ពិភពលោកទំនើបដំណើរការលើបន្ទះសៀគ្វី។ ពីស្មាតហ្វូននៅក្នុងហោប៉ៅរបស់អ្នកទៅកាន់ប្រព័ន្ធណែនាំក្នុងវិស្វកម្មអវកាស ដ៏តូចនេះ។ ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក គឺជាវីរបុរសដែលមិនធ្លាប់មាននៃយុគសម័យឌីជីថល។ ប៉ុន្តែតើវីរបុរសនៅពីក្រោយវីរបុរសគឺជាអ្វី? វា​គឺ​ជា​ពិភព​ដែល​មិន​អាច​មើល​មិន​ឃើញ​ដែល​ជា​ញឹក​ញាប់​នៃ​ឧស្ម័ន​ពិសេស។ ជាពិសេស, គីមីវិទ្យា fluorine ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុង ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក ដំណើរការដែលមិនអាចជំនួសបាន។

ប្រសិនបើអ្នកកំពុងគ្រប់គ្រងសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ ឬត្រួតពិនិត្យគុណភាពផលិតផលក្នុង ក អេឡិចត្រូសា Foundry អ្នកដឹងថារឹមសម្រាប់កំហុសគឺសូន្យ។ ការកើនឡើងសំណើមតែមួយ ឬភាគល្អិតមីក្រូទស្សន៍អាចបំផ្លាញដំណើរការផលិតកម្មដែលមានតម្លៃរាប់លានដុល្លារ។ អត្ថបទនេះស៊ីជម្រៅទៅក្នុងតួនាទីរបស់ ហ្វ្លុយអូរីន ឧស្ម័ន - ហេតុអ្វីបានជាយើងប្រើពួកវា គីមីសាស្ត្រជាក់លាក់ដែលធ្វើឱ្យពួកវាមានប្រសិទ្ធភាព និងសារៈសំខាន់ដ៏សំខាន់នៃស្ថិរភាពខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ និងភាពបរិសុទ្ធ។ យើងនឹងស្វែងយល់ពីរបៀបទាំងនេះ ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ត្រូវបានប្រើនៅក្នុង ចេរ និងជំហាននៃការដាក់ប្រាក់ ហើយហេតុអ្វីបានជាការស្វែងរកប្រភពពួកគេពីដៃគូដែលអាចទុកចិត្តបាន គឺជាការសម្រេចចិត្តដ៏សំខាន់បំផុតដែលអ្នកអាចធ្វើនៅឆ្នាំនេះ។

ហេតុអ្វីបានជាឧស្សាហកម្ម semiconductor ពឹងផ្អែកខ្លាំងលើឧស្ម័នដែលមានផ្ទុក fluorine?

ដើម្បីយល់ពី ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកអ្នកត្រូវមើលតារាងតាមកាលកំណត់។ ស៊ីលីកុនគឺជាផ្ទាំងក្រណាត់ប៉ុន្តែ រេបងន៍ គឺជាជក់។ នេះ។ ការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិក ដំណើរការពាក់ព័ន្ធនឹងការកសាងស្រទាប់សម្ភារៈ ហើយបន្ទាប់មកជ្រើសរើសយកពួកវាចេញដើម្បីបង្កើតសៀគ្វី។ ដំណើរការដកយកចេញនេះត្រូវបានគេហៅថា etching ។

រេបងន៍ គឺជាធាតុអេឡិចត្រូនិចបំផុត។ នៅក្នុងពាក្យសាមញ្ញ, វាជាការស្រេកឃ្លានមិនគួរឱ្យជឿសម្រាប់អេឡិចត្រុង។ នៅពេលយើងណែនាំ ឧស្ម័ន fluorine រឺ សមាសធាតុ fluorinated ចូលទៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្លាស្មា អាតូមហ្វ្លុយអូរីនមានប្រតិកម្មយ៉ាងខ្លាំងក្លាជាមួយស៊ីលីកុន និង ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត. ប្រតិកម្មគីមីនេះប្រែស៊ីលីកុនរឹងទៅជាឧស្ម័នងាយនឹងបង្កជាហេតុ (ដូចជាស៊ីលីកុនតេត្រាហ្វ្លុយអូរី) ដែលអាចបូមចេញបានយ៉ាងងាយស្រួល។ បើគ្មានប្រតិកម្មគីមីនេះទេ យើងមិនអាចបង្កើតលេណដ្ឋានមីក្រូទស្សន៍ និងរន្ធទំនាក់ទំនងដែលត្រូវការសម្រាប់ទំនើប ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច.

