នៅក្នុងពិភពនៃបច្ចេកវិទ្យាទំនើប, នេះ, នេះ អេឡិចត្រូសា គឺស្តេច។ បន្ទះឈីបតូចនិងស្មុគស្មាញទាំងនេះផ្តល់ថាមពលអ្វីៗគ្រប់យ៉ាងពីស្មាតហ្វូនរបស់យើងទៅឡានរបស់យើងនិងមជ្ឈមណ្ឌលទិន្នន័យដែលដំណើរការអ៊ីនធឺណិត។ ប៉ុន្តែអ្វីដែលផ្តល់អំណាចដល់ការបង្កើតបន្ទះឈីបទាំងនេះ? ចម្លើយដែលគួរឱ្យភ្ញាក់ផ្អើលគឺគួរឱ្យភ្ញាក់ផ្អើល ឧស្ផ័ន។ មិនត្រឹមតែទេ ឧស្ផ័នប៉ុន្តែ ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ អនាម័យដែលមិនអាចនឹកស្មានដល់។ ដូចអាឡិនដែលជាម្ចាស់រោងចក្រមួយដែលមានខ្សែបន្ទាត់ផលិតកម្មចំនួន 7 ដែលមានឯកទេសក្នុងឧស្ម័នឧស្សាហកម្មខ្ញុំបានឃើញដោយផ្ទាល់នូវរបៀបដែលតម្រូវការនៃភាពបរិសុទ្ធបានកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំង។ អត្ថបទនេះគឺសម្រាប់មេដឹកនាំអាជីវកម្មដូចជា Mark Shen ដែលស្ថិតនៅជួរមុខនៃឯកសារ ឧស្ផ័ន ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់។ អ្នកយល់ពីគុណភាពនិងតម្លៃប៉ុន្តែការនាំមុខពិតប្រាកដនៅក្នុងទីផ្សារនេះអ្នកត្រូវយល់ពីឯកសារនេះ ហេតុអវី។ យើងនឹងដោះសត្វពិភពដ៏ស្មុគស្មាញនៃ ការផលិតអេឡិចត្រូនិកដោយពន្យល់អំពីពាក្យងាយៗហេតុអ្វីបានជាវង្វេងផ្លូវតែមួយ កុចម្បការ ក្នុងក ឧស្ផ័ន ស្ទ្រីមអាចធ្វើឱ្យរោងចក្ររាប់លានលាន។ នេះគឺជាការណែនាំរបស់អ្នកក្នុងការនិយាយភាសារបស់ព្រះអម្ចាស់ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក ហើយក្លាយជាដៃគូដែលមិនអាចខ្វះបាន។

តើឧស្ម័នលេងមានតួនាទីអ្វីខ្លះក្នុងការធ្វើឱ្យបន្ទះឈីបសូឡូសប៉ោម?

នៅស្នូលរបស់វា ការផលិតអេឡិចត្រូនិក គឺជាដំណើរការនៃការបង្កើតអគារអគារអតិសុខុមទស្សន៍, ពហុព្យាបាលនៅលើឌីសស្តើងនៃ ស៊ីលីលីនដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាក ផាប។ សូមស្រមៃគិតពីការព្យាយាមបង្កើតអគារខ្ពស់ ៗ ទំហំនៃត្រាប្រៃសណីយ៍ដែលមានបន្ទប់រាប់ពាន់លាននិងតាមសាលធំ។ នោះគឺជាជញ្ជីងដែលយើងកំពុងនិយាយ។ ដើម្បីសំរេចបាននេះអ្នកមិនអាចប្រើឧបករណ៍រាងកាយបានទេ។ ផ្ទុយទៅវិញទាំងមូល ដំណើរការផលិតកម្ម ពឹងផ្អែកលើស៊េរីនៃប្រតិកម្មគីមីច្បាស់លាស់និងយានជំនិះសំខាន់ៗសម្រាប់ប្រតិកម្មទាំងនេះគឺ ឧស្ផ័ន.

ឧស្ម័នដើរតួជាដៃដែលមើលមិនឃើញដែលសាងសង់សៀគ្វីទាំងនេះ។ ពួកគេធ្វើកិច្ចការសំខាន់ៗជាច្រើន។ អ្នកខ្លះចូលចិត្ត អាសូតបង្កើតបរិយាកាសស្អាតនិងមានស្ថេរភាពឥតខ្ចោះការពារការប្រតិកម្មដែលមិនចង់បាន។ អ្នកផ្សេងទៀតដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាដំណើរការឧស្ម័នគឺជាប្លុកអគារជាក់ស្តែងឬឧបករណ៍ឆ្លាក់។ ឧទាហរណ៍ជាក់លាក់មួយ ប្រភេទឧស្ម័ន អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ស្រទាប់អតិសុខុមទស្សន៍នៃសម្ភារៈដែលមានសម្ភារៈមួយផ្សេងទៀត ឧស្ផ័ន ត្រូវបានប្រើយ៉ាងច្បាស់ ចេរ សម្ភារៈឆ្ងាយដើម្បីបង្កើតផ្លូវសៀគ្វី។ រាល់ជំហានតែមួយចាប់ពីការសម្អាត ផាប ដើម្បីកសាងត្រង់ស៊ីស្ទ័រចុងក្រោយពាក់ព័ន្ធនឹងជាក់លាក់មួយ ឧស្ផ័ន ឬល្បាយឧស្ម័ន។ ភាពជាក់លាក់នៃឯកសារ លំហូរឧស្ម័ន ហើយសមាសធាតុគីមីរបស់វាបង្ហាញពីភាពជោគជ័យរបស់ ការផលិតបន្ទះឈីប ដំណើរការ។

