HAZHHong Gas ya sadaukar da kanmu don mujidi zane-zane da ilimin masana'antu da gas na musamman samar. A cikin duniyar babban fasaha, musamman a cikin semiconductor masana'antu, bukatar Ultra-hawan tsarkakakke gas ba kawai fifiko bane; Zai zama cikakkiyar larura. Wannan labarin ya zama cikin m duniya na Binciken Omtare don \ domin Gases na sana'a. Zamu bincika dalilin da yasa har ma hakafi na iya samun sakamako na mallaka, yadda muke gano waɗannan gano rashin jituwa, da abin da ake nufi da kasuwanci. Fahimta gas rashin daidaituwa da hanyoyin don su tsarkakewa da gano, kamar ICP-MS, shine mabuɗan don tabbatar da amincin da aikin zamani kayan lantarki. Wannan yanki yana da daraja lokacinku saboda yana ba da hangen nesa-mai ban sha'awa akan rike magungunan Tsohon gas na Gaske, babban tushe na semiconductor da kayan lantarki sassan.

Menene daidai yawancin gas na lantarki kuma me yasa tsarkakewarsu take da mahimmanci a masana'antar semicondurek?

Gases na sana'a, sau da yawa ake magana a kai Kases lantarki ko Gases na semiconductor, yanki ne na musamman na Gases mai tsabta da gyada gas Musamman Injiniya don matakai masu amfani da shi a masana'antun lantarki. Ka yi tunanin su a matsayin abin da ba a san shi ba na zamanin dijital. Waɗannan gas da aka yi amfani da shi a cikin semiconductor Faja ya haɗa da kewayon rarrabuwa, kamar Silane (sih ₄) don adana silicon, nitrogen brifloride (nf₃) don tsabtace ɗakin, argon (Ar) a matsayin garkuwa mara aiki, da kuma daban-daban doping gases Kamar phosphine (ph₃) ko Arsine (Ash₃) don canza kaddarorin lantarki na semiconductor kayan. Ajalin "kayan lantarki"Da kansa ya ba da sanarwar aikace-aikacen da suka dace da matsanancin daidaitaccen abin da aka buƙata a cikin abun da suke ciki. Waɗannan ba kullun kuke ba gas na masana'antu; Bayaninsu sun fi tsaurara.

Muhimmancin mahimmancin su m ba za a iya wuce gona da iri ba, musamman a ciki masana'anta semiconductor. Abubuwan da ke tattare da ke tattare-tashoshin zamani (ICS) Masu sauƙin canzawa da masu binciken da suka kasance masu wuce iyaka, ana auna su sau da yawa ana auna sau da yawa a nan kafin nan nandan (biliyoyin biliyan na zamani). A wannan sikelin microscopic, har ma da wani da ba a so ba hakafi-Can yi kamar dutse a cikin karamin rafi, rusa wanda aka nufa da kwarara ko haifar da lahani na tsari. Wannan na iya haifar da guntun chipy, kuma a cikin masana'antu inda miliyoyin kwakwalwa ke samarwa a kan werfer guda, lalacewar kuɗi da lalata kuɗi da lalata kuɗi daga yaduwar samu na iya zama babba. Saboda haka, da Tsohon gas na Gaske wani ginshiƙai ne na tushe wanda duka Lantarki da SeMiconductor masana'antu tsaye. Waɗansu hakafi na iya yin sulhu na na'urar, yawan amfanin ƙasa, da aminci, suna da tsauri Gas da gas sarrafawa mai mahimmanci.

A HAZHHON GAS, mun fahimci cewa abokan cinikinmu a cikin Masana'antu na SeMemictor dogara da mu don samar da gas da suka hadu ko wuce "aya biyar" (99.999%) ko kuma "nines 99999% (99.9999%) matakan tsabta. Wannan yana nufin cewa wani hakafi Dole ne ya kasance a maida hankali fiye da sassan kowane miliyan (ppm) ko ma sassa na kowane biliyan (ppb). Cimma nasara da kuma tabbatar da irin wannan babban tsarkakakku Matakan na bukatar sassauƙa tsarkakewa dabaru da kuma, gurbi, ci gaba Binciken Omtare Hanyoyi. Kasancewar ba tsammani hakafi zai iya nuna batutuwan tare da Gas Cylinders ko sarkar samar da, yin ingancin bincike mai mahimmanci. Muna tabbatar da mu Silinda na Nitrogen Hadawa, alal misali, biyan waɗannan daidai daidai ƙa'idodin, kamar yadda nitrogen shine gas mai ƙarfi a cikin matakai masu yawa na sememicondu.

