ការផលិតអេឡិចត្រូនិកពឹងផ្អែកលើឧស្ម័នជាច្រើនប្រភេទដែលអាចត្រូវបានចែកជាបីប្រភេទសំខាន់ៗ: ឧស្ម័នប៊ុល, ឧស្ម័នជំនាញនិងឧស្ម័នអេកូ។ ឧស្ម័នទាំងនេះត្រូវតែមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតក្នុងការការពារការចម្លងរោគដែលអាចបំផ្លាញដំណើរការប្រឌិតនិងស្មុគស្មាញស្មុគស្មាញ។

ឧស្ម័នប៊ុល

អាសូត (N₂):

តួនាទី: N₂មានបម្រើគោលបំណងជាច្រើនរួមមានអង្គជំនុំជម្រះខ្ញីនិងផ្តល់បរិយាកាសអសកម្មក្នុងដំណាក់កាលផ្សេងៗគ្នានៃការផលិតអេឡិចត្រូនិច។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: អាសូតជារឿយៗត្រូវបានគេជួលឱ្យធ្វើការក្នុងការដឹកជញ្ជូននិងការផ្ទុកនៃ Wilicon Wafers ដើម្បីអប្បបរមាអប្បបរមា។ ធម្មជាតិអសកម្មរបស់វាធានាថាវាមិនមានប្រតិកម្មជាមួយសម្ភារៈផ្សេងទៀតដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ការរក្សាបរិយាកាសកែច្នៃស្អាត។

Argon (AR):
តួនាទី: បន្ថែមលើការចូលរួមរបស់ខ្លួននៅក្នុងដំណើរការប្លាស្មា, Argon គឺមានឧបករណ៍នៅក្នុងដំណើរការដែលសមាសភាពឧស្ម័នដែលបានគ្រប់គ្រងគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: ដោយសារតែវាមិនមានប្រតិកម្មជាមួយវត្ថុធាតុដើមភាគច្រើនអាងតុក៏ត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដាក់ពង្រាយដែលជួយក្នុងការដាក់ប្រាក់ឧបត្ថម្ភដែកឬឌីត្រីងខ្សែភាពយន្តដែលផ្ទៃត្រូវតែរក្សាដោយគ្មានការចម្លងរោគ។

អេលីយ៉ូម (គាត់):
តួនាទី: លក្ខណៈសម្បត្តិកម្ដៅរបស់អេលីយ៉ូមធ្វើឱ្យវាមានតម្លៃមិនអាចកាត់ថ្លៃបានសម្រាប់ការត្រជាក់និងរក្សាភាពស្ថិតស្ថេរសីតុណ្ហភាពក្នុងកំឡុងពេលដំណើរការប្រតិកម្ម។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: ជារឿយៗវាត្រូវបានគេប្រើក្នុងប្រព័ន្ធឡាស៊ែរដែលមានថាមពលខ្ពស់សម្រាប់លីចូសដោយសារតែលក្ខណៈនិងសមត្ថភាពដែលមិនមានចរន្តអគ្គិសនីនិងសមត្ថភាពក្នុងការរក្សាផ្លូវអុបទិកដោយគ្មានផ្លូវលើសចេញពីការចម្លងរោគ។

អ៊ីដ្រូសែន (H₂):
តួនាទី: លើសពីពាក្យសុំរបស់ខ្លួននៅក្នុង Annealing, អ៊ីដ្រូសែនក៏ជួយក្នុងការសំអាតផ្ទៃនៃការវង្វេងស្មារតីហើយអាចចូលរួមក្នុងប្រតិកម្មគីមីក្នុងកំឡុងពេលលើក។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: ការប្រើប្រាស់អ៊ីដ្រូសែនក្នុងការដាក់ប្រាក់យ៉ាងតឹងរឹងអនុញ្ញាតឱ្យមានការគ្រប់គ្រងកាន់តែខ្លាំងលើការផ្តោតអារម្មណ៍របស់ក្រុមហ៊ុន Schemondor ក្នុងវត្ថុធាតុអេឡិចត្រូនិចរបស់ពួកគេយ៉ាងខ្លាំង។

