ស្មាតហ្វូននៅក្នុងហោប៉ៅរបស់អ្នក, កុំព្យូទ័រនៅលើតុរបស់អ្នក, ប្រព័ន្ធជឿនលឿននៅក្នុងឡានរបស់អ្នកគ្មានវាអាចទៅរួចទេបើគ្មានស្នាដៃដែលមើលមិនឃើញនៃឧស្ម័នដែលមើលមិនឃើញ។ ក្នុងនាមជាម្ចាស់រោងចក្រហ្គាសឧស្សាហកម្មខ្ញុំបានមើលឃើញដោយផ្ទាល់នូវរបៀបដែលវត្ថុធាតុដើមសំខាន់ៗទាំងនេះបង្កើតបានជាផ្កាឈូកនៃបច្ចេកវិទ្យាទំនើប។ សម្រាប់មេដឹកនាំធុរកិច្ចដូចជាលោក Mark Shen ដែលបានរុករកខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ទូទាំងពិភពលោកស្មុគស្មាញការយល់ដឹងអំពីឧស្ម័នទាំងនេះគឺជាគន្លឹះក្នុងការដោះសោឱកាសថ្មីៗ។ អត្ថបទនេះគឺជាមគ្គុទេសក៍ដ៏ទូលំទូលាយរបស់អ្នកចំពោះអ្នកលេងសំខាន់បំផុតម្នាក់ក្នុងវិស័យនេះ: triffluoride អាសូត (NF₃)។ យើងនឹងបោះបង់ចោលអ្នកដែលមានអំណាចនេះ ឧស្ផ័ន, ស្វែងរកតួនាទីសំខាន់របស់វានៅក្នុងឯកសារ ដំណើរការផលិតរថយន្តអេឡិចត្រូនិកហើយពន្យល់ពីមូលហេតុដែលគុណភាពនិងការផ្គត់ផ្គង់របស់វាមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ទាំងមូល ការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិច ឧស្សាហកម្ម។

តើអ្វីទៅជាឧស្ម័ន Triffluoride (NF₃) ។

នៅ glance ដំបូង, triffluoride អាសូតជាញឹកញាប់សំដៅទៅលើរូបមន្តគីមីរបស់វា nf₃, មើលទៅដូចជាគ្រាន់តែឧស្សាហកម្មមួយផ្សេងទៀត ឧស្ផ័ន។ វាជាពណ៌គ្មានពណ៌ដែលមិនងាយឆេះហើយមានក្លិនមិនល្អបន្តិច បរិចចា។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយនៅក្នុងពិភពលោកនៃ ផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់នេះ ឧស្ផ័ន គឺជាឧបករណ៍ដំណើរការខ្ពស់។ វាគឺជាផលិតផលសំយោគ បរិចចា ធ្វើពីអាតូមអាសូតមួយនិងបី រេបងន៍ អាតូម។ គន្លឹះក្នុងអំណាចរបស់វាស្ថិតនៅក្នុងរចនាសម្ព័ន្ធនេះ។ នៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់, nf₃ គឺមានស្ថេរភាពហើយ កន្លេងតុយមុខដែលធ្វើឱ្យមានសុវត្ថិភាពក្នុងការដឹកជញ្ជូននិងដោះស្រាយបើប្រៀបធៀបទៅនឹងឧស្ម័នដែលងាយនឹងបង្កជាហេតុ។

វេទមន្តកើតឡើងនៅពេលថាមពលត្រូវបានអនុវត្ត។ នៅក្រោមលក្ខខណ្ឌថាមពលខ្ពស់នៅខាងក្នុង អេឡិចត្រូសា ឧបករណ៍ផលិតដូចជាក ផ្លាហផាការ អង្គជំនុំជម្រះ, nf₃ ម៉ូលេគុល រលួយ។ ពួកគេបំបែកចេញហើយបញ្ចេញខ្ពស់ ដោយរបយយ រេបងន៍ រ៉ាឌីកាល់។ គិតថាវាដូចជាការផ្ទុះដែលគ្រប់គ្រងលើខ្នាតមីក្រូទស្សន៍។ ទាំងនេះឥតគិតថ្លៃ រេបងន៍ អាតូមមានប្រសិទ្ធិភាពមិនគួរឱ្យជឿក្នុងការប្រតិកម្មជាមួយនិងដកសមា្ភារៈដែលមិនចង់បានជាពិសេស ស៊ីលីលីន និងសមាសធាតុរបស់វា។ សមត្ថភាពនេះក្នុងការមានស្ថេរភាពនៅពេលអ្នកត្រូវការវានិងខ្ពស់ ដោយរបយយ នៅពេលដែលអ្នកចង់បានវាធ្វើឱ្យ ឧស្ម័ន triffluoride អាសូត ទ្រព្យសម្បត្តិដែលមិនអាចកាត់ថ្លៃបាននៅក្នុងពិភពច្បាស់លាស់នៃ ការផលិតបន្ទះឈីប.