Ta yaya za a iya lalata ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙwayar ƙasa?

Wani lokacin yana da wuya a tunanin yadda wani abu ƙanana, a ta ba da rashin haihuwa An auna a cikin sassa na kowane biliyan (ppb) ko ma sassan kowane trillion (Ppt), na iya haifar da irin wannan matsaloli masu mahimmanci. Amma a duniyar semiconductor masana'antu, wadannan microscopic gurbata manyan ƙauyuka ne. Bari muyi la'akari da tsarin fafutukar fafutuka na yau da kullun: Ya ƙunshi dozens, wasu lokuta masu laushi kamar ajiya (kwanciya na bakin ciki), da kuma ion deplantation), saka takamaiman atoms). Kowane mataki ya dogara da ingantaccen kayan masarufi, sau da yawa ana ƙirƙirar su ko kuma Gases na sana'a. Idan a gas da aka yi amfani da shi A cikin ɗayan waɗannan matakai suna ɗaukar wani sabon abu hakafi, wannan hakafi za a iya haduwa cikin m yadudduka na semiconductor na'urar.

Misali, Metallic impurities Kamar sodium, baƙin ƙarfe, ko jan ƙarfe, koda a matsi mai ɗorewa, na iya canza kaddarorin lantarki na silicon. Suna iya ƙirƙirar hanyoyi marasa ƙwarewa, suna haifar da gajeren da'irori, ko aiki a matsayin "tarkuna" waɗanda ke haifar da kwararar na'urar ko haifar da rashin nasara gaba ɗaya. Wani hakafi Hakanan zai iya tsoma baki tare da halayen sunadarai da aka yi niyya a matakin aiwatarwa. Misali, a gurbi A cikin iskar gas na iya haifar da-etching ko over-etching, lalata ainihin hanyar da wafer. Tasirin ba kawai akan kamun kwakwalwan kwamfuta ba; wanda ba a bayyana ba hakafi Batu na iya haifar da dukkan batutuwa na wafers, wanda ya haifar da dala biliyan kamar alama, da kuma ciwon kai ga sayen samarwa shen, wanda yake buƙatar tabbatar da wadataccen kayan ingancin kayan inganci. Wannan yana nuna mahimmancin buƙatun don ƙarfi gano rashin daidaito.

Kalubalen shine "matakin yarda" ga kowane hakafi Yana ci gaba da raguwa kamar yadda semiconductor Abubuwan fasaloli sun zama karami. Abin da aka ɗauka an yarda da shi hakafi Mataki na shekaru goma da suka gabata na iya zama bala'i samu Yau. Wannan rumbun kwamfutarka don manyazara yana haifar da matsanancin matsin lamba kan masana'antun gas da kuma labs na nazari don inganta iyakar ganowa karfin. Har marsalamu Rashin hankali, tiny ƙurar ƙura da ba a ganuwa ga tsirrai tsirara, na iya toshe haske a cikin matakan hoto ko ƙirƙirar lahani na zahiri a farfajiyar wafer. Saboda haka, sarrafa kowane yuwuwar hakafi - ko cizon, ƙarfe, ko marsalamu - yana da mahimmanci. Da kewayon rashin hankali Wannan na iya haifar da batutuwan da yawa ne, yana jaddada buƙatar cikakken cikakken Binciken Gas.

Menene mafi yawan matsalolin da suka fi so? Gano ƙazanta a cikin gas don lantarki.

Idan muka yi magana akai Rashin ƙarfi a cikin gas yi niyya ga Lantarki da SeMiconductor Sashe, muna kallon simintinarrun simintin haruffa, kowannensu da yuwuwar haifar da babbar lahani. Waɗannan Ba za a gano shi ba Za a iya rarrabe cikin yaduwa cikin gasasshen abu, ƙarfe, da brateididdigar siffofin. Fahimtar wadannan matsaloli na kowa shine mataki na farko Binciken Omtare da sarrafawa. Musamman impurities kyauta Za a iya bambanta dangane da gas da kanta, hanyar samarwa, ajiya, da kulawa.

