સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં ફ્લોરિન રસાયણશાસ્ત્રની શક્તિને અનલૉક કરવું: એક જટિલ ગેસ વિશ્લેષણ

2026-01-31

આધુનિક વિશ્વ ચિપ્સ પર ચાલે છે. તમારા ખિસ્સામાંના સ્માર્ટફોનથી લઈને એરોસ્પેસ એન્જિનિયરિંગમાં માર્ગદર્શન સિસ્ટમ્સ સુધી, નાનું સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ ડિજિટલ યુગનો અનસંગ હીરો છે. પણ હીરોની પાછળ હીરો શું છે? તે વિશિષ્ટ વાયુઓની અદ્રશ્ય, ઘણીવાર અસ્થિર વિશ્વ છે. ખાસ કરીને, ફ્લોરિન રસાયણશાસ્ત્ર માં મુખ્ય ભૂમિકા ભજવે છે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા કે જે ફક્ત બદલી શકાતી નથી.

જો તમે પુરવઠા શૃંખલાનું સંચાલન કરી રહ્યાં છો અથવા ઉત્પાદનની ગુણવત્તા પર દેખરેખ રાખી રહ્યાં છો સેમિકન્ડક્ટર ફાઉન્ડ્રી, તમે જાણો છો કે ભૂલ માટે માર્જિન શૂન્ય છે. ભેજમાં એક જ સ્પાઇક અથવા માઇક્રોસ્કોપિક કણ કરોડો-ડોલરના ઉત્પાદનને બગાડી શકે છે. આ લેખ ની ભૂમિકામાં ઊંડા ઉતરે છે ફ્લોરિન ધરાવતું વાયુઓ- શા માટે આપણે તેનો ઉપયોગ કરીએ છીએ, ચોક્કસ રસાયણશાસ્ત્ર જે તેમને અસરકારક બનાવે છે અને સપ્લાય ચેઈન સ્થિરતા અને શુદ્ધતાનું નિર્ણાયક મહત્વ. અમે આ કેવી રીતે અન્વેષણ કરીશું ઉચ્ચ શુદ્ધતા વાયુઓ માં વપરાય છે કોતરણી અને જુબાનીના પગલાં, અને શા માટે તેમને વિશ્વસનીય ભાગીદાર પાસેથી સોર્સિંગ એ સૌથી મહત્વપૂર્ણ નિર્ણય છે જે તમે આ વર્ષે લઈ શકો છો.

હાઇ-ટેક સેમિકન્ડક્ટર લેબોરેટરી એચીંગ પ્રક્રિયાઓ માટે ફ્લોરિન ગેસનો ઉપયોગ કરે છે

સામગ્રી

શા માટે સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ ફ્લોરિન ધરાવતા વાયુઓ પર આટલો નિર્ભર છે?

સમજવા માટે સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ, તમારે સામયિક કોષ્ટક જોવું પડશે. સિલિકોન કેનવાસ છે, પરંતુ ફ્લોરિન બ્રશ છે. આ સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન પ્રક્રિયામાં સામગ્રીના સ્તરો બનાવવાનો અને પછી સર્કિટ બનાવવા માટે તેમને પસંદગીપૂર્વક દૂર કરવાનો સમાવેશ થાય છે. આ દૂર કરવાની પ્રક્રિયાને એચિંગ કહેવામાં આવે છે.

ફ્લોરિન સૌથી ઇલેક્ટ્રોનેગેટિવ તત્વ છે. સરળ શબ્દોમાં કહીએ તો, તે ઇલેક્ટ્રોન માટે અતિ ભૂખ્યા છે. જ્યારે અમે પરિચય આપીએ છીએ ફ્લોરિન ગેસ અથવા ફ્લોરિનેટેડ સંયોજનો પ્લાઝ્મા ચેમ્બરમાં, ફ્લોરિન પરમાણુ સિલિકોન સાથે આક્રમક રીતે પ્રતિક્રિયા આપે છે અને સિલિકોન ડાયોક્સાઇડ. આ રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા ઘન સિલિકોનને અસ્થિર વાયુઓમાં ફેરવે છે (જેમ કે સિલિકોન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ) જેને સરળતાથી દૂર કરી શકાય છે. આ રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા વિના, અમે આધુનિક માટે જરૂરી માઇક્રોસ્કોપિક ખાઈ અને સંપર્ક છિદ્રો બનાવી શકતા નથી. ઇલેક્ટ્રોનિક ઉપકરણો.

