ឧស្ម័ន Huazhong បានលះបង់ខ្លួនយើងដើម្បីធ្វើជាម្ចាស់នៃសិល្បៈនិងវិទ្យាសាស្ត្រនៃឧស្សាហកម្មនិង ឧស្ម័នជំនាញ ផលិតកម្ម។ នៅក្នុងពិភពលោកបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់សព្វថ្ងៃជាពិសេសនៅក្នុងព្រះគម្ពីរមរមន អេឡិចត្រូសា ឧស្សាហកម្ម, តម្រូវការសម្រាប់ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត ឧស្ម័នមិនមែនគ្រាន់តែជាចំណូលចិត្តទេ។ វាជាភាពចាំបាច់ដាច់ខាត។ មាត្រានេះបង្ហាញជូននូវពិភពដ៏សំខាន់នៃ ការវិភាគអន់ សរមាប់ ឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច។ យើងនឹងស្វែងយល់ថាហេតុអ្វីបានជាសូម្បីតែតូចតាចបំផុត ដេលធេវី អាចមានផលវិបាកដ៏ឧទ្ធម្ភាគចក្រតើយើងរកឃើញវិធីណាដែលពិបាកយល់ទាំងនេះ ភាពមិនបរិសុទ្ធដានតាមដានហើយតើវាមានន័យយ៉ាងម៉េចសម្រាប់អាជីវកម្ម។ ដេលយល់ ភាពមិនស្អាតឧស្ម័ន និងវិធីសាស្រ្តសម្រាប់របស់ពួកគេ ផាបអត់សៃ និងការរកឃើញដូចជា ICP-MS, គឺជាគន្លឹះក្នុងការធានាភាពជឿជាក់និងការអនុវត្តទំនើបនៃទំនើប អេឡិចត្រូនិច។ បំណែកនេះមានតម្លៃពេលវេលារបស់អ្នកព្រោះវាផ្តល់នូវទស្សនវិស័យរបស់រោងចក្រនៅលើការរក្សាខ្សែ ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិចជាគ្រឹះនៃព្រះគម្ពីរមរមន អេឡិចត្រូសា និង អេឡិចត្រូនិច ផ្នែក។

តើអ្វីទៅជាឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិចហើយហេតុអ្វីភាពបរិសុទ្ធរបស់ពួកគេមានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក?

ឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិចដែលជាញឹកញាប់សំដៅដល់ ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិច រឺ ឧស្ម័នអេឡាក់ទិក, គឺជាប្រភេទតែមួយគត់នៃ ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និង ល្បាយហ្គាស វិសាលភាពពិសេសសម្រាប់ដំណើរការដ៏ស្មុគស្មាញដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចអេឡិចត្រូនិច។ គិតថាពួកគេជាស្ថាបត្យករដែលមើលមិនឃើញនៃយុគសម័យឌីជីថល។ តាមងនេហ ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើក្នុងអេឡិចត្រូនិច ការប្រឌិតរួមមានជួរចម្រុះដូចជា Silane (Sih₄) សម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ស៊ីលីកុន, អាសូត trifluoride (NFAR) សម្រាប់ការសំអាតអង្គជំនុំជម្រះ, អាបិច (AR) ជាខែលការពារនិងផ្សេងៗទៀត ឧស្ម័នជ្រលក់ ដូចជាផូសផេន (ផីន) ឬ arsine (Ash₃) ដើម្បីផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈអគ្គិសនីនៃ អេឡិចត្រូសា សំភារៈ។ ពាក្យ "ជំនាញអេឡិចត្រូនិចខ្លួនវាបង្ហាញពីការដាក់ពាក្យសុំដែលមានលក្ខណៈសមស្របរបស់ពួកគេនិងភាពជាក់លាក់ខ្លាំងដែលត្រូវការនៅក្នុងការតែងរបស់ពួកគេ។ ទាំងនេះមិនមែនជារៀងរាល់ថ្ងៃរបស់អ្នកទេ ឧស្ម័នឧស្សាហកម្ម; លក្ខណៈពិសេសរបស់ពួកគេគឺតឹងរឹងជាង។

សារៈសំខាន់បំផុតរបស់ពួកគេ ភាពបរិសុទ្ធ មិនអាច overstated ជាពិសេសនៅក្នុង ការផលិតអេឡិចត្រូនិក។ សៀគ្វីរង្វង់រួមបញ្ចូលគ្នាសម័យទំនើប (អាយស៊ីអេស) លក្ខណៈពិសេសនៃត្រង់ស៊ីស្ទ័រនិងផ្លូវដែលមានលក្ខណៈតូចដែលមិនគួរឱ្យជឿដែលត្រូវបានវាស់ជាញឹកញាប់នៅក្នុងណាណូម៉ែត្រ (មួយពាន់លានម៉ែត្រ) ។ នៅមាត្រដ្ឋានមីក្រូទស្សន៍នេះសូម្បីតែអាតូមដែលមិនចង់បានតែមួយ ដេលធេវី-Can ធ្វើសកម្មភាពដូចជាផ្ទាំងថ្មមួយក្នុងការស្ទ្រីមដ៏តូចមួយដែលរំខានដល់លំហូរអគ្គិសនីដែលមានបំណងឬបង្កឱ្យមានបញ្ហាខាងរចនាសម្ព័ន្ធ។ នេះអាចនាំឱ្យមានបន្ទះឈីបដែលមានកំហុសហើយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មមួយដែលមានឈីបរាប់លានត្រូវបានផលិតនៅលើវ៉ាយហ្វាយការខូចខាតហិរញ្ញវត្ថុនិងកេរ្តិ៍ឈ្មោះពីការរីករាលដាលនៃការរីករាលដាល ផាបកខវក់ អាចធំធេងណាស់។ ដូច្នេះនេះ ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច គឺជាសសរជាគ្រឹះមួយដែលទាំងមូល អេឡិចត្រូនិចនិងអេឡិចត្រូនិច ឧស្សាហកម្មឈរ។ អវីមយយ ដេលធេវី អាចធ្វើឱ្យអន្តរាយដល់ដំណើរការឧបករណ៍ទិន្នផលនិងភាពជឿជាក់ធ្វើឱ្យម៉ត់ចត់ ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស ការត្រួតពិនិត្យចាំបាច់។

នៅហួហ្កុងឧស្ម័នយើងយល់ថាអតិថិជនរបស់យើងនៅក្នុង ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក ពឹងផ្អែកលើយើងដើម្បីផ្តល់ហ្គាសដែលប្រជុំឬលើសពី "ប្រាំបួន" (99,99%) ឬសូម្បីតែ "Nines ប្រាំមួយ" (99.999%) កម្រិតបរិសុទ្ធ។ នេះមានន័យថាណាមួយ ដេលធេវី ត្រូវតែមានវត្តមាននៅការប្រមូលផ្តុំនៅទាបជាងផ្នែកមួយក្នុងមួយលាន (PPM) ឬគ្រឿងបន្លាស់ក្នុងមួយពាន់លាន (PPB) ។ ការសំរេចបាននិងផ្ទៀងផ្ទាត់បែបនេះ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ កម្រិតតម្រូវឱ្យមានភាពស្មុគស្មាញ ផាបអត់សៃ បច្ចេកទេសនិងយ៉ាងខ្លាំង, ជឿនលឿន ការវិភាគអន់ វិធីសាស្រ្ត។ វត្តមាននៃការមិននឹកស្មានដល់ ដេលធេវី ក៏អាចបង្ហាញពីបញ្ហាជាមួយឯកសារផងដែរ ស៊ីឡាំងឧស្ម័ន ឬខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ធ្វើឱ្យមូលប្បទានប័ត្រគុណភាពថេរមានសារៈសំខាន់ណាស់។ យើងធានាបាននូវរបស់យើង ស៊ីឡាំងអាសូត ឧទាហរណ៍ការផ្តល់ជូនត្រូវបានបំពេញតាមស្តង់ដារជាក់លាក់ទាំងនេះដូចជាអាសូតគឺជាឧស្ម័នធ្វើការមួយដែលមានជំហ៊ានក្រណាត់អេឡិចត្រូនិចជាច្រើន។

តើសូម្បីតែការធ្វើអតិសុខុមទស្សន៍អាចធ្វើឱ្យភាពមិនស្អាតស្អំតាមប្រព័ន្ធផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិកបានយ៉ាងដូចម្តេច?

