ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍យ៉ាងឆាប់រហ័សនៃឧស្សាហកម្ម semiconductor ពិភពលោក ដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបបានចូលដល់យុគសម័យណាណូម៉ែត្រយ៉ាងពេញលេញ។ នៅក្នុងដំណើរការផលិតដ៏ជាក់លាក់បំផុតនេះ ការប្រែប្រួលនៃបរិស្ថាន ឬភាពមិនបរិសុទ្ធនៃសម្ភារៈមួយនាទីអាចនាំទៅដល់ការខ្ចាត់ខ្ចាយនៃ wafers ទាំងមូល។ ដូច្នេះ ឧស្ម័នពិសេសអេឡិចត្រូនិក និងឧស្ម័នឧស្សាហកម្មដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដើរតួនាទីមិនអាចជំនួសបាន។ ក្នុងចំណោមពួកគេ អាហ្គុនរាវដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ បានក្លាយជាគន្លឹះដែលមិនអាចខ្វះបានក្នុងប្រតិបត្តិការប្រចាំថ្ងៃរបស់ semiconductor fabs ដោយសារតែភាពអសកម្មគីមីចុងក្រោយរបស់វា និងលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។

អត្ថបទនេះនឹងវិភាគយ៉ាងស៊ីជម្រៅនូវកម្មវិធីស្នូលនៃ argon រាវក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីប និងផ្តល់នូវការណែនាំអំពីលទ្ធកម្មប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈសម្រាប់ក្រុមខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់សហគ្រាស។

កម្មវិធីស្នូល៖ ហេតុអ្វីបានជា Liquid Argon មិនអាចបំបែកចេញពីការផលិត Semiconductor?

នៅក្នុងដំណើរការផលិតផលិតផល semiconductor Front-End-of-Line (FEOL) argon រាវសម្រាប់ semiconductors ត្រូវបានអនុវត្តជាចម្បងនៅក្នុងដំណាក់កាលស្នូលខាងក្រោម ដែលកំណត់ទិន្នផលផលិតផល៖

• ការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ (PVD) / Sputtering: ឧស្ម័ន argon សុទ្ធបំផុតដែលបង្កើតឡើងដោយការបំប្លែងឧស្ម័ននៃ argon រាវ គឺជាឧស្ម័នដែលកំពុងដំណើរការចម្បងបំផុតនៅក្នុងដំណើរការ PVD sputtering ។ នៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ អ៊ីយ៉ុង argon ត្រូវបានពន្លឿនដោយវាលអគ្គិសនី ដើម្បីទម្លាក់គ្រាប់បែកលើវត្ថុគោលដៅ ដែលបណ្តាលឱ្យអាតូមគោលដៅត្រូវខ្ចាត់ខ្ចាយ និងដាក់ប្រាក់រាបស្មើលើផ្ទៃ wafer ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តដែក។ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គឺជាតម្រូវការជាមុនដើម្បីធានាបាននូវភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃដង់ស៊ីតេ និងអគ្គិសនីនៃខ្សែភាពយន្ត។
• 
  

• បរិយាកាសការពារអសកម្មដែលមានសុវត្ថិភាពទាំងស្រុង៖ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការទាញនៃស៊ីលីកូន monocrystalline (ដូចជាដំណើរការ Czochralski) និងដំណើរការ annealing សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ស៊ីលីកូនងាយប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីសែននៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ដូច្នេះ ឧស្ម័ន argon ត្រូវតែត្រូវបានណែនាំជាបន្តបន្ទាប់ដើម្បីជំនួសខ្យល់ ដោយផ្តល់នូវបរិយាកាសអសកម្មដាច់ឆ្ងាយពីអុកស៊ីសែន និងសំណើម ដោយហេតុនេះធានាបាននូវការលូតលាស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៃបន្ទះឈើគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុន។
• 
  
