorctor Fab, ຖືກສ້າງຂື້ນອ້ອມຮອບຄວາມປອດໄພ. ລະດົມ ຖືກຂົນສົ່ງໃນກະບອກສູບເຫຼັກພິເສດທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະແມ່ນຄວາມກົດດັນສູງ. ກະບອກສູບເຫຼົ່ານີ້ມີການທົດສອບແລະການຢັ້ງຢືນທີ່ເຂັ້ມງວດເພື່ອຮັບປະກັນວ່າພວກມັນສາມາດບັນຈຸໄດ້ ແກັສ. ໃນຖານະທີ່ເປັນຜູ້ສະຫນອງ, ພວກເຮົາໃຫ້ແຜ່ນຂໍ້ມູນຄວາມປອດໄພລາຍລະອຽດ (SDS) ແລະຝຶກອົບຮົມໃຫ້ກັບລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາໃນການເກັບຮັກສາທີ່ເຫມາະສົມ, ການເຊື່ອມຕໍ່, ແລະການຈັດການຂັ້ນຕອນການເຊື່ອມຕໍ່. ນີ້ປະກອບມີຄໍາແນະນໍາກ່ຽວກັບ ອັດຕາການໄຫຼ ລະບົບການກວດສອບແລະຮົ່ວໄຫລ.

ສໍາລັບເຈົ້າຂອງທຸລະກິດເຊັ່ນ: Mark, ເຊິ່ງລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງທີ່ລຽບງ່າຍແລະຫນ້າເຊື່ອຖື, ເປັນຫຸ້ນສ່ວນຂອງຜູ້ສະຫນອງທີ່ມີຄວາມປອດໄພເປັນສິ່ງສໍາຄັນ. ການສື່ສານທີ່ບໍ່ມີປະສິດຕິພາບຫລືການຂາດໂປໂຕຄອນຄວາມປອດໄພທີ່ຊັດເຈນຈາກຜູ້ສະຫນອງແມ່ນທຸງແດງທີ່ສໍາຄັນ. ພວກເຮົາຄວາມພາກພູມໃຈຂອງຕົວເອງໃນການສະຫນອງບໍ່ພຽງແຕ່ຜະລິດຕະພັນ, ແຕ່ເປັນການບໍລິການທີ່ສົມບູນເຊິ່ງປະກອບມີການສະຫນັບສະຫນູນແລະຄວາມປອດໄພດ້ານຄວາມປອດໄພ, ຮັບປະກັນ ແກັສ ມາຮອດແລະຖືກຈັດການຢ່າງປອດໄພທຸກໆບາດກ້າວຂອງທາງ.

nitrogen trifluoride ອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວບໍ? ເຂົ້າໃຈຜົນກະທົບດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມ.

ມັນເປັນສິ່ງສໍາຄັນທີ່ຈະມີຄວາມໂປ່ງໃສກ່ຽວກັບດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມຂອງ ລະດົມ. ແມ່ນແລ້ວ, Titrogen Trifluoride ແມ່ນມີຄວາມເປັນໄປໄດ້ ອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວ. ກະດານ intergovernmental ກ່ຽວກັບການປ່ຽນແປງດິນຟ້າອາກາດ (IPCC) ໄດ້ຄິດໄລ່ວ່າມັນມີທ່າແຮງທີ່ອົບອຸ່ນທົ່ວໂລກ (GWP) ຫຼາຍພັນຄົນທີ່ໃຫຍ່ກວ່າກາກບອນ ຊິງເຫລັກ ໃນໄລຍະເວລາ 100 ປີ. ນີ້ແມ່ນຄວາມຈິງທີ່ວ່າອຸດສາຫະກໍາໃຊ້ເວລາຢ່າງຮຸນແຮງ.

ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ເລື່ອງບໍ່ໄດ້ສິ້ນສຸດຢູ່ທີ່ນັ້ນ. ໄດ້ ຜົນກະທົບຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມ ມັນຂື້ນຢູ່ກັບທ່າແຮງຂອງອາຍແກັສ, ແຕ່ວ່າມັນຖືກປ່ອຍຕົວໃນບັນຍາກາດຫຼາຍປານໃດ. ດັ່ງທີ່ໄດ້ກ່າວມາກ່ອນຫນ້ານີ້, ລະດົມ ແມ່ນມີປະສິດທິພາບສູງ. ໃນທີ່ທັນສະໄຫມ semicondorctor ສິ່ງອໍານວຍຄວາມສະດວກ, ສ່ວນໃຫຍ່ຂອງ ອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ແລ້ວ ແມ່ນບໍລິໂພກຫຼືຖືກທໍາລາຍໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຜະລິດ. ໄດ້ ແພັກໂຂ ທໍາລາຍມັນລົງ, ແລະໃດໆ ບໍ່ມີເງື່ອນໄຂ ແກັສ ນັ້ນຫມົດກໍາລັງຖືກສົ່ງໄປໃຫ້ລະບົບການຍົກເລີກ. ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ມີປະສິດຕິຜົນທີ່ສຸດ, ມັກຈະທໍາລາຍຫຼາຍກວ່າ 99% ຂອງສ່ວນທີ່ເຫຼືອ ລະດົມ.