ពេលខ្លះវាពិបាកក្នុងការស្រមៃមើលថាតើមានអ្វីតូចមួយ ភាពមិនអាប់អព Trace វាស់ជាផ្នែកមួយក្នុងមួយពាន់លាន (PPB) ឬផ្នែកមួយក្នុងមួយសែនកោដិ (PPT) អាចបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាគួរឱ្យកត់សម្គាល់។ ប៉ុន្តែនៅក្នុងពិភពលោកនៃ អេឡិចត្រូសា ការផលិតមីក្រូទស្សន៍ទាំងនេះ ការចម្លងរោគ គឺជាមនុស្សអាក្រក់ធំ ៗ ។ តោះពិចារណាអំពីដំណើរការប្រឌិតបែបអេឡិចត្រូនិកធម្មតា: វាពាក់ព័ន្ធនឹងមនុស្សរាប់សិបពេលខ្លះរាប់រយជំហាននៃជំហានដ៏ឆ្ងាញ់ដូចជាការដាក់ប្រាក់ (ដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង) etching (ការបញ្ចូលអាតូមអ៊ីយ៉ុង (បញ្ចូលអាតូមអ៊ីយ៉ុង) ។ ជំហាននីមួយៗពឹងផ្អែកលើបរិយាកាសគីមីដែលគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់ដែលបានបង្កើតជាញឹកញាប់ដែលបានបង្កើតឬថែរក្សាដោយ ឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច។ ប្រសិនបើក ប្រើហ្គាស នៅក្នុងជំហានមួយនៃជំហានទាំងនេះអនុវត្តដោយមិនចង់បាន ដេលធេវី, ថា ដេលធេវី អាចត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងស្រទាប់ឆ្ងាញ់នៃឯកសារ អេឡិចត្រូសា ឧបករណ៍។

ឧទាហរណ៍, ភាពមិនស្អាតលោហៈ ដូចសូដ្យូមដែកដែកឬស្ពាន់សូម្បីតែនៅកំហាប់ទាបបំផុតក៏អាចផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីស៊ីលីខនដែរ។ ពួកគេអាចបង្កើតផ្លូវដែលមិនចង់បានដែលនាំឱ្យមានសៀគ្វីខ្លីឬដើរតួជា "អន្ទាក់" ដែលរារាំងដល់លំហូរអេឡិចត្រុងបន្ថយល្បឿនឧបករណ៍ឬបណ្តាលឱ្យវាបរាជ័យទាំងស្រុង។ អតីកាន ដេលធេវី ក៏អាចជ្រៀតជ្រែកជាមួយប្រតិកម្មគីមីដែលមានគោលបំណងនៅក្នុងជំហានដំណើរការមួយ។ ឧទាហរណ៍ក នៃការកោងកោង នៅក្នុងឧស្ម័នអេកុសអាចបណ្តាលឱ្យមាននៅក្រោមការធ្វើឱ្យមានការចាប់អារម្មណ៍ឬហួសកំរិតបំផ្លាញលំនាំច្បាស់លាស់នៅលើ Wafer ។ ផលប៉ះពាល់មិនត្រឹមតែនៅលើបន្ទះសៀគ្វីនីមួយៗប៉ុណ្ណោះទេ។ មួយដែលមិនអាចការពារបាន ដេលធេវី បញ្ហានេះអាចនាំឱ្យមានការខាតបង់ទាំងមូលដែលបណ្តាលឱ្យខាតបង់ការពន្យារពេលរាប់លានដុល្លារនិងការឈឺក្បាលសម្រាប់មន្រ្តីលទ្ធកម្មដូចជា Mark Shen ដែលត្រូវការធានានូវការផ្គត់ផ្គង់ស្ថេរភាពដែលមានស្ថេរភាព។ នេះគូសបញ្ជាក់ពីតម្រូវការចាំបាច់សម្រាប់ភាពរឹងមាំ ការវាស់វែងមិនស្អាតស្អំ.

បញ្ហាប្រឈមគឺថាកម្រិត "អាចទទួលយកបាន" សម្រាប់ណាមួយ ដេលធេវី រក្សាការរួញតូច អេឡិចត្រូសា លក្ខណៈពិសេសនៃឧបករណ៍កាន់តែតូចជាងមុន។ អ្វីដែលត្រូវបានគេចាត់ទុកថាអាចទទួលយកបាន ដេលធេវី កំរិតមួយទសវត្សរ៍មុនអាចជាមហន្តរាយមួយ ផាបកខវក់ ថ្ងៃនេះ។ ដ្រាយឥតឈប់ឈរនេះសម្រាប់ខ្នាតតូចដាក់សម្ពាធយ៉ាងខ្លាំងទៅលើក្រុមហ៊ុនផលិតហ្គាសនិងមន្ទីរពិសោធន៍វិភាគដើម្បីធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង ដែនកំណត់នៃការរកឃើញ សមត្ថភាព។ តោហបី ភាគចាវាក ភាពមិនបរិសុទ្ធរូបភាពធូលីតូចដែលមើលមិនឃើញចំពោះភ្នែកទទេអាចរារាំងពន្លឺនៅក្នុងជំហាន photolithograph ឬបង្កើតពិការភាពរាងកាយនៅលើផ្ទៃ wafer ។ ដូច្នេះការគ្រប់គ្រងគ្រប់សក្តានុពល ដេលធេវី - ថាតើឧស្ម័នមានលោហៈធាតុលោហៈឬ ភាគចាវាក - មានសារៈសំខាន់ណាស់។ នេះ ជួរនៃភាពមិនបរិសុទ្ធ នោះអាចបណ្តាលឱ្យមានបញ្ហាគឺធំធេងដោយសង្កត់ធ្ងន់លើតម្រូវការសម្រាប់ភាពទូលំទូលាយ ការវិភាគឧស្ម័ន.

តើអ្នកបង្កបញ្ហាទូទៅអ្វីខ្លះ? កំណត់អត្តសញ្ញាណភាពមិនបរិសុទ្ធក្នុងឧស្ម័នសម្រាប់អេឡិចត្រូនិច។

នៅពេលយើងនិយាយអំពី ភាពមិនបរិសុទ្ធក្នុងឧស្ម័ន មានបំណងសម្រាប់ឯកសារ អេឡិចត្រូនិចនិងអេឡិចត្រូនិច វិស័យយើងកំពុងពិនិត្យមើលតួអង្គចម្រុះនៃតួអង្គដែលនីមួយៗមានសក្តានុពលបង្កគ្រោះថ្នាក់យ៉ាងខ្លាំង។ តាមងនេហ មិនស្អាតដែលត្រូវបានរកឃើញ អាចត្រូវបានប្រឡាក់យ៉ាងទូលំទូលាយទៅជាទម្រង់លោហធាតុមានលោហធាតុនិងភាគល្អិត។ ការស្វែងយល់ពីអ្នកបង្កបញ្ហាទូទៅទាំងនេះគឺជាជំហានដំបូងដែលមានប្រសិទ្ធភាព ការវិភាគអន់ គ្រប់គ្រង។ ជាក់លាក់ ភាពមិនស្អាតមាន អាចប្រែប្រួលអាស្រ័យលើឧស្ម័នដោយខ្លួនឯងវិធីសាស្ត្រផលិតកម្មនិងដោះស្រាយ។

