Smartphone a cikin aljihunka, kwamfutar a kan tebur, ingantattun tsare-tsare a cikin motarka - babu wani zai yiwu ba tare da shiru ba, gas, marar ganuwa ta gas. A matsayin mai mallakar masana'antu na masana'antu, Ni, allen, sun ga da farko yadda waɗannan mahimman kayan ya samar da gado fasaha na zamani. Ga shugabannin kasuwanci kamar Mark shen, waɗanda ke kewayawa Halin wadatar wadatar wadatar wadatar wadata ta Duniya, fahimtar waɗannan gas shine maɓallin Buɗe sabbin damar. Wannan labarin shine cikakken jagora ga ɗayan manyan 'yan wasa a wannan filin: Nitrogen berauroride (nf₃). Za mu manne wannan iko iskar gas, bincika muhimmiyar muhallin ta a cikin Tsarin masana'antar semiconductor, da kuma bayyana dalilin da yasa ingancinsa da wadatar ke da mahimmanci ga duka Masana'antu na lantarki masana'antu.

Menene daidai shine gas mai gas (nf₃)?

A kallon farko, Nitrogen brifloride, galibi ana kiranta da tsarin sunadarai Nf₃, na iya zama kamar wani masana'antu kawai iskar gas. Yana da launi mara launi, marasa wuta, kuma dan kadan musty-wari mahalli. Koyaya, a cikin duniyar masana'antu na gaba, wannan iskar gas kayan aikin babban aiki ne. An samar da shi ne da aka samar mahalli An yi shi da nitrogen mai narkewa da uku fukai atoms. Mabuɗin da ƙarfinsa ya ta'allaka ne a wannan tsarin. A zazzabi a daki, Nf₃ yana da kwanciyar hankali da m, yana yin lafiya a kai da sumbata idan aka kwatanta da ƙarin gas mai narkewa.

Sihiri ya faru lokacin da aka amfani da makamashi. A karkashin yanayin mai karfi a cikin semiconductor Kayan masana'antu, kamar a plasma ɗaki, da Nf₃ molecules bazu. Suna karya baya kuma saki sosai mai kasa da fukai Radicals. Ka yi tunanin shi kamar fashewar sarrafawa akan sikelin microscopic. Waɗannan kyauta fukai atoms mai tasiri sosai a amsawa da cire kayan da ba'a so, musamman silicon da mahaɗan sa. Wannan ikon zama tsayayye lokacin da kuke buƙatar shi kuma sosai mai kasa da Lokacin da kake so ya sa Gas na Nitrogen Triflumide Gas kadari mai mahimmanci a cikin ainihin duniyar guntu masana'antu.

Wannan yanayi na yau da kullun shine dalilin Nf₃ ya zama babban tushe na zamani Tsarin halittar Semicmikation. Tsaron sa ya tabbatar da aminci da aminci a cikin sarkar samar, yayin da aka zage shi yana samar da tsabtatawa da etching iko da ke buƙata. Kamar yadda muka fada cikin zurfi, zaku ga yadda wannan sauti mai sauƙi iskar gas Yana ba da cikakken kayan aikin da aka fi rikitarwa a duniya.

Me yasa gas na musamman da muhimmanci ga masana'antar semicontectory?

Don fahimtar mahimmancin Nf₃, da farko muna buƙatar godiya da mafi girman rawar da gas yana da mahimmanci domin a cikin masana'antar semiconduct. Masana'antu an hade da'awa yana kama da gina skyscraper akan zane da girman thumbnail. Tsari ne na kara da cire da yawa daga yadudduka masu bakin ciki na kayan a kan silicon wafer. Kowane mataki guda, daga ƙirƙirar danda wafer zuwa guntu na ƙarshe, dogara ne akan yanayi mai sarrafawa a hankali Kases lantarki.