ឧស្ម័នជំនាញនិងដូប៉ាល់

Silane (SIHAR):
តួនាទី: ក្រៅពីការទទួលបានមុនសម្រាប់ការចែកចាយស៊ីលីកុនសឺវីនអាចត្រូវបានធ្វើឱ្យមានភាពងាយស្រួលក្នុងខ្សែភាពយន្តដែលបានឆ្លងកាត់ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវលក្ខណៈអេឡិចត្រូនិច។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: ប្រតិកម្មរបស់វាទាមទារការដោះស្រាយដោយប្រុងប្រយ័ត្នដោយសារតែការព្រួយបារម្ភអំពីសុវត្ថិភាពជាពិសេសនៅពេលលាយជាមួយខ្យល់ឬអុកស៊ីសែន។

អាម៉ូញាក់ (NH₃):
តួនាទី: បន្ថែមលើការផលិតខ្សែភាពយន្តនីក្រាតអាម៉ូញាក់គឺមានសារៈសំខាន់ក្នុងការផលិតស្រទាប់អកម្មដែលជួយបង្កើនភាពជឿជាក់នៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: វាអាចចូលរួមក្នុងដំណើរការដែលតម្រូវឱ្យមានការបញ្ចូលអាសូតចូលទៅក្នុងស៊ីលីកុនការកែលម្អលក្ខណៈអេឡិចត្រូនិច។

ផូស្វ័រ (PH₃), Arsine (Ash₃) និង Diborane (B₂h₆):
តួនាទី: ឧស្ម័នទាំងនេះមិនត្រឹមតែចាំបាច់សម្រាប់ការធ្វើនំប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែវាក៏មានសារៈសំខាន់ផងដែរសម្រាប់ការសម្រេចបាននូវលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីដែលចង់បាននៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកកម្រិតខ្ពស់។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: ការពុលរបស់ពួកគេចាំបាច់មានប្រតិកម្មអំពីសុវត្ថិភាពសុវត្ថិភាពនិងប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យយ៉ាងតឹងរឹងនៅក្នុងបរិយាកាសប្រឌិតដើម្បីកាត់បន្ថយគ្រោះថ្នាក់។

etching និងសម្អាតឧស្ម័ន

ហ្វ្លូធូរបូប៊ូផុន (CF₄, sf₆):
តួនាទី: ឧស្ម័នទាំងនេះត្រូវបានជួលឱ្យធ្វើការក្នុងដំណើរការអេតចាយស្ងួតដែលផ្តល់នូវភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បើប្រៀបធៀបទៅនឹងវិធីសាស្ត្រសើមសើម។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: CF₄និងSF₆គឺមានសារៈសំខាន់ដោយសារតែសមត្ថភាពរបស់ពួកគេក្នុងការជ្រើសរើសសំភារៈដែលមានមូលដ្ឋានលើ Silicon ប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពដោយមានប្រសិទ្ធិភាពដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានដំណោះស្រាយគំរូល្អនៅក្នុងមីក្រូទស្សន៍ទំនើប។

ក្លរីន (CL₂) និង Hydrogen Fluoride (HF):
តួនាទី: ក្លរីនផ្តល់នូវសមត្ថភាពខ្ពស់នៃការធ្វើឱ្យមានភាពចាស់ជរាជាពិសេសសម្រាប់លោហៈដូចជាអេហ្វអេហ្វអេមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការដកយកចេញស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃឧស្ម័នទាំងនេះអនុញ្ញាតឱ្យមានការដកស្រង់ស្រកដែលមានប្រសិទ្ធិភាពក្នុងដំណាក់កាលនៃការប្រឌិតផ្សេងៗគ្នាធានានូវផ្ទៃស្អាតសម្រាប់ជំហានជាបន្តបន្ទាប់។

