យើងបានបើករោងចក្រមួយនៅប្រទេសចិនដែលមានជំនាញក្នុងការផលិតឧស្ម័នឧស្សាហកម្ម។ ពីចំណុចរបស់ខ្ញុំដែលខ្ញុំបានឃើញការវិវឌ្ឍន៍មិនគួរឱ្យជឿនៃបច្ចេកវិទ្យាដែលបំពាក់ដោយអ្វីដែលមនុស្សភាគច្រើនមិនដែលមើលឃើញ: ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត។ មីក្រូហិរញ្ញវត្ថុតូចតាចនៅក្នុងទូរស័ព្ទកុំព្យូទ័រនិងឡានគឺជាវិស្វកម្មដ៏អស្ចារ្យនៃវិស្វកម្មទំនើបប៉ុន្តែការបង្កើតរបស់ពួកគេគឺមិនអាចទៅរួចទេបើគ្មានការផ្គត់ផ្គង់ភាពឥតខ្ចោះនៃឧស្ម័នពិសេសទាំងនេះ។

អ្នកយល់ពីសារៈសំខាន់នៃគុណភាពនិងខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចទុកចិត្តបានប៉ុន្តែអ្នកប្រហែលជាឆ្ងល់ ហេតុអវី បទដ្ឋានសម្រាប់ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចគឺខ្ពស់ណាស់តារាសាស្ត្រ។ ហេតុអ្វីបានជាការដឹកជញ្ជូនរបស់អាគុយម៉ង់ត្រូវការ 99,9999%? មគ្គុទេសក៍នេះនឹងទាញវាំងននត្រឡប់មកវិញនៅលើពិភពលោកនៃការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិក។ យើងនឹងស្វែងយល់ឧស្ម័នជាក់លាក់ដែលបានប្រើអ្វីដែលពួកគេធ្វើហើយហេតុអ្វីបានជាភាពបរិសុទ្ធរបស់ពួកគេគឺជាកត្តាសំខាន់បំផុតតែមួយ។ នៅចុងបញ្ចប់អ្នកនឹងមានការយល់ដឹងកាន់តែច្បាស់អំពីផលិតផលដែលអ្នកមានប្រភពនិងត្រូវបានបំពាក់ឱ្យកាន់តែប្រសើរដើម្បីទំនាក់ទំនងតម្លៃរបស់ពួកគេដល់អតិថិជនរបស់អ្នក។

ហេតុអ្វីបានជាឧស្ម័នជំនាញមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិច?

ស្រមៃមើលការកសាងអគារខ្ពស់មួយដែលគ្រាប់ធញ្ញជាតិដីខ្សាច់ខុសតែមួយអាចបណ្តាលឱ្យរចនាសម្ព័ន្ធទាំងមូលដួលរលំ។ នោះគឺជាកម្រិតនៃភាពជាក់លាក់ដែលត្រូវការនៅក្នុងឯកសារ ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក ឧស្សាហកម្ម។ "ប្លុកអាគារ" នៃឧស្សាហកម្មនេះមិនមែនជាឥដ្ឋនិងបាយអទេប៉ុន្តែអាតូមនិង "ឧបករណ៍" ច្រើនតែមានឧស្ម័នដែលមានឯកទេសខ្ពស់។ ទាំងមូល ការប្រឌិត នៃមួយ សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា កើតឡើងនៅលើមាត្រដ្ឋានមីក្រូទស្សន៍ដែលស្រទាប់វត្ថុធាតុដើមជាញឹកញាប់មានតែអាតូមពីរបីក្រាស់ប៉ុណ្ណោះដែលត្រូវបានដាក់ចូលឬដាក់នៅឆ្ងាយពីក Silicon Wafer.

តាមងនេហ ដំណើរការអេឡាក់ដូគីស គឺប្រកាន់អក្សរតូចធំមិនគួរឱ្យជឿ។ ភាគល្អិតដែលមិនចង់បានឬគីមី ដេលធេវី អាចបង្អាក់ស្ថាបត្យកម្មឆ្ងាញ់នៃមីក្រូជីបបង្ហាញវាគ្មានប្រយោជន៍ទេ។ នេះគឺជាកន្លែងដែល ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើ។ ពួកគេបង្កើតបរិយាកាសជ្រុលបំផុតផ្តល់នូវវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ស្រទាប់ថ្មីនិងដើរតួជា "ស្បែកក្បាល" ដែលឆ្លាក់បាននូវការឆ្លាក់សម្រាប់អគ្គិសនី។ នេះ ដំណើរការផលិតរថយន្តអេឡិចត្រូនិក គឺជារបាំស្មុគស្មាញនៃ ប្រតិកម្មគីមីហើយឧស្ម័នគឺជាអ្នករបាំនាំមុខ។ បើគ្មានថេរថេរអាចជឿទុកចិត្តបាននិងការផ្គត់ផ្គង់ប្រឡងស្ងួតរបស់ឧស្ម័នទាំងនេះគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចទាន់សម័យធម្មតានឹងមិនមានទេ។