માં ઉચ્ચ વોલ્યુમ ઉત્પાદન, ઝડપ અને ચોકસાઇ બધું છે. ફ્લોરિન ધરાવતા વાયુઓ થ્રુપુટ અપ રાખવા માટે જરૂરી ઉચ્ચ ઇચ રેટ પ્રદાન કરે છે, જ્યારે તેની નીચેના સ્તરને નુકસાન પહોંચાડ્યા વિના એક સામગ્રીમાંથી કાપવાની પસંદગીની ઓફર પણ કરે છે. તે એક નાજુક સંતુલન કાર્ય છે રસાયણશાસ્ત્ર અને ભૌતિકશાસ્ત્ર.

ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા કોતરણી માટે ફ્લોરિન રસાયણશાસ્ત્ર આટલું અનન્ય શું બનાવે છે?

તમે પૂછી શકો છો, શા માટે ક્લોરિન અથવા બ્રોમિનનો ઉપયોગ કરતા નથી? અમે ચોક્કસ સ્તરો માટે કરીએ છીએ. જો કે, ફ્લોરિન રસાયણશાસ્ત્ર સિલિકોન-આધારિત સામગ્રીને એચીંગ કરતી વખતે એક અનન્ય ફાયદો આપે છે. સિલિકોન અને ફ્લોરિન વચ્ચેનું બંધન અતિ મજબૂત છે. જ્યારે ફ્લોરિન ધરાવતું પ્લાઝ્મા વેફરને ફટકારે છે, પ્રતિક્રિયા એક્ઝોથર્મિક અને સ્વયંસ્ફુરિત છે.

માં જાદુ થાય છે પ્લાઝમા. માં એ સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા ચેમ્બર, અમે કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ (CF4) અથવા સલ્ફર હેક્સાફ્લોરાઇડ (SF6) જેવા સ્થિર ગેસમાં ઉચ્ચ ઊર્જા લાગુ કરીએ છીએ. આ ગેસને તોડી નાખે છે, પ્રતિક્રિયાશીલ મુક્ત કરે છે ફ્લોરિન રેડિકલ આ રેડિકલ ની સપાટી પર હુમલો કરે છે વેફર.

"ની ચોકસાઇ કોતરણી ચિપના પ્રભાવને વ્યાખ્યાયિત કરે છે. જો તમારી ગેસ શુદ્ધતામાં વધઘટ થાય છે, તો તમારા ઇચ રેટમાં વધઘટ થાય છે અને તમારી ઉપજ ક્રેશ થાય છે."

આ ખ્યાલ તરફ દોરી જાય છે એનિસોટ્રોપિક નકશીકામ - પડખોપડખ ખાધા વિના સીધું કાપવું. મિશ્રણ કરીને ફ્લોરિન અન્ય સાથે પ્રક્રિયા વાયુઓ, એન્જિનિયરો ખાઈની પ્રોફાઇલને સંપૂર્ણ રીતે નિયંત્રિત કરી શકે છે. આ ક્ષમતા આવશ્યક છે કારણ કે આપણે નાના ગાંઠો (7nm, 5nm અને નીચે) તરફ જઈએ છીએ, જ્યાં વિચલનનું નેનોમીટર પણ નિષ્ફળ જાય છે.

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં વાયુઓ કેવી રીતે અદ્યતન ઇચ પ્રક્રિયાઓ ચલાવે છે?

ઇચ પ્રક્રિયાઓ ના શિલ્પના સાધનો છે ફેબ્સ. ત્યાં બે મુખ્ય પ્રકારો છે: ભીનું કોતરણી (પ્રવાહી રસાયણોનો ઉપયોગ કરીને હાઇડ્રોજન ફલોરાઇડ) અને ડ્રાય ઇચ (પ્લાઝમાનો ઉપયોગ કરીને). આધુનિક અદ્યતન સેમિકન્ડક્ટર ગાંઠો લગભગ સંપૂર્ણપણે શુષ્ક પ્લાઝ્મા એચિંગ પર આધાર રાખે છે કારણ કે તે વધુ ચોક્કસ છે.