• បច្ចេកវិទ្យាសម្អាត Cryogenics និង Wafer៖ នៅក្នុងដំណើរការកម្រិតខ្ពស់ដូចជា Extreme Ultraviolet (EUV) lithography លក្ខណៈសីតុណ្ហភាពទាបបំផុតនៃ argon រាវ (ចំណុចរំពុះ -186°C) ជួនកាលត្រូវបានអនុវត្តចំពោះប្រព័ន្ធត្រជាក់នៃឧបករណ៍ជាក់លាក់។ ក្នុងពេលដំណាលគ្នានោះ បច្ចេកវិទ្យា argon aerosol ក៏ត្រូវបានប្រើប្រាស់សម្រាប់ការសម្អាតមីក្រូសរីរាង្គខ្នាតណាណូម៉ែត្រលើផ្ទៃ wafer ដែលអាចយកចេញនូវភាគល្អិតតូចៗដែលមិនបំផ្លាញចោល។
• 
  

គុណភាពកំណត់ទិន្នផល៖ ស្តង់ដារដ៏តឹងរឹងនៃអាហ្គុនរាវដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

តម្រូវការរបស់ឧស្សាហកម្ម semiconductor សម្រាប់វត្ថុធាតុដើមគឺពិបាកខ្លាំង។ ជាធម្មតា argon រាវថ្នាក់ឧស្សាហកម្មធម្មតាត្រូវការត្រឹមតែ 99.9% ឬ 99.99% ប៉ុណ្ណោះ ប៉ុន្តែនេះគឺនៅឆ្ងាយពីតម្រូវការនៃការផលិតបន្ទះឈីប។ សម្រាប់ អាហ្គុនរាវដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់ជាធម្មតា ភាពបរិសុទ្ធនៃមូលដ្ឋានត្រូវបានទាមទារដើម្បីឈានដល់ 99.999% (5N) ហើយនៅក្នុងថ្នាំងកម្រិតខ្ពស់ វាក៏ត្រូវការឈានដល់ 99.9999% (6N) ឬខ្ពស់ជាងនេះ។

សំខាន់ជាងនេះទៅទៀតគឺការគ្រប់គ្រងមិនបរិសុទ្ធ។ ខ្លឹមសារនៃអុកស៊ីសែន អាសូត សំណើម អ៊ីដ្រូកាបូនសរុប (THC) និងអ៊ីយ៉ុងដែកដានត្រូវតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៅកម្រិត ppb (ផ្នែកក្នុងមួយពាន់លាន) ឬសូម្បីតែ ppt (ផ្នែកក្នុងមួយពាន់ពាន់លាន) ។ ទោះបីជាបរិមាណនៃសារធាតុមិនបរិសុទ្ធចូលក្នុងបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នមួយនាទីក៏ដោយ វានឹងបង្កើតជា micro-defect លើផ្ទៃ wafer ដែលបណ្តាលឱ្យមានសៀគ្វីខ្លីៗ ឬការលេចធ្លាយបច្ចុប្បន្ន ដោយទាញដោយផ្ទាល់នូវអត្រាទិន្នផល និងនាំមកនូវការខាតបង់សេដ្ឋកិច្ចដ៏ធំ។

មគ្គុទ្ទេសក៍លទ្ធកម្ម៖ របៀបវាយតម្លៃ និងជ្រើសរើសអ្នកផ្គត់ផ្គង់ Argon Liquid ដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈ?

ដោយទទួលបានតួនាទីជាការសម្រេចចិត្តរបស់ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក្នុងប្រតិបត្តិការនៃខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្ម ការស្វែងរក និងធានានូវអ្នកផ្គត់ផ្គង់ argon រាវដែលមានសមត្ថភាព និងសមត្ថភាពពេញលេញ គឺជាកិច្ចការស្នូលសម្រាប់ក្រុមលទ្ធកម្ម និងសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់។ នៅពេលវាយតម្លៃអ្នកផ្គត់ផ្គង់សក្តានុពល វាត្រូវបានណែនាំឱ្យផ្តោតលើវិមាត្របីខាងក្រោម៖