ហេតុអ្វីបានជាភាពបរិសុទ្ធមានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក?

នៅក្នុងជីវិតប្រចាំថ្ងៃរបស់យើងធូលីតិចតួចឬ ការបំពុលបរិយាកាស មិនមានបញ្ហាធំទេ។ ប៉ុន្តែនៅខាងក្នុងក អេឡិចត្រូសា រោងចក្រផលិតឬ "Fab" វាជាមហន្តរាយមួយ។ សមាសធាតុដែលត្រូវបានសាងសង់នៅលើមួយ ស៊ីលីលីន ផាប ជារឿយៗត្រូវបានវាស់នៅក្នុងណាណូម៉ែត្រ - នោះជាចំនួនមួយពាន់ម៉ែត្រ។ ដើម្បីដាក់វាតាមទស្សនៈសក់មនុស្សតែមួយគឺមានប្រមាណ 75,000 ណាណូមៀន។ ធូលីតូចមួយ កុចម្បការ អ្នកមិនអាចមើលឃើញសូម្បីតែផ្ទាំងថ្មយក្សមួយនៅក្នុងពិភពលោកនៃ អេឡិចត្រូសា ការប្រឌិត។

នេះជាមូលហេតុ ភាពបរិសុទ្ធ គឺជាលក្ខណៈសំខាន់បំផុតតែមួយនៃឧស្ម័ន ប្រើក្នុងអេឡិចត្រូត ផលិតកម្ម។ ម៉ូលេគុលដែលមិនចង់បានណាមួយមិនថាវាជាម៉ូលេគុលទឹកដែលវង្វេងទេដែកតូចមួយ កុចម្បការឬខុសគ្នា ឧស្ផ័ន ម៉ូលេគុល - ត្រូវបានគេចាត់ទុកថាជា ដេលធេវី។ នេហ ផាបកខវក់ អាចរំខានដល់ឆ្ងាញ់ ប្រតិកម្មគីមី ការកើតឡើងនៅលើឯកសារ ផាបផ្ទៃរបស់។ តែមួយ ដេលធេវី អាចរារាំងសៀគ្វីពីការបង្កើតបណ្តាលឱ្យមានសៀគ្វីខ្លីឬផ្លាស់ប្តូរ លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីនៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក សម្ភារៈ។ ដោយសារតែតែមួយ ផាប អាចមានឈីបរាប់រយឬរាប់ពាន់នៃបន្ទះឈីបផ្ទាល់ខ្លួនកំហុសតូចមួយអាចបណ្តាលឱ្យមានការបាត់បង់ហិរញ្ញវត្ថុដ៏ធំមួយ។ ដំណើរការទាំងមូលទាមទារ កំរិតខ្ពស់បំផុតនៃភាពបរិសុទ្ធ ដើម្បីធ្វើការទាល់តែសោះ។

តើការមិនពឹងផ្អែកលើឧស្ម័នដែលផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិចដែលខូចដោយរបៀបណា?

នៅពេលដែលមួយ ដេលធេវី មានវត្តមាននៅក្នុងដំណើរការមួយ ឧស្ផ័ន, វាអាចបណ្តាលឱ្យ "ឃាតករ ផាបតាស់។ "នេះមិនមែនគ្រាន់តែជាគុណវិបត្តិតូចប៉ុណ្ណោះទេ។ វាជាក ផាបតាស់ ដែលផ្តល់ឱ្យមីក្រូជីបទាំងមូលនៅលើផ្នែកនោះនៃឯកសារនោះ ផាប គ្មានប្រយោជន៍។ សូមក្រឡេកមើលថាតើរឿងនេះកើតឡើងយ៉ាងម៉េច។ ក្នុងកំឡុងពេល ការតមនាក់ ដំណាក់កាលដែលខ្សែភាពយន្តស្តើងកំពុងត្រូវបានសាងសង់ស្រទាប់ដោយស្រទាប់ដែលមិនចង់បាន កុចម្បការ អាចចុះចតនៅលើផ្ទៃខាងលើ។ នៅពេលស្រទាប់បន្ទាប់ត្រូវបានដាក់នៅលើកំពូលវាបង្កើតជាការជក់បារីមីក្រូទស្សន៍ឬការចាត់ទុកជាមោឃៈ។ គុណវិបត្តិនេះអាចបំបែកការភ្ជាប់អគ្គិសនីឬបង្កើតមួយដោយអចេតនាបំផ្លាញត្រង់ស៊ីស្ទ័រដែលកំពុងសាងសង់។