એક લાક્ષણિક માં પ્લાઝ્મા એચીંગ ક્રમ, એ ફ્લોરિનેટેડ ગેસ પરિચય આપવામાં આવે છે. ચાલો વપરાયેલી વિવિધતા જોઈએ:

  • કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ (CF4): ઓક્સાઇડ એચીંગ માટે વર્કહોર્સ.
  • ઓક્ટાફ્લોરોસાયક્લોબ્યુટેન (C4F8): ખાઈની સાઇડવૉલ્સ પર પોલિમર લેયર જમા કરવા માટે વપરાય છે, જ્યારે તળિયે ઊંડે કોતરણી કરવામાં આવે ત્યારે તેને સુરક્ષિત કરે છે.
  • સલ્ફર હેક્સાફ્લોરાઇડ (SF6): અત્યંત ઝડપી સિલિકોન એચીંગ રેટ માટે જાણીતા છે.

વચ્ચેની ક્રિયાપ્રતિક્રિયા પ્લાઝમા અને સબસ્ટ્રેટ જટિલ છે. તેમાં આયનો દ્વારા ભૌતિક બોમ્બમારો અને રેડિકલ દ્વારા રાસાયણિક પ્રતિક્રિયાનો સમાવેશ થાય છે. આ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનો આ વાયુઓના પ્રવાહ, દબાણ અને મિશ્રણને સખત રીતે નિયંત્રિત કરવું જોઈએ. જો ધ વિશિષ્ટ ગેસ ભેજ જેવી અશુદ્ધિઓ ધરાવે છે, તે ડિલિવરી લાઇન અથવા ચેમ્બરની અંદર હાઇડ્રોફ્લોરિક એસિડ બનાવી શકે છે, જે કાટ અને કણોની ખામીઓનું કારણ બને છે.

ફ્લોરિન ધરાવતા વાયુઓનો ઉપયોગ કરીને પ્લાઝ્મા એચિંગ ચેમ્બરને બંધ કરો

શા માટે નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ ચેમ્બર ક્લિનિંગ એપ્લિકેશનનો રાજા છે?

જ્યારે કોતરણી અને સફાઈ હાથ પર જાઓ, ઉત્પાદન સાધનોની સફાઈ વેફરની પ્રક્રિયા કરવા જેટલી જ મહત્વપૂર્ણ છે. દરમિયાન રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન (CVD), સિલિકોન અથવા ટંગસ્ટન જેવી સામગ્રી વેફર પર જમા થાય છે. જો કે, આ સામગ્રીઓ ચેમ્બરની દિવાલોને પણ કોટ કરે છે. જો આ અવશેષો એકઠા થાય છે, તો તે તૂટી જાય છે અને વેફર્સ પર પડે છે, જેના કારણે ખામી સર્જાય છે.

દાખલ કરો નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ (NF3).

વર્ષો પહેલા આ ઉદ્યોગનો ઉપયોગ થતો હતો ફ્લોરિનેટેડ ગ્રીનહાઉસ ચેમ્બરની સફાઈ માટે C2F6 જેવા વાયુઓ. જો કે, NF3 માટે પ્રમાણભૂત બની ગયું છે ચેમ્બર સફાઈ પ્રક્રિયાઓ તેની ઉચ્ચ કાર્યક્ષમતાને કારણે. જ્યારે દૂરસ્થ પ્લાઝ્મા સ્ત્રોતમાં તૂટી જાય છે, ત્યારે NF3 મોટી માત્રામાં પેદા કરે છે ફ્લોરિન અણુઓ. આ અણુઓ ચેમ્બરની દિવાલોને સાફ કરે છે, ઘન અવશેષોને બહાર ફેંકવામાં આવતા ગેસમાં ફેરવે છે.

નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ પસંદ કરવામાં આવે છે કારણ કે તેનો ઉપયોગ દર વધારે છે (વાસ્તવમાં વધુ ગેસનો ઉપયોગ થાય છે) અને જૂનાની સરખામણીમાં ઓછું ઉત્સર્જન સફાઈ એજન્ટો. સુવિધા મેનેજર માટે, આનો અર્થ છે જાળવણી માટે ઓછો ડાઉનટાઇમ અને ઝડપી થ્રુપુટ.