ການປ່ຽນຂອງອຸດສາຫະກໍາຈາກ PFCs ລະດົມ, ປະສົມປະສານກັບການນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີທີ່ແຜ່ຂະຫຍາຍຢ່າງແຜ່ຫຼາຍ, ຕົວຈິງແລ້ວໄດ້ເຮັດໃຫ້ການຫຼຸດຜ່ອນສຸດທິ ການປ່ອຍອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວ ຕໍ່ຫນ່ວຍງານຜະລິດ. ຜູ້ຮັບຜິດຊອບ ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ແລະຜູ້ສະຫນອງອາຍແກັສເຮັດວຽກຮ່ວມກັນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າການປ່ອຍອາຍພິດແມ່ນຫຼຸດຜ່ອນຫນ້ອຍທີ່ສຸດ. ນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບໃນຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດເພື່ອໃຊ້ຈໍານວນຫນ້ອຍທີ່ສຸດ ແກັສ ມີຄວາມຈໍາເປັນແລະຮັກສາລະບົບຂອບເຂດສໍາລັບການປະຕິບັດສູງສຸດ. ສະນັ້ນ, ໃນຂະນະທີ່ ລະດົມ ແມ່ນມີຄວາມເປັນໄປໄດ້ ອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວ ໃນການຕັ້ງຄ່າຫ້ອງທົດລອງ, ຮອຍຕີນສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ແທ້ຈິງຂອງໂລກໃນ ການຜະລິດ semiconductor ໄດ້ຮັບການຄຸ້ມຄອງຢ່າງລະມັດລະວັງແລະຕໍ່າກ່ວາທາງເລືອກທີ່ມັນປ່ຽນແທນ.

ພາລະບົດບາດຂອງການຜະລິດອາຍແກັສຢູ່ໃນສະຖານທີ່ສໍາລັບ semiconductor ຂະຫນາດໃຫຍ່ fabs?

ຂະຫນາດຂອງການສະແດງທີ່ທັນສະໄຫມ ການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນຫນ້າຕື່ນຕາຕື່ນໃຈ. ສິ່ງອໍານວຍຄວາມສະດວກທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງເອີ້ນວ່າ Mega-Fabs, ບໍລິໂພກປະລິມານອາຍແກັສທີ່ມີປະລິມານຫຼາຍ. ສໍາລັບທາດອາຍຜິດບາງຢ່າງ, ເຊັ່ນໄນໂຕຣເຈນ, ມັນມີປະສິດທິພາບຫຼາຍກວ່າເກົ່າໃນການຜະລິດພວກມັນໂດຍກົງຢູ່ສະຖານທີ່ທີ່ມີລົດບັນທຸກຫຼາຍພັນໂຕ. ນີ້ແມ່ນເປັນທີ່ຮູ້ຈັກເປັນ ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ ການຜະລິດ. ສໍາລັບພິເສດທີ່ມີຄວາມຊໍານານສູງແລະມີປະຕິກິລິຍາ ແກັສ ມັກ ລະດົມ, ຮູບແບບທີ່ແຕກຕ່າງກັນເລັກນ້ອຍກໍາລັງເກີດຂື້ນ: ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ ການກວດລ້າງແລະການວິເຄາະ.

ໃນຂະນະທີ່ເຕັມໄປ ການຜະລິດNF₃ ທີ່ Fab ແມ່ນບໍ່ທໍາມະດາຍ້ອນຄວາມສັບສົນ, ຜູ້ໃຊ້ຂະຫນາດໃຫຍ່ມັກຈະມີຄວາມຊັບຊ້ອນ ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ ລະບົບການຄຸ້ມຄອງອາຍແກັສ. ການສະຫນອງຫຼາຍຂອງ ລະດົມ ຖືກສົ່ງໄປທີ່ Fab, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນລະບົບນີ້ປະຕິບັດຂັ້ນຕອນສຸດທ້າຍ ຄວາມປອດໄພ ແລະການວິເຄາະທີ່ມີຄຸນນະພາບຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງກ່ອນທີ່ຈະ ແກັສ ເຂົ້າໄປໃນເຄື່ອງມືການຜະລິດລາຄາແພງ. ນີ້ສະຫນອງການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບທີ່ສຸດ, ຮັບປະກັນວ່າການປົນເປື້ອນທີ່ມີທ່າແຮງຈາກສາຍການສະຫນອງແມ່ນຖືກຈັບ. ວິທີການນີ້ປະສົມປະໂຫຍດຜົນປະໂຫຍດທາງດ້ານເສດຖະກິດຂອງການຊື້ທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນໃຈໃນຄຸນນະພາບຂອງ ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ ການຄຸ້ມຄອງ.