នេះ ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក មិនមែនជាផលិតផលឧស្សាហកម្មស្តង់ដាររបស់អ្នកទេ។ ពួកគេត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីទទួលបានកំរិតភាពបរិសុទ្ធដែលពិបាកក្នុងការយល់ជារឿយៗត្រូវបានវាស់ជាផ្នែកមួយក្នុងមួយពាន់លានដុល្លារឬគ្រឿងបន្លាស់ក្នុងមួយសែនកោដិ។ នេះគឺដោយសារតែការសម្តែងរបស់ ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច ត្រូវបានចងភ្ជាប់ដោយផ្ទាល់ទៅនឹងភាពឥតខ្ចោះនៃរចនាសម្ព័ន្ធអាតូមរបស់ពួកគេ។ ម៉ូលេគុលប្រតិកម្មនៃអុកស៊ីសែនឬចំហាយទឹកក្នុងអ្វីដែលគួរតែជាអសកម្ម ឧស្ផ័ន អាចបណ្តាលឱ្យមានកត់សុីការផ្លាស់ប្តូរឯកសារ លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី នៃសៀគ្វីនិងនាំឱ្យមានពិការភាព។ នេះជាមូលហេតុដែល ឧស្សាហកម្មឧស្ម័នជំនាញ ពិតជាមានសារៈសំខាន់ណាស់ចំពោះពិភពបច្ចេកវិទ្យា។

តើហ្គាសប្រភេទសំខាន់ៗអ្វីខ្លះដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក?

នៅពេលយើងនិយាយអំពី ឧស្ម័នក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក, ជាទូទៅពួកគេធ្លាក់ចូលក្នុងប្រភេទសំខាន់ៗមួយចំនួនដោយផ្អែកលើមុខងាររបស់ពួកគេ។ ការស្វែងយល់អំពីក្រុមទាំងនេះជួយបំភ្លឺតួនាទីនីមួយៗ ឧស្ផ័ន លេងនៅស្មុគស្មាញ ដំណើរការផលិត។ វាមិនត្រឹមតែមួយឬពីរឧស្ម័នប៉ុណ្ណោះទេ។ ទំនើបមួយ SemiconDuctor Fab តម្រូវឱ្យមានជាង 30 ផ្សេងគ្នា ឧស្ម័ននិងល្បាយដើម្បីដំណើរការ។

ទីមួយគឺ ឧស្ម័នប៊ុល។ ទាំងនេះគឺជាសេះដែលត្រូវបានប្រើក្នុងបរិមាណដ៏ច្រើនសម្បើមនៅទូទាំងកន្លែង។ គិតថាពួកគេជាបរិយាកាសគ្រឹះរបស់ Fab ។ ទូទៅបំផុតគឺ:

• អាសូត (N₂): ប្រើសម្រាប់អង្គជំនុំជម្រះអង្គជំនុំជម្រះនិងឧបករណ៍ដើម្បីលុបភាពកខ្វក់និងបង្កើតបរិយាកាសអសកម្ម។
• អុកស៊ីសែន (អូ₂): ធ្លាប់ដាំស្រទាប់ស៊ីលីអូឌីជីថលដែលមានគុណភាពខ្ពស់ (ស៊ីអូអេស) ដែលដើរតួជាអ៊ីសូឡង់។
• អ៊ីដ្រូសែន (H₂): ប្រើសម្រាប់ការសំអាតផ្ទៃនិងជាក់លាក់ ការតមនាក់ ដំណើរការ។
• Argon (AR): អតីកាន ឧស្ម័នអសកម្ម ត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតបរិយាកាសមានស្ថេរភាពសម្រាប់ដំណើរការដូចជាការដាក់ពង្រាយ។

បន្ទាប់គឺ ឧស្ម័នជំនាញដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរ ឧស្ម័នជំនាញអេឡិចត្រូនិច។ ទាំងនេះគឺជាការជាក់លាក់ខ្ពស់, ជាញឹកញាប់ ដោយរបយយ ឬមានគ្រោះថ្នាក់ឧស្ម័នដែលអនុវត្តភារកិច្ចសំខាន់នៃការក្រេវក្រោធនិងការដាក់ប្រាក់។ ពួកវាត្រូវបានប្រើក្នុងបរិមាណតិចជាងនេះប៉ុន្តែមានតម្លៃខ្ពស់ជាងហើយត្រូវការដោះស្រាយយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្នខ្ពស់។ ទាំងនេះអាចត្រូវបានបែងចែកបន្ថែមទៀតជាក្រុមដូចជា:

• ឧស្ម័នដាក់ប្រាក់: ឧស្ម័នទាំងនេះដូចជា Silane (Sih₄) គឺជាប្រភពនៃសម្ភារៈដែលបានប្រើដើម្បីសាងសង់ស្រទាប់នៃបន្ទះឈីប។ ពួកវារលួយនិងដាក់ប្រាក់ក ខ្សែភាពយន្តស្តើង នៃសម្ភារៈនៅលើឯកសារ Silicon Wafer.
• ឧស្ម័នអេតចាយ: ទាំងនេះគឺ ឧស្ម័នប្រតិកម្ម បានប្រើដើម្បីជ្រើសរើសសម្ភារៈចេញ។ ឧទាហរណ៏រួមមានសមាសធាតុហ្វ្លុយរីនដូចជាកាបូន Tetrafloride (CF₄) និង ក្លរ៉ែនអ៊ីដ្រូសែន (HCL) ។ ពួកគេត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឯកសារ ដំណើរការអេឡិចត្រូនិច ដើម្បីឆ្លាក់លំនាំសៀគ្វី។
• ឧស្ម័នដូសៈ ឧស្ម័នទាំងនេះត្រូវបានប្រើដើម្បី "ចំនួន" ស៊ីលីលីនដែលមានន័យថាចេតនាណែនាំជាក់លាក់មួយ ដេលធេវី (ក ដង្កូវសន្ធឹក) ដើម្បីផ្លាស់ប្តូររបស់វា លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី។ នេះគឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះក្នុងការបង្កើតត្រង់ស៊ីស្ទ័រ។ សាមហ្ញ ឧស្ម័នដូស រួមបញ្ចូល Arsine (Ash₃) និងផូស្វ័រ (PH₃) ។

តើឧស្ម័នអាសូតដើរតួយ៉ាងដូចម្តេចចំពោះការងារដែលមានស្នាដៃក្នុងកម្មវិធីអេឡិចត្រូនិច?