ដេលមានអាថ៌កុស ផាបធម គឺជាឧស្ម័នផ្សេងទៀតដែលមាននៅក្នុងមេ ឧស្ម័នជំនាញ។ ឧទាហរណ៍នៅក្នុង ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ អាសូត, ឧស្ម័នទូទៅ ផាបធម អាចរួមបញ្ចូលទាំងអុកស៊ីសែន (អូ) សំណើម (ហូ) កាបូនឌីអុកស៊ីត (Co₂) កាបូនម៉ូណូស៊ីត (CO) និងអ៊ីដ្រូកាបូន (ឆែប) ។ អុកស៊ីសែននិងសំណើមមានបញ្ហាជាពិសេសព្រោះវាមានប្រតិកម្មខ្ពស់ហើយអាចនាំឱ្យមានកត់សុីដែលមិនចង់បានរបស់ អេឡិចត្រូសា សមា្ភារៈឬឧបករណ៍ដំណើរការ។ សូម្បីតែនៅក្នុងមួយ ឧស្ម័នអសកម្ម ដុចនិយ័ត អាបិច, ទាំងនេះអាចមាននៅកម្រិតដាន។ ក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនមួយយើងច្រើនតែឃើញការស្នើសុំការវិភាគរបស់ក ជួរដ៏ធំទូលាយនៃភាពមិនបរិសុទ្ធរួមទាំងប្រភេទប្រតិកម្មទាំងនេះ។ ឧទាហរណ៍សមត្ថភាពរបស់យើងរួមមានការផលិតស្មុគស្មាញ គុណមេរសមុទ្រ ផលិតផលដែលគ្រប់គ្រងសមាសធាតុនីមួយៗរួមទាំងឧប្បត្តិហេតុសក្តានុពល ផាបធម, គឺខ្ពង់ខ្ពស់បំផុត។

ភាពមិនស្អាតលោហៈ គឺជាក្តីបារម្ភដ៏សំខាន់មួយទៀត។ ទាំងនេះគឺជាអាតូមនៃលោហៈដូចជាសូដ្យូម (Na), ប៉ូតាស្យូម, កាល់ស្យូម (CA), ដែក,, Nickel (CR), ក្រូមៀន, និងអាលុយមីញ៉ូម (al) និងអាលុយមីញ៉ូម (AL) ។ ពួកវាអាចមានប្រភពចេញពីវត្ថុធាតុដើមឧបករណ៍ផលិតកម្ម (ដូចជាបំពង់បង្ហូរប្រេងនិងរ៉េអាក់ទ័រ) ឬសូម្បីតែ ស៊ីឡាំងឧស្ម័ន ខ្លួនឯងប្រសិនបើមិនបានព្យាបាលឱ្យបានត្រឹមត្រូវ។ ដូចដែលបានរៀបរាប់, ទាំងនេះ ភាពមិនបរិសុទ្ធលោហៈ អាចប៉ះពាល់ដល់ការសម្តែងអគ្គិសនីយ៉ាងខ្លាំង អេឡិចត្រូសា ឧបករណ៍។ ការរកឃើញទាំងនេះនៅកម្រិត PPB ឬ PPT តម្រូវឱ្យមានបច្ចេកទេសវិភាគដែលមានភាពរសើបខ្លាំងដូចជាការធ្វើត្រាប់តាមប្លាស្មាដែលមានវេជ្ជសាស្រ្តICP-MS) ។ យើងក៏ត្រូវពិចារណាផងដែរ ភាគចាវាក បញ្ហា។ ទាំងនេះគឺជាភាគល្អិតរឹងឬរាវតូចឬរាវដែលត្រូវបានផ្អាកនៅក្នុងឯកសារ លំហូរឧស្ម័ន។ ពួកគេអាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពរាងកាយនៅលើវ៉ាឃឺររារាំងក្បាលសមត្ថភាពក្នុងឧបករណ៍ឬណែនាំផ្សេងទៀត ការចម្លងរោគ។ ការត្រាប់តាមគឺជាគន្លឹះក្នុងការដកបំណែកដែលមានចំណែកប៉ុន្តែការត្រួតពិនិត្យកម្រិតរបស់ពួកគេក៏ជាផ្នែកមួយនៃភាពទូលំទូលាយផងដែរ គុណភាពឧស្ម័ន កម្មវិធី។ នាខ្លហ ឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច ក៏ដូចគ្នាដែរ ឧស្ម័ន corrosive រឺ ឧស្ម័នពុលដែលបន្ថែមស្រទាប់នៃភាពស្មុគស្មាញមួយផ្សេងទៀតចំពោះការគ្រប់គ្រងនិងការវិភាគរបស់ពួកគេធានាថា ដេលធេវី ទម្រង់មិនធ្វើឱ្យគ្រោះថ្នាក់ទាំងនេះកាន់តែធ្ងន់ធ្ងរ។

ICP-MS: ស្តង់ដារមាសសម្រាប់រកឃើញភាពមិនស្អាតលោហធាតុក្នុងឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិច?

នៅពេលនិយាយដល់ឯកសារ ការវិភាគនៃការមិនបរិសុទ្ធលោហធាតុ ខាងក្នុងអាយ័តនិ ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតដែលធ្វើឱ្យប្លាស្ទិចម៉ាស្សាអភិបូជាដែលត្រូវបានធ្វើដោយវេជ្ជសាស្ត្រ ICP-MSត្រូវបានគេចាត់ទុកថាជាបច្ចេកវិទ្យាឈានមុខគេដែលត្រូវបានគេចាត់ទុកថាជាបច្ចេកវិទ្យាឈានមុខគេ។ វាជាបច្ចេកទេសវិភាគដ៏មានឥទ្ធិពលដែលអាចរកឃើញនិងកំណត់បរិមាណដ៏ធំទូលាយនៃ ភាពមិនស្អាតធាតុជាញឹកញាប់ការធ្លាក់ចុះនៃកម្រិតទាបគួរឱ្យភ្ញាក់ផ្អើល - គិតគូរផ្នែក - ក្នុងមួយសែនកោដិ (PPT) ឬគ្រឿងបន្លាស់ - ក្នុងមួយ quadrillion (PPQ) សម្រាប់ធាតុមួយចំនួន។ ភាពប្រែប្រួលនេះគឺច្បាស់ណាស់ហេតុអ្វី ICP-MS មានសារៈសំខាន់ណាស់សម្រាប់ព្រះគម្ពីរមរមន អេឡិចត្រូសា ឧស្សាហកម្មដែលដូចដែលយើងបានពិភាក្សាសូម្បីតែដានមួយនាទីនៃ ភាពមិនស្អាតលោហៈ អាចធ្វើឱ្យខូចដល់ គុណភាពផលិតផល.

តើធ្វើដូចម្តេច ICP-MS ធ្វើការវេទមន្តរបស់វា? ក្នុងន័យសាមញ្ញ ឧស្ម័នគំរូ (ឬដំណោះស្រាយដែលបានមកពីឧស្ម័ន) ត្រូវបានណែនាំទៅក្នុងផ្លាស្មាក្តៅខ្លាំងណាស់ធ្វើ អាបិច។ ប្លាស្មាឈានដល់សីតុណ្ហភាព 6,000 ទៅ 10,000 អង្សាសេគឺស្វាហាប់ល្មមនឹងបំបែកម៉ូលេគុលឧស្ម័នហើយអ៊ីយ៉ូដអ៊ីយ៉ូដដែលមានវត្តមានរួមមាន ភាពមិនស្អាតលោហៈ។ អ៊ីយ៉ុងទាំងនេះត្រូវបានដកស្រង់ចេញពីប្លាស្មាហើយដឹកនាំទៅក្នុងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ម៉ាស។ ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ដ៏ធំដើរតួរដូចជាតម្រងច្បាស់លាស់ដែលបំបែកអ៊ីយ៉ុងដោយផ្អែកលើសមាមាត្រសាកដ៏ធំរបស់ពួកគេ។ នៃក ការចាប់តោ បន្ទាប់មករាប់ចំនួនអ៊ីយ៉ុងសម្រាប់ម៉ាស់ជាក់លាក់នីមួយៗដែលអនុញ្ញាតឱ្យយើងកំណត់អត្តសញ្ញាណធាតុណាមួយដែលមានវត្តមាននិងបរិមាណ។ សមត្ថភាពរបស់ ICP-MS ដើម្បីស្កេនសម្រាប់វិសាលគមទូលំទូលាយនៃ ភាពមិនបរិសុទ្ធលោហធាតុក្នុងឧស្ម័នឯកទេស ក្នុងពេលដំណាលគ្នាធ្វើឱ្យវាមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។