triffluoride អាសូត (NF₃):
តួនាទី: NF₃គឺជាចំណុចសំខាន់សម្រាប់ការសម្អាតបរិស្ថានក្នុងប្រព័ន្ធ CVD ឆ្លើយតបជាមួយនឹងការចម្លងរោគដើម្បីរក្សាការសម្តែងបានល្អបំផុត។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: ទោះបីមានការព្រួយបារម្ភអំពីសក្តានុពលឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់របស់ខ្លួនក៏ដោយប្រសិទ្ធភាពរបស់NF₃ក្នុងការសំអាតធ្វើឱ្យវាក្លាយជាជម្រើសដែលពេញចិត្តនៅក្នុងរោងចក្រជាច្រើនទោះបីជាការប្រើប្រាស់របស់វាត្រូវការការពិចារណាលើបរិស្ថានក៏ដោយ។

អុកស៊ីសែន (អូ₂):
តួនាទី: ដំណើរការកត់សុីដែលសម្របសម្រួលដោយអុកស៊ីសែនអាចបង្កើតស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ចាំបាច់ក្នុងសំណង់អេឡិចត្រូនិច។
កំណត់សំគាល់បន្ថែម: តួនាទីអុកស៊ីសែនក្នុងការពង្រឹងអុកស៊ីតកម្មរបស់ស៊ីលីខនដើម្បីបង្កើតស្រទាប់ស៊ីអូគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ភាពឯកោនិងការការពារសមាសធាតុសៀគ្វី។

ឧស្ម័នដែលកំពុងរីកចម្រើនក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

បន្ថែមលើឧស្ម័នប្រពៃណីដែលបានចុះបញ្ជីខាងលើឧស្ម័នផ្សេងទៀតកំពុងយកចិត្តទុកដាក់ក្នុងដំណើរការផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិករួមមាន:

កាបូនឌីអុកស៊ីត (Co₂): ត្រូវបានប្រើក្នុងកម្មវិធីសំអាតនិង etching មួយចំនួនជាពិសេសអ្នកដែលពាក់ព័ន្ធនឹងវត្ថុធាតុដើមជឿនលឿន។

ស៊ីលីខនឌីអុកស៊ីត (ស៊ីអូ)): ទោះបីជាមិនមែនជាឧស្ម័ននៅក្រោមលក្ខខណ្ឌស្តង់ដារក៏ដោយក៏ទម្រង់របស់ស៊ីលីខនឌីអុកស៊ីតត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងដំណើរការដាក់ប្រាក់ជាក់លាក់។

ការពិចារណាអំពីបរិស្ថាន

ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចកំពុងផ្តោតកាន់តែខ្លាំងឡើង ៗ លើការកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់បរិស្ថានដែលទាក់ទងនឹងការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នផ្សេងៗជាពិសេសអ្នកដែលមានឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏ខ្លាំងក្លា។ នេះបាននាំឱ្យមានការអភិវឌ្ឍនៃប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងឧស្ម័នកម្រិតខ្ពស់និងការរុករកឧស្ម័នជំនួសដែលអាចផ្តល់នូវអត្ថប្រយោជន៍ស្រដៀងគ្នាជាមួយនឹងការថយចុះបរិស្ថានទាប។

ការបហ្ចប់

ឧស្ម័នដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការធានាភាពជាក់លាក់និងប្រសិទ្ធភាពនៃដំណើរការប្រឌិត។ នៅពេលដែលបច្ចេកវិទ្យាជឿនលឿនឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចបានខិតខំប្រឹងប្រែងជាបន្តបន្ទាប់សម្រាប់ការកែលម្អភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ននិងការគ្រប់គ្រងឧស្ម័នខណៈពេលដែលកំពុងដោះស្រាយការព្រួយបារម្ភអំពីសុវត្ថិភាពនិងបរិស្ថានដែលទាក់ទងនឹងការប្រើប្រាស់របស់ពួកគេ។