ប្រសិនបើអ្នកត្រូវដើរឆ្លងកាត់ក ការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិក កន្លែងដែលមានលក្ខណៈពិសេសបំផុត ឧស្ផ័ន អ្នកនឹងជួបប្រទះគឺ អាសូត។ ខណៈពេលដែលវាមិនតែងតែចូលរួមនៅក្នុងមេ ប្រតិកម្មគីមី ដែលបង្កើតបន្ទះឈីបតួនាទីរបស់វាគឺពិតជាចាំបាច់សម្រាប់ការបង្កើតលក្ខខណ្ឌសម្រាប់ប្រតិកម្មទាំងនោះដើម្បីទទួលបានជោគជ័យ។ អាសូតត្រូវបានប្រើ ជាចម្បងសម្រាប់ភាពអសកម្មរបស់វា; វាមិនងាយនឹងមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងធាតុផ្សេងទៀតទេដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជា "ម៉ាស៊ីនបំពេញ" ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ឧស្ផ័ន.

ការប្រើប្រាស់បឋមសម្រាប់ អាសូត គឺក្នុងការសម្អាតនិងបង្កើតបរិយាកាសអសកម្ម។ មុនពេលមានភាពរសើបណាមួយ ដំណើរការអេឡិចត្រូនិច អាចចាប់ផ្តើម, អង្គជំនុំជម្រះត្រូវតែមានភាពកខ្វក់ទាំងស្រុងដូចជាការចម្លងរោគដូចជាអុកស៊ីសែនចំហាយទឹកនិងធូលី។ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ អាសូត ត្រូវបានហូរតាមអង្គជំនុំជម្រះដើម្បីជំរុញធាតុដែលមិនចង់បានទាំងនេះ។ នេះការពារការកត់សុីឬប្រតិកម្មផ្សេងទៀតដែលនឹងបំផ្លាញ ផាប។ គោលការណ៍ដដែលនេះត្រូវបានអនុវត្តទៅលើឧបករណ៍និងកួរដឹកទំនិញ (ត្រូវបានគេស្គាល់ថាជា foups) ដែលដឹក Silicon Wafers រវាងដំណាក់កាលផ្សេងៗគ្នានៃឯកសារ ដំណើរការផលិតកម្ម.

លើសពីនេះទៀត, អាសូត ដើរតួយ៉ាងសំខាន់ក្នុង Photolithographដំណើរការនៃការបោះពុម្ពការរចនាសៀគ្វីរចនានៅលើ Wafer ។ នៅជ្រៅអ៊ុលត្រាវីយូ លីចូស, ចន្លោះរវាងកែវថតនិង ផាប ត្រូវបានបំពេញដោយ ultra- សុទ្ធ អាសូត (ឬ អាបិច) ដើម្បីអនុញ្ញាតឱ្យពន្លឺរលករយៈពេលខ្លីឆ្លងកាត់ដោយមិនត្រូវបានស្រូបយកដោយខ្យល់។ បើគ្មានបរិស្ថានបំរើនេះដំណើរការនេះមិនអាចទៅរួចទេ។ នៅក្នុងបទពិសោធន៍របស់ខ្ញុំដែលផ្គត់ផ្គង់ឱ្យធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវតម្រូវការសម្រាប់ការបន្ត, កម្រិតខ្ពស់, និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ អាសូត ការផ្គត់ផ្គង់គឺមិនអាចចរចារបានទេ។

តើ Argon លេងតួនាទីអ្វីក្នុងការបង្កើតបរិយាកាសល្អឥតខ្ចោះ?

ដូចជាអាសូត, អាបិច គឺជាថ្លៃថ្នូ ឧស្ផ័នមានន័យថាវាគីមី កន្លេងតុយមុខ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ argon ត្រូវបានប្រើ សម្រាប់កម្មវិធីជាក់លាក់ដែលទំងន់អាតូមធ្ងន់របស់វាផ្តល់នូវអត្ថប្រយោជន៍មួយ។ មួយក្នុងចំណោមកម្មវិធីសំខាន់បំផុតនៃកម្មវិធីទាំងនេះគឺការដាក់ពង្រាយឬការដាក់ពង្រាយ។ នេះគឺជាចំហាយរាងកាយ ដំណើរការតមលៃ ធ្លាប់ដាក់ខ្សែភាពយន្តដែកស្តើងដែលបង្កើតជាខ្សែភ្លើងរបស់ សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា.