Waɗannan gas ɗin suna yin ayyuka da yawa masu mahimmanci. Wasu, kamar argon da hayaɓa, ana amfani da shi azaman gas mai jigilar igiya don ƙirƙirar ƙaƙƙarfan yanayi, mara ƙima da kuma don tsayar da gas mai ƙoshi. Ana amfani da wasu don ajiya, inda a iskar gas ana amfani dashi yi ajiya fim na bakin ciki na kayan a kan wafer. Misali, a cikin sunadarai Tururi Ajiya (CVD), gas suna amsawa don samar da ingantaccen fim wanda ya zama wani ɓangare na murkushe guntu. Sannan akwai ƙoshin gas, kamar Nf₃, wanda ake amfani da shi don daidaita tsarin tsari a cikin waɗannan yadudduka, ƙirƙirar hanyoyin canzawa don wutar lantarki don gudana.

Ba tare da akai, ulci-babban-tsarkaka samar da waɗannan gas daban-daban, duka masana'antu zai yi niƙa a cikin tsari. Ko da minuscule hakafi a cikin iskar gas zai iya lalata duk batutuwan wafers, suna biyan wani kamfani miliyoyin daloli. Wannan shine dalilin masana'antun semiconducters suna da matukar kulawa game da inganci da amincin masu arzikinsu. Tsarkin Ubangiji iskar gas kai tsaye fassara zuwa ingancin kuma yawan amfanin ƙasa na samfurin karshe.

Ta yaya aka yi amfani da gas a cikin ayyukan masana'antar semicondurs?

Nitrogen brifloride yana da firamare biyu, masu mahimmanci a ciki Magungunan masana'antar semicondures: plasma etching da tsabtace gudanarwa. Dukansu suna da mahimmanci don ƙirƙirar microclips na haɓaka, daga masu sarrafawa zuwa NDD Flash Kwallan.

Da farko, bari muyi magana game da etching. Bayan wani Layer na abu kamar silicon dioxide an adana shi a wafer, ana tsinkayen tsari ne a kan ta amfani da haske. Da mahaifa Tsarin aiki sannan ya cire kayan daga wuraren da ba su da inshorar. Nf₃ an gabatar da shi a cikin wani ɗaki da kuzari don ƙirƙirar plasma-A girgije na cajin ion ion barbashi da sakewa fukai Radicals. Waɗannan masu tsattsauran ra'ayi daidai suka jefa wafer farfajiya, maimaitawa da silicon kuma yana canza shi cikin cizous mahalli (silicon Tetrafluhlororide) wanda za'a iya zubar da shi cikin sauƙin. Tsarin wannan tsari yana da hankali-ooggling, kyale injiniyoyi don sassaƙa fasalin fasalin da dubunnan lokuta masu bakin ciki fiye da gashi ɗan adam.

Na biyu, da na kowa, amfani da titin nitrogen trifloride kamar a tsaftacewa gas. A lokacin Kayan aikin rigakafi (CVD) tsari, inda fina-finai na bakin ciki suke girma akan wafer, kayan da ba a so kuma sun gina a bangon ciki na ɗakin aiwatarwa. Wannan saura, sau da yawa sanya silicon ko silicon nittride, dole ne a cire gaba daya are tsakanin su wafer ko tsari na wafers. Idan ba haka ba, wannan ginin zai iya kashe wuta da ƙasa a gaba wafer, yana haifar da lahani. Nan, Nf₃ an shafe shi cikin gida baki da plasma an kunna shi. Da iko fukai Radicals Gaske Scrup Kwallan Allon Tsabtace, Canza mai ƙarfi saura a cikin cizous byproduct ana cire shi a sauƙaƙe. Wannan sake zagayowar tsaftacewa shine m don kiyaye Tsarkakewar masana'antu da tabbatar da girma yawan amfanin ƙasa.

Me ke sa nf₃ babban iskar mai tsabtace idan aka kwatanta da madadin?