ធម្មជាតិពីរដ៏ពិសេសនេះគឺជាមូលហេតុ nf₃ បានក្លាយជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃសម័យទំនើប ការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិក។ ស្ថេរភាពរបស់វាធានានូវសុវត្ថិភាពនិងភាពជឿជាក់ក្នុងខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ខណៈដែលប្រតិកម្មរបស់វាផ្តល់នូវការសម្អាតនិងសមត្ថភាពនៃការផ្សារភ្ជាប់ខ្ពស់ដែលអ្នកផលិតត្រូវការ។ ដូចដែលយើងបានធ្វើឱ្យកាន់តែស៊ីជម្រៅអ្នកនឹងឃើញពីរបៀបដែលសម្លេងសាមញ្ញនេះ ឧស្ផ័ន អនុញ្ញាតឱ្យការបង្កើតឧបករណ៍ស្មុគស្មាញបំផុតនៅលើផែនដី។

ហេតុអ្វីបានជាមានជំនាញឧស្ម័នជំនាញដែលចាំបាច់សម្រាប់ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក?

ដើម្បីយល់ពីសារៈសំខាន់នៃ nf₃ដំបូងដំបូងយើងត្រូវកោតសរសើរចំពោះតួនាទីកាន់តែទូលំទូលាយ ឧស្ម័នគឺចាំបាច់ សម្រាប់នៅក្នុង ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក។ ផលិតកម្មមួយ សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា គឺដូចជាការកសាងអគារខ្ពស់ ៗ នៅលើផ្ទាំងក្រណាត់ទំហំនៃរូបភាពតូចរបស់អ្នក។ វាជាដំណើរការនៃការបន្ថែមនិងការយកស្រទាប់ស្តើង ៗ រាប់សិបដែលមានសមា្ភារៈផ្សេងៗគ្នា ស៊ីលីលីន ផាប។ រាល់ជំហានតែមួយចាប់ពីការបង្កើតទទេ ផាប ទៅឈីបចុងក្រោយពឹងផ្អែកលើបរិយាកាសដែលគ្រប់គ្រងដោយប្រុងប្រយ័ត្ន ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិច.

ឧស្ម័នទាំងនេះអនុវត្តមុខងារសំខាន់ៗជាច្រើន។ អ្នកខ្លះចូលចិត្ត អាបិច និង អេលីយ៉ូម, ត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន Inert ដើម្បីបង្កើតបរិយាកាសមានស្ថេរភាព, មិនមានសកម្មភាពនិងបន្ថយឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មបន្ថែមទៀត។ អ្នកផ្សេងទៀតត្រូវបានប្រើសម្រាប់ ការតមនាក់ដែលជាកន្លែងដែលក ឧស្ផ័ន ត្រូវបានប្រើដើម្បី របាក់ដេលយកតោដាក់ ខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃសម្ភារៈមួយនៅលើឯកសារ ផាប។ ឧទាហរណ៍ក្នុងគីមី ចមហាយ ការតមនាក់ (ស៊ីវ៉េឌី) ឧស្ម័នមានប្រតិកម្មក្នុងការបង្កើតខ្សែភាពយន្តរឹងមាំដែលក្លាយជាផ្នែកមួយនៃសៀគ្វីរបស់ឈីប។ បន្ទាប់មកមានឧស្ម័ន ething, ដូច nf₃ដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីឆ្លាក់បានយ៉ាងជាក់លាក់នៅក្នុងស្រទាប់ទាំងនេះបង្កើតឱ្យមានផ្លូវស្មោកគ្រោកសម្រាប់អគ្គិសនីឱ្យហូរ។

ដោយគ្មានថេរ, ជ្រុលបំផុតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នផ្សេងៗទាំងនេះទាំងមូល ដំណើរការផលិតកម្ម នឹងកិនទៅការបញ្ឈប់មួយ។ សូម្បីតែការដកតិចតួចក៏ដោយ ដេលធេវី ក្នុងក ឧស្ផ័ន អាចបំផ្លាញនំប័រទាំងមូលដែលធ្វើឱ្យក្រុមហ៊ុនចំណាយប្រាក់រាប់លានដុល្លារ។ នេះជាមូលហេតុ ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក គឺមានភាពរសើបមិនគួរឱ្យជឿចំពោះគុណភាពនិងភាពជឿជាក់នៃអ្នកផ្គត់ផ្គង់ហ្គាសរបស់ពួកគេ។ ភាពបរិសុទ្ធនៃឯកសារ ឧស្ផ័ន បកប្រែដោយផ្ទាល់ទៅគុណភាពនិង ទិន្នផលផលិតកម្ម នៃផលិតផលចុងក្រោយ។

តើហ្គាសNF₃ត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិកយ៉ាងដូចម្តេច?

triffluoride អាសូត មានកម្មវិធីសំខាន់ពីរនិងសំខាន់បំផុត ដំណើរការផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក: ផ្លាស្មា etching និងការសំអាតអង្គជំនុំជម្រះ។ ទាំងពីរគឺចាំបាច់សម្រាប់ការបង្កើតមីក្រូវ៉េវដែលមានសមត្ថភាពខ្ពស់ពីអ្នកដំណើរការទៅ NANN Flash Muse.