នៅក្នុងការធ្លាក់ចុះវ៉ុលខ្ពស់ត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះខ្វះចន្លោះមួយដែលពោរពេញទៅដោយ ឧស្ម័ន argon។ នេះបង្កើតឱ្យមានផ្លាស្មាដែលត្រូវបានចោទប្រកាន់ជាវិជ្ជមាន អាបិច អ៊ីយ៉ុង។ អ៊ីយ៉ុងទាំងនេះត្រូវបានពន្លឿននិងកម្ទេចទៅក្នុង "គោលដៅ" ដែលធ្វើពីលោហៈដែលយើងចង់ដាក់ (ដូចជាស្ពាន់ឬអាលុយមីញ៉ូម) ។ កម្លាំងនៃការប៉ះទង្គិចគោះអាតូមដែកចេញពីគោលដៅដែលបន្ទាប់មកហោះហើរឆ្លងកាត់អង្គជំនុំជម្រះនិងថ្នាំកូត Silicon Wafer នៅក្នុងស្រទាប់ឯកសណ្ឋានស្តើងមួយ។ អាបិច គឺល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់បញ្ហានេះពីព្រោះវាធ្ងន់ល្មមដើម្បីបំបែកអាតូមគោលដៅយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពប៉ុន្តែមានសារធាតុគីមីគ្រប់គ្រាន់ដែលវាមិនមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងខ្សែភាពយន្តលោហៈវាកំពុងជួយបង្កើត។ វាផ្តល់នូវភាពល្អឥតខ្ចោះ បរិស្ថានសម្រាប់ការដាក់ការធ្លាក់ចុះនៃលោហៈនៃលោហៈ.

ការប្រើប្រាស់កូនសោមួយទៀតសម្រាប់ អាបិច គឺនៅក្នុងការធ្វើឱ្យប្លាស្មា។ ក្នុងនេះ ដំណើរការអេឡិចត្រូនិច, អាបិច ជារឿយៗត្រូវបានលាយជាមួយក ដោយរបយយ ដេចចមបាស ឧស្ផ័ន។ នេះ អាបិច ជួយធ្វើឱ្យមានស្ថេរភាពប្លាស្មានិងការទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃរាងកាយលើផ្ទៃដីជួយដល់ការធ្វើឱ្យសារធាតុគីមីហើមនិងបង្កើតភាពច្បាស់លាស់កាន់តែច្បាស់នៅក្នុងការកាត់បញ្ឈរនៅក្នុងសម្ភារៈ។ ការផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចទុកចិត្តបាននៃ ស៊ីឡាំងហ្គាសអ័ក្សអ័ក្ស គឺមានសារៈសំខាន់ណាស់សម្រាប់កន្លែងណាមួយដែលសម្តែងការបន្ធូរបន្ថយលោហធាតុឬការកើនឡើងខ្ពស់។

តើអ្នកអាចពន្យល់ពីរបៀបដែលអ៊ីដ្រូសែនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការដាក់ប្រាក់និងសំអាតបានទេ?

ខណៈពេលដែលអាសូតនិងអាហ្គុនមានតម្លៃមានតម្លៃសម្រាប់ការមិនមានអសកម្ម អ៊ីដ្រូដនី មានតម្លៃសម្រាប់ការខ្ពស់ ដោយរបយយ, ប៉ុន្តែតាមរបៀបស្អាតស្អំនិងគ្រប់គ្រង។ អ៊ីដ្រូសែនត្រូវបានប្រើ យ៉ាងច្រើននៅក្នុង ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក សម្រាប់ការសំអាតផ្ទៃនិងក្នុងប្រភេទជាក់លាក់មួយនៃ ការតមនាក់ ហៅថាការលូតលាស់របស់ epitapial ។ ទំហំអាតូមតូចរបស់វាអនុញ្ញាតឱ្យវាជ្រាបចូលនិងមានប្រតិកម្មតាមវិធីឧស្ម័នធម្មជាតិផ្សេងទៀតមិនអាច។

មុនពេលស្រទាប់ថ្មីអាចត្រូវបានដាំដុះនៅលើមួយ ផាប, ផ្ទៃខាងលើត្រូវតែស្អាតស្អំ, ចុះទៅកម្រិតអាតូមិច។ ឧស្ម័នអ៊ីដ្រូសែន ត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលគេហៅថា "ការដុតនំអ៊ីដ្រូសែន" ដើម្បីយកអុកស៊ីដដើមចេញ (ស្រទាប់ស្តើងដែលកើតឡើងពីធម្មជាតិនៃស៊ីលីខនឌីអុកស៊ីត) ដែលបានបង្កើតឡើងនៅលើ ស៊ីលីលីន ផ្ទៃ។ នេះ អ៊ីដ្រូដនី ប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីសែនបង្កើតជាចំហាយទឹក (ហាវ) ដែលបន្ទាប់មកត្រូវបានបូមចេញពីអង្គជំនុំជម្រះដោយបន្សល់ទុកនូវភាពស្រស់ស្អាត ស៊ីលីលីន Surface បានត្រៀមរួចរាល់សម្រាប់ជំហានបន្ទាប់។

អ៊ីដ្រូដនី ក៏ជាសមាសធាតុសំខាន់ផងដែរ ផយរតុរបាលី កំណើន (ឬ "អេភីអាយ") ដែលជាដំណើរការដែលដុះស្រទាប់គ្រីស្តាល់តែមួយនៃ ស៊ីលីលីន នៅលើកំពូលនៃ Silicon Wafer។ ស្រទាប់ថ្មីនេះមានរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ល្អឥតខ្ចោះនិងត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់ ដង្កូវសន្ធឹក កម្រិត។ អ៊ីដ្រូដនី ដើរតួជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន ឧស្ផ័ន សម្រាប់ឯកសារ ស៊ីលីលីន របផប ឧស្ផ័ន (ដូចជា Silane ឬ trichlorosilane) ។ វាក៏ធានានូវបរិយាកាសរីកចម្រើនស្អាតដោយដើររើសអាតូមអុកស៊ីសែនដែលវង្វេងចេញ។ គុណភាពនៃស្រទាប់តូចនេះគឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃការអនុវត្តនៃដំណើរការនៃដំណើរការដែលមានភាពបរិសុទ្ធនៃ ស៊ីឡាំងអ៊ីដ្រូសែន ការផ្គត់ផ្គង់ពិតជាមានសារៈសំខាន់ណាស់។

តើឧស្ម័នមានឧស្ម័នអ្វីខ្លះហើយតើពួកគេឆ្លាក់រង្វង់មីក្រូទស្សន៍យ៉ាងដូចម្តេច?