Shekaru da yawa, masana'antar semiconduct dogaro da perluorocarbons (pfcs) kamar carbon tetrafluhluntade (Cf₄) da Hexafluarooroethane (C₂f₆) don tsaftacewa da etching. Duk da yake da tasiri, waɗannan mahadi sun zo da manyan halartar: suna da ingantaccen gas mai ƙarfi na green tare da tsawon rayuwa mai tsawo. Misali, C₂f₆ yana da babban dumamar dumama na duniya (GWP) kuma zai iya dagewa a cikin yanayi na shekaru 10,000. Yayinda ƙa'idojin muhalli suka ɗaure, masana'antar tana buƙatar mafita mafi kyawu.

Wannan shine Nf₃ ya fito a matsayin mai nasara. Lokacin da Nitrogen brifloride shima a gas mai gas, yana da mafi guntu na ATMOSPHERIMEMETE (kusan shekaru 500). Mafi mahimmanci, ya fi dacewa a cikin tsarin tsabtatawa. A cikin plasma attember, mafi yawan adadin Nf₃ Kwayoyin kwayoyin suna rushewa don sakin su fukai idan aka kwatanta da PFCs. Wannan yana nufin ƙasa da ƙasa unreacted iskar gas an gaji daga ɗakin. Na zamani SeMicondutor Fabs Har ila yau, shigar da tsarin Abatement (Masu fasahar) waɗanda ke lalata kusan unreacted Nf₃ da cutarwa byproduct gas kafin su sake su.

Haɗuwa da mafi inganci da kuma mafi inganci abate yana nufin ainihin Maganin gas na Green Green daga amfani da Nf₃ suna ƙasa da ƙasa da waɗanda daga tsoffin gas na PFC. Wannan kyakkyawan aikin shine babban dalilin da ya dace.

Ta yaya aka samar da babban tsarkin tsattsauran ra'ayi?

A matsayin mai ƙera, zan iya gaya muku cewa samarwa Nf₃ wani hadaddun da aka sarrafa sosai Tsarin samarwa. Manufar shine don ƙirƙirar samfurin ƙarshe wanda yake da tsabta mai mahimmanci 99.999% tsarkakakke ko mafi girma-saboda har ma da ɗan ƙarami hakafi na iya zama bala'i don samar da helemiconduction. Tsarin yana buƙatar ƙwarewa a cikin kula da sinadarai mai kyau sosai, musamman fukai.

Da Nf₃ samarwa yawanci ya ƙunshi amsawa ammoniya (a mahalli dauke da nitrogen) ko ammonium flumide fili tare da ukun fukai gas a cikin reactor a Tsarin zafi. Wannan dauki yana samar da cakuda gas, gami da Nf₃, kayan da ba a haɗa su ba, da kuma yawan abubuwa daban-daban. Babban kalubalen, kuma inda kwarewar mai kaya ta nuna, yana cikin tsarkakewa mataki wanda ya biyo baya.

Da raw cizous cakuda yana tafiya da yawa tsarkakewa matakai don cire kowane mahadi maras so. Wannan sau da yawa ya ƙunshi jerin scruging, adsorption, da tsarin distillations. Da Tsarin distil, musamman, yana amfani da ƙananan ƙananan yanayin zafi don raba gas daban-daban dangane da tafasasshen maki, ware da Nf₃ daga kowane rashin jituwa. Kowane mataki ana sa ido tare da kayan aikin bincike na bincike don tabbatar da samfurin ƙarshe ya cika ƙirar maganganu na semiconductor masana'antu. Wannan alƙawarin don kulawa mai inganci shine abin da ya raba amintaccen mai kaya daga sauran.

Menene aminci da kulawa da la'akari da gas na nf₃?