Cizous Rashin hankali wasu gas ne a cikin babban gas na musamman. Misali, a ciki babban tsarkakakku nitrogen, gasous gama gari Rashin hankali Zai iya haɗawa da oxygen (o ₂), danshi (h₂o), carbon dioxide (carbon dioxide (Co₂), carbon Monoxide (chₓ). Oxygen da danshi suna da matsala musamman kamar yadda suke mai da hankali kuma suna iya haifar da hadawanancin hadawan abu mara amfani na semiconductor kayan ko kayan aiki. Ko da a cikin Gas na Inert kamar argon, waɗannan na iya kasancewa a matakan ganowa. A matsayinka, muna ganin buƙatun bincike na bincike na da yawa kewayon ƙazanta, gami da waɗannan nau'ikan masu ba da gudummawa. Misali, karfinmu sun hada da samar da hadaddun Abu irixthe samfuran, inda ke sarrafa kowane bangare, gami da tsineous Rashin hankali, yana da tsari.

Metallic impurities wani babban damuwa ne. Waɗannan su ne zarra na karafa kamar sodium (na), potassium (k), alli (cu), ƙwaƙwalwar ƙwaƙwalwa (cr), da Aluminum (Al), da Aluminum (Al). Zasu iya samo asali ne daga kayan ƙasa, kayan aikin samar da abinci (kamar bututun da masuta), ko ma da Gas Cylinders kansu idan ba a bi da su da kyau ba. Kamar yadda aka ambata, waɗannan Rashin ƙarfe na iya tasiri sosai ga aikin lantarki na semiconductor na'urori. Gano waɗannan a PPB ko Mataki na PPT yana buƙatar manyan dabaru na bincike kamar yadda aka haɗa da plainma taroICP-MS). Hakanan muna buƙatar la'akari marsalamu al'amari. Wadannan sune ƙananan ƙananan ƙwayoyi masu ƙarfi ko ruwa mai ruwa a cikin gas Gas. Zasu iya haifar da lahani na zahiri akan wafers, toshe nozzles a cikin kayan aiki, ko gabatar da wani gurbata. File shine maɓalli don Cire Motulas, amma lura da matakan su ma ɓangare ne na cikakken cikakken ingancin gas shirin. Wani Gases na sana'a suma Gases marasa ƙarfi ko gas mai guba, wanda ke ƙara wani Layer na rikitarwa ga sarrafawa da bincike, tabbatar da cewa hakafi Bayanan martaba ba ya daukaka waɗannan haɗarin.

ICP-MS: Matsakaicin Zinare don gano mahimmancin rashin ƙarfe a cikin gas ɗin gungurai?

Idan ya zo ga Binciken rashin ƙarfe na rashin ƙarfi a Ultra-tsaunin tsaunin tsarkin sama, Yana haifar da plasma mulmawa taro, ko ICP-MS, an ɗauke shi azaman fasaha mai jagora. Wannan iko ne mai iko mai iko wanda zai iya ganowa da musanya kewayon anidin empurities, sau da yawa ƙasa ga ƙananan ƙananan matakai - tunanin sassa-da-trillion (ppt) ko ma sassaka - ppq) don wasu abubuwa. Wannan tunanin shine ainihin dalilin da yasa ICP-MS ya zama mai mahimmanci ga semiconductor masana'antu, inda, kamar yadda muka tattauna, har ma da miliyoyin na Metallic impurities na iya zama cutarwa ga ingancin samfurin.

Ta yaya ICP-MS Yi aiki da sihirinsa? A cikin sauki sharuddan, da samfurin gas (ko mafita wanda aka samo daga gas) an gabatar da shi a cikin plasma mai zafi sosai, yawanci an yi shi da argon. Wannan plasma, kai yanayin zafi na 6,000 zuwa 10,000 ° C, yana da ƙarfi sosai don rushe kwayoyin da ke ciki, gami da wani Metallic impurities. Wadannan ions ne aka fitar da su daga plasma kuma suna jagorar cikin taro mai fa'ida. A taro spectrometer yana aiki kamar ingantaccen tace, raba da iions dangane da taro-da-caja rabo. A nazarin Bayan haka yana kirga ion ga kowane takamaiman taro, yana ba mu damar fahimtar waɗanne abubuwa ke nan kuma a cikin abin da yawa. Da ikon ICP-MS Zagi don babban bakan na Metallic impurities a cikin gas na musamman lokaci guda yana sa shi ya dace.