ເຂົ້າໃຈແບບຈໍາລອງການສະຫນອງວິວັດທະນາການເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນ. ໃນຖານະທີ່ເປັນຜູ້ສະຫນອງ, ພວກເຮົາໄດ້ຂະຫຍາຍການບໍລິການຂອງພວກເຮົານອກເຫນືອຈາກພຽງແຕ່ຕື່ມຖັງ. ດຽວນີ້ພວກເຮົາເຮັດວຽກກັບ ຜູ້ຜະລິດທີ່ມີ semiconductor ທົ່ວໂລກ ການອອກແບບແລະປະຕິບັດການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດການຈັດສົ່ງອາຍແກັສແລະການບໍລິຫານທີ່ສົມບູນແບບ. ນີ້ອາດປະກອບມີການອຸທິດຕົນ ເສັ້ນການຜະລິດ ຄວາມສາມາດສໍາລັບລູກຄ້າທີ່ສໍາຄັນ, ການຂົນສົ່ງທີ່ຊ່ຽວຊານ, ຫຼືການເຊື່ອມໂຍງກັບພວກເຂົາ ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ ລະບົບຕ່າງໆ. ມັນກ່ຽວກັບການສະຫນອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນແລະເຊື່ອຖືໄດ້ທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຕ້ອງການຂອງ ການຜະລິດ 21st-Century. ນີ້ແມ່ນສ່ວນສໍາຄັນຂອງຍຸດທະສາດຂອງພວກເຮົາ, ໂດຍສະເພາະໃນເວລາທີ່ຮັບໃຊ້ລູກຄ້າທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນ ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ.

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງNF₃ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຜົນຜະລິດການຜະລິດໃນການຜະລິດຊິບແນວໃດ?

ໃນ semicondorctor ໂລກ, "ຜົນຜະລິດ" ແມ່ນທຸກຢ່າງ. ມັນເປັນເປີເຊັນຂອງຊິບທີ່ດີ, ເຮັດວຽກທີ່ຜະລິດຈາກດຽວ ຊິລິກາ Wafer. ຜົນຜະລິດສູງຫມາຍຄວາມວ່າຜົນກໍາໄລສູງ; ຜົນຜະລິດຕ່ໍາສາມາດທໍາຮ້າຍທາງດ້ານການເງິນ. ຄວາມບໍລິສຸດຂອງທາດອາຍຜິດ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນ reactive ແກັສ ມັກ ລະດົມ, ມີຜົນກະທົບໂດຍກົງແລະຫນ້າສົນໃຈຕໍ່ ຜົນຜະລິດການຜະລິດ.

ຈິນຕະນາການ ມະລະ ຄືກັບອະນຸພາກນ້ອຍໆຂອງຄວາມຊຸ່ມ (h₂o) ຫຼືອີກ ຂີ້ສຸສານ ປະສົມ ປະສົມກັບ ລະດົມ. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ etch ທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ວ່າ ມະລະ ສາມາດແຊກແຊງຕິກິລິຍາທາງເຄມີ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານກ້ອງຈຸລະທັດໃນວົງຈອນຂອງຊິບ. ມັນອາດຈະກີດຂວາງ ດາກ, ຊຶ່ງເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸທີ່ມັນບໍ່ຄວນຈະເປັນ, ຫຼືເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຫຍຸ້ງຍາກເກີນໄປ, ເອົາວັດສະດຸຫຼາຍເກີນໄປ. ໂດຍວິທີໃດກໍ່ຕາມ, ຜົນໄດ້ຮັບ ວົງຈອນປະສົມປະສານ ຈະລົ້ມເຫລວການທົດສອບຄັ້ງສຸດທ້າຍຂອງມັນ. ໃນເວລາທີ່ທ່ານກໍາລັງເຮັດໃຫ້ຕົວປ່ຽນແປງຫຼາຍລ້ານຄົນໃນຊິບດຽວ, ແມ່ນແຕ່ຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງນັກຂ້າຄົນຫນຶ່ງ "ທີ່ເກີດຈາກ" ມະລະ ສາມາດສະແດງຊິບທັງຫມົດທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດ.

ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນທີ່ພວກເຮົາລົງທືນໃນການຄວບຄຸມທີ່ມີຄຸນນະພາບ. ໂດຍການໃຫ້ຢັ້ງຢືນ, ultra-ຄວາມບໍລິສຸດ ລະດົມ, ພວກເຮົາໃຫ້ຄວາມຫມັ້ນໃຈແກ່ລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາວ່າ ແກັສ ຈະບໍ່ເປັນແຫຼ່ງຂໍ້ບົກຜ່ອງ. ຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນ ຂອງສ່ວນປະກອບທຸກຢ່າງທີ່ຢູ່ໃນລະດັບຂອງພາກສ່ວນຕໍ່ພາກສ່ວນຕໍ່ໄປຮັບປະກັນວ່າ ຂະບວນການຜະລິດ ແມ່ນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະເຮັດຊ້ໍາອີກ. ຂະບວນການທີ່ຫມັ້ນຄົງນໍາໄປສູ່ການຄາດເດົາແລະສູງ ຜົນຜະລິດການຜະລິດເຊິ່ງແມ່ນເປົ້າຫມາຍສຸດທ້າຍສໍາລັບທຸກໆຄົນ semicondorctor ຜູ້ຜະລິດ. ພາລະບົດບາດຂອງພວກເຮົາເປັນຜູ້ສະຫນອງຂອງ ຄວາມບໍລິສຸດພິເສດຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແມ່ນການກໍາຈັດຕົວແປຕ່າງໆແລະໃຫ້ຜະລິດຕະພັນຂອງຄຸນນະພາບທີ່ບໍ່ສົມບູນແບບ.

ທ່ານຄວນຊອກຫາຫຍັງໃນຜູ້ສະຫນອງໄນໂຕຣເຈນ?

ສໍາລັບພະນັກງານຈັດຊື້ເຊັ່ນ Mark, ເລືອກຜູ້ສະຫນອງທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບວັດຖຸທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ ລະດົມ ໄປໄກເກີນພຽງແຕ່ປຽບທຽບລາຄາ. ຄວາມສ່ຽງຂອງການຊັກຊ້າໃນການຈັດສົ່ງທີ່ບໍ່ດີ, ບັນຫາທີ່ມີຄຸນນະພາບ, ການສື່ສານທີ່ບໍ່ດີເທົ່ານັ້ນ. ອີງຕາມປະສົບການຂອງຂ້ອຍ, ນີ້ແມ່ນປັດໃຈທີ່ສໍາຄັນທີ່ຄວນພິຈາລະນາ:

ຫນ້າທໍາອິດ, ຄຸນນະພາບແລະການຢັ້ງຢືນທີ່ສາມາດຢັ້ງຢືນໄດ້. ຜູ້ສະຫນອງທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືຈະໃຫ້ໃບຢັ້ງຢືນການວິເຄາະ (CoA) ກັບທຸກໆການຂົນສົ່ງ, ລາຍຊື່ລະດັບຄວາມບໍລິສຸດແລະລາຍຊື່ຄວາມບໍ່ສະອາດທີ່ຖືກກວດພົບ. ພວກເຂົາຄວນຈະສອດຄ່ອງກັບມາດຕະຖານສາກົນເຊັ່ນ ISO 9001. ຖາມກ່ຽວກັບຄວາມສາມາດໃນການວິເຄາະຂອງພວກເຂົາ. ພວກເຂົາມີອຸປະກອນໃນການກວດສອບຄວາມບໍ່ສະອາດໃນລະດັບທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບ semicondorctor ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ?

ຄັ້ງທີສອງ, ການສະຫນອງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືດ້ານລະບົບຕ່ອງໂສ້ແລະຄວາມໂປ່ງໃສ. ຜູ້ສະຫນອງສາມາດສະຫນອງເຄືອຂ່າຍການຂົນສົ່ງທີ່ເຂັ້ມແຂງເພື່ອປ້ອງກັນການຊັກຊ້າ? ພວກເຂົາມີຊ້ໍາແລ້ວບໍ? ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ ເພື່ອຮັບປະກັນການສະຫນອງສະຫມໍ່າສະເຫມີບໍ? ການສື່ສານແມ່ນກຸນແຈທີ່ນີ້. ຜູ້ສະຫນອງຂອງທ່ານຄວນມີຄວາມຕັ້ງໃຈ, ໃຫ້ການປັບປຸງການຂົນສົ່ງແລະມີຄວາມພ້ອມທີ່ຈະຕອບຄໍາຖາມ. ສິ່ງນີ້ກ່າວເຖິງໂດຍກົງຂອງຄວາມເຈັບປວດຈຸດສື່ສານທີ່ບໍ່ມີປະສິດຕິພາບ.