Aminci shine babban fifiko a cikin masana'antu iskar gas kasuwanci. Lokacin da Nf₃ ba zai yiwu ba kuma ya zama barga a zazzabi a ɗakin, shi ne wakilin oxidizing na oxidizing, musamman a yanayin zafi. Wannan yana nufin zai iya amsawa da ƙarfi tare da kayan wuta kuma yana buƙatar kulawa da hankali. Babban haɗarin shine guba; shan iska iskar gas na iya zama cutarwa, don haka samun iska mai kyau da kayan kariya na sirri suna da mahimmanci a kowane Site Masahar.

Sarkar wadatar da, daga masana'antarmu zuwa ga abokin ciniki semiconductor FA, an gina shi a kusa da aminci. Nf₃ ana jigilar jigilar kaya a cikin silinda na musamman a ƙarƙashin matsanancin matsin lamba. Wadannan silinda sun haifar da gwaji da takaddun shaida don tabbatar da cewa za su iya kwanciyar hankali da iskar gas. A matsayinka, muna samar da cikakken zanen gado na aminci (SDS) da horarwa ga abokan cinikinmu kan ajiya mai dacewa, Haɗin, da hanyoyin aiwatar da hanyoyin. Wannan ya hada da jagororin akan Rate sarrafa da kuma gano tsarin ganowa.

Ga masu kasuwanci kamar Mark, wanda babban abin damuwa ne mai santsi da ingantaccen sarkar kaya, abokin tarayya tare da mai kaya wanda yake da rikodin tsaro yana da mahimmanci. Babu isasshen sadarwa ko rashin ingantaccen daidaituwa na aminci daga mai siye shine babbar tutar ja. Muna alfahari da kanmu kan samar da samfurin ba kawai samfurin ba, amma cikakken sabis ɗin da ya ƙunshi goyon baya na goyon baya da ƙwarewar aminci, tabbatar da iskar gas ya isa kuma an kula da shi cikin aminci kowane mataki.

Shine nitrogen traflumide a cikin gas gas? Fahimtar tasirin muhalli.

Yana da mahimmanci don bayyanawa game da batun yanayin muhalli na Nf₃. Ee, Nitrogen brifloride mai iko ne gas gas. Hukumar Kula da Kaya dioxide sama da shekaru 100. Wannan gaskiya ne cewa masana'antar ta dauki mahimmanci.

Koyaya, labarin bai ƙare ba a can. Da tasiri kan muhalli Ya danganta da ba kawai a kan yuwuwar gas ba, amma akan nawa aka sake shi a cikin sararin samaniya. Kamar yadda aka ambata a baya, Nf₃ yana da inganci sosai. A cikin zamani semiconductor Cibiyar, mafi yawan akasarin gas da aka yi amfani da shi an cinye ko lalata a lokacin aiwatar da masana'antu. Da plasma karya shi ƙasa, da kowane unreacted iskar gas Wannan an aika da gaji zuwa tsarin abate. Waɗannan tsarin suna da tasiri sosai, galibi suna lalata sama da 99% na ragowar Nf₃.

Canjin masana'antu daga PFCs zuwa Nf₃, a hade tare da yaduwar amfani da fasahar abatement, haƙiƙa ya haifar da raguwa ta hanyar Maganin gas na Green Green kowane bangare na samarwa. M masana'antun semiconducters Kuma masu ba da iskan gas suna aiki tare don tabbatar da cewa an rage yawan abubuwan da aka rage. Wannan ya ƙunshi inganta tsarin tsabtatawa don amfani da ƙarancin adadin iskar gas dole da kuma kiyaye tsarin abate don yawan ƙarfin aiki. Don haka, yayin Nf₃ mai iko ne gas gas A cikin saiti na lab, ƙafar muhalli ta duniya a cikin Magana na Semiconducting ana sarrafa shi a hankali kuma yana da matukar raguwa fiye da hanyoyin maye gurbinsa.

Menene rawar da ke cikin gas na zamani don manyan fabs na semicondutector?