Lokacin da ICP-MS yana da iko mai ƙarfi, ba tare da kalubalensa ba, musamman lokacin da ma'amala da gas da aka yi amfani da shi a cikin semiconductor Faji Hanya daya ta gama gari ita ce ta tarko Rashin hankali daga babban mai gas zuwa matsakaici na tarin ko a cikin ruwa, wanda aka bincika ta ICP-MS. Koyaya, kai tsaye Gas kai tsaye allurar cikin ICP-MS Hakanan yana sake zama gama gari don wasu aikace-aikace, kodayake yana buƙatar musayar ƙwarewa. Zabi hanyar ya dogara da takamaiman gas rashin daidaituwa na sha'awa, gas na matrix, da da ake buƙata iyakar ganowa. A HAZHHONG GAS, mun saka hannun jari sosai a kayan aikin na zamani-da-zane-zane, gami da ICP-MS karfin, saboda mun san cewa samar da abin dogara Binciken Omtare Bayanai ne na asali ga amintattun abokan cinikinmu a cikin mu babban tsarkakakkiyar lantarki gas. Tsarin ICP-MS taimaka tabbatar da cewa Tsohon gas ya haɗu da buƙatun mai tsauri don saitin lantarki kayan.

Me yasa isar da iskar gas mai sasantawa ga masu lantarki da masana'antu na semictionector?

Bukatar rashin yarda Gas da gas a cikin Lantarki da Masana'antu ba kawai fifiko ba; Lokaci ne na asali da kimiyyar kimiyyar lissafi da tattalin arziƙin masana'antun zamani. Kamar yadda semiconductor Abubuwan fasali na na'urar suna raguwa zuwa sikelin Nano mai mahimmanci, hankalinsu ga kowane nau'i na samu Skyrockets. Wani hakafi Wannan na iya sakaci a cikin tsofaffi, mafi girma na'urori za su iya haifar da gazawar gargajiya a cikin kwakwalwan-baki. Wannan yalwataccen yawan amfanin ƙasa kai tsaye - kashi na kyawawan kwakwalwan kwamfuta a kowace wahaper - har ma da karamin digo a cikin amfanin ƙasa zai iya fassara zuwa miliyoyin kudaden shiga da suka ɓace a semiconductor mai masana'anta.

Yi tunani game da hadaddun kayan aikin microprocessor na zamani ko guntu. Ya ƙunshi biliyoyin transistors, kowane mai ban mamaki na injiniyan minaleateri. Ayyukan waɗannan m trans dogara kan madaidaiciyar kaddarorin kaddarorin semiconductor Abubuwan da aka yi amfani da su, waɗanda suke, bi da bi, mai saurin saukarwa ga Rashin hankali. Misali, wasu Metallic impurities Za a iya gabatar da matakan makamashi da ba'a so a cikin gibi na silicon, wanda ke haifar da ƙaruwa da lalacewa ta yanzu ko rage dafaffen jirgin ruwa. Wannan yana nufin hankali, ba shi da inganci, ko kuma gaba daya ba aiki na aiki. Cizous Rashin hankali Kamar oxygen ko danshi na iya haifar da samuwar oxide yadudduka, musayar fim ɗin da ke musayar ko kaddarorin interface mai mahimmanci don aikin naúrar. Gabaɗaya ingancin gas kai tsaye fassara zuwa ingancin samfurin da dogaro.

Bugu da ƙari, da Lantarki da Masana'antu ana nuna su ta hanyar hadaddun masana'antu da tsada. Guda semiconductor Itace tsiro ("FAB") na iya kashe biliyoyin daloli don ginawa da wadata. Da gas da aka yi amfani da shi suna da alaƙa ga yawancin matakai masu tsada masu tsada. Idan a gas na musamman ya gurbata da hakafi, ba kawai shafar wafers a halin yanzu ana sarrafa su; Hakanan yana iya gurbata kayan sarrafa kayan aiki da kanta. Wannan na iya haifar da mayaƙen downtime don tsaftacewa da sakamako, kara kara farashin samarwa - babban abin da zai nuna wani kamar Mark shen, wanda ya dogara da isar da lokaci don biyan bukatun abokan aikinsa. Saboda haka, tabbatar da Tsohon gas na Gaske Ta hanyar tsayayye Binciken Omtare shine mahimmancin yanayin haɗari na mahaɗan don sarkar samar da duka. Mai da hankali kan Manabbai mai tsabta yana da yawa saboda hadarurruka suna da yawa sosai.

Wane irin ƙalubale ne muke fuskanta a cikin bincike na metilic impurities na musamman gas na musamman?