ສຸດທ້າຍ, ຊອກຫາຄວາມຊໍານານດ້ານວິຊາການ. ຜູ້ສະຫນອງທີ່ດີບໍ່ພຽງແຕ່ຂາຍສິນຄ້າເທົ່ານັ້ນ; ພວກເຂົາສະຫນອງການແກ້ໄຂບັນຫາ. ພວກເຂົາຄວນເຂົ້າໃຈໂປແກຼມຂອງທ່ານແລະສາມາດສະເຫນີການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານເຕັກນິກ. ພວກເຂົາຄວນຈະມີຄວາມຮູ້ກ່ຽວກັບຄວາມປອດໄພ, ການຈັດການ, ແລະແມ່ນແຕ່ລະບຽບການສິ່ງແວດລ້ອມອ້ອມຂ້າງ ການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສ. ຜູ້ສະຫນອງທີ່ສາມາດເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຄູ່ທີ່ມີຄວາມຮູ້ແມ່ນບໍ່ມີຄຸນຄ່າຫຼາຍກ່ວາຫນຶ່ງທີ່ເປັນພຽງຜູ້ຂາຍ. ຄວາມຊໍານານນີ້ແມ່ນພື້ນຖານຂອງສາຍພົວພັນໄລຍະຍາວ, ກໍາໄລ. ພວກເຮົາພະຍາຍາມເປັນຄູ່ຮ່ວມງານນັ້ນສໍາລັບລູກຄ້າຂອງພວກເຮົາທັງຫມົດ, ໃຫ້ບໍລິການບໍ່ພຽງແຕ່ ແກັສ ແຕ່ຄວາມສະຫງົບສຸກຂອງຈິດໃຈທີ່ມາພ້ອມກັບມັນ.

painaways ທີ່ສໍາຄັນ

• ເຄື່ອງມືທີ່ຈໍາເປັນ: Nitrogen Trifluoride (NF₃) ແມ່ນຄວາມຊ່ຽວຊານທີ່ສໍາຄັນ ແກັສ ນໍາໃຊ້ສໍາລັບການເຮັດຄວາມສະອາດ plasma ແລະສະພາໃນສະພາໃນ ຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.
• ປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າ: ລະດົມ ມີປະສິດທິພາບຫຼາຍກວ່າເກົ່າແລະມີຜົນກະທົບຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ມີປະສິດຕິພາບຕໍ່າກ່ວາທາດອາຍພິດເກົ່າແກ່ທີ່ມັນໄດ້ທົດແທນ, ຂໍຂອບໃຈກັບອັດຕາການນໍາໃຊ້ແລະລະບົບຂອບເຂດທີ່ທັນສະໄຫມ.
• ຄວາມບໍລິສຸດແມ່ນກໍາໄລ: ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ສູງສຸດຂອງ ລະດົມ ບໍ່ສາມາດເຈລະຈາໄດ້. ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງຮ່ອງຮອຍສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານກ ຊິລິກາ Wafer, ການຫຼຸດຜ່ອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ຜົນຜະລິດການຜະລິດ ແລະກໍາໄລຂອງ ການຜະລິດຊິບ.
• ຄວາມປອດໄພແລະການຈັດການແມ່ນສໍາຄັນ: ໃນຂະນະທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ລະດົມ ແມ່ນສານພິດແລະຜຸພັງ ແກັສ ທີ່ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຈັດການກັບການຈັດການແບບພິເສດ, ກະບອກສຽງທີ່ໄດ້ຮັບການຢັ້ງຢືນ, ແລະມີຄວາມເຂົ້າໃຈເລິກເຊິ່ງກ່ຽວກັບໂປໂຕຄອນຄວາມປອດໄພ.
• ການເລືອກຂອງຜູ້ສະຫນອງແມ່ນສໍາຄັນ: ເມື່ອເລືອກ ລະດົມ ຜູ້ສະຫນອງ, ໃຫ້ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສາມາດພິສູດໄດ້, ການສະຫນອງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງລະບົບຕ່ອງໂສ້, ການສື່ສານທີ່ໂປ່ງໃສ, ແລະມີຄວາມຊໍານານດ້ານເຕັກນິກໃນລາຄາຄົນດຽວ.