ដំបូងសូមនិយាយអំពីការជជែកវែកញែក។ បន្ទាប់ពីស្រទាប់នៃសម្ភារៈដូច ស៊ីលីលីន ឌីអុកស៊ីត ត្រូវបានដាក់នៅលើមួយ ផាបលំនាំមួយត្រូវបានគេព្យាករលើវាដោយប្រើពន្លឺ។ នេះ ចេរ ដំណើរការបន្ទាប់មកយកសម្ភារៈចេញពីតំបន់ដែលមិនបានការពារ។ nf₃ ត្រូវបានណែនាំទៅក្នុងបន្ទប់មួយហើយមានថាមពលដើម្បីបង្កើតក ផ្លាហផាការពពកនៃការចោទប្រកាន់ ខេកមម ភាគល្អិតនិងប្រតិកម្ម រេបងន៍ រ៉ាឌីកាល់។ រ៉ាឌីកាល់ទាំងនេះយ៉ាងជាក់លាក់បំផ្ទុះគ្រាប់បែក ផាប ផ្ទៃ, ប្រតិកម្មជាមួយឯកសារ ស៊ីលីលីន ហើយបំលែងវាទៅជាក ដេលមានអាថ៌កុស បរិចចា (ស៊ីលីលីន Tetrafluoride) ដែលអាចត្រូវបានបូមចេញពីអង្គជំនុំជម្រះយ៉ាងងាយស្រួល។ ភាពជាក់លាក់នៃដំណើរការនេះគឺការក្លែងបន្លំចិត្ត, អនុញ្ញាតឱ្យវិស្វករឆ្លាក់ឆ្លាក់លក្ខណៈពិសេសដែលស្តើងជាងសក់មនុស្សរាប់ពាន់ដង។

ទីពីរនិងច្រើនទៀត ការប្រើប្រាស់ triffluoride អាសូត គឺដូច សម្អាតឧស្ម័ន។ ក្នុងកំឡុងពេល ប្រាក់បញ្ញើចំហាយគីមី (ស៊ីវ៉េឌី) ដំណើរការដែលខ្សែភាពយន្តស្តើងត្រូវបានដាំដុះនៅលើ ផាប, សម្ភារៈដែលមិនចង់បានក៏បង្កើតឡើងនៅលើជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃអង្គជំនុំជម្រះដំណើរការផងដែរ។ នេហ កសំណឹក, ជាញឹកញាប់ធ្វើពី ស៊ីលីលីន ឬ Silicon Nitride ត្រូវតែលុបចោលទាំងស្រុងរវាងដំណើរការនីមួយៗ ផាប ឬបាច់នៃ wafers ។ បើមិនដូច្នោះទេការបង្កើតនេះអាចបាចចេញហើយចុះចតនៅលើកក្រោយ ផាប, បណ្តាលឱ្យមានពិការភាពមួយ។ នៅទីនេះ nf₃ ត្រូវបានបូមចូលក្នុងបន្ទប់ទទេនិងក ផ្លាហផាការ ត្រូវបានបញ្ឆេះ។ មានឥទ្ធិពល រេបងន៍ រ៉ាឌីកាល់ដុសជញ្ជាំងអង្គជំនុំជម្រះស្អាតបំលែងរឹង កសំណឹក ចូលទៅក្នុងមួយ ដេលមានអាថ៌កុស អនុប្រធាន នោះត្រូវបានដកចេញយ៉ាងងាយស្រួល។ វដ្តសំអាតនេះគឺ សំខាន់សម្រាប់ការថែរក្សា ភាពបរិសុទ្ធនៃបរិស្ថាននៃការផលិតនិងធានាខ្ពស់ ទិន្នផលផលិតកម្ម.

តើអ្វីដែលធ្វើឱ្យNF₃ឧស្ម័នសំអាតខ្ពស់ជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងជម្រើស?

អស់រយៈពេលជាច្រើនឆ្នាំ ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក ពឹងផ្អែកលើភាពឥតខ្ចោះរបស់ (PFCs) ដូចជាកាបូន Tetrafloride (CF₄) និង Hexafluorehane (c₂f₆) សម្រាប់ការសំអាតនិងការភ្ជាប់។ ខណៈពេលដែលមានប្រសិទ្ធិភាពសមាសធាតុទាំងនេះបានមកជាមួយនឹងគុណវិបត្តិដ៏សំខាន់មួយ: ពួកគេគឺជាឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏ខ្លាំងក្លាបំផុតជាមួយនឹងអាយុកាលបរិយាកាសយូរអង្វែង។ ឧទាហរណ៍C₂f₆មានមួយ សក្តានុពលនៃការឡើងកម្តៅពិភពលោកខ្ពស់ (GWP) និងអាចតស៊ូក្នុងបរិយាកាស 10.000 ឆ្នាំ។ នៅពេលបទបញ្ជាបរិស្ថានរឹតបន្តឹងឧស្សាហកម្មត្រូវការដំណោះស្រាយល្អប្រសើរជាងមុន។

នេះគឺជាកន្លែងដែល nf₃ លេចចេញជាអ្នកឈ្នះច្បាស់។ កមលុងបេល triffluoride អាសូត ក៏ជាកផងដែរ ឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏ខ្លាំងក្លា, វាមានអាយុកាលបរិយាកាសខ្លីជាង (ប្រហែល 500 ឆ្នាំ) ។ សំខាន់ជាងនេះទៅទៀតវាមានប្រសិទ្ធភាពជាងក្នុងដំណើរការសំអាត។ នៅខាងក្នុង ផ្លាហផាការ អង្គជំនុំជម្រះដែលជាភាគរយខ្ពស់ជាងនេះ nf₃ ម៉ូលេគុលបែកបាក់ដើម្បីបញ្ចេញប្រតិកម្មរបស់ពួកគេ រេបងន៍ បើប្រៀបធៀបទៅនឹង PFCs ។ នេះមានន័យថាតិចជាង ដែលមិនមានសុវត្ថិភាព ឧស្ផ័ន ហត់នឿយចេញពីអង្គជំនុំជម្រះ។ តមនើប SemiconDuctor Fab តំឡើងប្រព័ន្ធលុបបំបាត់ (ដុសខាត់) ដែលបំផ្លាញស្ទើរតែទាំងអស់ ដែលមិនមានសុវត្ថិភាព nf₃ និងមានគ្រោះថ្នាក់ អនុប្រធាន ឧស្ម័នមុនពេលពួកគេត្រូវបានដោះលែង។

ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់និងការធ្វើឱ្យអន្តរាយកាន់តែមានប្រសិទ្ធភាពមានន័យថាជាក់ស្តែង ការបំភាយឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ ពីការប្រើប្រាស់ nf₃ គឺទាបជាងអ្នកដែលមកពីឧស្ម័ន PFC ចាស់ជាងនេះ។ ការសម្តែងដ៏ប្រសើរនេះគឺជាហេតុផលសំខាន់នៃការសុំកូនចិញ្ចឹមដែលរីករាលដាលរបស់ខ្លួន។

តើធ្វើដូចម្តេចដើម្បីធ្វើឱ្យអាសអាភាសភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានផលិត?

ក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនផលិតខ្ញុំអាចប្រាប់អ្នកថាការផលិត nf₃ គឺជាការស្មុគស្មាញនិងគ្រប់គ្រងខ្ពស់ ដំណើរការផលិត។ គោលដៅគឺបង្កើតផលិតផលចុងក្រោយដែលសុទ្ធសាធមិនគួរឱ្យជឿដែលសុទ្ធសាធ 99.999% សុទ្ធឬខ្ពស់ជាងនេះ - ព្រោះសូម្បីតែបន្តិចបន្តួច ដេលធេវី អាចជាមហន្តរាយសម្រាប់ ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក។ ដំណើរការនេះតម្រូវឱ្យមានជំនាញក្នុងការដោះស្រាយសារធាតុគីមីប្រតិកម្មខ្ពស់ជាពិសេស រេបងន៍.

នេះ ផលិតកម្មNF₃ ជាធម្មតាពាក់ព័ន្ធនឹងប្រតិកម្ម អាម៉ុញ៉ាក (ក បរិចចា មានអាសូត) ឬអាម៉ូញ៉ូម ហ្វ្លុយអូរីដ សមាសធាតុមានធាតុ រេបងន៍ ឧស្ម័ននៅក្នុងរ៉េអាក់ទ័រនៅ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ប្រតិកម្មនេះបង្កើតបានជាការលាយបញ្ចូលគ្នានៃឧស្ម័នរួមទាំង nf₃សំភារៈដែលមិនមានប្រតិកម្មនិងមានអនុផលផ្សេងៗ។ បញ្ហាប្រឈមពិតប្រាកដនិងកន្លែងដែលជំនាញរបស់អ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលបានបង្ហាញយ៉ាងពិតប្រាកដគឺស្ថិតនៅក្នុងឯកសារ ផាបអត់សៃ ដំណាក់កាលបន្ទាប់។

ឆៅ ដេលមានអាថ៌កុស ល្បាយឆ្លងកាត់ជាច្រើន ផាបអត់សៃ ជំហានដើម្បីយកសមាសធាតុដែលមិនចង់បានណាមួយចេញ។ នេះច្រើនតែទាក់ទងនឹងជាបន្តបន្ទាប់នៃការដុសខាត់, អប់រកាក់ក្នានិងដំណើរការធ្វើឱ្យស៊ីហ្គ្រីសស៊ីសិន។ នេះ ដំណើរការនៃការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងជាពិសេសប្រើសីតុណ្ហភាពទាបបំផុតដើម្បីបំបែកឧស្ម័នផ្សេងៗគ្នាដោយផ្អែកលើចំណុចពុះរបស់ពួកគេកំពុងញែក nf₃ ពីភាពមិនបរិសុទ្ធដែលនៅសេសសល់។ គ្រប់ជំហានទាំងអស់ត្រូវបានត្រួតពិនិត្យដោយឧបករណ៍វិភាគកម្រិតខ្ពស់ដើម្បីធានាបាននូវផលិតផលចុងក្រោយឆ្លើយតបទៅនឹងលក្ខណៈតឹងរឹងរបស់ឯកសារ អេឡិចត្រូសា ឧស្សាហកម្ម។ ការប្តេជ្ញាចិត្តនេះចំពោះការគ្រប់គ្រងគុណភាពគឺជាអ្វីដែលបំបែកអ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចទុកចិត្តបានពីអ្វីដែលនៅសល់។

តើការពិចារណាអំពីសុវត្ថិភាពនិងការដោះស្រាយសម្រាប់ឧស្ម័នNF₃មានអ្វីខ្លះ?

សុវត្ថិភាពគឺជាអាទិភាពកំពូលនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម ឧស្ផ័ន អាជីវកម្ម។ កមលុងបេល nf₃ មិនងាយឆេះនិងមានស្ថេរភាពនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់វាគឺជាភ្នាក់ងារកត់សុីខ្លាំងជាពិសេសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ នេះមានន័យថាវាអាចមានប្រតិកម្មយ៉ាងសាហាវជាមួយនឹងសំភារៈងាយឆេះហើយទាមទារឱ្យមានការគ្រប់គ្រងយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្ន។ ហានិភ័យចម្បងគឺការពុលរបស់វា។ ស្រូបយក ឧស្ផ័ន អាចមានគ្រោះថ្នាក់, ខ្យល់ត្រឹមត្រូវ, ដូច្នេះប្រព័ន្ធការពារផ្ទាល់ខ្លួននិងឧបករណ៍ការពារផ្ទាល់ខ្លួនគឺចាំបាច់នៅណាមួយ កន្លែងផលិតកម្ម.

ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ទាំងមូល, ពីរោងចក្ររបស់យើងទៅអតិថិជនរបស់អតិថិជន អេឡិចត្រូសា FAP, ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅជុំវិញសុវត្ថិភាព។ nf₃ ត្រូវបានដឹកជញ្ជូននៅក្នុងស៊ីឡាំងដែកថែបដែលបានរចនាឡើងយ៉ាងពិសេសនៅក្រោមសម្ពាធខ្ពស់។ ស៊ីឡាំងទាំងនេះឆ្លងកាត់ការធ្វើតេស្តនិងវិញ្ញាបនប័ត្រយ៉ាងម៉ត់ចត់ដើម្បីធានាថាពួកគេអាចមានឯកសារ ឧស្ផ័ន។ ក្នុងនាមជាអ្នកផ្គត់ផ្គង់យើងផ្តល់ជូននូវសន្លឹកទិន្នន័យសុវត្ថិភាពលម្អិត (អេសឌីអេស) និងការបណ្តុះបណ្តាលដល់អតិថិជនរបស់យើងលើការផ្ទុកត្រឹមត្រូវការតភ្ជាប់និងនីតិវិធីដោះស្រាយ។ នេះរួមបញ្ចូលគោលការណ៍ណែនាំស្តីពីគោលការណ៍ណែនាំ អត្រាលំហូរ ត្រួតពិនិត្យនិងប្រព័ន្ធរាវរកលេចធ្លាយ។

សម្រាប់ម្ចាស់អាជីវកម្មចូលចិត្តម៉ាកដែលការព្រួយបារម្ភចម្បងរបស់ពួកគេគឺជាខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ដ៏រលូនរលូននិងគួរឱ្យទុកចិត្តដែលធ្វើជាដៃគូជាមួយអ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលមានកំណត់ត្រាសុវត្ថិភាពបង្ហាញឱ្យឃើញមានសារៈសំខាន់ណាស់។ ការប្រាស្រ័យទាក់ទងមិនមានប្រសិទ្ធិភាពឬកង្វះនៃពិធីសារសុវត្ថិភាពច្បាស់លាស់ពីអ្នកផ្គត់ផ្គង់គឺជាទង់ក្រហមដ៏សំខាន់មួយ។ យើងមានមោទនភាពចំពោះការផ្តល់មិនត្រឹមតែផលិតផលប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែគ្រាន់តែជាសេវាកម្មពេញលេញដែលរួមមានការគាំទ្រខាងដឹកនាំសាស្ត្រនិងជំនាញសុវត្ថិភាពធានានូវសុវត្ថិភាព ឧស្ផ័ន មកដល់ហើយត្រូវបានដោះស្រាយដោយសុវត្ថិភាពគ្រប់ជំហាននៃផ្លូវ។

តើអាសូត triffluoride មានឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ទេ? ស្វែងយល់ពីផលប៉ះពាល់បរិស្ថាន។

វាមានសារៈសំខាន់ណាស់ដែលមានតម្លាភាពអំពីទិដ្ឋភាពបរិស្ថាននៃ nf₃។ បាទ / ចាស triffluoride អាសូត គឺជាសក្តានុពលមួយ ឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់។ ក្រុមអន្តររដ្ឋាភិបាលស្តីពីការផ្លាស់ប្តូរអាកាសធាតុ (IPCC) បានគណនាថាវាមានសក្តានុពលកម្តៅពិភពលោក (GWP) មានចំនួនរាប់ពាន់ដងច្រើនជាងកាបូន ឌីអុកស៊ីត ក្នុងរយៈពេល 100 ឆ្នាំ។ នេះគឺជាការពិតដែលថាឧស្សាហកម្មនេះយកចិត្តទុកដាក់យ៉ាងខ្លាំង។

ទោះយ៉ាងណារឿងមិនបញ្ចប់នៅទីនោះទេ។ នេះ ផលប៉ះពាល់លើបរិស្ថាន ពឹងផ្អែកមិនត្រឹមតែលើសក្តានុពលឧស្ម័នប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែលើចំនួនទឹកប្រាក់ដែលវាត្រូវបានបញ្ចេញទៅក្នុងបរិយាកាស។ ដូចដែលបានរៀបរាប់ខាងលើ, nf₃ គឺមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ នៅសម័យទំនើប អេឡិចត្រូសា កន្លែងដែលភាគច្រើននៃព្រះគម្ពីរ ប្រើហ្គាស ត្រូវបានប្រើប្រាស់ឬបំផ្លាញក្នុងកំឡុងពេលដំណើរការផលិតកម្ម។ នេះ ផ្លាហផាការ បំបែកវាចុះហើយណាមួយ ដែលមិនមានសុវត្ថិភាព ឧស្ផ័ន ដែលហត់នឿយត្រូវបានបញ្ជូនទៅប្រព័ន្ធលុបបំបាត់មួយ។ ប្រព័ន្ធទាំងនេះមានប្រសិទ្ធភាពបំផុតដែលជារឿយៗបំផ្លាញជាង 99% នៃនៅសល់ nf₃.