Nazarin Metallic impurities a gas na musamman, musamman wadanda aka yi amfani da su a cikin semiconductor masana'antu, gabatar da takamaiman tsarin kalubale. Babban wahalar mai tushe daga matsanancin taro wanda waɗannan Rashin hankali Zai iya zama matsala - sau da yawa a cikin sassan-da biliyan-biliyan (ppb) ko ma sassan-ptrillion (Ppt) kewayon. Gano da daidaitaccen adadin irin wannan mintuna suna buƙatar ba kawai kayan aikin na bincike ba ICP-MS Amma kuma keɓaɓɓiyar mahalli na_alyttical da samfurin samar da samfurin masarautar don gujewa gabatar da waje samu.

Daya babban kalubale shine gabatarwar samfurin. Da yawa Gases na musamman da aka yi amfani da shi a kayan lantarki suna mai aiki sosai, lalata, ko ma pyrophoric (kunna pyrophoric (kunna kumburi cikin iska). A amince da kuma sarrafa waɗannan ƙungiya cikin kayan aikin bincike kamar ICP-MS ba tare da musayar da samfurin gas ko gurbata kayan aikin yana buƙatar musayar abubuwa da hanyoyin aiwatarwa. Misali, kai tsaye allurar a iskar gas kamar hydrogen chloride (HCL) cikin daidaitaccen ICP-MS tsarin zai iya lalata shi sosai. Saboda haka, hanyoyin kai tsaye, kamar trapping (bubbling da gas a cikin ruwa don kama Rashin hankali) ko tarko na cryogenic, galibi ana aiki dasu. Koyaya, waɗannan hanyoyin na iya gabatar da hanyoyin da suke so samu ko bincika asara idan ba a yi daidai ba. Zabi na gas mai mai don tsawa, idan an buƙata, dole ne ya kasance mai hankali m.

Wani kalubale shine "tasirin matrix." Da yawa iskar gas kanta (misali, argon, nitrogen, hydrogen) na iya tsoma baki tare da gano gano rashin jituwa. Misali, a ciki ICP-MS, plasma da aka kirkira daga mafi yawan iskar gas na iya ƙirƙirar polyatomic ions waɗanda suke da taro iri-iri-da-cajin caji kamar yadda wasu manufa Metallic impurities, yana haifar da ingantattun abubuwa na ƙarya ko adadin rashin daidaituwa. Masu sharhi dole ne su yi amfani da dabaru kamar hadari / sel na dauki a cikin ICP-MS ko babban-ƙuduri mai ƙuduri don shawo kan waɗannan abubuwan ɓoyewar ra'ayi. Bugu da ƙari, ƙa'idodin daidaituwa sunyi amfani da adadi Rashin ƙarfe dole ne ya kasance daidai da daidaituwa, kuma dole ne a tabbatar da dukkan tsarin nazarin don tabbatar da amincin Ubangiji Binciken Omtare sakamakon. Mu, a matsayin mai sayarwa, shima damu da amincin Gas Cylinders da damar su na bayar da gudummawa Metallic impurities A tsawon lokaci, wanda ya yi wajabta ingantaccen iko.

Zai iya amfani da na'urar musayar gas ta kara inganta ingancin yanayin rashin daidaituwa na rashin daidaituwa?

Ee, Yin amfani da na'urar musayar gas na iya kasancewa yana taka muhimmiyar rawa wajen inganta daidaito na gano rashin daidaito, musamman lokacin da ma'amala da kalubale iskar gas matrices ko lokacin da nufin actra-ara halaye na ganowa. A na'urar musayar gas, wani lokacin ana kiranta tsarin matrix na matsewa, da gaske yana aiki ta zabi da yawa iskar gas (babban bangaren na samfurin gas) Yayinda yake mai da hankali gano rashin jituwa na sha'awa. Wannan mataki na maida hankali na iya inganta tunanin dabarun dabarun bincike na bincike kamar ICP-MS ko gas Chamomatograph tsarin.