ប្រសិនបើការដាក់ប្រាក់គឺនិយាយអំពីការបង្កើតស្រទាប់, ការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងគឺការឆ្លាក់ពួកគេយ៉ាងខ្លាំងដើម្បីបង្កើតលំនាំសៀគ្វី។ គិតពីវាជាការឆ្លាក់មីក្រូទស្សន៍។ បន្ទាប់ពីលំនាំមួយត្រូវបានកំណត់ដោយប្រើ Photolithograph, chant ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្តល់ សារធាតុគីមីមានន័យថាយកសម្ភារៈចេញពីតំបន់ដែលមិនបានការពាររបស់ឯកសារ ផាប។ នេះគឺជាជំហានដ៏ស្មុគស្មាញនិងសំខាន់បំផុតមួយនៅក្នុង ការផលិតបន្ទះឈីប.

នេះ ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើក្នុងការធ្វើត្រាប់តាម ដំណើរការជាធម្មតាហ្វ្លូរីរីនក្លររីនឬសមាសធាតុដែលមានមូលដ្ឋានលើប្រូមែន។ ជម្រើសនៃ ឧស្ផ័ន អាស្រ័យលើសម្ភារៈដែលត្រូវបានកំណត់។

• ឧស្ម័នដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយរីរីន (ឧ។ Cf₄, sf₆, nf₃) គឺល្អសម្រាប់ etching ស៊ីលីលីន និងស៊ីលីខនឌីអុកស៊ីត។
• ឧស្ម័នដែលមានមូលដ្ឋាននៅក្លរីន (ឧ។ ក្លីប, បៃ, អេចអេសអិល) ជារឿយៗត្រូវបានប្រើសម្រាប់លោហៈ etching ដូចជាអាលុយមីញ៉ូម។

តាមងនេហ ឧស្ម័នប្រតិកម្ម ត្រូវបានណែនាំទៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្លាស្មា។ ប្លាស្មាបំបែក ឧស្ផ័ន ម៉ូលេគុលដាច់ដោយឡែកយ៉ាងខ្លាំង ដោយរបយយ អ៊ីយ៉ុងនិងរ៉ាឌីកាល់។ រ៉ាឌីកាល់ទាំងនេះបន្ទាប់មកមានប្រតិកម្មនឹងផ្ទៃខាងលើ ផាបបង្កើតបានជាសមាសធាតុដែលងាយនឹងបង្កជាហេតុថ្មីដែលអាចបូមចេញបានយ៉ាងងាយស្រួលដូច្នេះ "រួមភេទ" សម្ភារៈ។ ភាពជាក់លាក់ដែលត្រូវការគឺធំធេងណាស់។ គោលដៅគឺទៅ ចេរ ត្រង់ចុះ (antisotropically) ដោយមិនចាំបាច់ប្រើស្រទាប់ដែលមានលំនាំ។ តមនើប SemiconDuctor Fab ប្រើស្មុគស្មាញ ល្បាយហ្គាស និងគ្រប់គ្រងលក្ខខណ្ឌប្លាស្មាដោយប្រុងប្រយ័ត្នដើម្បីទទួលបានលទ្ធផលនេះ។

តើប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមី (CVD) គឺជាអ្វីហើយតើឧស្ម័នមួយណាដែលពាក់ព័ន្ធ?

ប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមី (CVD) គឺជាគ្រឹះ ដំណើរការតមលៃ ខាងក្នុងអាយ័តនិ ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក។ វាជាវិធីសាស្ត្រចំបងដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើង ៗ និងមានភាពតានតឹងផ្សេងៗដែលបង្កើតឡើង ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ គំនិតជាមូលដ្ឋានគឺត្រូវហូរចេញក ឧស្ផ័ន (ឬល្បាយឧស្ម័ន) លើកំដៅ ផាប។ កំដៅបណ្តាលឱ្យ ឧស្ផ័ន ដើម្បីប្រតិកម្មឬរលួយនៅលើផ្ទៃរបស់ Wafer ដោយបន្សល់ទុកនូវខ្សែភាពយន្តដ៏រឹងមាំនៃសម្ភារៈដែលចង់បាន។