ការផ្លាស់ប្តូររបស់ឧស្សាហកម្មពីភីអេហ្វស៊ីទៅ nf₃រួមផ្សំជាមួយនឹងការប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យារីករាលដាលនៃបច្ចេកវិទ្យាគួរឱ្យស្អប់ខ្ពើម, ពិតជាបាននាំឱ្យមានការថយចុះសុទ្ធនៅក្នុង ការបំភាយឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ ក្នុងមួយឯកតានៃផលិតកម្ម។ ដេលតតយលខុសរតុវ ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ហើយអ្នកផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នធ្វើការជាមួយគ្នាដើម្បីធានាថាការបំភាយឧស្ម័នត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមា។ នេះពាក់ព័ន្ធនឹងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវដំណើរការសំអាតដើម្បីប្រើចំនួនតិចបំផុត ឧស្ផ័ន ចាំបាច់និងរក្សាប្រព័ន្ធលុបបំបាត់សម្រាប់ការអនុវត្តខ្ពស់បំផុត។ ដូច្នេះខណៈពេលដែល nf₃ គឺជាសក្តានុពលមួយ ឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ នៅក្នុងការកំណត់មន្ទីរពិសោធន៍ស្នាមប្រេះបរិស្ថានជាក់ស្តែងរបស់ខ្លួននៅក្នុង ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក ត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយប្រុងប្រយ័ត្ននិងទាបជាងជម្មើសជំនួសដែលវាត្រូវបានជំនួស។

តើអ្វីទៅជាតួនាទីនៃការបង្កើតឧស្ម័នលើកន្លែងនៅនឹងកន្លែងសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចធំ?

មាត្រដ្ឋានទំនើប ផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិក គឺអស្ចារ្យណាស់។ គ្រឿងបរិក្ខារធំបំផុតដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថា Mega-Fabs ប្រើប្រាស់ឧស្ម័នដ៏ច្រើនសម្បើម។ សម្រាប់ឧស្ម័នខ្លះដូចជាអាសូតវាមានប្រសិទ្ធភាពជាងមុនក្នុងការផលិតពួកគេដោយផ្ទាល់នៅឯកន្លែងដែលមានឡានដឹកទំនិញរាប់ពាន់ដែលមានស៊ីឡាំងរាប់ពាន់។ នេះត្រូវបានគេស្គាល់ថាជា នៅនឹងកន្លែង ។ សម្រាប់ជំនាញនិងប្រតិកម្មខ្ពស់ ឧស្ផ័ន ដុចនិយ័ត nf₃, ម៉ូដែលខុសគ្នាបន្តិចបន្តួចកំពុងលេចចេញមក: នៅនឹងកន្លែង ការបន្សុតនិងការវិភាគ។

ខណៈពេលដែលពេញ ផលិតកម្មNF₃ នៅភាពអស្ចារ្យគឺជារឿងចម្លែកដោយសារតែភាពស្មុគស្មាញរបស់វាអ្នកប្រើប្រាស់ខ្នាតធំច្រើនតែមានភាពទំនើប នៅនឹងកន្លែង ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងហ្គាស។ ការផ្គត់ផ្គង់ភាគច្រើន nf₃ ត្រូវបានបញ្ជូនទៅ Fab ហើយបន្ទាប់មកប្រព័ន្ធនេះដំណើរការដំណាក់កាលចុងក្រោយ ផាបអត់សៃ និងការវិភាគគុណភាពជាបន្តបន្ទាប់ត្រឹមត្រូវមុនពេល ឧស្ផ័ន ចូលក្នុងឧបករណ៍ផលិតថ្លៃ ៗ ។ នេះផ្តល់នូវស្រទាប់ចុងក្រោយនៃការគ្រប់គ្រងគុណភាពដោយធានាថាការចម្លងរោគដែលមានសក្តានុពលពីខ្សែដែលបានទទួល។ វិធីសាស្រ្តនេះរួមបញ្ចូលគ្នានូវអត្ថប្រយោជន៍សេដ្ឋកិច្ចនៃការទិញភាគច្រើនជាមួយនឹងការធានាគុណភាពរបស់ នៅនឹងកន្លែង ថ្នាក់គ្រប់គ្រង។

ស្វែងយល់អំពីម៉ូឌែលផ្គត់ផ្គង់ការវិវត្តទាំងនេះគឺសំខាន់ណាស់។ ក្នុងនាមជាអ្នកផ្គត់ផ្គង់យើងបានពង្រីកសេវាកម្មរបស់យើងលើសពីនេះដោយគ្រាន់តែបំពេញស៊ីឡាំង។ ឥឡូវយើងធ្វើការជាមួយ ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកសកល ដើម្បីរចនានិងអនុវត្តដំណោះស្រាយចែកចាយនិងគ្រប់គ្រងឧស្ម័នគ្រប់ជ្រុងជ្រោយ។ នេះអាចរួមបញ្ចូលទាំងការលះបង់ ការផលិត សមត្ថភាពសម្រាប់អតិថិជនសំខាន់ភស្តុភារឯកទេសឬសមាហរណកម្មជាមួយរបស់ពួកគេ នៅនឹងកន្លែង ប្រព័ន្ធ។ វានិយាយអំពីការផ្តល់នូវខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចបត់បែនបាននិងអាចជឿទុកចិត្តបានដែលត្រូវនឹងតម្រូវការដែលទាមទារ ផលិតកម្មនៅសតវត្សរ៍ទី 21។ នេះគឺជាផ្នែកសំខាន់នៃយុទ្ធសាស្ត្ររបស់យើងជាពិសេសនៅពេលបម្រើអតិថិជនដែលមានសារៈសំខាន់ សមត្ថភាពផលិតកម្ម.