ផលវិបាកនៃបញ្ហានេះគឺការបំផ្លិចបំផ្លាញយ៉ាងខ្លាំងចំពោះខ្សែបាតរបស់ Fair ។ ម៉ែត្រចម្បងសម្រាប់ជោគជ័យក្នុងក អេឡិចត្រូសា Af គឺជា "ទិន្នផល" - ភាគរយនៃបន្ទះឈីបធ្វើការដែលផលិតចេញពីតែមួយ ផាប។ សូម្បីតែការធ្លាក់ចុះតូចមួយនៅក្នុង តិន្នផលពី 95% ទៅ 90% អាចតំណាងឱ្យប្រាក់ចំណូលដែលបាត់បង់រាប់លានដុល្លារ។ ភាពមិនស្អាតឧស្ម័ន គឺជាមូលហេតុផ្ទាល់នៃការកាត់បន្ថយ តិន្នផល។ នេះជាមូលហេតុ ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ត្រូវបានឈ្លក់វង្វេងនឹង ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស។ ពួកគេចាំបាច់ត្រូវប្រាកដថានេះ ឧស្ផ័ន ការបញ្ចូលឧបករណ៍ពហុពាន់លានដុល្លាររបស់ពួកគេគឺពិតជាឥតគិតថ្លៃពីអ្វីទាំងអស់ នៃការកោងកោង ដែលអាចធ្វើឱ្យខូចដល់ ដំណើរការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិច។ វាជាល្បែងនៃភាពជាក់លាក់មីក្រូទស្សន៍ដែលមានកន្លែងសូន្យសម្រាប់កំហុស។

តើឧស្ម័នសំខាន់ត្រូវបានប្រើក្នុងការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិចយ៉ាងដូចម្តេច?

ជួរនៃឧស្ម័នដែលបានប្រើនៅក្នុងឯកសារ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក មានលក្ខណៈទូលំទូលាយប៉ុន្តែជាទូទៅពួកគេធ្លាក់ក្នុងពីរប្រភេទគឺឧស្ម័នមានឧស្ម័ននិងឧស្ម័នជំនាញ។

• ឧស្ម័ន BUSE: ទាំងនេះត្រូវបានប្រើក្នុងបរិមាណដ៏ច្រើនហើយបង្កើតបានជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃបរិដ្ឋានផលិតកម្ម។

  • អាសូត (N₂): នេះគឺជាការងារ។ ខ្ពស់បំផុត ភាពបរិសុទ្ធ អាសូត ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតបរិយាកាសអសហនានៅខាងក្នុងឧបករណ៍ប្រឌិត។ នេះបៅអុកស៊ីសែនសំណើមនិងភាគល្អិតផ្សេងទៀតការពារការកត់សុីដែលមិនចង់បានឬ ផាបកខវក់ នៃព្រះគម្ពីរមរមន ផាប.
  • អ៊ីដ្រូសែន (H₂): ត្រូវបានប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងការរួមបញ្ចូលគ្នាជាមួយនឹងឧស្ម័នផ្សេងទៀត, អ៊ីដ្រូដនី គឺសំខាន់ណាស់សម្រាប់ប្រាកដ ការតមនាក់ ដំណើរការនិងសម្រាប់ការបង្កើតបរិយាកាសគីមីជាក់លាក់ដែលត្រូវការដើម្បីបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធភ្លើងបៀង។
  • Argon (AR): ក្នុងនាមជាអសកម្ម ឧស្ផ័ន, Argon ត្រូវបានប្រើនៅក្នុងដំណើរការមួយដែលមានឈ្មោះថា Sputting ដែលជាកន្លែងដែលវាត្រូវបានប្រើដើម្បីទម្លាក់គ្រាប់បែកលើសម្ភារៈគោលដៅ, បន្ទាប់មកអាតូមធ្លាក់ចុះដែលបានធ្លាក់ចុះ ផាប។ វាក៏ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតឯកសារផងដែរ ផ្លាហផាការ នៅក្នុងជាច្រើន ចេរ ដំណើរការ។

• ឧស្ម័នជំនាញ: ទាំងនេះគឺស្មុគស្មាញដែលជារឿយៗមានគ្រោះថ្នាក់ឧស្ម័នឧស្ម័នដែលត្រូវបានប្រើសម្រាប់ជំហានដំណើរការជាក់លាក់។ ពួកគេគឺជាគ្រឿងផ្សំសកម្ម "។