ខាងក្នុងអាយ័តនិ ផលិតកម្មបរិមាណខ្ពស់។ល្បឿន និងភាពជាក់លាក់គឺជាអ្វីគ្រប់យ៉ាង។ ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីន ផ្តល់នូវអត្រាឆ្លាក់ខ្ពស់ដែលត្រូវការដើម្បីរក្សាការឡើងចុះ ខណៈពេលដែលផ្តល់នូវជម្រើសក្នុងការកាត់សម្ភារៈមួយដោយមិនធ្វើឱ្យខូចស្រទាប់ខាងក្រោម។ វា​គឺ​ជា​ទង្វើ​សមតុល្យ​ដ៏​ល្អ​មួយ​នៃ​ គីមីវិទ្យា និងរូបវិទ្យា។

តើ​អ្វី​ទៅ​ដែល​ធ្វើ​ឱ្យ​គីមីវិទ្យា fluorine មាន​លក្ខណៈ​ពិសេស​សម្រាប់​ការ​ឆ្លាក់​ដោយ​ភាព​ជាក់លាក់​ខ្ពស់?

អ្នកអាចសួរថា ហេតុអ្វីមិនប្រើក្លរីន ឬប្រូមីន? យើងធ្វើសម្រាប់ស្រទាប់ជាក់លាក់។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ គីមីវិទ្យា fluorine ផ្តល់នូវអត្ថប្រយោជន៍ពិសេសមួយនៅពេល etching សមា្ភារៈដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុន។ ចំណងរវាងស៊ីលីកុន និងហ្វ្លុយអូរីន គឺខ្លាំងមិនគួរឱ្យជឿ។ ពេលណា ហ្វ្លុយអូរីន ប្លាស្មាប៉ះលើ wafer ប្រតិកម្មគឺ exothermic និង spontaneous។

វេទមន្តកើតឡើងនៅក្នុង ផ្លាហផាការ. ក្នុង ក ដំណើរការអេឡិចត្រូនិច អង្គជំនុំជម្រះ យើងអនុវត្តថាមពលខ្ពស់ទៅនឹងឧស្ម័នដែលមានស្ថេរភាពដូចជាកាបូន Tetrafluoride (CF4) ឬ Sulfur Hexafluoride (SF6) ។ នេះបំបែកឧស្ម័នដោយបញ្ចេញប្រតិកម្ម រេបងន៍ រ៉ាឌីកាល់។ រ៉ាឌីកាល់ទាំងនេះវាយប្រហារលើផ្ទៃ ផាប.

"ភាពជាក់លាក់នៃអេ ចេរ កំណត់ដំណើរការនៃបន្ទះឈីប។ ប្រសិនបើ​ភាព​បរិសុទ្ធ​នៃ​ឧស្ម័ន​របស់​អ្នក​ប្រែប្រួល អត្រា​នៃ​ការ​ឆ្លាក់​របស់​អ្នក​នឹង​ប្រែប្រួល ហើយ​ទិន្នផល​របស់​អ្នក​នឹង​ធ្លាក់​ចុះ»។

នេះនាំឱ្យមានគំនិតនៃ ថ្នាំ anisotropic etching - កាត់ត្រង់ដោយមិនបរិភោគចំហៀង។ ដោយលាយ រេបងន៍ ជាមួយផ្សេងទៀត។ ដំណើរការឧស្ម័នវិស្វករអាចគ្រប់គ្រងទម្រង់នៃលេណដ្ឋានបានយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះ។ សមត្ថភាពនេះគឺចាំបាច់នៅពេលដែលយើងផ្លាស់ទីទៅថ្នាំងតូចៗ (7nm, 5nm និងខាងក្រោម) ដែលសូម្បីតែ nanometer នៃគម្លាតក៏បរាជ័យដែរ។

តើឧស្ម័ននៅក្នុងការផលិត semiconductor ជំរុញដំណើរការ etch កម្រិតខ្ពស់យ៉ាងដូចម្តេច?