ប្រតិកម្មនីមួយៗត្រូវការលក្ខខណ្ឌថេរមិនគួរឱ្យជឿនិងខ្លាំងបំផុត ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ ឧទាហរណ៍នៅពេលដាក់ស្រទាប់ប៉ូលីលីកខនដោយប្រើស៊ីលីនអុកស៊ីសែន ដេលធេវី នៅក្នុង ឧស្ផ័ន ស្ទ្រីមនឹងបណ្តាលឱ្យស៊ីលីខនឌីអុកស៊ីតដើម្បីបង្កើតជាការធ្វើឱ្យខូចគុណភាពនៃស្រទាប់។ នេះជាមូលហេតុដែលយើងជាអ្នកផ្គត់ផ្គង់សូមផ្តោតអារម្មណ៍ខ្លាំងទៅលើឯកសារ ផាបអត់សៃ និងការវិភាគរបស់ទាំងនេះ ឧស្ម័នដាក់ប្រាក់។ បណ្ណាល័យទាំងមូលនៃ ឧស្ម័នឯកទេសពិសេសសុទ្ធសសិទ្ធិខ្ពស់ យើងផ្តល់ជូនគឺផ្តោតលើការបំពេញតាមតម្រូវការទាំងនេះ។

ហេតុអ្វីបានជាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតកត្តាសំខាន់បំផុតសម្រាប់ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិច?

ខ្ញុំមិនអាចនិយាយបំផ្លើសនេះទេ: នៅក្នុងឯកសារ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក, ភាពបរិសុទ្ធ គឺជាអ្វីគ្រប់យ៉ាង។ ពាក្យនេះ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ មិនមានន័យថា 99% ឬ 99,9% ។ សរមាប់ ឧស្ម័នអេឡាក់ទិក, យើងកំពុងនិយាយអំពី ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត (UHP) ដែលជាធម្មតា 99,999% (ជារឿយៗត្រូវបានគេហៅថា "សំណាញ់ប្រាំ") ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ សម្រាប់អ្នកខ្លះបានរិះគន់ ដំណើរការឧស្ម័ន, តម្រូវការអាចមាន 99,9999% ("Nines ប្រាំមួយ") ឬខ្ពស់ជាងនេះ។ ហេតុផលគឺសាមញ្ញ: ការចម្លងរោគសំលាប់ការសម្តែង។

លក្ខណៈពិសេសនៅលើមីក្រូហិរញ្ញវត្ថុសម័យទំនើបត្រូវបានវាស់ជាណាណូមឺរ (ពាន់លានម៉ែត្រ) ។ នៅកម្រិតនេះដែលជាភាគល្អិតបរទេសតែមួយឬម៉ូលេគុលដែលមិនចង់បានគឺដូចជាផ្ទាំងថ្មមួយនៅកណ្តាលផ្លូវដ៏អស្ចារ្យមួយ។ អតីកាន ដេលធេវី អាច:

• ផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈអគ្គិសនី: អ៊ីយ៉ុងសូដ្យូមដែលវង្វេងស្មារតីអាចផ្លាស់ប្តូរវ៉ុលនៃត្រង់ស៊ីស្ទ័រដែលបណ្តាលឱ្យវាបើកឬបិទនៅពេលខុស។
• បង្កើតពិការភាពរចនាសម្ព័ន្ធ: ម៉ូលេគុលអុកស៊ីសែនអាចរំខានដល់បន្ទះឈើគ្រីស្តាល់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះក្នុងកំឡុងពេលនៃការលូតលាស់ដ៏អស្ចារ្យបង្កើត "ការផ្លាស់ទីលំនៅ" ដែលរារាំងលំហូរអេឡិចត្រុង។
• បណ្តាលឱ្យសៀគ្វីខ្លី: ភាគល្អិតលោហធាតុអាចភ្ជាប់ខ្សែរដែលកំពុងដឹកនាំនៅជាប់គ្នាបានបង្កើតឱ្យមានរយៈពេលខ្លីដែលងាប់។
• កាត់បន្ថយទិន្នផល: ភាពកខ្វក់កាន់តែមានវត្តមានខ្ពស់ចំនួននៃបន្ទះឈីបដែលមានបញ្ហានៅលើគ្នា ផាបដែលជះឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ដល់ផលចំណេញ។

នេះជាមូលហេតុដែលក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនផលិតការវិនិយោគដ៏ធំបំផុតរបស់យើងគឺស្ថិតនៅក្នុងឧបករណ៍បន្សុទ្ធនិងឧបករណ៍វិភាគ។ រាល់បាច់នៃ ឧស្ម័នត្រូវតែ ត្រូវបានសាកល្បងដើម្បីធានាថាខ្លួនបានឆ្លើយតបនឹងផ្នែកខ្លះនៃគ្រឿងបន្លាស់ (PPB) ឬគ្រឿងបន្លាស់ - PPB) ដែលទាមទារដោយអតិថិជនរបស់យើង។ នេះ តម្រូវការឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ តើអ្វីដែលជំរុញទាំងមូល ទីផ្សារហ្គាសពិសេស សម្រាប់អេឡិចត្រូនិច។

តើយើងធានាបាននូវគុណភាពនិងការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នដែលមានគុណភាពខ្ពស់យ៉ាងដូចម្តេច?