  • chetchants: ឧស្ម័នដូចជាក្លរីន (ក្លូ) និងអ៊ីដ្រូសែន bromide (HBR) ត្រូវបានប្រើដើម្បីឆ្លាក់បានយ៉ាងជាក់លាក់ឬ ចេរ លំនាំចូលទៅក្នុងស្រទាប់នៃឯកសារ ផាប.
  • ដូសៈ ឧស្ម័នដូចជា Arsine (Ash₃) និងផូស្វ័រ (PHOS) ត្រូវបានប្រើដើម្បីណែនាំដោយចេតនានូវចំណុចជាក់លាក់មួយ ដេលធេវី ចូលទៅក្នុងឯកសារ ស៊ីលីលីន ដើម្បីផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈអគ្គិសនីរបស់វាដែលជារបៀបដែលត្រង់ស៊ីស្ទ័រត្រូវបានគ្រប់គ្រង។
  • ឧស្ម័នដាក់ប្រាក់: Silane (Sih₄) គឺជាឧទាហរណ៍បុរាណដែលត្រូវបានប្រើជាប្រភពនៃ ស៊ីលីលីន ដាក់ឯកសារយន្តស្តើង។

សម្រាប់មន្រ្តីលទ្ធកម្មដូចជាម៉ាកុសវាមានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការដឹងថាខណៈពេលដែលឧស្ម័នទាំងអស់នេះខុសគ្នាពួកគេចែករំលែកតម្រូវការរួមមួយ: ខ្លាំង ភាពបរិសុទ្ធ.

តើអ្នកអាចពន្យល់ពីការទទួលប្រាក់បញ្ញើនិង etching ក្នុងន័យសាមញ្ញបានទេ?

ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក ពាក់ព័ន្ធនឹងជំហានរាប់រយប៉ុន្តែភាគច្រើននៃពួកគេគឺជាការប្រែប្រួលនៃដំណើរការមូលដ្ឋានពីរ: ការតមនាក់ និង ចេរ។ ការយល់ដឹងទាំងនេះក្នុងន័យសាមញ្ញគឺជាគន្លឹះក្នុងការស្វែងយល់ពីតួនាទីរបស់ ឧស្ផ័ន.

1 ។ ការដាក់ប្រាក់: ការកសាងស្រទាប់
គិតអំពី ការតមនាក់ ដូចជាការបាញ់ថ្នាំ - គំនូរជាមួយម៉ូលេគុល។ គោលដៅគឺដើម្បីបន្ថែមស្រទាប់ស្តើងបំផុតដែលមានរាងពងក្រពើដែលមានឯកសណ្ឋាននៃសម្ភារៈមួយនៅលើ Silicon Wafer.

• ដំណើរការ: ដំណើរការមួយ ឧស្ផ័ន (ដូច Silane) ត្រូវបានលាយជាមួយក ហ្គាសរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន (ដូច អាសូត រឺ អ៊ីដ្រូដនី) ។ នេហ ឧស្ផ័ន បន្ទាប់មកល្បាយត្រូវបានណែនាំទៅក្នុងបន្ទប់ដែលមានឯកសារ ផាប។ នៃក ប្រតិកម្មគីមី ត្រូវបានកេះជាញឹកញាប់ដោយកំដៅឬក ផ្លាហផាការ, បណ្តាលឱ្យម៉ូលេគុលទៅ "ទឹកភ្លៀង" ចេញពីឯកសារ ឧស្ផ័ន ហើយបង្កើតបានជារឹង ខ្សែភាពយន្តស្តើង នៅលើឯកសារ ផាបផ្ទៃរបស់។
• ហេតុអ្វីបញ្ហាភាពបរិសុទ្ធ: ប្រសិនបើមានការកខ្វក់ កុចម្បការ នៅក្នុង ឧស្ផ័ន ស្ទ្រីមវាដូចជាធូលីដែលចូលក្នុងថ្នាំលាបបាញ់របស់អ្នក។ វានឹងទទួលបានការបង្កប់នៅក្នុងស្រទាប់ថ្មីដែលបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធ ផាបតាស់។ ប្រសិនបើមានអ្វីដែលមិនចង់បាន ឧស្ផ័ន ម៉ូលេគុលវាអាចមានប្រតិកម្មមិនត្រឹមត្រូវការផ្លាស់ប្តូរការតុបតែងមុខគីមីនិងលក្ខណៈអគ្គិសនីនៃស្រទាប់។

2 ។ etching: ឆ្លាក់សៀគ្វី
បន្ទាប់ពីសាងសង់ស្រទាប់អ្នកត្រូវឆ្លាក់លំនាំសៀគ្វីទៅក្នុងវា។ ចេរ គឺជាដំណើរការនៃការជ្រើសរើសសម្ភារៈដែលបានកំចាត់ដោយជ្រើសរើស។