ដំណើរការឆ្លាក់ គឺជាឧបករណ៍ឆ្លាក់របស់ fabs. មាន​ពីរ​ប្រភេទ​ធំៗ​គឺ​សើម​សើម (ប្រើ​សារធាតុ​រាវ​ដូច​ជា​ អ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរី) និង etch ស្ងួត (ដោយប្រើប្លាស្មា) ។ ទំនើប ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកកម្រិតខ្ពស់ ថ្នាំងពឹងផ្អែកស្ទើរតែទាំងស្រុងលើការឆ្លាក់ប្លាស្មាស្ងួត ព្រោះវាមានភាពច្បាស់លាស់ជាង។

នៅក្នុងលក្ខណៈធម្មតា។ ការឆ្លាក់ប្លាស្មា លំដាប់, ក ឧស្ម័ន fluorinated ត្រូវបានណែនាំ។ តោះមើលពូជដែលប្រើ៖

• កាបូន Tetrafluoride (CF4)៖ workhorse សម្រាប់ etching អុកស៊ីដ។
• Octafluorocyclobutane (C4F8)៖ ប្រើដើម្បីដាក់ស្រទាប់វត្ថុធាតុ polymer នៅលើជញ្ជាំងចំហៀងនៃលេណដ្ឋាន ការពារពួកវា ខណៈពេលដែលបាតត្រូវបានឆ្លាក់កាន់តែជ្រៅ។
• ស្ពាន់ធ័រ Hexafluoride (SF6)៖ ត្រូវបានគេស្គាល់ថាសម្រាប់អត្រា etching ស៊ីលីកុនលឿនបំផុត។

អន្តរកម្មរវាង អ ផ្លាហផាការ ហើយនេះ ស្រទាប់ខាងក្រោម គឺស្មុគស្មាញ។ វាពាក់ព័ន្ធនឹងការទម្លាក់គ្រាប់បែកលើរាងកាយដោយអ៊ីយ៉ុង និងប្រតិកម្មគីមីដោយរ៉ាឌីកាល់។ នេះ។ ឧបករណ៍ផលិត semiconductor ត្រូវតែគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរឹងនូវលំហូរ សម្ពាធ និងល្បាយនៃឧស្ម័នទាំងនេះ។ ប្រសិនបើ ឧស្ម័នជំនាញ មានសារធាតុមិនបរិសុទ្ធដូចជាសំណើម វាអាចបង្កើតជាអាស៊ីត hydrofluoric នៅក្នុងបណ្តាញចែកចាយ ឬអង្គជំនុំជម្រះ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការច្រេះ និងពិការភាពនៃភាគល្អិត។

ហេតុអ្វីបានជា Nitrogen Trifluoride ជាស្តេចនៃកម្មវិធីសម្អាតបន្ទប់?

កមលុងបេល etching និងសម្អាត ដើរទន្ទឹមគ្នា ការសម្អាតឧបករណ៍ផលិតគឺមានសារៈសំខាន់ដូចការកែច្នៃ wafer ដែរ។ កំឡុងពេល ការដាក់ប្រាក់ចំហាយគីមី (CVD)សមា្ភារៈដូចជាស៊ីលីកុនឬ tungsten ត្រូវបានដាក់នៅលើ wafer ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ សម្ភារៈទាំងនេះក៏ស្រោបជញ្ជាំងនៃបន្ទប់ផងដែរ។ ប្រសិនបើ​សំណល់​នេះ​បង្កើត​ឡើង វា​នឹង​រលត់​ទៅ​លើ​ក្រដាស់បិត​ដែល​បណ្តាល​ឱ្យ​ខូច​ខាត។

បញ្ចូល អាសូត Trifluoride (NF3).