សម្រាប់មន្រ្តីលទ្ធកម្មដូចជាម៉ាកុសនេះគឺជាសំណួរសំខាន់បំផុត។ តម្លៃដ៏អស្ចារ្យគឺគ្មានន័យទេប្រសិនបើឯកសារ ឧស្ផ័ន គុណភាពមិនស៊ីចង្វាក់គ្នាឬការដឹកជញ្ជូនយឺតយ៉ាវ។ ខ្ញុំបាន heard រឿងភ័យរន្ធត់: អ្នកផ្គត់ផ្គង់ផ្តល់នូវវិញ្ញាបនប័ត្រនៃការវិភាគដោយការប្រកបឬការដឹកជញ្ជូន ឧស្ម័នជំនាញ ត្រូវបានធ្វើឡើងនៅគយអស់រយៈពេលជាច្រើនសប្តាហ៍, បណ្តាលឱ្យបន្ទាត់ផលិតកម្មបញ្ឈប់។ ការដោះស្រាយចំណុចឈឺចាប់ទាំងនេះគឺស្ថិតក្នុងស្នូលនៃទស្សនវិជ្ជាអាជីវកម្មរបស់យើង។

ធានានូវគុណភាពចាប់ផ្តើមពីឯកសារ ផាបអត់សៃ ដំណើរការ។ យើងប្រើប្រព័ន្ធជឿនលឿនដូចជាការធ្វើសមាធិរបស់ Cryogenic និងសំភារៈ adsorbent ឯកទេសដើម្បីយកភាពមិនស្អាតស្អំ។ ប៉ុន្តែដំណើរការនេះមិនបញ្ចប់នៅទីនោះទេ។ ជំហានសំខាន់បំផុតគឺការផ្ទៀងផ្ទាត់។ យើងប្រើឧបករណ៍វិភាគដែលមានលក្ខណៈទំនើបដូចជាឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ឧស្ម័ន - ម៉ាស - ម៉ាស (GC-MS) ដើម្បីសាកល្បងរាល់ស៊ីឡាំងតែមួយមុនពេលវាត្រូវបានដឹកជញ្ជូន។ យើងផ្តល់ជូនអតិថិជនរបស់យើងនូវវិញ្ញាបនប័ត្រវិញ្ញាបនបត្រលម្អិតនិងត្រឹមត្រូវនៃការវិភាគ (COA) សម្រាប់រាល់បាច់ធានា ភាពបរិសុទ្ធហ្គាស.

A ការផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចទុកចិត្តបាន ខ្សែសង្វាក់គឺជាពាក់កណ្តាលទៀតនៃសមីការ។ នេះពាក់ព័ន្ធ:

• ការរៀបចំស៊ីឡាំងរឹងមាំ: ស៊ីឡាំងសម្រាប់ ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត ឆ្លងកាត់ដំណើរការសំអាតពិសេសនិងសម្ងាត់ពិសេសដើម្បីធានាថាកុងតឺន័រខ្លួនវាមិនបំពុលទេ ឧស្ផ័ន.
• ភស្តុភារឆ្លាតវៃ: យើងធ្វើការជាមួយដៃគូដឹកជញ្ជូនដែលមានបទពិសោធន៍ដែលយល់ពីបទប្បញ្ញត្តិសម្រាប់ការដឹកជញ្ជូនសម្ពាធសម្ពាធខ្ពស់និងពេលខ្លះមានគ្រោះថ្នាក់វត្ថុធាតុដើមដែលមានគ្រោះថ្នាក់អន្តរជាតិអន្តរជាតិ។ យើងផ្តល់ជូនរាល់ឯកសារចាំបាច់ទាំងអស់ដើម្បីធានាបាននូវការបោសសំអាតគយរលូន។
• ទំនាក់ទំនងច្បាស់លាស់: ក្រុមលក់និងការគាំទ្ររបស់យើងត្រូវបានបណ្តុះបណ្តាលដើម្បីផ្តល់នូវបច្ចុប្បន្នភាពជាប្រចាំ។ អ្នកនឹងដឹងពីស្ថានភាពនៃការបញ្ជាទិញរបស់អ្នកពីការផលិតរហូតដល់ការចែកចាយចុងក្រោយ។ យើងយល់ថាអាចព្យាករណ៍បាន ការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ គឺចាំបាច់សម្រាប់អតិថិជនរបស់យើងក្នុងការគ្រប់គ្រងកម្មវិធីផលិតរបស់ពួកគេ។ យើងថែមទាំងផ្តល់ជូនផ្សេងៗទៀតផង ល្បាយឧស្ម័ន ជម្រើសដើម្បីបំពេញតម្រូវការដំណើរការជាក់លាក់។

តើអនាគតមានប៉ុន្មានសម្រាប់ឧស្ម័នឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច?

នេះ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក មិនដែលនៅដដែល។ ដូចដែលបានព្យាករណ៍ដោយច្បាប់ Moore អ្នកផលិតបន្ទះឈីបកំពុងជំរុញជានិច្ចដើម្បីបង្កើតឧបករណ៍ដែលមានថាមពលលឿនជាងមុននិងមានថាមពល។ ការច្នៃប្រឌិតដ៏ឥតឈប់ឈរនេះជះឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ ឧស្ម័ននិងល្បាយ ប្រើក្នុងការប្រឌិតរបស់ពួកគេ។ នៅពេលយើងផ្លាស់ទៅ ជំនាន់ក្រោយអេឡិកត្រូនិកបន្ទាប់ បច្ចេកវិទ្យាដែលមានទំហំលក្ខណៈពិសេសធ្លាក់ចុះត្រឹមតែពីរបីណ្ឌុយប៉ុណ្ណោះតម្រូវការសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ននឹងកាន់តែខ្លាំងឡើង។