ઉચ્ચ વોલ્યુમના ઉત્પાદન માટે કયા ફ્લોરિનેટેડ સંયોજનો આવશ્યક છે?

સેમિકન્ડક્ટર સપ્લાય ચેઇન ચોક્કસ બાસ્કેટ પર આધાર રાખે છે ફ્લોરિન ધરાવતા વાયુઓ. દરેક પાસે ચોક્કસ "રેસીપી" અથવા એપ્લિકેશન છે. મુ જિઆંગસુ હુઆઝોંગ ગેસ, અમે નીચેના માટે વિશાળ માંગ જોયે છે:

ગેસનું નામ ફોર્મ્યુલા પ્રાથમિક અરજી મુખ્ય લક્ષણ
કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ CF4 ઓક્સાઇડ ઇચ બહુમુખી, ઉદ્યોગ ધોરણ.
સલ્ફર હેક્સાફ્લોરાઇડ SF6 સિલિકોન ઇચ ઉચ્ચ કોતરણી દર, ઉચ્ચ ઘનતા.
નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ NF3 ચેમ્બર સફાઈ ઉચ્ચ કાર્યક્ષમતા, ઓછું ઉત્સર્જન.
ઓક્ટાફ્લોરોસાયક્લોબ્યુટેન C4F8 ડાઇલેક્ટ્રિક ઇચ સાઇડવૉલ સંરક્ષણ માટે પોલિમરાઇઝિંગ ગેસ.
હેક્સાફ્લોરોઇથેન C2F6 ઓક્સાઇડ ઇચ / ક્લીન લેગસી ગેસ, હજુ પણ વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે.

ફ્લોરિનેટેડ સંયોજનો ના જીવન રક્ત છે ઉચ્ચ વોલ્યુમ ઉત્પાદન. આના સ્થિર પ્રવાહ વિના સેમિકન્ડક્ટરમાં ગેસ ઉત્પાદન, રેખાઓ બંધ. તે એટલું સરળ છે. આથી જ એરિક મિલર જેવા પરચેઝિંગ મેનેજર સતત દેખરેખ રાખે છે પુરવઠા સાંકળ વિક્ષેપો માટે.

શા માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા વાયુઓ સેમિકન્ડક્ટર ઉપજની કરોડરજ્જુ છે?

હું આ પર પૂરતો ભાર આપી શકતો નથી: શુદ્ધતા એ બધું છે.

જ્યારે આપણે વાત કરીએ છીએ ઉચ્ચ શુદ્ધતા વાયુઓ, અમે વેલ્ડીંગ માટે વપરાતા "ઔદ્યોગિક ગ્રેડ" વિશે વાત કરી રહ્યા નથી. અમે 5N (99.999%) અથવા 6N (99.9999%) શુદ્ધતા વિશે વાત કરી રહ્યા છીએ.

શા માટે? કારણ કે એ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ નેનોમીટરમાં માપવામાં આવતા લક્ષણો ધરાવે છે. ધાતુની અશુદ્ધિનો એક જ પરમાણુ અથવા ભેજનું ટ્રેસ પ્રમાણ (H2O) શોર્ટ સર્કિટનું કારણ બની શકે છે અથવા સ્તરને વળગી રહેવાથી અટકાવી શકે છે.

  • ભેજ: સાથે પ્રતિક્રિયા આપે છે ફ્લોરિન HF બનાવવા માટે, જે ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમને કાટ કરે છે.
  • ઓક્સિજન: સિલિકોનને અનિયંત્રિત રીતે ઓક્સિડાઇઝ કરે છે.
  • ભારે ધાતુઓ: ટ્રાન્ઝિસ્ટરના વિદ્યુત ગુણધર્મોનો નાશ કરો.