កាលពីឆ្នាំមុនឧស្សាហកម្មបានប្រើ ផ្ទះកញ្ចក់ fluorinated ឧស្ម័នដូចជា C2F6 សម្រាប់សម្អាតបន្ទប់។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ NF3 បានក្លាយជាស្តង់ដារសម្រាប់ ដំណើរការសម្អាតបន្ទប់ ដោយសារតែប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ នៅពេលបំបែកនៅក្នុងប្រភពប្លាស្មាពីចម្ងាយ NF3 បង្កើតបរិមាណដ៏ធំ អាតូម fluorine. អាតូមទាំងនេះសម្អាតជញ្ជាំងបន្ទប់ឱ្យស្អាត ប្រែក្លាយសំណល់រឹងទៅជាឧស្ម័នដែលត្រូវបានបូមចេញ។

triffluoride អាសូត ត្រូវ​បាន​គេ​ពេញ​ចិត្ត​ព្រោះ​វា​មាន​អត្រា​ប្រើ​ប្រាស់​ខ្ពស់​ជាង​នេះ (ឧស្ម័ន​ច្រើន​ត្រូវ​បាន​ប្រើ​យ៉ាង​ពិត​ប្រាកដ) និង​ការ​បំភាយ​ឧស្ម័ន​ទាប​បើ​ធៀប​នឹង​ចាស់។ ភ្នាក់ងារសំអាត. សម្រាប់អ្នកគ្រប់គ្រងបរិក្ខារ នេះមានន័យថា ពេលវេលារងចាំតិចសម្រាប់ការថែទាំ និងដំណើរការលឿនជាងមុន។

តើសមាសធាតុ fluorinated មួយណាដែលចាំបាច់សម្រាប់ការផលិតក្នុងបរិមាណខ្ពស់?

នេះ ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ semiconductor ពឹងផ្អែកលើកញ្ចប់ជាក់លាក់មួយ។ ឧស្ម័នដែលមានផ្ទុកហ្វ្លុយអូរីន. នីមួយៗមាន "រូបមន្ត" ឬកម្មវិធីជាក់លាក់។ នៅ ឧស្ម័ន Jiangsu Huazhongយើងឃើញតម្រូវការដ៏ធំសម្រាប់ដូចខាងក្រោម៖

តាមងនេហ សមាសធាតុ fluorinated គឺ​ជា​ឈាម​ជីវិត​របស់ ផលិតកម្មបរិមាណខ្ពស់។. ដោយគ្មានស្ទ្រីមថេរនៃទាំងនេះ ឧស្ម័ននៅក្នុង semiconductor ផលិតកម្ម, បន្ទាត់ឈប់។ វាគឺសាមញ្ញណាស់។ នេះហើយជាមូលហេតុដែលអ្នកគ្រប់គ្រងការទិញដូចជា Eric Miller តែងតែតាមដាន ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ សម្រាប់ការរំខាន។

ហេតុអ្វីបានជាឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជាឆ្អឹងខ្នងនៃទិន្នផល semiconductor?

ខ្ញុំមិនអាចសង្កត់ធ្ងន់បានគ្រប់គ្រាន់ទេ៖ ភាពបរិសុទ្ធគឺជាអ្វីគ្រប់យ៉ាង។

នៅពេលយើងនិយាយអំពី ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់យើងមិននិយាយអំពី "ថ្នាក់ឧស្សាហកម្ម" ដែលប្រើសម្រាប់ការផ្សារដែកទេ។ យើងកំពុងនិយាយអំពី 5N (99.999%) ឬ 6N (99.9999%) ភាពបរិសុទ្ធ។

ហេតុអ្វី? ព្រោះ ក ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក មានលក្ខណៈពិសេសវាស់ជា nanometers ។ ម៉ូលេគុលតែមួយនៃភាពមិនបរិសុទ្ធនៃលោហធាតុ ឬបរិមាណដាននៃសំណើម (H2O) អាចបណ្តាលឱ្យមានសៀគ្វីខ្លី ឬរារាំងស្រទាប់មិនឱ្យជាប់។

• សំណើម៖ ប្រតិកម្មជាមួយ រេបងន៍ ដើម្បីបង្កើត HF ដែលបំផ្លាញប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័ន។
• អុកស៊ីសែន: អុកស៊ីតកម្មស៊ីលីកុនដោយមិនអាចគ្រប់គ្រងបាន។
• លោហៈធ្ងន់៖ បំផ្លាញលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីរបស់ត្រង់ស៊ីស្ទ័រ។