កមលុងបេល ICP-MS គឺមានឥទ្ធិពលខ្លាំងមិនគួរឱ្យជឿវាមិនមែនដោយគ្មានឧបសគ្គជាពិសេសនៅពេលទាក់ទងជាមួយ ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើក្នុងអេឡិចត្រូនិច ការប្រឌិត។ វិធីសាស្រ្តទូទៅមួយគឺត្រូវដាក់អន្ទាក់ ផាបធម ពីបរិមាណឧស្ម័នច្រើនទៅលើឧបករណ៍ប្រមូលឬចូលទៅក្នុងអង្គធាតុរាវដែលបន្ទាប់មកត្រូវបានវិភាគដោយ ICP-MS។ ទោះយ៉ាងណាផ្ទាល់ ចាក់ថ្នាំឧស្ម័នដោយផ្ទាល់ ចូលទៅក្នុងឯកសារ ICP-MS ប្រព័ន្ធក៏ក្លាយជារឿងធម្មតាសម្រាប់កម្មវិធីជាក់លាក់ទោះបីជាវាត្រូវការចំណុចប្រទាក់ឯកទេសក៏ដោយ។ ជម្រើសនៃវិធីសាស្រ្តអាស្រ័យលើជាក់លាក់ ភាពមិនស្អាតឧស្ម័ន នៃការប្រាក់ឧស្ម័នម៉ាទ្រីសនិងតម្រូវការចាំបាច់ ដែនកំណត់នៃការរកឃើញ។ នៅហួហ្កុងឧស្ម័នឧស្ម័នយើងវិនិយោគយ៉ាងខ្លាំងនៅក្នុងឧបករណ៍វិភាគទំនើបនៃសិល្បៈរួមទាំង ICP-MS សមត្ថភាពពីព្រោះយើងដឹងថាការផ្តល់ដែលអាចទុកចិត្តបាន ការវិភាគអន់ ទិន្នន័យគឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃការជឿទុកចិត្តរបស់អតិថិជនរបស់យើងនៅក្នុងរបស់យើង អេឡិចត្រូនិចសុទ្ធសាធខ្ពស់ ឧស្ម័ន។ ភាពជាក់លាក់នៃ ICP-MS ជួយធានាថានេះ ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន បំពេញតាមការទាមទារតឹងរឹងសម្រាប់ ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិច សំភារៈ។

ហេតុអ្វីបានជាភាពបរិសុទ្ធនៃសាំងមិនអាចចរចារបានសម្រាប់ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចនិងអេឡិចត្រូនិច?

តម្រូវការសម្រាប់ការរាំងស្ទះ ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស នៅក្នុង ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចនិងអេឡិចត្រូនិក មិនមែនគ្រាន់តែជាចំណូលចិត្តទេ។ វាជាតម្រូវការចាំបាច់មួយដែលជំរុញដោយរូបវិទ្យានិងសេដ្ឋកិច្ចនៃការផលិតឧបករណ៍ទំនើប។ តាមងបី អេឡិចត្រូសា លក្ខណៈពិសេសនៃឧបករណ៍បង្រួមទៅនឹងមាត្រដ្ឋានណាណូម៉ែត្រភាពប្រែប្រួលរបស់ពួកគេចំពោះទម្រង់ណាមួយ ផាបកខវក់ sidyrockets ។ អតីកាន ដេលធេវី ដែលអាចជាការធ្វេសប្រហែសនៅលើឧបករណ៍ចាស់ជាងនេះឥឡូវនេះឧបករណ៍ធំ ៗ អាចបណ្តាលឱ្យបរាជ័យមហន្តរាយនៅក្នុងបន្ទះឈីបដែលកាត់គែម។ ទិន្នផលនេះផលប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ - ភាគរយនៃបន្ទះសៀគ្វីល្អក្នុងមួយវ៉ាយវើរ - ហើយសូម្បីតែការធ្លាក់ចុះតិចតួចនៃទិន្នផលអាចប្រែទៅជាប្រាក់ចំណូលដែលបាត់បង់រាប់លានដុល្លារសម្រាប់ប្រាក់ចំណូលដែលបាត់បង់សម្រាប់ក អេឡិចត្រូសា ក្រុមហ៊ុនផលិត

គិតអំពីស្ថាបត្យកម្មស្មុគស្មាញនៃមីក្រូវ៉េវទំនើបឬបន្ទះឈីបមេម៉ូរី។ វាមានត្រង់ស៊ីស្ទ័ររាប់ពាន់លានដែលជាវិស្វកម្មដ៏អស្ចារ្យនៃវិស្វកម្មខ្នាតតូច។ ការសម្តែងរបស់ត្រង់ស៊ីស្ទ័រទាំងនេះអាស្រ័យលើលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីជាក់លាក់របស់ឯកសារ អេឡិចត្រូសា សមា្ភារៈដែលបានប្រើដែលមាននៅក្នុងវេន, ងាយនឹងទទួលបានយ៉ាងខ្លាំង ផាបធម។ ឧទាហរណ៍ជាក់លាក់ ភាពមិនស្អាតលោហៈ អាចណែនាំកម្រិតថាមពលដែលមិនចង់បាននៅក្នុងគម្លាតក្រុមចម្រៀងស៊ីលីកុនដែលនាំឱ្យមានការលេចធ្លាយបច្ចុប្បន្នឡើងថ្លៃឬកាត់បន្ថយការចល័តរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន។ នេះមានន័យថាឧបករណ៍ដែលមិនសូវមានប្រសិទ្ធភាពឬមិនមានមុខងារមិនដំណើរការ។ ដេលមានអាថ៌កុស ផាបធម ដូចអុកស៊ីសែនឬសំណើមអាចបណ្តាលឱ្យមានស្រទាប់អុកស៊ីតអុកស៊ីដដែលមិនមានភាពរឹងមាំនៃខ្សែភាពយន្តឬលក្ខណសម្បត្តិចំណុចប្រទាក់មានសារៈសំខាន់សម្រាប់ប្រតិបត្តិការឧបករណ៍។ សរុបមក គុណភាពឧស្ម័ន បកប្រែដោយផ្ទាល់ទៅ គុណភាពផលិតផល និងភាពជឿជាក់។

លើសពីនេះទៀត, នេះ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចនិងអេឡិចត្រូនិក ត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈដោយដំណើរការផលិតដែលស្មុគស្មាញនិងមានតំលៃថ្លៃខ្ពស់។ តែមួយ អេឡិចត្រូសា ការធ្វើប្រឌិតរុក្ខជាតិ ("Fab") អាចចំណាយប្រាក់រាប់ពាន់លានដុល្លារដើម្បីសាងសង់និងបំពាក់។ នេះ ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើ គឺជាចំណុចសំខាន់នៃជំហានដំណើរការដែលមានតម្លៃថ្លៃទាំងនេះជាច្រើន។ ប្រសិនបើក ឧស្ម័នជំនាញ ត្រូវបានបំពុលជាមួយមួយ ដេលធេវី, វាមិនត្រឹមតែប៉ះពាល់ដល់ការធ្វើអាសយដ្ឋានដែលបច្ចុប្បន្នកំពុងត្រូវបានដំណើរការ; វាក៏អាចបំពុលឧបករណ៍កែច្នៃថ្លៃ ៗ ដោយខ្លួនឯង។ នេះអាចនាំឱ្យមានពេលវេលាទំនេរបន្ថែមសម្រាប់ការសំអាតនិងការទាមទារបន្ថែមទៀតបន្ថែមទៀតនូវការចំណាយនិងរំខានដល់កាលវិភាគដ៏ធំមួយសម្រាប់នរណាម្នាក់ដូចជា Mark Shen ដែលពឹងផ្អែកលើការផ្តល់ជូនអតិថិជនរបស់គាត់។ ដូច្នេះធានាបាន ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច តាមរយៈការម៉ត់ចត់ ការវិភាគអន់ គឺជាយុទ្ធសាស្រ្តកាត់បន្ថយហានិភ័យដ៏សំខាន់សម្រាប់ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ទាំងមូល។ ការផ្តោតអារម្មណ៍លើ ឧស្ម័នសុទ្ធខ្ពស់ គឺឥតឈប់ឈរព្រោះស្តេកគឺខ្ពស់មិនគួរឱ្យជឿ។

តើយើងប្រឈមមុខនឹងបញ្ហាប្រឈមសំខាន់ៗអ្វីខ្លះក្នុងការវិភាគនៃភាពមិនបរិសុទ្ធលោហធាតុក្នុងឧស្ម័នពិសេស?