Lamsi na baya da yawa Kayan musayar gas ya ƙunshi membrane na Semi-permeable ko zaɓi adsorption / ɓarna na ɓarna. Misali, ana iya amfani da membrane na palladium don cire hydrogen daga cakuda gas, kyale wasu Rashin ƙarfi a cikin gas da za a mai da hankali kuma ya wuce zuwa nazarin. Hakanan, takamaiman kayan adsorbent na iya gano wasu Rashin hankali daga mai gudana iskar gas rafi, wanda zai iya zama da asirin ƙaramin ƙarar mai tsabta gas mai mai Don bincike. Ta hanyar rage yawan yawa iskar gas isa ga nazarin, waɗannan na'urori sun fi ƙarfin rama-tsakin matrix, runtse sautin bango, kuma ƙara yawan siginar siginar-da-da-amo na maƙasudin gano rashin jituwa. Wannan na iya haifar da ƙananan iyakar ganowa.

Fa'idodin Yin amfani da na'urar musayar gas suna bayyana musamman lokacin da nazarin Rashin daidaituwa a cikin lantarki Gases waɗanda ke da wahalar rike kai tsaye ko hakan suna haifar da mahangar mutum a cikin kayan aikin na nazari. Misali, lokacin da kake kokarin auna da jikunan oxygen ko danshi a cikin mai matukar aiki gas na musamman, a na'urar musayar gas na iya bambance waɗannan Rashin hankali cikin mafi yawan gas mai mai kamar argon ko helium kafin sun isa nazarin. Wannan ba kawai yana inganta daidaito ba amma kuma yana iya kare kayan haɗin bincike mai mahimmanci. A matsayin mai ƙera 99.999% tsarkakakkiyar 50l silinda Xenon Gas, mun fahimci ƙimar irin wannan dabarun ci gaba a tabbatar da na kwarai m na m da gas na musamman. Wannan cutar kanjama ta kayan aiki a cikin mahimmacin Gas da matakan tabbatarwa.

Muhimmancin mahaɗan: girman girman kai a cikin gas da aka yi amfani da shi kai tsaye a cikin keran semiconductor.

Da gas da aka yi amfani da shi kai tsaye a cikin masana'antar semiconductor su ne rai rai na tsarin qirji. Waɗannan sun haɗa ba kawai Manyan gas kamar nitrogen kuma argon, amma kuma da yawaitar Gases na sana'a kamar Manyan gas (E.G., Silane, Germane don girma crystal yadudduka), Gases Etching (E.G., NF₃, SF₆, cl₂ don clinting), Ion dislantation gases (E.G., Fasain, phosphine, boron bufluoritide don doping), da kuma saka man gas. Ga kowane ɗayan gas da ake buƙata, matakin da nau'in yarda hakafi sun bayyana stringently saboda kowane karkacewa na iya fassara shi kai tsaye zuwa lahani akan semiconductor wafer. Wannan yana sa Binciken Omtare domin waɗannan Ganawar aiwatarwa mataki mai mahimmanci mai mahimmanci.

Yi la'akari da ajiya na bakin ruwa dioxide Layer, wani insulatator gama gari a cikin transistors. Idan oxygen Ana amfani da gas Don wannan tsari ya ƙunshi hydrocarbon Rashin hankali, Carbon za a iya hadu da shi a cikin Layer, wanda ke lalata kaddarorin da zai iya haifar da gazawar na'urar. Hakanan, idan etching iskar gas ya ƙunshi abin da ba tsammani ba hakafi, yana iya canza yawan etch ko buƙatar, wanda ke haifar da fasalulluka waɗanda suke da girma, ƙanana, ko kuma ba daidai ba. Koda hakafi a cikin Gas na Inert kamar Argon gas silinda Ana amfani da shi don shafawa za'a iya canzawa zuwa saman wafer, yana shafar ingancin fim. Tasirin wani hakafi yawanci-takamaiman tsari ne, ma'ana an hakafi yi haƙuri a mataki ɗaya na iya zama mai mahimmanci gurbi a wani.

Wannan mahimmancin mahimmancin yana buƙatar cikakkiyar kusanci ga Binciken Omtare. Ba wai kawai game da bincika samfurin ƙarshe ba; Ya ƙunshi lura da albarkatun ƙasa, koguna cikin tsari, da ƙarshe iskar gas ayyukan tsarkakewa. Don \ domin Serticonduction Serviewy gas, ƙayyadaddun bayanai don Rashin daidaituwa a Semiconductor Aikace-aikacen aikace-aikace galibi ne sosai matuƙar, suna tura iyakokin ganowa. Muna aiki tare da abokan cinikinmu a cikin semiconductor da lantarki Filin don fahimtar takamaiman hakafi hankali ga daban-daban Kases da ganye gas. Wannan tsarin hadin gwiwar yana taimakawa tabbatar da cewa gas na musamman gas Mun samar a kai a kai a kai a kai a kai a kai ka cika bukatun neman masana'antun masana'antu. Kalubalen ya ta'allaka ne wajen gano wani da yawa kewayon ƙazanta a rage matakan-rage.