ក្នុងនាមជាអ្នកផ្គត់ផ្គង់ ការងាររបស់យើងគឺដើម្បីធានាថា Xenon ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ រឺ អុកស៊ីដនីត្រូសថ្នាក់ទីអេឡិចត្រូនិច អ្នកទទួលបានជួបយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម. យើង​ប្រើ​ឧស្ម័ន​ក្រូម៉ាតូក្រាម​កម្រិត​ខ្ពស់​ដើម្បី​រក​ឃើញ ភាពមិនបរិសុទ្ធដានតាមដាន ចុះដល់ផ្នែកក្នុងមួយពាន់លាន (ppb) ។ សម្រាប់អ្នកទិញ ការមើលឃើញវិញ្ញាបនបត្រនៃការវិភាគ (COA) មិនមែនគ្រាន់តែជាឯកសារទេ។ វាជាការធានាថារបស់ពួកគេ។ ការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិក នឹងមិនប្រឈមមុខនឹងការធ្លាក់ទិន្នផលមហន្តរាយទេ។

តើឧស្សាហកម្មគ្រប់គ្រងការបំភាយឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ និង GWP យ៉ាងដូចម្តេច?

មានដំរីនៅក្នុងបន្ទប់ : បរិស្ថាន។ ជាច្រើន។ ឧស្ម័ន fluorinated មានកម្រិតខ្ពស់ សក្តានុពលនៃការឡើងកំដៅផែនដី (GWP). ឧ. Sulfur Hexafloride (SF6) គឺជាផ្នែកមួយនៃច្រើនបំផុត ឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏មានឥទ្ធិពល មនុស្សស្គាល់ថាមាន GWP ខ្ពស់ជាង CO2 រាប់ពាន់ដង។

នេះ ឧស្សាហកម្មផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ស្ថិតក្រោមសម្ពាធយ៉ាងសម្បើម ដើម្បីកាត់បន្ថយកាបូនិករបស់វា។ នេះបាននាំឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរសំខាន់ពីរ៖

1. ការកាត់បន្ថយ៖ ហ្វាប កំពុងដំឡើង "ប្រអប់ដុត" ឬឧបករណ៍បោសសំអាតដ៏ធំនៅលើខ្សែភ្លើងរបស់ពួកគេ។ ប្រព័ន្ធទាំងនេះបំបែកការមិនមានប្រតិកម្ម ឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ មុនពេលវាត្រូវបានបញ្ចេញទៅក្នុងបរិយាកាស។
2. ការជំនួស៖ អ្នកស្រាវជ្រាវកំពុងស្វែងរកជម្រើសជំនួស ចេរ ឧស្ម័នដែលមាន GWP ទាប។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ការស្វែងរកម៉ូលេគុលដែលដំណើរការដូច C4F8 ឬ SF6 ដោយគ្មានផលប៉ះពាល់បរិស្ថានគឺពិបាកខាងគីមី។

triffluoride អាសូត គឺជាជំហានមួយក្នុងទិសដៅត្រឹមត្រូវសម្រាប់ការសម្អាត ព្រោះវាបំបែកបានយ៉ាងងាយជាង PFCs ចាស់ៗ ដែលបណ្តាលឱ្យមានតិចជាង ការបំភាយ ប្រសិនបើប្រព័ន្ធបន្ធូរបន្ថយដំណើរការត្រឹមត្រូវ។ ការកាត់បន្ថយ ការបំភាយឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ មិនមែនគ្រាន់តែជាការផ្លាស់ប្តូរ PR ទៀតទេ។ វាគឺជាតម្រូវការបទប្បញ្ញត្តិនៅក្នុងសហភាពអឺរ៉ុប និងសហរដ្ឋអាមេរិក។

តើខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ semiconductor ងាយរងគ្រោះដោយសារការខ្វះខាតឧស្ម័នពិសេសមែនទេ?

ប្រសិនបើប៉ុន្មានឆ្នាំចុងក្រោយនេះ បានបង្រៀនយើងនូវអ្វី នោះគឺជារឿងនោះ។ ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ មានភាពផុយស្រួយ។ ក្រុមហ៊ុនផលិត semiconductor បានប្រឈមមុខនឹងការខ្វះខាតនៃអ្វីគ្រប់យ៉ាងពីអ៊ីយូតាទៅ fluoropolymer.