• ដំណើរការ: នេះ ផាប ត្រូវបានស្រោបដោយសម្ភារៈរសើបពន្លឺដែលគេហៅថាអ្នកថតរូប។ លំនាំមួយត្រូវបានគេព្យាករមកលើវា (ដូចជា stencil មួយ) ។ តំបន់ដែលប៉ះពាល់ត្រូវបានរឹង។ នេះ ផាប បន្ទាប់មកត្រូវបានដាក់នៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះមួយដែលពោរពេញទៅដោយ etchant មួយ ឧស្ផ័ន (ដូចជាសមាសធាតុដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរី) ។ នេហ ឧស្ផ័ន ត្រូវបានផ្តល់ថាមពលដល់ក ផ្លាហផាការ រដ្ឋដែលធ្វើឱ្យវាមានប្រតិកម្មខ្ពស់។ នេះ ផ្លាហផាការ ទម្លាក់គ្រាប់បែក ផាប, ញ៉ាំគីគីមីទៅនឹងសម្ភារៈ រតឹមតេ នៅក្នុងតំបន់ដែលមិនត្រូវបានការពារដោយក្លិនស្អុយ។
• ហេតុអ្វីបញ្ហាភាពបរិសុទ្ធ: ភាពមិនបរិសុទ្ធក្នុងឧស្ម័ន ប្រើសម្រាប់ការក្រេឌីតអាចផ្លាស់ប្តូរអត្រាប្រតិកម្ម។ នេះអាចបណ្តាលឱ្យសៀគ្វីឆ្លាក់ធំពេកតូចពេកឬមិនមានទាល់តែសោះ។ លោហៈមួយ កុចម្បការ ដេលធេវី សូម្បីតែអាចរារាំងឯកសារ ចេរ ដំណើរការក្នុងចំណុចតូចមួយដែលបន្សល់ទុកនូវ "ភ្នំពេញប៉ុស្តិ៍" នៃសម្ភារៈដែលមិនចង់បានដែលខ្លីនៃសៀគ្វី។

តើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នខ្ពស់បំផុតត្រូវបានវាស់វែងនិងថែរក្សាយ៉ាងដូចម្តេច?

នៅក្នុង ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកសកល, ការវាស់វែងភាពបរិសុទ្ធស្តង់ដារដូចជា "ភាគរយ" គឺគ្មានប្រយោជន៍ទេ។ យើងកំពុងដោះស្រាយជាមួយ ផាបកខវក់ នៅលើមាត្រដ្ឋានដែលពិបាកយល់ណាស់។ ភាពបរិសុទ្ធត្រូវបានវាស់វែង ផ្នែកក្នុងមួយសែនកោដិ (PPT) ។ នេះមានន័យថាសម្រាប់រាល់ សមតឹកលានកោដ ឧស្ផ័ន ម៉ូលេគុលវាអាចមានម៉ូលេគុលអាក្រក់មួយឬពីរ។

ដើម្បីសម្រេចបាននិងផ្ទៀងផ្ទាត់កម្រិតនេះ ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស, ប្រព័ន្ធទំនើបនៃ ការបន្សុទ្ធឧស្ម័ន ហើយការវិភាគគឺចាំបាច់។

នៅរោងចក្ររបស់យើងយើងមិនត្រឹមតែផលិតឯកសារទេ ឧស្ផ័ន; យើងរស់នៅនិងដកដង្ហើម ការត្រួតពិនិត្យគុណភាព។ នេះ ផ្គត់ផ្គង់សំលៀកបំពាក់ហ្គាស ខ្សែសង្វាក់សម្រាប់មួយ អេឡិចត្រូសា FAB ពាក់ព័ន្ធនឹងការបន្សុទ្ធឯកទេសដែលបានតំឡើងនៅចំណុចនៃការប្រើប្រាស់។ លើសពីនេះទៀត, ជឿនលឿន ការវិភាគឧស្ម័ន ឧបករណ៍ត្រូវបានប្រើសម្រាប់ ការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាពិតប្រាកដ។ បច្ចេកទេសដូច ម៉ាស់សម្ពាធបរិយាកាសអ៊ីយ៉ូដ Spectrometry (APIMs) អាចអនុវត្តបាន ការរកឃើញភាពមិនស្អាតស្អំ ចុះដល់ផ្នែក - ក្នុងមួយទសវត្សរ៍ដែលធានាបាន ឧស្ម័ន UHP (ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត) បញ្ចូលឧបករណ៍ដំណើរការគឺល្អឥតខ្ចោះ។

តើអ្វីដែលធ្វើឱ្យអ្នកផ្គត់ផ្គង់ហ្គាសមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់អាចទុកចិត្តបាន?

សម្រាប់ប្រធានលទ្ធកម្មដូចម៉ាកដែលបានឆ្លងកាត់ការឈឺចាប់នៃការពន្យារពេលដឹកជញ្ជូននិងវិញ្ញាបនប័ត្រក្លែងបន្លំភាពជឿជាក់គឺអ្វីៗទាំងអស់។ នៅលើពិភពលោកនៃ អេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ឧស្ម័នភាពជឿជាក់លើសសរស្តម្ភចំនួនបីគឺភាពស្ថិតស្ថេររបស់ផលិតកម្មការធានាគុណភាពនិងជំនាញខាងដឹកនាំសាស្ត្រ។