Sikelin na zamani Magana na Semiconducting yana da numfashi. Babban kayan aiki, da aka sani da Mega-FABS, cinye babban gas na gas. Ga wasu gas, kamar nitrogen, yana da kyau sosai don samar da su kai tsaye a wurin da ke motsa shi a cikin dubunnan silinda. An san wannan da kan-site tsara. Don tsananin ƙwararru kuma mai mayar da hankali iskar gas kamar Nf₃, wani ɗan ƙaramin abu daban-daban yana fitowa: kan-site Tsarkakewa da bincike.

Yayinda yake cike Nf₃ samarwa a fab ba sabon abu bane saboda hadaddun sa, masu amfani da su suna da inganci sau da yawa suna da nutsuwa kan-site Tsarin sarrafa gas. M da yawa Nf₃ an kawo shi zuwa ga fabi, sannan wannan tsarin yana aiwatar da karshe tsarkakewa kuma ci gaba da bincike mai inganci a gaban iskar gas shiga kayan aikin masana'antu. Wannan yana samar da wani kyakkyawan tsari na ingancin ingancin iko, tabbatar da cewa duk wata gurasar daga wadataccen gurbata an kama. Wannan hanyar tana haɗu da fa'idodin tattalin arziki na babban siye da tabbacin ingancin kan-site Gudanarwa.

Fahimtar waɗannan masu haɓaka samfuran suna da mahimmanci. A matsayinmu, mun fadada ayyukanmu bayan kammala silinda. Yanzu muna aiki tare Masana'antun SeMemiconductor Don zane da aiwatar da cikakken isar da gas da gudanar da mafita. Wannan na iya hadawa da sadaukar da kai hanyar sarrafawa iya aiki ga babban abokin ciniki, ƙwararrun dabaru, ko haɗin kai tare da su kan-site tsarin. Labari ne game da samar da sarkar samar da sarkar mai sassauƙa wanda ya dace da bukatun buƙatun Magunguna na 21. Wannan wani muhimmin bangare ne na dabarunmu, musamman lokacin da ake bauta wa abokan ciniki da muhimmanci Kayan aiki.

Ta yaya Nf₃ Tsarkake yana shafar yawan amfanin ƙasa a cikin masana'antar Glo

A cikin semiconductor Duniya, "yawan amfanin ƙasa" ita ce komai. Yana da kashi dari na kyau, kwakwalwan kwamfuta ke samarwa daga ɗaya silicon wafer. Babban yawan amfanin ƙasa yana nufin riba; Lowerarancin yawan amfanin ƙasa na iya zama mai lalacewa. Tsarkin gas na gas, musamman mai gyara iskar gas kamar Nf₃, yana da tasiri kai tsaye da ban mamaki yawan amfanin ƙasa.

Tunanin wani hakafi Kamar karamin barbashi na danshi (h₂o) ko wani cizous mahalli gauraye a tare da Nf₃. A yayin aiwatar da ayyukan ƙarshe, cewa hakafi Zai iya tsoma baki tare da amsawar sunadarai, haifar da wani lahani na microscopic a cikin murabba'i na guntu. Zai iya toshe mahaifa, barin kayan da bai kamata ya zama ba, ko haifar da-etching, cire abubuwa da yawa. Koyaya hanya, sakamakon hade da'awa zai fadi gwajin karshe. Lokacin da kuke yin miliyoyin masu transstors akan guntu guda, ko da lahani guda ɗaya "da aka haifar hakafi na iya sanya dukkan guntu mara amfani.

Wannan shine dalilin da yasa muka saka hannun jari sosai a cikin ingancin kulawa. Ta hanyar samar da takardar shaida, Ultra-babban-tsarkaka Nf₃, muna ba abokan cinikin mu cewa iskar gas ba zai zama tushen lahani ba. Sarrafa maida hankali na kowane bangare da sassan-da-biliyan biliyan ya tabbatar da cewa masana'antu ya tabbata kuma maimaitawa. Tsarin tsoro yana haifar da abin da ake iya faɗi da kuma babban yawan amfanin ƙasa, wanda shine babban burin kowane semiconductor mai masana'anta. Matsayinmu na mai ba da kaya Gases na musamman shine kawar da masu canji da samar da ingantaccen ingancin da ba a sani ba.