ការផ្គត់ផ្គង់របស់ ឧស្ម័ន fluorine ហើយនិស្សន្ទវត្ថុរបស់វាអាស្រ័យទៅលើការជីកយករ៉ែហ្វ្លុយអូរី (កាល់ស្យូមហ្វ្លុយអូរី)។ ប្រទេសចិនគឺជាប្រភពសកលដ៏សំខាន់នៃវត្ថុធាតុដើមនេះ។ នៅពេលដែលភាពតានតឹងភូមិសាស្ត្រនយោបាយកើនឡើង ឬផ្លូវដឹកជញ្ជូនស្ទះ ភាពអាចរកបាននៃកត្តាសំខាន់ៗទាំងនេះ ដំណើរការឧស្ម័ន ធ្លាក់ចុះ ហើយតម្លៃឡើងខ្ពស់

សម្រាប់អ្នកទិញដូចជា Eric ការភ័យខ្លាចនៃ "Force Majeure" គឺពិតប្រាកដ។ ដើម្បីកាត់បន្ថយបញ្ហានេះ ក្រុមហ៊ុនដែលមានជំនាញកំពុងធ្វើពិពិធកម្មអ្នកផ្គត់ផ្គង់របស់ពួកគេ។ ពួកគេកំពុងស្វែងរកដៃគូដែលជាម្ចាស់របស់ខ្លួន។ ធុង iso និងបានបង្កើតបណ្តាញដឹកជញ្ជូន។ ភាពជឿជាក់នៅក្នុង ផស្ថ វាមានសារៈសំខាន់ដូចគ្នានឹងភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដែរ។ អ្នកអាចមានភាពបរិសុទ្ធបំផុត។ ឧស្ម័ន C4F8 នៅក្នុងពិភពលោក ប៉ុន្តែប្រសិនបើវាជាប់គាំងនៅកំពង់ផែ វាគ្មានប្រយោជន៍អ្វីឡើយ។ ហ្វា.

តើពិធីសារសុវត្ថិភាពអ្វីខ្លះសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងអ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរីត និងសារធាតុពុលផ្សេងទៀត?

សុវត្ថិភាពគឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃឧស្សាហកម្មរបស់យើង។ ជាច្រើន។ ហ្វ្លុយអូរីន ឧស្ម័នមានជាតិពុល ថប់ដង្ហើម ឬប្រតិកម្មខ្លាំង។ អ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរី (HF) ដែលជារឿយៗត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងទម្រង់សើម ឬបង្កើតជាអនុផល គឺមានគ្រោះថ្នាក់ជាពិសេស។ វាជ្រាបចូលទៅក្នុងស្បែកនិងវាយប្រហាររចនាសម្ព័ន្ធឆ្អឹង។

ការដោះស្រាយសម្ភារៈទាំងនេះតម្រូវឱ្យមានការបណ្តុះបណ្តាលយ៉ាងម៉ត់ចត់ និងឧបករណ៍ឯកទេស។

• ស៊ីឡាំង: ត្រូវតែមានការបញ្ជាក់ DOT/ISO និងត្រួតពិនិត្យជាទៀងទាត់សម្រាប់ការ corrosion ខាងក្នុង។
• វ៉ាល់៖ សន្ទះ diaphragm ត្រូវបានប្រើដើម្បីការពារការលេចធ្លាយ។
• ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា៖ វត្ថុធាតុ semiconductor ត្រូវបានគ្របដណ្តប់នៅក្នុងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញារាវរកឧស្ម័នដែលបង្កការជូនដំណឹងនៅពេលលេចធ្លាយតិចតួចបំផុត។

នៅពេលដែលយើងបំពេញស៊ីឡាំងជាមួយ អុកស៊ីដនីត្រូសថ្នាក់ទីអេឡិចត្រូនិច ឬសារធាតុពុល យើងចាត់ទុកវាដូចជាអាវុធផ្ទុក។ យើងធានាថាស៊ីឡាំងត្រូវបានប៉ូលានៅខាងក្នុងដើម្បីការពារភាគល្អិត ហើយសន្ទះបិទបើក និងបិទជិត។ សម្រាប់អតិថិជនរបស់យើង, ដឹងថា ហ្គាសរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន ឬ etchant មកដល់នៅក្នុងការវេចខ្ចប់ប្រកបដោយសុវត្ថិភាព និងអនុលោមភាពគឺជាការសង្គ្រោះដ៏សំខាន់មួយ។

តើ​អ្វី​ទៅ​ជា​នៅ​ខាង​មុខ​សម្រាប់​វត្ថុ​ធាតុ​ដែល​ប្រើ​ក្នុង​ដំណើរ​ការ​ផលិត​សារធាតុ semiconductor?