સપ્લાયર તરીકે, અમારું કામ એ સુનિશ્ચિત કરવાનું છે કે ઉચ્ચ શુદ્ધતા ઝેનોન અથવા ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ નાઇટ્રસ ઓક્સાઇડ તમને મળે છે કડક ઉદ્યોગ ધોરણો. અમે શોધવા માટે અદ્યતન ગેસ ક્રોમેટોગ્રાફીનો ઉપયોગ કરીએ છીએ અશુદ્ધિઓ ટ્રેસ કરો પાર્ટ્સ પ્રતિ બિલિયન (ppb). ખરીદનાર માટે, વિશ્લેષણનું પ્રમાણપત્ર (COA) જોવું એ માત્ર કાગળ નથી; તે ગેરંટી છે કે તેમની સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન આપત્તિજનક ઉપજ ક્રેશનો સામનો કરવો પડશે નહીં.

પ્રયોગશાળામાં ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સેમિકન્ડક્ટર વાયુઓનું વિશ્લેષણ કરતા વૈજ્ઞાનિક

ઉદ્યોગ ગ્રીનહાઉસ ગેસ ઉત્સર્જન અને GWPનું સંચાલન કેવી રીતે કરે છે?

ઓરડામાં એક હાથી છે: પર્યાવરણ. ઘણા ફ્લોરિનેટેડ વાયુઓ ઉચ્ચ છે ગ્લોબલ વોર્મિંગ પોટેન્શિયલ (GWP). ઉદાહરણ તરીકે, સલ્ફર હેક્સાફ્લોરાઇડ (SF6) સૌથી વધુ પૈકી એક છે શક્તિશાળી ગ્રીનહાઉસ વાયુઓ CO2 કરતા હજારો ગણા વધુ GWP સાથે, માણસ માટે જાણીતું છે.

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન ઉદ્યોગ તેના કાર્બન ફૂટપ્રિન્ટને ઘટાડવા માટે ભારે દબાણ હેઠળ છે. આનાથી બે મુખ્ય ફેરફારો થયા છે:

  1. નિવારણ: ફેબ્સ તેમની એક્ઝોસ્ટ લાઇન પર મોટા પ્રમાણમાં "બર્ન બોક્સ" અથવા સ્ક્રબર્સ ઇન્સ્ટોલ કરી રહ્યાં છે. આ સિસ્ટમો બિનપ્રતિક્રિયાને તોડી નાખે છે ગ્રીનહાઉસ ગેસ તે વાતાવરણમાં મુક્ત થાય તે પહેલાં.
  2. અવેજી: સંશોધકો વિકલ્પ શોધી રહ્યા છે કોતરણી નીચા GWP સાથે વાયુઓ. જો કે, પર્યાવરણીય અસર વિના C4F8 અથવા SF6 ની જેમ કાર્ય કરે તેવા પરમાણુ શોધવાનું રાસાયણિક રીતે મુશ્કેલ છે.

નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ સફાઈ માટે યોગ્ય દિશામાં એક પગલું હતું કારણ કે તે જૂના પીએફસી કરતાં વધુ સરળતાથી તૂટી જાય છે, પરિણામે એકંદરે ઓછું થાય છે ઉત્સર્જન જો એબેટમેન્ટ સિસ્ટમ્સ યોગ્ય રીતે કામ કરી રહી છે. ઘટાડવું ગ્રીનહાઉસ ગેસ ઉત્સર્જન હવે માત્ર PR ચાલ નથી; તે EU અને USમાં નિયમનકારી જરૂરિયાત છે.

શું સેમિકન્ડક્ટર સપ્લાય ચેઇન વિશિષ્ટ ગેસની અછત માટે સંવેદનશીલ છે?

જો છેલ્લા કેટલાક વર્ષોએ આપણને કંઈ શીખવ્યું હોય તો તે છે પુરવઠા સાંકળ નાજુક છે. સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદકો નિયોનથી લઈને દરેક વસ્તુની અછતનો સામનો કર્યો છે ફ્લોરોપોલિમર્સ.

ની સપ્લાય ફ્લોરિન ગેસ અને તેના ડેરિવેટિવ્ઝ ફ્લોરસ્પાર (કેલ્શિયમ ફ્લોરાઈડ) ના ખાણકામ પર આધાર રાખે છે. ચીન આ કાચા માલનો મુખ્ય વૈશ્વિક સ્ત્રોત છે. જ્યારે ભૌગોલિક રાજકીય તણાવ વધે અથવા લોજિસ્ટિક્સ માર્ગો બંધ થઈ જાય, ત્યારે આ જટિલની ઉપલબ્ધતા પ્રક્રિયા વાયુઓ ઘટાડો, અને ભાવ આસમાને છે.