ភាពបរិសុទ្ធរបស់អិនអេហ្វអេចប៉ះពាល់ដល់ទិន្នផលផលិតកម្មក្នុងការផលិតបន្ទះឈីបយ៉ាងដូចម្តេច?

នៅក្នុង អេឡិចត្រូសា ពិភពលោក "ទិន្នផល" គឺជាអ្វីគ្រប់យ៉ាង។ វាជាភាគរយនៃបន្ទះឈីបដែលមានដំណើរការល្អផលិតពីតែមួយ ស៊ីលីលីន ផាប។ ទិន្នផលខ្ពស់មានន័យថាប្រាក់ចំណេញខ្ពស់ ទិន្នផលទាបអាចជាការបំផ្លិចបំផ្លាញផ្នែកហិរញ្ញវត្ថុ។ ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដំណើរការជាពិសេសប្រតិកម្ម ឧស្ផ័ន ដុចនិយ័ត nf₃, មានផលប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់និងគួរឱ្យកត់សម្គាល់ ទិន្នផលផលិតកម្ម.

ស្រមៃមើលមួយ ដេលធេវី ដូចជាភាគល្អិតតូចមួយនៃសំណើម (ហូ) ឬមួយផ្សេងទៀត ដេលមានអាថ៌កុស បរិចចា លាយបញ្ចូលគ្នាជាមួយ nf₃។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ chetch ដែលមានភាពរសើប, នោះ ដេលធេវី អាចរំខានដល់ប្រតិកម្មគីមីដែលបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពមីក្រូទស្សន៍នៅក្នុងសៀគ្វីរបស់ឈីប។ វាអាចរារាំងឯកសារ ចេរ, ទុកសម្ភារៈដែលវាមិនគួរ, ឬបណ្តាលឱ្យហួសកំរិត, យកសម្ភារៈច្រើនពេក។ វិធីណាមួយដែលជាលទ្ធផល សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា នឹងបរាជ័យក្នុងការធ្វើតេស្តចុងក្រោយរបស់វា។ នៅពេលដែលអ្នកកំពុងធ្វើឱ្យត្រង់ស៊ីស្ទ័ររាប់លាននាក់នៅលើបន្ទះឈីបតែមួយសូម្បីតែ "ពិការភាពឃាតករមួយ" ដែលបណ្តាលមកពីមួយ ដេលធេវី អាចបង្ហាញឈីបទាំងមូលដែលគ្មានប្រយោជន៍។

នេះជាមូលហេតុដែលយើងវិនិយោគយ៉ាងខ្លាំងក្នុងការគ្រប់គ្រងគុណភាព។ តាមរយៈការផ្តល់ការបញ្ជាក់, ជ្រុលភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ nf₃, យើងផ្តល់ឱ្យអតិថិជនរបស់យើងមានទំនុកចិត្តថានេះ ឧស្ផ័ន នឹងមិនមែនជាប្រភពនៃពិការភាពទេ។ ការត្រួតពិនិត្យកំហាប់ នៃសមាសធាតុទាំងអស់បានធ្លាក់ចុះដល់កម្រិតផ្នែកនៃផ្នែក - ក្នុងមួយពាន់លានធានាថានេះ ដំណើរការផលិតកម្ម មានស្ថេរភាពនិងអាចធ្វើម្តងទៀតបាន។ ដំណើរការមានស្ថេរភាពនាំឱ្យមានការព្យាករណ៍និងខ្ពស់ ទិន្នផលផលិតកម្មដែលជាគោលដៅចុងក្រោយសម្រាប់រាល់ អេឡិចត្រូសា ក្រុមហ៊ុនផលិត តួនាទីរបស់យើងក្នុងនាមជាអ្នកផ្គត់ផ្គង់ ឧស្ម័នឯកទេសពិសេសខ្ពស់ គឺដើម្បីលុបបំបាត់អថេរនិងផ្តល់នូវផលិតផលនៃគុណភាពដែលមិនគួរឱ្យចាប់អារម្មណ៍។

តើអ្នកគួររកមើលអ្វីនៅក្នុងអ្នកផ្គត់ផ្គង់ Tripenidide អាសូត?

សម្រាប់មន្រ្តីលទ្ធកម្មដូចជាម៉ាកម៉ាកការជ្រើសរើសអ្នកផ្គត់ផ្គង់ត្រឹមត្រូវសម្រាប់សម្ភារៈសំខាន់ដូច nf₃ ទៅឆ្ងាយលើសពីតម្លៃប្រៀបធៀប។ ហានិភ័យនៃការពន្យារពេលនៃការដឹកជញ្ជូនដ៏អាក្រក់ - ការដឹកជញ្ជូនផលប៉ះពាល់បញ្ហាគុណភាពការប្រាស្រ័យទាក់ទងខ្សោយគឺខ្ពស់ណាស់។ ផ្អែកលើបទពិសោធន៍របស់ខ្ញុំនេះគឺជាកត្តាសំខាន់ដែលត្រូវពិចារណា:

ដំបូងគុណភាពនិងវិញ្ញាបនប័ត្រដែលអាចផ្ទៀងផ្ទាត់បាន។ អ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលគួរឱ្យទុកចិត្តម្នាក់នឹងផ្តល់វិញ្ញាបនប័ត្រវិញ្ញាបនបត្រវិញ្ញាបនបត្រ (COA) ជាមួយនឹងការដឹកជញ្ជូនទាំងអស់ដែលរៀបរាប់លំអិតអំពីភាពបរិសុទ្ធនិងរាយការមិនស្អាតដែលបានរកឃើញ។ ពួកគេគួរតែគោរពតាមស្តង់ដារអន្តរជាតិដូចជាអាយអេសអូ 9001 ។ សួរអំពីសមត្ថភាពវិភាគរបស់ពួកគេ។ តើពួកគេមានឧបករណ៍ក្នុងការរកឃើញភាពមិនស្អាតនៅកម្រិតដែលត្រូវការសម្រាប់ អេឡិចត្រូសា កម្មវិធី?