យើងកំពុងមើលឃើញនិន្នាការឆ្ពោះទៅរកសំភារៈថ្មី ស៊ីលីលីន, ដូចជា gallium nitride (GAN) និង Silicon Carbide (SIC) ដែលត្រូវការថ្មីនិងខុសគ្នា ដំណើរការឧស្ម័ន សម្រាប់ការក្រេឌីតនិងការដាក់ប្រាក់។ វាក៏មានចលនាឆ្ពោះទៅរកស្ថាបត្យកម្ម 3D ដែលមានភាពស្មុគស្មាញដូចជាហ្វ្រេមហ្វតនិងច្រកទ្វារ - ជុំវិញត្រង់ស៊ីស្ទ័រ (GAA) ដែលទាមទារភាពជាក់លាក់កាន់តែច្បាស់នៅក្នុងឯកសារ ការតមនាក់ និង ចេរ ជំហាន។ នេះមានន័យថា ឧស្ម័នជំនាញ ឧស្សាហកម្មត្រូវតែបង្កើតថ្មីជានិច្ចដើម្បីអភិវឌ្ឍម៉ូលេគុលថ្មីហើយទទួលបាននូវកម្រិតខ្ពស់ជាង ផាបអត់សៃ.

តាមទស្សនៈរបស់ខ្ញុំក្នុងនាមជាអ្នកផ្គត់ផ្គង់អនាគតគឺនិយាយអំពីភាពជាដៃគូ។ វាមិនគ្រប់គ្រាន់ទេក្នុងការលក់ស៊ីឡាំងមួយ ឧស្ផ័ន។ យើងត្រូវតែធ្វើការយ៉ាងជិតស្និទ្ធជាមួយអតិថិជនរបស់យើង ការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិច វិស័យដើម្បីស្វែងយល់ពីផែនទីបង្ហាញផ្លូវបច្ចេកវិទ្យានាពេលអនាគតរបស់ពួកគេ។ នេះអនុញ្ញាតឱ្យយើងគិតទុកជាមុននូវតម្រូវការសម្រាប់ថ្មី ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយវិនិយោគលើសមត្ថភាពផលិតកម្មនិងការវិភាគដើម្បីផ្គត់ផ្គង់ពួកគេ។ វីរបុរសដែលមើលមិនឃើញរបស់ អេឡិចត្រូសា ពិភពលោក - ឧស្ម័ននឹងបន្តទៅមុខទៀតនៃការជឿនលឿនផ្នែកបច្ចេកវិទ្យា។

គន្លឹះសំខាន់

នៅពេលអ្នកប្រភពឧស្ម័នឧស្សាហកម្មសម្រាប់ទីផ្សារអេឡិចត្រូនិចដែលទាមទារនេះគឺជាអ្វីដែលសំខាន់បំផុតដែលត្រូវចងចាំ:

• ភាពបរិសុទ្ធគឺសំខាន់បំផុត: កត្តាសំខាន់បំផុតតែមួយគឺ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត។ ការចម្លងរោគ, សូម្បីតែក្នុងផ្នែកនៃផ្នែកមួយនៃកម្រិតមួយពាន់លានដុល្លារ, អាចបណ្តាលឱ្យបរាជ័យឧបករណ៍មហន្តរាយនិងកាត់បន្ថយទិន្នផលផលិតកម្ម។
• ឧស្ម័នមានការងារជាក់លាក់: ឧស្ម័នមិនអាចផ្លាស់ប្តូរបានទេ។ ពួកគេគឺជាឧបករណ៍ដែលមានជំនាញខ្ពស់ដែលត្រូវបានប្រើសម្រាប់ដំណើរការខុសគ្នាដូចជាការបង្កើតបរិយាកាសអសកម្ម (អាសូត argon), ស្រទាប់អគារអគារ (ឧស្ម័នដាក់ប្រាក់ ដូចជា Silane) និងឆ្លាក់រង្វង់ (ឧស្ម័ន etchant ដូចcf₄) ។
• ខ្សែចង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់មានសារៈសំខាន់ណាស់: អ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចទុកចិត្តបានមិនត្រឹមតែលក់ផលិតផលប៉ុណ្ណោះទេ។ ពួកគេធានាបាននូវគុណភាពតាមរយៈការធ្វើតេស្តយ៉ាងម៉ត់ចត់ផ្តល់នូវវិញ្ញាបនប័ត្រពិតប្រាកដគ្រប់គ្រងភ័ស្តុភារស្មុគស្មាញនិងរក្សាការប្រាស្រ័យទាក់ទងយ៉ាងច្បាស់ដើម្បីការពារការពន្យារពេលផលិតកម្មថ្លៃដើម។
• ចំណេះដឹងបច្ចេកទេសបន្ថែមតម្លៃ: ដេលយល់ ហេតុអវី ជាក់លាក់មួយ ឧស្ផ័ន ត្រូវបានប្រើនិង ហេតុអវី ភាពបរិសុទ្ធរបស់វាគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់ដែលអាចឱ្យអ្នកក្លាយជាដៃគូកាន់តែមានប្រសិទ្ធភាពចំពោះអតិថិជនរបស់អ្នកផ្ទាល់ដោយមានគុណភាពនិងការកសាងទំនុកចិត្តរយៈពេលវែង។
• ឧស្សាហកម្មនេះកំពុងវិវឌ្ឍន៍: ការជំរុញបន្ទះឈីបតូចជាងនិងមានថាមពលកាន់តែខ្លាំងមានន័យថាតម្រូវការសម្រាប់ថ្មីសូម្បីតែមានថាមពល ឧស្ម័នជំនាញ នឹងបន្តកើនឡើង។ ការចាប់ដៃគូជាមួយនឹងអ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលមើលទៅមុខគឺជាគន្លឹះក្នុងការឈានទៅមុខ។