Bayan Lab: Mafi kyawun Ayyuka don kula da gas mai ƙarfi na ƙamshi na ƙamshi don hana gurbatawa.

Tabbatar da Tsohon gas na Gaske ba ya ƙare lokacin da iskar gas Bar kayan samarwa. Kula da hakan m Har zuwa ƙarshen amfani a cikin semiconductor FAB yana buƙatar kulawa mai kulawa, da ajiya, da rarraba. Har ma mafi girma manzo mai na iya gurbata idan ba gudanar daidai. A HAZHHONG GAS, ba kawai ba kawai bamu mai da hankali kan samar da ba Gases mai tsabta Amma kuma ba da shawara ga abokan cinikinmu akan mafi kyawun ayyuka don hana saukar da ƙasa samu.

Mahimmancin ayyuka sun hada da:

• Zabi na: Duk abubuwanda aka gyara a cikin tsarin isar da gas - gami da Gas Cylinders, masu tsara, bawuloli, tubing, tubing, tubing - dole ne a yi daga kayan da suka dace (E.G., Karfe bakin ciki) kuma a tsabtace shi da tabbaci don Ultra-hawan tsarkakakke (UHP) sabis. Amfani da kayan da ba daidai ba zai iya haifar da fitar da Rashin hankali ko a ure na ƙarfe leaching cikin gas Gas.
• Tsarin tsarin: Tsarin isar da gas dole ne ya kasance mai tsalle-m. Ko da kananan leaks na iya ba da izinin AtMospheroic gurbata Kamar oxygen, danshi, da marsalamu kwayoyin halitta don shigar da tsarin, sassaushewa Gas da gas. Bincikenku na yau da kullun yana da mahimmanci.
• Tsarkakewa: Hanyoyi masu dacewa sun yanke shawara duk lokacin da ake yin haɗin haɗin ko an canza silinda. Wannan ya shafi filayen layin tare da GASKIYA KYAUTA GAME (kamar argon ko nitrogen) don cire duk wani iska mai tarko ko Rashin hankali. Babu isasshen tsoratarwa alama ce ta kowa samu. Sau da yawa muna bada shawara da bangarori ta atomatik don tabbatar da daidaito.
• Kayan kayan da aka sadaukar: Amfani da masu gudanar da kwazo da layi don takamaiman ƙungiya ko iyalai na ƙungiya na iya hana gurbata giciye. Wannan yana da mahimmanci musamman lokacin da sauya tsakanin Gas na Inert kuma mai baya ko iskar gas.
• Silinda yana kulawa: Gas Cylinders yakamata a kula da shi da kulawa don kauce wa lalacewa. Ya kamata a adana su a cikin zaɓaɓɓu, wuraren da ke da iska mai kyau, da "na farko-in, da farko-fita" farko-waje ya kamata a yi aiki. Ta amfani Tsarkake danshi da oxygen Masu bincike a mahimmin maki kuma na iya taimakawa saka idanu ga kowane irin waɗannan abubuwa Rashin hankali.

Ga abokan ciniki kamar Mark shen, waɗanda suke samar da gas don resale ko yin amfani da su a masana'antu, fahimtar waɗannan ayyukan da ke da mahimmanci don riƙe da ingancin samfurin Sun yi alkawarin abokan cinikin su. Hakki ne na raba. Muna tabbatar da mu Silinda na Hydrogen Products, alal misali, ana cika su kuma kiyaye su hakafi shaƙatawa, amma tsarin mai amfani yana taka muhimmiyar rawa daidai. Yaki da hakafi ci gaba ne mai ci gaba daga samarwa zuwa aikace-aikace.

Gazing cikin ball na kristal: wane sababbin sababbin abubuwa zasu iya tsammanin ganowa ta hanyar gas na gas na gas?

Neman har abada m a gas gas kuma mafi hankali Gano marasa hankali Hanyoyin tafiya ne mai ci gaba, wanda aka tura shi da tsinkaye mai yawa a cikin semiconductor masana'antu. Kamar yadda fasannin kayan aikin sun ci gaba cikin sub-10 nayanometer na zamani da sababbin kayan da gine-gine gano rashin jituwa zai zama da yawa. Wannan zai gaza ci gaba a duka Gas Fasaha da Binciken Omtare karfin.

