ឧស្ម័នជំនាញសម្រាប់អេឡិចត្រូនិក
ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចដែលជាស្នូលនៃការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យាទំនើបពាក់ព័ន្ធនឹងឧស្ម័នដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់និងឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក្នុងដំណើរការផលិតកម្មរបស់ខ្លួន។ ឧស្ម័នជំនាញសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកសំដៅទៅលើឧស្ម័នដែលដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការផលិតសម្ភារៈអេសម៉ងត៍ការដាក់ប្រាក់ឈីបការដាក់ប្រាក់និងដំណើរការផ្សេងទៀត។ ឧស្ម័នទាំងនេះត្រូវតែឆ្លើយតបទៅនឹងតម្រូវការដ៏តឹងរឹងសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធស្ថេរភាពនិងការគ្រប់គ្រងច្បាស់លាស់លើដំណើរការប្រតិកម្ម។ អត្ថបទនេះនឹងណែនាំឧស្ម័នជំនាញទូទៅមួយចំនួនដែលត្រូវបានប្រើក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកនិងពិភាក្សាអំពីតួនាទីរបស់ពួកគេនៅក្នុងដំណើរការផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក។
- អ៊ីដ្រូសែន (H₂)
អ៊ីដ្រូដនី ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជាពិសេសក្នុងការទម្លាក់អគារជាតិខ្យងគីមី (CVD) និងប្រតិកម្មកាត់បន្ថយ។ នៅក្នុង CVD, អ៊ីដ្រូសែនត្រូវបានលាយជាមួយឧស្ម័នផ្សេងទៀតដើម្បីដាំខ្សែភាពយន្តស្តើងដូចជាខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុន។ អ៊ីដ្រូសែនក៏ដើរតួជាភ្នាក់ងារកាត់បន្ថយនៅក្នុងការដាក់ប្រាក់បញ្ញើដែកនិងដំណើរការដកយកអុកស៊ីត។ លើសពីនេះអ៊ីដ្រូសែនត្រូវបានប្រើក្នុងការសំអាតនិងព្យាបាលជំងឺអេឡិចត្រូនិច Wafers ដើម្បីយកភាពកខ្វក់ពីលើទឹកប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនិងធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនៃបន្ទះសៀគ្វី។
- អាសូត (N₂)
អាសូតជាឧស្ម័នអសកម្មដែលត្រូវបានប្រើជាចម្បងក្នុងការផ្តល់បរិយាកាសឥតគិតថ្លៃអុកស៊ីសែនក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ វាត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងការសំអាតឧបករណ៍ដំណើរការត្រជាក់និងជាភាពច្របូកច្របល់ក្នុងបរិយាកាសប្រតិកម្ម។ នៅក្នុងដំណើរការនៃការដាក់ប្រាក់និងការបង្កើតតំបន់ចំហាយទឹកអាសូតច្រើនតែលាយជាមួយឧស្ម័នផ្សេងទៀតដើម្បីធ្វើឱ្យមានស្ថេរភាពលក្ខខណ្ឌប្រតិកម្មនិងគ្រប់គ្រងអត្រាប្រតិកម្ម។ អាសូតក៏ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្ក្រាបការកត់សុីអុកស៊ីតកម្មការពារសំភារៈរសើបពីការខូចខាតអុកស៊ីតកម្មផងដែរ។
- អុកស៊ីសែន (អូ)
អុកសីសេន ដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកជាពិសេសក្នុងដំណើរការកត់សុី។ ក្នុងការបង្កើតស្រទាប់ឌីអុកស៊ីតស៊ីឌីអូឌីតនៅលើផ្ទៃនៃ Wafers Silicon, អុកស៊ីសែនគឺចាំបាច់។ តាមរយៈការណែនាំអុកស៊ីសែនទម្រង់ស្រទាប់អុកស៊ីដឯកសណ្ឋាននៅលើផ្ទៃស៊ីលីខនដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ដំណើរការអគ្គិសនីនិងស្ថេរភាពឧបករណ៍។ អុកស៊ីសែនត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការសំអាតនិងដំណើរការដែលមានប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័នគីមីផ្សេងទៀតដើម្បីបង្កើតកត់ត្រាអុកស៊ីតឬយកខ្សែភាពយន្តដែកជាក់លាក់។
- កាបោនតារ៉ាឡួរ៉ាឡួរៀដ (CF₄)
កាបូន Tetrafluoride ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការនៃដំណើរការ។ នៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកអេឡិចត្រូត, Cf₄ត្រូវបានលាយជាមួយឧស្ម័នផ្សេងទៀតដើម្បីយកខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃស៊ីលីខនស៊ីលីខននីតុងដែកដែកនិងសម្ភារៈផ្សេងទៀត។ នៅពេលដែលcf₄ផ្សំជាមួយហ្វ្លូរីលីនវាបង្កើតបានជាហ្វ្លុយអូរីដដែលមានប្រតិកម្មខ្លាំងហើយអាចដាក់សម្ភារៈគោលដៅបានប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។ ឧស្ម័ននេះមានសារៈសំខាន់ណាស់សម្រាប់ការដាក់គំរូដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ក្នុងផលិតកម្មសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។