ការបិនិត្យ ភាពមិនស្អាតលោហៈ ខាងក្នុងអាយ័តនិ ឧស្ម័នពិសេសជាពិសេសអ្នកដែលបានប្រើនៅក្នុងឯកសារ អេឡិចត្រូសា ឧស្សាហកម្មបង្ហាញពីបញ្ហាប្រឈមដែលមានតែមួយគត់។ ការលំបាកចម្បងដើមមកពីការប្រមូលផ្តុំទាបបំផុតដែលទាំងនេះ ផាបធម អាចមានបញ្ហា - ជាញឹកញាប់នៅក្នុងផ្នែក - ក្នុងមួយពាន់លាន (PPB) ឬសូម្បីតែជួរផ្នែក - ក្នុងមួយសែនកោដិដុល្លារ។ ការរកឃើញនិងកំណត់បរិមាណនាទីបែបនេះត្រឹមត្រូវតម្រូវឱ្យមិនត្រឹមតែឧបករណ៍វិភាគរសើបខ្លាំងប៉ុណ្ណោះទេ ICP-MS ប៉ុន្តែក៏សម្អាតបរិយាកាស AN_ALYTICE ពិសេសនិងពិធីសារដោះស្រាយគំរូយ៉ាងល្អិតល្អន់ដើម្បីចៀសវាងការណែនាំពីខាងក្រៅ ផាបកខវក់.

បញ្ហាប្រឈមដ៏សំខាន់មួយគឺគំរូគំរូ។ រេចីន ឧស្ម័នជំនាញប្រើ ខាងក្នុងអាយ័តនិ អេឡិចត្រូនិច គឺមានប្រតិកម្មខ្ពស់ដែលមានប្រតិកម្មក្រណាត់ឬសូម្បីតែ pyrophoric (បញ្ឆេះដោយឯកឯងនៅលើអាកាស) ។ ផ្ទេរដោយសុវត្ថិភាពនិងមានប្រសិទ្ធិភាពប្រកបដោយសុវត្ថិភាព ឧស្ម័ន ចូលទៅក្នុងឧបករណ៍វិភាគដូចជាមួយ ICP-MS ដោយមិនមានការផ្លាស់ប្តូរ ឧស្ម័នគំរូ ឬការបំពុលឧបករណ៍តម្រូវឱ្យចំណុចប្រទាក់ឯកទេសនិងនីតិវិធីដោះស្រាយ។ ឧទាហរណ៍ការចាក់បញ្ចូលដោយផ្ទាល់ ឧស្ម័ន corrosive ដូចជាក្លរ៉ែនអ៊ីដ្រូសែន (HCL) ទៅជាស្តង់ដារ ICP-MS ប្រព័ន្ធអាចបំផ្លាញវាយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរ។ ដូច្នេះវិធីសាស្រ្តដោយប្រយោលដូចជាអន្ទាក់ខ្សោយ (ការវាយលុកឧស្ម័នតាមរយៈអង្គធាតុរាវដើម្បីចាប់យក ផាបធម) ឬអន្ទាក់របស់ Cryogenic, ច្រើនតែត្រូវបានគេជួលឱ្យធ្វើការ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយវិធីសាស្រ្តទាំងនេះអាចណែនាំប្រភពសក្តានុពលរបស់ពួកគេ ផាបកខវក់ ឬការខាតបង់ការខាតបង់ប្រសិនបើមិនបានអនុវត្តយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះ។ ជម្រើសនៃ ហ្គាសរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន សម្រាប់ការរំលាយបើចាំបាច់ត្រូវតែមានភាពមិនចេះរីងស្ងួតផងដែរ ភាពបរិសុទ្ធ.

បញ្ហាប្រឈមមួយទៀតគឺ "បែបផែនម៉ាទ្រីស" ។ ភាគច្រើន ឧស្ផ័ន ដោយខ្លួនវាផ្ទាល់ (ឧ។ អាបិច, អាសូត, អាសូតអ៊ីដ្រូសែន) អាចជ្រៀតជ្រែកក្នុងការរកឃើញ ភាពមិនបរិសុទ្ធដានតាមដាន។ ឧទាហរណ៍នៅក្នុង ICP-MS, ប្លាស្មាបានបង្កើតឡើងពីភាគច្រើន ឧស្ផ័ន អាចបង្កើតអ៊ីយ៉ុងពហុកោណដែលមានសមាមាត្រគិតថ្លៃដូចគ្នានឹងគោលដៅមួយចំនួន ភាពមិនស្អាតលោហៈ, នាំឱ្យមានភាពវិជ្ជមានក្លែងក្លាយឬការកំណត់បរិមាណមិនត្រឹមត្រូវ។ អ្នកវិភាគត្រូវតែប្រើបច្ចេកទេសដូចជាការប៉ះទង្គិច / កោសិកាប្រតិកម្មនៅក្នុង ICP-MS ឬវិសាលគមដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ដើម្បីជំនះការជ្រៀតជ្រែកដ៏អស្ចារ្យទាំងនេះ។ លើសពីនេះទៀតស្តង់ដារក្រិតខ្នាតដែលត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការកំណត់បរិមាណ ភាពមិនបរិសុទ្ធលោហៈ ត្រូវតែមានភាពត្រឹមត្រូវនិងអាចរកបានបំផុតហើយដំណើរការវិភាគទាំងមូលត្រូវតែមានសុពលភាពដើម្បីធានាបាននូវភាពជឿជាក់នៃឯកសារ ការវិភាគអន់ លទ្ធផល។ យើងក្នុងនាមជាអ្នកផ្គត់ផ្គង់, ក៏ព្រួយបារម្ភអំពីភាពស្មោះត្រង់នៃ ស៊ីឡាំងឧស្ម័ន និងសក្តានុពលរបស់ពួកគេក្នុងការចូលរួមវិភាគទាន ភាពមិនស្អាតលោហៈ យូរ ៗ ទៅដែលចាំបាច់ត្រូវគ្រប់គ្រងគុណភាពដែលកំពុងបន្ត។

តើឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរហ្គាសអាចជួយបង្កើនភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងនៃការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនៃដានដែរឬទេ?

បាទ / ចាស ការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរហ្គាស ពិតជាអាចដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការលើកស្ទួយភាពត្រឹមត្រូវនៃ ការវាស់វែងមិនស្អាតស្អំជាពិសេសនៅពេលដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈម ឧស្ផ័ន Matrices ឬនៅពេលមានបំណងសម្រាប់កម្រិតទាបបំផុត ដែនកំណត់នៃការរកឃើញ។ នៃក ឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរហ្គាសពេលខ្លះត្រូវបានគេហៅថាប្រព័ន្ធលុបបំបាត់ម៉ាទ្រីសមានប្រសិទ្ធភាពដែលចាំបាច់ដោយយកភាគច្រើនចេញ ឧស្ផ័ន (សមាសធាតុសំខាន់នៃឯកសារ ឧស្ម័នគំរូ) ខណៈពេលកំពុងប្រមូលផ្តុំ ភាពមិនបរិសុទ្ធដានតាមដាន ចំណាប់អារម្មណ៍។ ជំហានមុនការផ្តោតអារម្មណ៍នេះអាចធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវភាពប្រែប្រួលនៃបច្ចេកទេសវិភាគជាបន្តបន្ទាប់ ICP-MS រឺ ក្រពេញឧស្ម័ន ប្រព័ន្ធ។

គោលការណ៍នៅពីក្រោយជាច្រើន ឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរហ្គាស ពាក់ព័ន្ធនឹងភ្នាសពាក់កណ្តាលដែលអាចជ្រាបចូលបានឬមានយន្តការ adsorption / desoRptions ដែលអាចជ្រើសរើសបាន។ ឧទាហរណ៍ភ្នាសប៉ាឡាដ្យូមអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីជ្រើសរើសអ៊ីដ្រូសែនដែលយកចេញពីក ល្បាយឧស្ម័នដែលអនុញ្ញាតឱ្យផ្សេងទៀត ភាពមិនបរិសុទ្ធក្នុងឧស្ម័ន ត្រូវបានប្រមូលផ្តុំនិងឆ្លងកាត់ទៅមួយ ការចាប់តោ។ ស្រដៀងគ្នានេះដែរវត្ថុធាតុដើម adsorbent ជាក់លាក់អាចដាក់អន្ទាក់ជាក់លាក់ ផាបធម ពីលំហូរមួយ ឧស្ផ័ន ស្ទ្រីមដែលបន្ទាប់មកអាចត្រូវបានគេមើលរំលងកំដៅក្នុងបរិមាណតូចមួយនៃស្អាត ហ្គាសរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន សម្រាប់ការវិភាគ។ ដោយកាត់បន្ថយបរិមាណភាគច្រើន ឧស្ផ័ន ឈានដល់ ការចាប់តោ, ឧបករណ៍ទាំងនេះអប្បបរមាការចាកចេញទៅម៉ាទ្រីសបន្ថយសំលេងរំខានផ្ទៃខាងក្រោយបន្ថយល្បឿននិងបង្កើនសមាមាត្រនៃសញ្ញា - សំលេងរំខានសម្រាប់គោលដៅ ភាពមិនបរិសុទ្ធដានតាមដាន។ នេះអាចនាំឱ្យមានកំរិតទាប ដែនកំណត់នៃការរកឃើញ.