Me yakamata ka nema a cikin mai samar da kayan masarufi na Nitrogengen?

Don jami'in siyan kamar alama, zabar mai da ya dace don mahimman abu kamar Nf₃ ya wuce nesa da kawai kwatanta farashin. Hadarin da ke tattare da jinkirin jigilar kayayyaki mai kyau, batutuwa masu inganci, sadarwa mara kyau - suna da girma sosai. Dangane da kwarewata, ga abubuwan da ke cikin mahimman abubuwan don la'akari:

Na farko, ingantacciyar inganci da takaddun shaida. Mai ba da tallafi zai samar da takardar shaidar bincike (COA) tare da kowane jigilar kaya, cike da madaidaitan matakan da kuma jera duk wani abin da aka gano. Ya kamata su zama masu yarda da ƙa'idodin duniya kamar ISO 9001. Tambaye game da iyawar masu bincike. Shin suna da kayan aikin gano rashin ƙarfi a matakan da ake buƙata don semiconductor Aikace-aikace?

Na biyu, samar da sarkar aminci da nuna gaskiya. Shin mai ba da tallafi yana nuna hanyar haɗin kai tsaye don hana jinkiri? Shin suna da maimaitawa Kayan aiki Don tabbatar da isasshen wadata? Sadarwar tana da key anan. Mai siye da kaya ya kamata ya kasance mai aiki, yana samar da sabuntawa akan jigilar kaya da kasancewa da sauri don amsa tambayoyi. Wannan yana magance matsalar jin zafi.

A ƙarshe, nemi ƙwarewar fasaha. Mai siyar da kaya baya sayar da kaya; Suna samar da mafita. Yakamata su fahimci aikace-aikacenka kuma su iya bayar da tallafin fasaha. Yakamata su kasance masu ilimi game da aminci, suna jituwa, har ma da ka'idojin muhalli kewaye da Aikace-aikacen Gas. Mai siyarwa wanda zai iya zama abokin tarayya mai ilimi yana da mahimmanci fiye da wanda yake kawai mai sayarwa kawai. Wannan gwaninta shine tushen wani dogon lokaci, dangantakar riba. Muna ƙoƙarin zama cewa abokin tarayya don duk abokan cinikinmu, ba kawai kawai kawai iskar gas Jaridar hankali wacce tazo da ita.

Maɓalli

• Kayan aiki mai mahimmanci: Nitrogen berauroride (nf₃) kwararru ne mai mahimmanci iskar gas An yi amfani da shi don plasma etching da naúrar ruwa a cikin Tsarin masana'antar semiconductor.
• Babban aiki: Nf₃ ya fi dacewa kuma yana da ƙananan tasirin muhalli fiye da tsohuwar gas mai gas ta PFC ta maye gurbinsa, godiya ga yawan amfani da ƙimar amfani da tsarin cinyewa na zamani.
• Tsarkakewa shine riba: Daukaka mai tsarkakakkiyar Nf₃ ba mai sasantawa bane. Ko da alama rashin daidaituwa na iya haifar da lahani akan silicon wafer, rage yawan rage yawan amfanin ƙasa da riba na guntu masana'antu.
• Aminci da kulawa sune maɓallin: Yayin da aka tsallake, Nf₃ mai guba ne da oxidizing iskar gas Wannan na bukatar kwararru na musamman, takaddun silinda, da kuma fahimtar zurfin yarjejeniya.
• Zabi na kaya yana da mahimmanci: Lokacin zabar wani Nf₃ Mai ba da fifikon ingantacciyar inganci, samar da ingantacciyar hanya, samar da sarkar aminci, sadarwa mai gaskiya akan farashi kadai.