Zamu iya tsammani yanayin da yawa:

• Ƙananan halaye na gano: Dabarun nazari kamar ICP-MS, Gas chromatography-taro spectometry (GC-Ms), da kuma ringi zobe-saukar spectroscopy (crds) zai ci gaba da canza, tura halaye na ganowa don yaduwa kewayon rashin hankali ƙasa zuwa matakan lambobi guda ɗaya ko ma a cikin yankin PPQ. Wannan zai buƙaci sababbin abubuwa a cikin tushen ion, masu nazarin taro, da nazarin Fasaha.
• A-ATU da Daidaitawa na Gaskiya: Akwai bukatar ci gaba don tsarin nazarin da zasu iya lura Gas da gas A cikin lokaci-lokaci, kai tsaye a ƙarshen amfani a cikin semiconductor FAB. Wannan yana ba da damar don ganowa nan da nan samu abubuwan da suka faru ko gudu a ciki hakafi Matakai, yana ba da saurin gyara na aiki da rage asarar samfurin. Miniaured masoya na Miniaetrics zai taka muhimmiyar rawa a nan.
• Binciken mai rikitarwa na gas: Zaman gaba semiconductor matakai na iya haɗawa da ƙarin hadaddun gyada gas tare da mahara masu aiki da yawa. Nazarin Rashin hankali A irin waɗannan matsaloli masu kalubalen suna buƙatar sabbin dabarun bincike da kayan aikin fassarar bayanai. Da ikon auna wani hakafi A cikin bangarori daya ba tare da tsoma baki daga wasu ba zai zama mahimmanci.
• Mayar da hankali kan "kisa" immurities: Bincike zai ci gaba da gano takamaiman Rashin daidaituwa a Semiconductor Gudanarwa wanda ke da babban tasiri akan aikin naúrar ko yawan amfanin ƙasa, har ma a cikin matsanancin ƙananan matakai. Hanyoyin Nazarin za su zama mafi yawan niyya don waɗannan "kisa" Rashin hankali.
• Nazarin bayanai da AI: Yawancin data da aka kirkira ta hanyar ci gaba Binciken Omtare Tsarin za a ɗauke shi da tsari ta amfani da AI da injin injin don gano yanayin, hasashen yiwuwar samu al'amurra, da ingantawa Gas tafiyar matakai. Wannan na iya taimakawa wajen kula da ingancin inganci maimakon mai warware matsalar.

A HAZHHONG GAS, mun dage kan zama a kan wadannan ci gaba. Mun ci gaba da saka hannun jari a Bincike da ci gaba, tare da abokan hulɗa da cibiyoyin ilimi don ciyar da kimiyyar gas mai tsabta sarrafa da Binciken Omtare. Ga abokan cinikinmu, gami da wadanda suke da inganci kamar yadda Mark shen, wannan yana nufin wadataccen wadata Gases na sana'a cewa haduwa da bukatun canjin na Lantarki da Masana'antu. Kewayonmu na Hayaɓa, sanannu ne saboda rashin kwanciyar hankali da amfani a aikace-aikace na musamman, kuma yana amfanawa daga waɗannan ci gaba na bincike na bincike don tabbatar da ƙarancin hakafi matakan.

Key Titauna don tunawa:

• Gases na sana'a babban asali ne ga Magana na Semiconducting, da su m ba mai sasantawa bane.
• Har gano rashin jituwa, an auna a cikin ppb ko PPT, na iya haifar da mahimman lahani da yawan amfanin ƙasa a ciki semiconductor na'urori.
• Na kowa Rashin ƙarfi a cikin gas hada wasu gas (kamar o₂, h₂o), Metallic impurities, da marsalamu al'amari.
• ICP-MS fasaha ce ta Corenterstone don gano A da yawa kewayon ƙazanta, musamman Metallic impurities, a matattarar ƙananan ƙananan.
• Ci gaba Gas da gas na bukatar m aiki da amincin tsarin daga Gas Cylinder Zuwa batun amfani da shi samu.
• Nan gaba zai ga har ƙasa halaye na ganowa, kulawa ta ainihi, da Ai-driven Binciken Omtare don \ domin saitin lantarki gas.
• Sarrafa kowane yuwuwar hakafi yana da mahimmanci don tabbatar da ingancin samfurin da amincin zamani kayan lantarki.