ការត្រួតពិនិត្យគុណភាព និងសមត្ថភាពធ្វើតេស្តយ៉ាងម៉ត់ចត់៖ អ្នកផ្គត់ផ្គង់ដ៏ល្អត្រូវតែបំពាក់ដោយឧបករណ៍វិភាគដានលំដាប់កំពូលដូចជា Gas Chromatographs (GC) និង Mass Spectrometers (MS)។ ពួកគេត្រូវតែអាចផ្តល់នូវ COA លម្អិត (វិញ្ញាបនប័ត្រនៃការវិភាគ) សម្រាប់បាច់នីមួយៗ ដើម្បីធានាបាននូវភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាទាំងស្រុងនៅក្នុងភាពបរិសុទ្ធរវាងការចែកចាយ។

ភាពធន់នឹងខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ខ្លាំង និងស្ថេរភាពនៃការដឹកជញ្ជូន៖ Fabs ជាធម្មតាដំណើរការ 24/7/365 ហើយតម្លៃនៃពេលវេលាធ្លាក់ចុះគឺខ្ពស់ខ្លាំងណាស់។ ដូច្នេះហើយ អ្នកផ្គត់ផ្គង់ត្រូវតែមានសមត្ថភាពផ្ទុកអង្គធាតុរាវដែលបានធ្វើមូលដ្ឋានីយកម្មដ៏ធំ កងនាវាផ្ទាល់ខ្លួនរបស់ពួកគេនៃឡានដឹកទំនិញ cryogenic និងផែនការសង្គ្រោះបន្ទាន់ដ៏ទូលំទូលាយសម្រាប់ការធានាការផ្គត់ផ្គង់គ្រាអាសន្ន។

ធុងកម្រិតខ្ពស់ និងបច្ចេកវិទ្យាប្រឆាំង "ការចម្លងរោគបន្ទាប់បន្សំ"៖ មិនថាភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នខ្ពស់ប៉ុណ្ណានោះទេ វាគ្មានប្រយោជន៍ទេប្រសិនបើមានការបំពុលក្នុងអំឡុងពេលដឹកជញ្ជូន។ ការផ្តោតសំខាន់គួរតែផ្តោតលើធុងផ្ទុកសារធាតុ cryogenic របស់អ្នកផ្គត់ផ្គង់ និងបច្ចេកវិជ្ជាព្យាបាលជញ្ជាំងខាងក្នុងរបស់ធុងប្រេង (ដូចជាថាតើវាបានឆ្លងកាត់ការព្យាបាលដោយអេឡិចត្រូប៉ូឡូញ / EP) ក៏ដូចជានីតិវិធីប្រតិបត្តិការស្តង់ដារ (SOP) សម្រាប់ការសម្អាតសន្ទះបិទបើក និងបំពង់បង្ហូរប្រេងកំឡុងដំណាក់កាលបំពេញ និងផ្ទេរ ដោយធានាថាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់អាចត្រូវបានបញ្ជូនដោយផ្ទាល់ពីរោងចក្រទៅកាន់អតិថិជន។

ការបហ្ចប់

ក្រោមការរីកចំរើនជាបន្តបន្ទាប់នៃច្បាប់របស់ Moore សារធាតុ argon រាវដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មិនគ្រាន់តែជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់ជាមូលដ្ឋានប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏ជា "ការអមដំណើរដែលមើលមិនឃើញ" សម្រាប់ដំណើរការ semiconductor កម្រិតខ្ពស់ផងដែរ។ ការវាយតម្លៃតាមបែបវិទ្យាសាស្ត្រ និងយ៉ាងម៉ត់ចត់ និងជ្រើសរើស ក អ្នកផ្គត់ផ្គង់ argon រាវ ជាមួយនឹងកម្លាំងដ៏ទូលំទូលាយ ដើម្បីធានាបាននូវការផ្គត់ផ្គង់ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ និងស្ថិរភាពនៃ argon រាវសម្រាប់ semiconductors គឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះដ៏សំខាន់សម្រាប់គ្រប់សហគ្រាសផលិត semiconductor ដើម្បីបង្កើនទិន្នផលដំណើរការ និងឈ្នះក្នុងការប្រកួតប្រជែងទីផ្សារពិភពលោក។