នេះ ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក ផែនទីបង្ហាញផ្លូវគឺឈ្លានពាន។ នៅពេលដែលបន្ទះសៀគ្វីផ្លាស់ទីទៅរចនាសម្ព័ន្ធ 3D ដូចជាត្រង់ស៊ីស្ទ័រ Gate-All-Around (GAA) ភាពស្មុគស្មាញនៃ etching និងសម្អាត កើនឡើង។ យើងកំពុងឃើញតម្រូវការសម្រាប់កម្រនិងអសកម្មបន្ថែមទៀត ឧស្ម័ន fluorinated ល្បាយដែលអាចឆ្លាក់រន្ធជ្រៅ និងតូចចង្អៀត ជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់អាតូមិច។

ការឆ្លាក់ស្រទាប់អាតូមិក (ALE) គឺជាបច្ចេកទេសដែលកំពុងលេចចេញ ដែលយកស្រទាប់អាតូមិកចេញក្នុងពេលតែមួយ។ នេះតម្រូវឱ្យមានកម្រិតថ្នាំច្បាស់លាស់មិនគួរឱ្យជឿ ឧស្ម័នប្រតិកម្ម. លើសពីនេះ ការជំរុញការផលិត "បៃតង" ទំនងជានឹងជំរុញឱ្យមានការទទួលយកថ្មី។ គីមីវិទ្យា fluorine ដែលផ្តល់នូវការអនុវត្តដូចគ្នាជាមួយនឹងកម្រិតទាប GWP.

អនាគតជាកម្មសិទ្ធិរបស់អ្នកដែលអាចច្នៃប្រឌិតទាំងការសំយោគឧស្ម័ន និងការបន្សុត។ ជា សំភារៈអេឡិចត្រូនិច វិវឌ្ឍ ឧស្ម័នដែលប្រើដើម្បីបង្កើតរូបរាងពួកវាក៏ត្រូវវិវឌ្ឍដែរ។

គន្លឹះសំខាន់

• ហ្វ្លុយអូរីនគឺចាំបាច់៖ គីមីវិទ្យាហ្វ្លុយអូរីន គឺជាកម្មវិធីគន្លឹះសម្រាប់ ចេរ និង ស្អាត ជំហានចូល ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក.
• ភាពបរិសុទ្ធគឺជាស្តេច៖ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ (6N) គឺមិនអាចចរចារបានដើម្បីការពារពិការភាព និងធានា ដំណើរការស្ថេរភាព.
• ភាពខុសគ្នានៃឧស្ម័ន៖ ឧស្ម័នផ្សេងៗគ្នាដូចជា CF4, SF6 និង triffluoride អាសូត បម្រើតួនាទីជាក់លាក់នៅក្នុង ការប្រឌិត.
• ផលប៉ះពាល់បរិស្ថាន៖ ការគ្រប់គ្រង ការបំភាយឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ និង ការធូរស្រាល ជា​បញ្ហា​ប្រឈម​ក្នុង​ឧស្សាហកម្ម​សំខាន់។
• សុវត្ថិភាពផ្គត់ផ្គង់៖ រឹងមាំ ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ និងដៃគូដែលអាចទុកចិត្តបានគឺចាំបាច់ដើម្បីជៀសវាងការបញ្ឈប់ផលិតកម្ម។

នៅ Jiangsu Huazhong Gas យើងយល់ពីបញ្ហាប្រឈមទាំងនេះ ដោយសារយើងរស់នៅរាល់ថ្ងៃ។ មិនថាអ្នកត្រូវការទេ។ Xenon ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ សម្រាប់ដំណើរការឆ្លាក់ថ្មីបំផុតរបស់អ្នក ឬការផ្តល់ឧស្ម័នឧស្សាហកម្មស្តង់ដារដែលអាចទុកចិត្តបាន យើងនៅទីនេះដើម្បីគាំទ្របច្ចេកវិទ្យាដែលបង្កើតអនាគត។