អត្ថប្រយោជន៍នៃ ការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរហ្គាស មានភស្តុតាងជាពិសេសនៅពេលវិភាគ ភាពមិនបរិសុទ្ធក្នុងអេឡិចត្រូនិច ឧស្ម័នដែលពិបាកដោះស្រាយដោយផ្ទាល់ឬដែលបង្កឱ្យមានការជ្រៀតជ្រែកយ៉ាងខ្លាំងនៅក្នុងឧបករណ៍វិភាគ។ ឧទាហរណ៍នៅពេលព្យាយាមវាស់អុកស៊ីសែនឬសំណើមក្នុងប្រតិកម្មខ្ពស់ ឧស្ម័នជំនាញ, មួយ ឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរហ្គាស អាចបំបែករបស់ទាំងនេះ ផាបធម ចូលទៅក្នុងភាពស្លូតត្រង់ជាងនេះ ហ្គាសរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន ដុចនិយ័ត អាបិច ឬអេលីយ៉ូមមុនពេលពួកគេទៅដល់ ការចាប់តោ។ នេះមិនត្រឹមតែធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែវាក៏អាចការពារសមាសធាតុវិភាគដែលងាយរងគ្រោះផងដែរ។ ក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនផលិតនៃ 99.999% នៃស៊ីឡាំងស៊ីលីន 50l ហ្គាស, យើងយល់ពីតម្លៃនៃបច្ចេកទេសជឿនលឿនបែបនេះក្នុងការផ្ទៀងផ្ទាត់ពិសេស ភាពបរិសុទ្ធ នៃកម្រនិង ឧស្ម័នពិសេស។ ជំនួយបច្ចេកវិទ្យានេះក្នុងរឿងសំខាន់ ការបន្សុទ្ធឧស្ម័ន និងដំណាក់កាលផ្ទៀងផ្ទាត់។

តំណភ្ជាប់សំខាន់: ការវិភាគភាពមិនចេះអាក់អន់ចិត្តក្នុងឧស្ម័នដែលប្រើដោយផ្ទាល់ក្នុងការផលិតអេឡិចត្រូនិច។

នេះ ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើដោយផ្ទាល់ក្នុងការផលិតអេឡិចត្រូនិច គឺជាជីវភាពនៃដំណើរការនៃការប្រឌិត។ ទាំងនេះរួមបញ្ចូលទាំងមិនត្រឹមតែ ឧស្ម័នប៊ុល ដូចជាអាសូតនិង អាបិច, ប៉ុន្តែក៏មានអារេដ៏ធំទូលាយផងដែរ ឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច ដូចជា ឧស្ម័ន epitaxial (ឧ។ ស៊ីនណេ, អាល្លឺម៉ង់សម្រាប់ការរីកលូតលាស់ស្រទាប់គ្រីស្តាល់), etching ឧស្ម័ន (ឧ។ អិមជីអិនអេហ្វអេសអេសអេសសម្រាប់ការធ្វើត្រាប់តាម), ឧស្ម័នផ្សាំអ៊ីយ៉ុក (ឧ។ អេសស៊ីស៊ីន, ផូស្វ័រ, បូរូរីរីរីរីសម្រាប់ធ្វើនំ) និងឧស្ម័នដាក់ប្រាក់។ សម្រាប់ចំណុចនីមួយៗ ទាមទារឧស្ម័នកម្រិតនិងប្រភេទដែលអាចទទួលយកបាន ដេលធេវី ត្រូវបានកំណត់យ៉ាងតឹងរឹងព្រោះគម្លាតណាមួយអាចបកប្រែបានដោយផ្ទាល់ទៅក្នុងពិការភាពនៅលើ អេឡិចត្រូសា wafer ។ នេះធ្វើឱ្យ ការវិភាគអន់ សម្រាប់ទាំងនេះ ដំណើរការឧស្ម័ន ជំហានគ្រប់គ្រងគុណភាពសំខាន់បំផុត។

ពិចារណាអំពីការដាក់ប្រាក់ស្រទាប់ឌីអុកស៊ីតស៊ីឌីស្គីស្តើងដែលជាអ៊ីសូឡង់ធម្មតានៅក្នុងត្រង់ស៊ីស្ទ័រ។ ប្រសិនបើអុកស៊ីសែន ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើ សម្រាប់ដំណើរការនេះមានអ៊ីដ្រូកាបូន ផាបធម, កាបូនអាចត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងស្រទាប់អុកស៊ីដ, បន្ថយលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់របស់វានិងដែលមានសក្តានុពលដែលនាំឱ្យមានឧបករណ៍បរាជ័យ។ ស្រដៀងគ្នានេះដែរប្រសិនបើមាន chetching មួយ ឧស្ផ័ន មានមិនបានរំពឹងទុក ដេលធេវី, វាអាចផ្លាស់ប្តូរអត្រា chetch ឬការជ្រើសរើសដែលនាំឱ្យមានលក្ខណៈពិសេសដែលមានទំហំធំពេកតូចពេកឬមានរាងមិនត្រឹមត្រូវ។ សូម្បីតែមួយ ដេលធេវី ក្នុងមួយ ឧស្ម័នអសកម្ម ដុចនិយ័ត ស៊ីឡាំងហ្គាសហ្គាស argon ប្រើសម្រាប់ការដាក់ពង្រាយអាចត្រូវបានផ្ទេរទៅផ្ទៃ Wafer, ដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពភាពយន្ត។ ផលប៉ះពាល់នៃមួយ ដេលធេវី ជារឿយៗដំណើរការជាក់លាក់, មានន័យថាមួយ ដេលធេវី អត់ឱនឱ្យបានមួយជំហានអាចជាការសំខាន់មួយ នៃការកោងកោង នៅក្នុងមួយផ្សេងទៀត។

តំណភ្ជាប់សំខាន់នេះចាំបាច់មានវិធីសាស្រ្តដ៏ទូលំទូលាយ ការវិភាគអន់។ វាមិនត្រឹមតែទាក់ទងនឹងការត្រួតពិនិត្យផលិតផលចុងក្រោយទេ។ វាពាក់ព័ន្ធនឹងការត្រួតពិនិត្យវត្ថុធាតុដើមស្ទ្រីមដំណើរការស្ទ្រីមដំណើរការនិងចុងក្រោយ ឧស្ផ័ន ដំណាក់កាលបន្សុត។ សរមាប់ ជំនាញអេឡិចត្រូនិច ឧស្ម័ន, លក្ខណៈពិសេសសម្រាប់ ភាពមិនបរិសុទ្ធក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក កម្មវិធីច្រើនតែតឹងខ្លាំងណាស់ដែលជំរុញព្រំដែននៃការរកឃើញវិភាគ។ យើងធ្វើការយ៉ាងជិតស្និទ្ធជាមួយអតិថិជនរបស់យើង អេឡិចត្រូនិចនិងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិច វាលដើម្បីយល់ពីភាពជាក់លាក់របស់ពួកគេ ដេលធេវី ភាពខុសគ្នាសម្រាប់ភាពខុសគ្នា ល្បាយឧស្ម័ននិងឧស្ម័ន។ វិធីសាស្រ្តសហការនេះជួយធានាថានេះ ឧស្ម័នឯកទេស យើងផ្គត់ផ្គង់យ៉ាងខ្ជាប់ខ្ជួនបំពេញតាមតម្រូវការដែលទាមទារនៃដំណើរការផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់របស់ពួកគេ។ បញ្ហាប្រឈមស្ថិតនៅក្នុងការរកឃើញក ជួរដ៏ធំទូលាយនៃភាពមិនបរិសុទ្ធ នៅកម្រិតថយចុះដែលមិនចេះអត់ធ្មត់។