ទីពីរភាពជឿជាក់នៃខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់និងតម្លាភាព។ តើអ្នកផ្គត់ផ្គង់អាចបង្ហាញបណ្តាញភ័ស្តុភារដ៏រឹងមាំដើម្បីការពារការពន្យារពេលបានទេ? តើពួកគេមានបញ្ហាអ្វីទេ? សមត្ថភាពផលិតកម្ម ដើម្បីធានាបាននូវការផ្គត់ផ្គង់ថេរ? ការប្រាស្រ័យទាក់ទងគឺជាគន្លឹះនៅទីនេះ។ អ្នកផ្គត់ផ្គង់របស់អ្នកគួរតែសកម្មដែលផ្តល់ការធ្វើបច្ចុប្បន្នភាពលើការនាំចេញនិងអាចរកបានដើម្បីឆ្លើយសំណួរ។ នេះនិយាយដោយផ្ទាល់នូវចំណុចឈឺចាប់នៃការទំនាក់ទំនងគ្មានប្រសិទ្ធភាព។

ចុងក្រោយស្វែងរកជំនាញបច្ចេកទេស។ អ្នកផ្គត់ផ្គង់ល្អមិនត្រឹមតែលក់ផលិតផលប៉ុណ្ណោះទេ។ ពួកគេផ្តល់ដំណោះស្រាយ។ ពួកគេគួរតែស្វែងយល់ពីពាក្យសុំរបស់អ្នកហើយអាចផ្តល់ការគាំទ្រផ្នែកបច្ចេកទេស។ ពួកគេគួរតែមានចំណេះដឹងអំពីសុវត្ថិភាពដោះស្រាយនិងសូម្បីតែបទប្បញ្ញត្តិបរិស្ថានដែលនៅជុំវិញ កម្មវិធីឧស្ម័ន។ អ្នកផ្គត់ផ្គង់ដែលអាចដើរតួជាដៃគូដែលមានចំណេះដឹងគឺមានតម្លៃដែលមិនអំណោយផលជាងមួយដែលគ្រាន់តែជាអ្នកលក់។ ជំនាញនេះគឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃទំនាក់ទំនងដ៏យូរអង្វែងដែលទទួលបានផលចំណេញយូរអង្វែង។ យើងខិតខំធ្វើជាដៃគូនោះសម្រាប់អតិថិជនរបស់យើងទាំងអស់ដែលផ្តល់មិនត្រឹមតែ ឧស្ផ័ន ប៉ុន្តែសន្តិភាពនៃចិត្តដែលមកជាមួយវា។

គន្លឹះសំខាន់

• ឧបករណ៍សំខាន់: triffluoride អាសូត (NF₃) គឺជាជំនាញពិសេស ឧស្ផ័ន ប្រើសម្រាប់ការធ្វើឱ្យប្លាស្មានិងការសម្អាតអង្គជំនុំជម្រះនៅក្នុង ដំណើរការផលិតរថយន្តអេឡិចត្រូនិក.
• ការសម្តែងខ្ពស់: nf₃ មានប្រសិទ្ធភាពជាងហើយមានផលប៉ះពាល់បរិស្ថានទាបជាងឧស្ម័នភីអេហ្វស៊ីចាស់ដែលវាបានជំនួសដោយអរគុណចំពោះអត្រាប្រើប្រាស់ខ្ពស់និងប្រព័ន្ធអង្វរទំនើប។
• ភាពបរិសុទ្ធគឺជាប្រាក់ចំណេញ: ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតនៃ nf₃ គឺមិនអាចចរចារបាន។ សូម្បីតែភាពមិនស្អាតដានដានអាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពនៅលើក ស៊ីលីលីន ផាបកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង ទិន្នផលផលិតកម្ម និងប្រាក់ចំណេញរបស់ ការផលិតបន្ទះឈីប.
• សុវត្ថិភាពនិងការដោះស្រាយគឺជាគន្លឹះ: ខណៈពេលមានស្ថេរភាព nf₃ គឺពុលនិងកត់សុី ឧស្ផ័ន នោះតម្រូវឱ្យមានការគ្រប់គ្រងជំនាញឯកទេសដែលមានស៊ីឌីស៊ីឡាំងដែលមានការបញ្ជាក់និងការយល់ដឹងយ៉ាងជ្រាលជ្រៅអំពីពិធីសារសុវត្ថិភាព។
• ជម្រើសរបស់អ្នកផ្គត់ផ្គង់គឺមានសារៈសំខាន់ណាស់: នៅពេលជ្រើសរើសមួយ nf₃ អ្នកផ្គត់ផ្គង់ផ្តល់អាទិភាពដល់ការផ្តល់អាទិភាពដល់គុណភាពនៃការផ្គត់ផ្គង់ខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ការផ្គត់ផ្គង់ការប្រាស្រ័យទាក់ទងតម្លាភាពនិងជំនាញបច្ចេកទេសយ៉ាងខ្លាំងចំពោះតម្លៃតែម្នាក់ឯង។