- ក្លរ៉ែនអ៊ីដ្រូសែន (HCL)
ឧស្ម័នក្លរ៉ន់ក្លរ៉ែនត្រូវបានគេប្រើជាចម្បងជាឧស្ម័នក្រាស់ជាពិសេសនៅក្នុងការបញ្ចូលវត្ថុធាតុដើមដែក។ វាមានប្រតិកម្មជាមួយខ្សែភាពយន្តដែកដើម្បីបង្កើតក្លរីនដែលអនុញ្ញាតឱ្យស្រទាប់ដែកត្រូវបានយកចេញ។ ដំណើរការនេះត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការធ្វើត្រាប់តាមខ្សែភាពយន្តដែកស្តើងដែលធានាបាននូវភាពជាក់លាក់នៃរចនាសម្ព័ន្ធបន្ទះឈីប។
- triffluoride អាសូត (NF₃)
Tripluoride អាសូតត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់សំណល់អត្រាតភ្លើងក្នុងការធ្វើឱ្យប្លាស្មា។ នៅក្នុងដំណើរការ etchingma ch₃₃, Nf₃មានប្រតិកម្មជាមួយវត្ថុធាតុដើមដែលបានដាក់ (ដូចជា Silicon Flutorides) បង្កើតបានជា flutorides ចល័តបានយ៉ាងងាយស្រួល។ ឧស្ម័ននេះមានប្រសិទ្ធិភាពខ្ពស់ក្នុងដំណើរការសំអាតជួយរក្សាភាពស្អាតនៃឧបករណ៍អេកូនិងធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវនិងប្រសិទ្ធភាពនៃដំណើរការផលិតកម្ម។
- Silane (សីហា)
Silane គឺជាឧស្ម័នដែលត្រូវបានប្រើជាទូទៅនៅក្នុងប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមី (CVD) ជាពិសេសសម្រាប់ការដាក់ប្រាក់កំចីស៊ីលីកុន។ ការរលួយ Silane នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុននៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានសារៈសំខាន់ណាស់នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ តាមរយៈការកែតម្រូវលំហូរនៃស្ថានភាពស្វយ័តនិងប្រតិកម្មអត្រាការប្រាក់បញ្ញើនិងគុណភាពខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់។
- Boron trifluoride (bf₃)
Boron Trifluoride គឺជាឧស្ម័នធ្វើដូចម្តេចដ៏សំខាន់មួយដែលត្រូវបានប្រើជាធម្មតានៅក្នុងដំណើរការផលិតប្រេងឥន្ធនៈ Boron doping ។ វាត្រូវបានប្រើដើម្បីកែតម្រូវលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនីរបស់គ្រីស្តាល់ដោយប្រតិកម្មដោយមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីខនដើម្បីបង្កើតស្រទាប់ធ្វើពីថ្នាំលាបដែលចង់បាន។ ដំណើរការនៃការធ្វើត្រាប់តាម Boron Doping គឺចាំបាច់សម្រាប់ការបង្កើតសំភារៈអេឡិចត្រូនិកប្រភេទ P និងឧស្ម័នBF₃ដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុងដំណើរការនេះ។
- Sulfur Hexafluoride (SF₆)
Sulfur Hexafloride ត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងដំណើរការនៃដំណើរការអេឡិចត្រូនិកអេឡិចត្រូនិកជាពិសេសនៅក្នុងការរួមភេទកម្រិតខ្ពស់។ ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីខ្ពស់របស់វានិងស្ថេរភាពគីមីSf₆អាចត្រូវបានផ្សំជាមួយនឹងឧស្ម័នផ្សេងទៀតដើម្បីលុបខ្សែភាពយន្តសម្ភារៈឱ្យបានត្រឹមត្រូវនិងធានាបាននូវលំនាំច្បាស់លាស់។ វាក៏ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយផងដែរនៅក្នុងអ៊ីអ៊ីក្រាប់ដែលធ្វើឱ្យមានប្រសិទ្ធិភាពដកខ្សែភាពយន្តដែកដែលមិនចង់បាន។
ការបហ្ចប់
ឧស្ម័នជំនាញសម្រាប់អេឡិចត្រូនិកដើរតួរដែលមិនអាចជំនួសបានក្នុងការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ នៅពេលដែលបច្ចេកវិទ្យាបន្តឈានទៅមុខតម្រូវការសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធនិងការអនុវត្តខ្ពស់របស់ឧស្ម័នទាំងនេះកើនឡើងការធ្វើឱ្យអ្នកផ្គត់ផ្គង់ឱ្យមានប្រសិទ្ធិភាពធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនិងប្រភេទឧស្ម័នជានិច្ច។ នៅពេលអនាគតឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចនឹងបន្តពឹងផ្អែកលើឧស្ម័នជំនាញទាំងនេះដើម្បីគាំទ្រដល់ការផលិតបន្ទះឈីបជំនាន់ថ្មីនិងការច្នៃប្រឌិតបច្ចេកវិទ្យា។ ដូច្នេះការយល់ដឹងនិងការអនុវត្តឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិចនឹងមានសារៈសំខាន់ក្នុងការបើកបរការអភិវឌ្ឍជាបន្តបន្ទាប់នៃឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក។