លើសពីមន្ទីរពិសោធន៍: ការអនុវត្តន៍ល្អបំផុតសម្រាប់ដោះស្រាយឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដើម្បីការពារការចម្លងរោគ។

ធានាបាន ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច មិនបញ្ចប់នៅពេលដែល ឧស្ផ័ន ទុកកន្លែងផលិតរបស់យើង។ រក្សាវា ភាពបរិសុទ្ធ គ្រប់វិធីទៅចំណុចនៃការប្រើប្រាស់នៅក្នុងមួយ អេឡិចត្រូសា Fab បានតម្រូវឱ្យមានការយកចិត្តទុកដាក់យ៉ាងខ្លាំងដើម្បីដោះស្រាយការផ្ទុកនិងចែកចាយ។ សូម្បីតែខ្ពស់បំផុត ឧស្ម័នសុទ្ធ អាចក្លាយទៅជាកខ្វក់ប្រសិនបើមិនបានគ្រប់គ្រងបានត្រឹមត្រូវ។ នៅហួហួតឧស្ម័នយើងមិនត្រឹមតែផ្តោតលើការផលិតប៉ុណ្ណោះទេ ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ប៉ុន្តែក៏ណែនាំអតិថិជនរបស់យើងនូវការអនុវត្តល្អបំផុតដើម្បីការពារខ្សែទឹកខាងក្រោម ផាបកខវក់.

ការអនុវត្តល្អបំផុតរួមមាន:

• ការជ្រើសរើសសមាសភាគ: សមាសធាតុទាំងអស់នៅក្នុងប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាស - រួមទាំង ស៊ីឡាំងឧស្ម័ន, និយតករ, វ៉ាល់, បំពង់និងបំពង់បង្ហូរទឹក - ត្រូវតែធ្វើឡើងពីវត្ថុធាតុដើមដែលសមរម្យ (ឧ។ ដែកអ៊ីណុកដែកថែប) និងត្រូវបានសម្អាតនិងបញ្ជាក់យ៉ាងជាក់លាក់សម្រាប់ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត (UHP) សេវាកម្ម។ ការប្រើប្រាស់សំភារៈមិនត្រឹមត្រូវអាចនាំឱ្យមានការចាប់អារម្មណ៍ ផាបធម ឬមួយ ភាពមិនបរិសុទ្ធលោហធាតុ leaching ចូលទៅក្នុងព្រះគម្ពីរមរមន លំហូរឧស្ម័ន.
• ភាពត្រឹមត្រូវនៃប្រព័ន្ធ: ប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាសត្រូវតែមានការលេចធ្លាយឱ្យតឹង។ សូម្បីតែការលេចធ្លាយតូចតាចក៏អាចអនុញ្ញាតឱ្យមានបរិយាកាសផងដែរ ការចម្លងរោគ ដូចអុកស៊ីសែនសំណើមនិង ភាគចាវាក បញ្ហាក្នុងការបញ្ចូលប្រព័ន្ធការសម្របសម្រួល ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស។ ការត្រួតពិនិត្យលេចធ្លាយទៀងទាត់គឺចាំបាច់។
• នីតិវិធីនៃការលុបចោល: នីតិវិធីនៃការបោសសំអាតត្រឹមត្រូវគឺមានសារៈសំខាន់រាល់ពេលដែលការតភ្ជាប់ត្រូវបានធ្វើឬស៊ីឡាំងត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរ។ នេះពាក់ព័ន្ធនឹងការហូរបន្ទាត់ជាមួយក ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (ដូច អាបិច ឬអាសូត) ដើម្បីយកខ្យល់ជាប់ឬ ផាបធម។ ការបោសសំអាតមិនគ្រប់គ្រាន់គឺជាប្រភពទូទៅនៃ ផាបកខវក់។ ជារឿយៗយើងណែនាំបន្ទះជម្រះស្វ័យប្រវត្តិកម្មដើម្បីធានាឱ្យមានភាពស្ថិតស្ថេរ។
• ឧបករណ៍ឧទ្ទិស: ការប្រើនិយតករនិងបន្ទាត់សម្រាប់ជាក់លាក់ ឧស្ម័ន ឬក្រុមគ្រួសារនៃ ឧស្ម័ន អាចការពារការចម្លងរោគឆ្លង។ នេះមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសនៅពេលប្តូររវាងមួយ ឧស្ម័នអសកម្ម និងប្រតិកម្មឬ ឧស្ម័ន corrosive.
• ការដោះស្រាយស៊ីឡាំង: ស៊ីឡាំងឧស្ម័ន គួរតែត្រូវបានដោះស្រាយដោយយកចិត្តទុកដាក់ដើម្បីជៀសវាងការខូចខាត។ ពួកគេគួរតែត្រូវបានរក្សាទុកនៅក្នុងតំបន់ដែលបានកំណត់និងមានខ្យល់ចេញចូលបានល្អនិង "ការទទួលបានការចូលដំបូងដែលត្រូវបានអនុវត្តជាមុន" គួរតែត្រូវបានអនុវត្ត។ ការប្រើ សំណើមនិងអុកស៊ីសែន អ្នកវិភាគនៅចំណុចសំខាន់ក៏អាចជួយឃ្លាំមើលចំពោះភាពអផ្សុកណាមួយនៃរឿងធម្មតាទាំងនេះ ផាបធម.

សម្រាប់អតិថិជនដូចជាការទទួលទានឧស្ម័នសម្រាប់លក់បន្តឬសម្រាប់ប្រើប្រាស់ក្នុងការផលិតការស្វែងយល់អំពីការអនុវត្តការដោះស្រាយទាំងនេះគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់សម្រាប់ការរក្សាឯកសារនេះ គុណភាពផលិតផល ពួកគេសន្យានឹងអតិថិជនរបស់ពួកគេ។ វាជាការទទួលខុសត្រូវរួមគ្នា។ យើងធានាបាននូវរបស់យើង ស៊ីឡាំងអ៊ីដ្រូសែន ឧទាហរណ៍ផលិតផលត្រូវបានបំពេញនិងរក្សាដើម្បីការពារ ដេលធេវី ingress, ប៉ុន្តែប្រព័ន្ធចុងក្រោយរបស់អ្នកប្រើដើរតួយ៉ាងសំខាន់ដូចគ្នា។ ការប្រយុទ្ធប្រឆាំង ដេលធេវី គឺជាការខិតខំជាបន្តបន្ទាប់ពីផលិតកម្មរហូតដល់កម្មវិធី។

ការក្រឡេកមើលបាល់គ្រីស្តាល់: តើអ្វីទៅដែលការច្នៃប្រឌិតថ្មីដែលយើងអាចរំពឹងទុកក្នុងការរកឃើញភាពមិនស្អាតស្អំសម្រាប់ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិច?

ដំណើរស្វែងរកដែលមិនធ្លាប់មាន ភាពបរិសុទ្ធ ខាងក្នុងអាយ័តនិ ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិច និងងាយរងគ្រោះជាងនេះទៀត ការរកឃើញភាពមិនស្អាតស្អំ វិធីសាស្រ្តគឺជាដំណើរបន្តដែលជំរុញដោយល្បឿននៃការច្នៃប្រឌិតថ្មីឥតឈប់ឈរ អេឡិចត្រូសា ឧស្សាហកម្ម។ នៅពេលដែលឧបករណ៍មានលក្ខណៈពិសេសបន្ថែមទៀតចូលទៅក្នុងអាណាចក្រដែលមានចំនួន 10 យ៉ាងនិងសំភារៈនិងស្ថាបត្យកម្មថ្មីដែលលេចចេញ (ដូចជាទ្វារច្រាននិងទ្វារទី 3 ពាសពេញអ្នកត្រួតពិនិត្យ) ផលប៉ះពាល់នៃគ្រឿងបន្លាស់សូម្បីតែហ្វ្រេដថេត។ ភាពមិនបរិសុទ្ធដានតាមដាន នឹងកាន់តែលេចចេញជាថ្មី។ នេះនឹងត្រូវការការជឿនលឿនបន្ថែមទៀតនៅក្នុង ការបន្សុទ្ធឧស្ម័ន បច្ចេកវិទ្យានិង ការវិភាគអន់ សមត្ថភាព។

