Hálfleiðaraiðnaður

Við útvegum viðskiptavinum samþættra hringrása/hálfleiðara ýmsar sérstakar lofttegundir sem þarf til ferla eins og útbreiðslu, steinþrykk, útfellingu, ætingu, lyfjanotkun og hreinsun.

Vörur sem mælt er með fyrir iðnaðinn þinn

Nitur tríflúoríð

Efnahvarfið milli rafeindagassins og hlutarins sem á að æta er krafist í ætingariðnaðarferlinu. Í ætingarferlinu við oblátaframleiðslu er nauðsynlegt að nota rafeindasértækt gas til að fjarlægja ætaða hlutann til að ná tilgangi stefnubundinnar ætingar.

Silane

Í hálfleiðaraiðnaðinum er sílan aðallega notað til að framleiða háhreinan pólýkísil, kísildíoxíðfilmu, kísilnítríðfilmu, pólýkísileinangrunarlag osfrv., og einnig er hægt að nota það til að framleiða sólarsellur, ljósleiðara og ljósnema osfrv.

Gasblanda

Sem rafeindagas er nituroxíð aðallega notað í díelektrískum þunnfilmuferli til þróunar og framleiðslu á hálfleiðara ljósrafeindabúnaði. Það er óbætanlegt lykilhugtaksgas sem hefur bein áhrif á gæði sjónrænna tækja.