1. ភាពស្ថិតស្ថេររបស់ផលិតកម្ម: អ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចទុកចិត្តបានច្បាស់ជាមានសមត្ថភាពផលិតកម្មរឹងមាំនិងមិនចាំបាច់។ ឧទាហរណ៍រោងចក្រផលិតរបស់រោងចក្ររបស់យើងត្រូវបានធានាថាយើងអាចធ្វើបាន បំពេញតាមតម្រូវការខ្ពស់ ហើយថាបញ្ហាមួយនៅលើបន្ទាត់មួយមិនបញ្ឈប់រាល់ទិន្នផលរបស់យើងទេ។ នេះកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការរំខាននៃការផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចបិទប្រាក់ដុល្លារជាច្រើនកោដិដុល្លារ អេឡិចត្រូសា Fab ។
2. ការធានាគុណភាពដែលអាចទុកចិត្តបាន: វាមិនគ្រប់គ្រាន់ទេក្នុងការអះអាងថាអ្នកមាន ឧស្ម័នសុទ្ធខ្ពស់។ អ្នកត្រូវតែអាចបញ្ជាក់បាន។ នេះមានន័យថាការវិនិយោគក្នុងឧបករណ៍វិភាគរបស់រដ្ឋសម្រាប់ ការរកឃើញភាពមិនស្អាតស្អំ។ វាក៏មានន័យថាផ្តល់វិញ្ញាបនបត្រវិញ្ញាបនប័ត្រដែលមានតម្លាភាពដែលមានតម្លាភាព (COA) ជាមួយនឹងការដឹកជញ្ជូនទាំងអស់។ ការប្រយុទ្ធប្រឆាំងនឹងវិញ្ញាបនប័ត្រវិញ្ញាបនប័ត្រគឺអំពីការកសាងទំនាក់ទំនងរយៈពេលវែងដោយផ្អែកលើទិន្នន័យទុកចិត្តនិងទិន្នន័យដែលអាចផ្ទៀងផ្ទាត់បាន។
3. ជំនាញខាងដឹកនាំសាស្ត្រ: ទទួលបាន ឧស្ម័ន corrosive ឬរាវ cryogenic ពីប្រទេសចិនទៅកាន់សហរដ្ឋអាមេរិកគឺមិនសាមញ្ញទេ។ វាតម្រូវឱ្យមានកុងតឺន័រឯកទេសចំនេះដឹងនៃបទបញ្ជាដឹកជញ្ជូនអន្តរជាតិនិងផែនការយ៉ាងល្អិតល្អន់ដើម្បីជៀសវាងការពន្យារពេល។ អ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចទុកចិត្តបានយល់ពីរឿងនេះមិនមែនគ្រាន់តែដឹកជញ្ជូនប្រអប់ប៉ុណ្ណោះទេ។ វាគ្រប់គ្រងផ្នែកសំខាន់នៃពិភពលោក អេឡិចត្រូសា ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់.

តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាងឧស្ម័នមានហ្គាសនិងឧស្ម័នពិសេស?

ស្វែងយល់ពីភាពខុសគ្នារវាង ឧស្ម័ន BEAM និង ឧស្ម័នជំនាញ គឺជាគន្លឹះសម្រាប់អ្នកដែលចូលរួមក្នុងប្រភពសម្រាប់ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក។ ខណៈពេលដែលទាំងពីរត្រូវការខ្លាំង ភាពបរិសុទ្ធការដោះស្រាយខ្នាតនិងការដាក់ពាក្យរបស់ពួកគេគឺខុសគ្នាខ្លាំងណាស់។

ឧស្ម័នប៊ុលដូចជា ឧស្ម័នឯកទេសពិសេសសុទ្ធសសិទ្ធិខ្ពស់សូមមើល ឧស្ម័នដូចជាអាសូត, អុកស៊ីសែន, Argon, និង អ៊ីដ្រូដនី។ ពួកគេគឺជាគ្រឹះនៃបរិស្ថានរបស់ Fab ។ ពាក្យ "ភាគច្រើន" សំដៅទៅលើបរិមាណដ៏ធំដែលបានប្រើ។ ឧស្ម័នទាំងនេះច្រើនតែផលិតនៅនឹងកន្លែងឬនៅក្បែរនិងនៅក្បែរនោះហើយប្រគល់តាមរយៈបំពង់បង្ហូរបំពង់ដោយផ្ទាល់ទៅប្រព័ន្ធចែកចាយផ្ទៃក្នុងរបស់ Fab ។ បញ្ហាប្រឈមសំខាន់ៗនៅទីនេះកំពុងរក្សា ភាពបរិសុទ្ធ លើបណ្តាញចែកចាយដ៏ធំនិងធានានូវការផ្គត់ផ្គង់ដែលមិនមានការរំខានដែលមិនមានការរំខានខ្ពស់។