យើងអាចប្រមើលមើលនិន្នាការមួយចំនួន:

• ដែនកំណត់រកឃើញទាប: បច្ចេកទេសវិភាគដូច ICP-MS, ក្រូម៉ូសូមឧស្ម័ន - អភិបូជាអស្ចារ្យ (GC-MS) និង spectroscopy ចិញ្ចៀនរបស់បែហោងធ្មែញ (CRDD) នឹងបន្តវិវឌ្ឍន៍ដោយជំរុញ ដែនកំណត់នៃការរកឃើញ សម្រាប់ទូលំទូលាយមួយ ជួរនៃភាពមិនបរិសុទ្ធ ចុះដល់កម្រិត PPT មួយខ្ទង់មួយខ្ទង់ឬសូម្បីតែនៅក្នុងដែន PPQ ។ នេះនឹងតម្រូវឱ្យមានការច្នៃប្រឌិតថ្មីនៅក្នុងប្រភពអ៊ីយ៉ុងអ្នកវិភាគដ៏ធំនិង ការចាប់តោ បច្ចេកវិទ្យា។
• ការត្រួតពិនិត្យក្នុងកម្មវិធីអ៊ីនធឺណេតនិងពេលវេលាពិតប្រាកដ: មានតំរូវការកំពុងកើនឡើងសម្រាប់ប្រព័ន្ធវិភាគដែលអាចត្រួតពិនិត្យ ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស ក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែងដោយផ្ទាល់នៅចំណុចនៃការប្រើប្រាស់នៅក្នុង អេឡិចត្រូសា Fab ។ នេះអនុញ្ញាតឱ្យមានការរកឃើញជាបន្ទាន់ ផាបកខវក់ ព្រឹត្តិការណ៍ឬរសាត់ចូល ដេលធេវី កម្រិត, ការធ្វើឱ្យសកម្មភាពកែតម្រូវលឿនជាងមុននិងកាត់បន្ថយការបាត់បង់ផលិតផល។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាខ្នាតតូចនិងក្បួនដោះស្រាយកាំបិតកម្រិតខ្ពស់នឹងដើរតួយ៉ាងសំខាន់នៅទីនេះ។
• ការវិភាគនៃល្បាយឧស្ម័នស្មុគស្មាញ: អនាកត អេឡិចត្រូសា ដំណើរការអាចមានភាពស្មុគស្មាញជាងនេះ ល្បាយហ្គាស ជាមួយនឹងសមាសធាតុប្រតិកម្មជាច្រើន។ ការបិនិត្យ ផាបធម នៅក្នុងការប្រជែងដ៏លំបាកបែបនេះនឹងតម្រូវឱ្យមានយុទ្ធសាស្រ្តវិភាគថ្មីនិងឧបករណ៍បកស្រាយទិន្នន័យទាន់សម័យ។ សមត្ថភាពក្នុងការវាស់មួយ ដេលធេវី នៅក្នុងសមាសធាតុមួយដោយគ្មានការជ្រៀតជ្រែកពីអ្នកដទៃនឹងមានសារៈសំខាន់ណាស់។
• ផ្តោតលើភាពមិនស្អាតសម្រាប់ "ឃាតករ": ការស្រាវជ្រាវនឹងបន្តកំណត់អត្តសញ្ញាណជាក់លាក់ ភាពមិនបរិសុទ្ធក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ការកែច្នៃដែលមានផលប៉ះពាល់យ៉ាងខ្លាំងទៅលើការអនុវត្តឧបករណ៍ឬទិន្នផលសូម្បីតែកម្រិតទាបបំផុតក៏ដោយ។ វិធីសាស្រ្តវិភាគនឹងក្លាយជាគោលដៅកាន់តែច្រើនឆ្ពោះទៅរក "ឃាតករ" ទាំងនេះ ផាបធម.
• ការវិភាគទិន្នន័យនិងអាយ: បរិមាណទិន្នន័យដ៏ច្រើនដែលបានបង្កើតដោយកម្រិតខ្ពស់ ការវិភាគអន់ ប្រព័ន្ធនឹងត្រូវបានប្រើដោយប្រើអាយអាយអាយនិងរៀនម៉ាស៊ីនដើម្បីកំណត់និន្នាការទាយសក្តានុពល ផាបកខវក់ បញ្ហានិងបង្កើនប្រសិទ្ធភាព ការបន្សុទ្ធឧស្ម័ន ដំណើរការ។ នេះអាចជួយក្នុងការត្រួតពិនិត្យគុណភាពនៃភាពសកម្មជាជាងការដោះស្រាយបញ្ហាដែលមានប្រតិកម្ម។

នៅហួហួតឧស្ម័នយើងប្តេជ្ញាចិត្តស្នាក់នៅជួរមុខនៃការវិវត្តទាំងនេះ។ យើងបន្តវិនិយោគជាបន្តបន្ទាប់ក្នុងការស្រាវជ្រាវនិងការអភិវឌ្ឍន៍ដោយសហការជាមួយដៃគូឧស្សាហកម្មនិងស្ថាប័នសិក្សាដើម្បីជំរុញវិទ្យាសាស្ត្រនៃ ឧស្ម័នសុទ្ធខ្ពស់ ផលិតកម្មនិង ការវិភាគអន់។ សម្រាប់អតិថិជនរបស់យើងរួមទាំងអ្នកដែលមានគុណភាពដូចជាម៉ាកសិននេះមានន័យថាការផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចទុកចិត្តបាន ឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច ដែលឆ្លើយតបទៅនឹងតម្រូវការវិវឌ្ឍន៍របស់ឯកសារ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចនិងអេឡិចត្រូនិក។ ជួររបស់យើង អេលីយ៉ូមដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជានិចលភាពរបស់វានិងការប្រើប្រាស់ក្នុងកម្មវិធីឯកទេសក៏ទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍ពីការវិភាគកម្រិតខ្ពស់ទាំងនេះដើម្បីធានាបាននូវអប្បបរមា ដេលធេវី កម្រិត។

គន្លឹះដើម្បីចងចាំ:

• ឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច ជាមូលដ្ឋានគ្រឹះសម្រាប់ ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិកនិងរបស់ពួកគេ ភាពបរិសុទ្ធ គឺមិនអាចចរចារបាន។
• តោហបី ភាពមិនបរិសុទ្ធដានតាមដានដែលបានវាស់វែងជា PPB ឬ PPT អាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពយ៉ាងខ្លាំងនិងបាត់បង់ទិន្នផលនៅក្នុង អេឡិចត្រូសា ឧបករណ៍។
• សាមហ្ញ ភាពមិនបរិសុទ្ធក្នុងឧស្ម័ន រួមបញ្ចូលឧស្ម័នផ្សេងទៀត (ដូចជាអូ, ហយុ), ភាពមិនស្អាតលោហៈហើយ ភាគចាវាក បញ្ហា។
• ICP-MS គឺជាបច្ចេកវិទ្យាមូលដ្ឋានគ្រឹះសម្រាប់រកឃើញក ជួរដ៏ធំទូលាយនៃភាពមិនបរិសុទ្ធជាពិសេសជាពិសេស ភាពមិនស្អាតលោហៈ, នៅកម្រិតទាបបំផុត។
• ការថែទាំ ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស តម្រូវឱ្យមានការដោះស្រាយយ៉ាងខ្លាំងនិងភាពត្រឹមត្រូវនៃប្រព័ន្ធពីឯកសារ ស៊ីឡាំងឧស្ម័ន ដល់ចំណុចនៃការប្រើប្រាស់ដើម្បីការពារ ផាបកខវក់.
• អនាគតនឹងមើលឃើញសូម្បីតែទាបជាងនេះ ដែនកំណត់នៃការរកឃើញការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាពិតប្រាកដនិងអេអាយអេ ការវិភាគអន់ សរមាប់ ថ្នាក់អេឡិចត្រូនិច ឧស្ម័ន។
• ការគ្រប់គ្រងគ្រប់សក្តានុពល ដេលធេវី គឺមានសារៈសំខាន់ណាស់សម្រាប់ការធានា គុណភាពផលិតផល និងភាពជឿជាក់នៃសម័យទំនើប អេឡិចត្រូនិច.