ឧស្ម័នជំនាញ (ឬ ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិច) សំដៅទៅលើប្រភេទទូលំទូលាយមួយនៃជារឿយៗឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មដែលត្រូវបានប្រើក្នុងបរិមាណតិចជាងនេះសម្រាប់ដំណើរការជាក់លាក់ជំហានដូចជា etching និង ការតមនាក់។ ឧទាហរណ៏រួមមាន Silane, Ammonia, Boron Trichloride និង Triffluoride Triffluoride ។ ទាំងនេះត្រូវបានដឹកជញ្ជូនក្នុងស៊ីឡាំងសម្ពាធខ្ពស់នីមួយៗ។ បញ្ហាប្រឈមជាមួយ ឧស្ម័នជំនាញ គឺជាសុវត្ថិភាពខ្លាំងក្នុងការដោះស្រាយដោយធានាបាននូវភាពទៀងទាត់នៃល្បាយហ្គាសនិងការពារប្រតិកម្មគីមីណាមួយនៅក្នុងស៊ីឡាំងដែលអាចសម្របសម្រួល គុណភាពឧស្ម័ន.

តើតម្រូវការសម្រាប់ការវិវត្តឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់យ៉ាងដូចម្តេច?

នេះ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក មិនដែលនៅដដែល។ ច្បាប់របស់ Moore ការអង្កេតការអង្កេតដែលចំនួនអ្នកត្រួតពិនិត្យនៅលើបន្ទះឈីបកើនឡើងទ្វេដងប្រមាណរៀងរាល់ 2 ឆ្នាំម្តង ៗ នៅតែបន្តជំរុញព្រំដែននៃរូបវិទ្យា។ នៅពេលត្រង់ស៊ីស្ទ័ររួញតូចពួកគេក្លាយជាស្វ័យប្រវត្ដិដែលងាយរងគ្រោះជាងមុន ផាបកខវក់។ នៃក ទំហំភាគល្អិត ដែលអាចទទួលយកបានកាលពី 5 ឆ្នាំមុនគឺជា "ឃាតករ ផាបតាស់"ថ្ងៃនេះ។

ដ្រាយឥតឈប់ឈរនេះសម្រាប់បន្ទះឈីបតូចជាងនិងមានថាមពលកាន់តែខ្លាំងមានន័យថាតម្រូវការសូម្បីតែខ្ពស់ជាងនេះ ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស កំពុងកើនឡើង។ យើងកំពុងផ្លាស់ប្តូរពីពិភពលោកមួយដែលផ្នែកមួយដែលមានចំនួនមួយពាន់លានដុល្លារគឺជាស្តង់ដារមាសមួយដែលផ្នែកមួយដែលជាកន្លែងដែលក្នុងមួយសែនកោដិគឺជាតម្រូវការនៃការចូលអប្បបរមាសម្រាប់ ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកកម្រិតខ្ពស់ ថ្នាំង។ លើសពីនេះទៀតវត្ថុធាតុដើមថ្មីនិងស្ថាបត្យកម្មបន្ទះឈីបដូចជាកុងតឺស៊ីតេនិងក្លោងទ្វារ 3D និងនៅជុំវិញ (GAA) ត្រូវការផលប័ត្រថ្មីទាំងមូលនៃ ឧស្ម័នជំនាន់ក្រោយ ល្បាយនិងមុន។ តាមងបី ក្រុមហ៊ុនផលិតហ្គាស, យើងកំពុងស្ថិតក្នុងការប្រណាំងថេរនៃការច្នៃប្រឌិត, អភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យាបន្សុតថ្មីនិងវិធីវិភាគដើម្បីរក្សាល្បឿនជាមួយ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកសកល.

ក្នុងនាមជាអ្នកទិញតើខ្ញុំគួរស្វែងរកវិញ្ញាបនប័ត្រគុណភាពអ្វីខ្លះ?

ការរុករកអ្នកផ្គត់ផ្គង់ពិភពលោកអាចមានភាពស្វិតស្វាញជាពិសេសនៅពេលទាក់ទងនឹងផលិតផលបច្ចេកទេស។ វិញ្ញាបនប័ត្រផ្តល់នូវសុពលភាពដ៏សំខាន់និងសំខាន់ទីបីនៃសមត្ថភាពនិងការប្តេជ្ញាចិត្តរបស់អ្នកផ្គត់ផ្គង់ចំពោះគុណភាព។ នៅពេលប្រភពទឹក ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ សម្រាប់ឯកសារ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក, នេះគឺជារឿងមួយចំនួនដែលត្រូវរកមើល:

• អាយអេសអូ 9001: នេះគឺជាវិញ្ញាបនប័ត្រមូលដ្ឋានសម្រាប់ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងគុណភាព។ វាបង្ហាញថាអ្នកផ្គត់ផ្គង់មានដំណើរការដែលបានកំណត់យ៉ាងច្បាស់និងអាចធ្វើម្តងទៀតសម្រាប់ផលិតកម្មការត្រួតពិនិត្យនិងចែកចាយ។
• អាយអេសអូ / អាយ។ អាយ។ 17025: នេះគឺជារឿងសំខាន់មួយ។ វាជាស្តង់ដារសម្រាប់សមត្ថកិច្ចនៃមន្ទីរពិសោធន៍ការធ្វើតេស្តនិងការក្រិតតាមខ្នាត។ អ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលមានវិញ្ញាបនប័ត្រនេះបានបង្ហាញថាមន្ទីរពិសោធន៍ក្នុងផ្ទះរបស់ពួកគេដែលបង្កើតវិញ្ញាបនប័ត្រវិភាគរបស់អ្នកគឺត្រឹមត្រូវនិងអាចទុកចិត្តបាន។
• ការវិភាគដែលមិនអាចធ្វើបាន: តែងតែទាមទារវិញ្ញាបនប័ត្រវិភាគ (COA) សម្រាប់រាល់ស៊ីឡាំងឬបាច់តែមួយ។ វិញ្ញាបនប័ត្រនេះគួរតែរៀបរាប់លំអិតអំពីកំរិតពិតប្រាកដនៃការរិះគន់ ភាពមិនបរិសុទ្ធក្នុងឧស្ម័នដែលបានវាស់ដោយវិធីវិភាគជាក់លាក់ដូចជា ក្រូម៉ូសូមឧស្ម័ន ឬអភិបូជាដ៏ធំមួយ។

ក្នុងនាមជាមេដឹកនាំសំរេចចិត្តដូចម៉ាកដែលជាឧបករណ៍ល្អបំផុតរបស់អ្នកគឺត្រូវសួរសំណួរស៊ើបអង្កេត។ កុំគ្រាន់តែសួរថា "តើនេះទេ? ឧស្ផ័ន បរិសុទ្ធ? សួរថា "តើអ្នកបង្ហាញថាវាបរិសុទ្ធយ៉ាងម៉េច? បង្ហាញខ្ញុំនូវវិញ្ញាបនប័ត្រមន្ទីរពិសោធន៍របស់អ្នក។ ពន្យល់ពីដំណើរការរបស់អ្នកសម្រាប់ការធានាឱ្យមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាបានច្រើន។ "ដៃគូជំនាញនិងគួរឱ្យទុកចិត្តនឹងស្វាគមន៍សំណួរទាំងនេះនិងមានទំនុកចិត្តចម្លើយដែលមានតម្លាភាព។

គន្លឹះសំខាន់

• ហ្គាសគឺជាឧបករណ៍មួយ: ខាងក្នុងអាយ័តនិ ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក, ឧស្ម័នមិនត្រឹមតែជាវត្ថុធាតុដើមប៉ុណ្ណោះទេ។ ពួកវាជាឧបករណ៍ជាក់លាក់ដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីសាងសង់និងឆ្លាក់សៀគ្វីអតិសុខុមទស្សន៍នៅលើក Silicon Wafer.
• ភាពបរិសុទ្ធគឺជាអ្វីគ្រប់យ៉ាង: មាត្រដ្ឋាននៃ ការផលិតបន្ទះឈីប គឺតូចណាស់ដែលមិនចង់បានតែមួយ កុចម្បការ រឺ ដេលធេវី ម៉ូលេគុលអាចបំផ្លាញបន្ទះឈីបធ្វើ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត តម្រូវការដែលមិនអាចចរចាបាន។
• ទិន្នផលគឺជាគោលដៅ: ផលប៉ះពាល់បឋមនៃ ការចម្លងរោគឧស្ម័ន គឺជាការកាត់បន្ថយការផលិត តិន្នផលដែលបកប្រែដោយផ្ទាល់ទៅដុល្លាររាប់លានដុល្លារក្នុងប្រាក់ចំណូលដែលបាត់បង់សម្រាប់ SemiconDuctor Fab.
• ដំណើរការសំខាន់ពីរគឺៈ ជំហានភាគច្រើនក្នុងការធ្វើឱ្យបន្ទះឈីបមួយពាក់ព័ន្ធនឹង ការតមនាក់ (ស្រទាប់អគារ) ឬ ចេរ (លំនាំឆ្លាក់) ដែលទាំងពីរនេះពឹងផ្អែកទាំងស្រុងលើប្រតិកម្មគីមីច្បាស់លាស់នៃឧស្ម័នសុទ្ធ។
• ភាពជឿជាក់គឺជាកូនសោ: អ្នកផ្គត់ផ្គង់គួរឱ្យទុកចិត្តម្នាក់នៅក្នុង ហ្គាសអេឡិចត្រូនិច ទីផ្សារត្រូវតែបង្ហាញពីភាពទៀងទាត់នៃការធានាគុណភាពដែលអាចផ្ទៀងផ្ទាត់បានតាមរយៈមន្ទីរពិសោធន៍ដែលមានការបញ្ជាក់និងការគ្រប់គ្រងភ័ស្តុភារអ្នកជំនាញ។
• អនាគតគឺជាភាពបរិសុទ្ធ: នៅពេលអេឡិចត្រូនិចកាន់តែជឿនលឿនជាងតម្រូវការសម្រាប់កម្រិតខ្ពស់បំផុត ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស (ចុះដល់ផ្នែក - ក្នុងមួយសែនកោដិ) នឹងបន្តកើនឡើង។