એરિક જેવા ખરીદનાર માટે, "ફોર્સ મેજ્યોર" નો ભય વાસ્તવિક છે. આને ઘટાડવા માટે, સમજદાર કંપનીઓ તેમના સપ્લાયર્સમાં વૈવિધ્યીકરણ કરી રહી છે. તેઓ એવા ભાગીદારો શોધી રહ્યા છે જેઓ તેમના પોતાના છે iso-ટાંકીઓ અને લોજિસ્ટિક્સ નેટવર્કની સ્થાપના કરી છે. માં વિશ્વસનીયતા લોજિસ્ટિક્સ ગેસની શુદ્ધતા જેટલી જ મહત્વપૂર્ણ છે. તમે સૌથી શુદ્ધ મેળવી શકો છો C4F8 ગેસ વિશ્વમાં, પરંતુ જો તે બંદર પર અટવાઇ જાય, તો તે માટે નકામું છે ફેબ.

હાઇડ્રોજન ફ્લોરાઇડ અને અન્ય ઝેરી સામગ્રીને હેન્ડલ કરવા માટેના સલામતી પ્રોટોકોલ શું છે?

સલામતી એ આપણા ઉદ્યોગનો આધાર છે. ઘણા ફ્લોરિન ધરાવતું વાયુઓ કાં તો ઝેરી, ગૂંગળામણ કરનાર અથવા અત્યંત પ્રતિક્રિયાશીલ હોય છે. હાઇડ્રોજન ફલોરાઇડ (HF), મોટાભાગે ભીના ખોતરમાં વપરાય છે અથવા આડપેદાશ તરીકે ઉત્પન્ન થાય છે, તે ખાસ કરીને જોખમી છે. તે ત્વચામાં ઘૂસી જાય છે અને હાડકાના બંધારણ પર હુમલો કરે છે.

આ સામગ્રીઓનું સંચાલન કરવા માટે સખત તાલીમ અને વિશિષ્ટ સાધનોની જરૂર છે.

  • સિલિન્ડર: DOT/ISO પ્રમાણિત હોવું જોઈએ અને આંતરિક કાટ માટે નિયમિતપણે નિરીક્ષણ કરવું જોઈએ.
  • વાલ્વ: ડાયાફ્રેમ વાલ્વનો ઉપયોગ લીકેજને રોકવા માટે થાય છે.
  • સેન્સર્સ: સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્સ ગેસ ડિટેક્શન સેન્સરમાં આવરી લેવામાં આવે છે જે સહેજ લીક થવા પર એલાર્મ ટ્રિગર કરે છે.

જ્યારે આપણે સિલિન્ડર ભરીએ છીએ ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ નાઇટ્રસ ઓક્સાઇડ અથવા ઝેરી ઈચેન્ટ, અમે તેને લોડ કરેલા હથિયારની જેમ ગણીએ છીએ. અમે સુનિશ્ચિત કરીએ છીએ કે રજકણોને રોકવા માટે સિલિન્ડર આંતરિક રીતે પોલિશ્ડ છે અને વાલ્વ બંધ અને સીલ કરેલ છે. અમારા ગ્રાહકો માટે, એ જાણીને કે વાહક ગેસ અથવા ઇચેન્ટ સુરક્ષિત આવે છે, સુસંગત પેકેજિંગ એ મોટી રાહત છે.

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ માટે સીમલેસ સ્ટીલ ગેસ સિલિન્ડરોનું સલામતી નિરીક્ષણ

સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન પ્રક્રિયામાં વપરાતી સામગ્રી માટે આગળ શું છે?

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન રોડમેપ આક્રમક છે. જેમ જેમ ચિપ્સ ગેટ-ઓલ-અરાઉન્ડ (GAA) ટ્રાન્ઝિસ્ટર જેવા 3D સ્ટ્રક્ચર્સમાં જાય છે, તેમ તેમ તેની જટિલતા કોતરણી અને સફાઈ વધે છે. અમે વધુ વિદેશીની માંગ જોઈ રહ્યા છીએ ફ્લોરિનેટેડ ગેસ મિશ્રણ કે જે પરમાણુ ચોકસાઇ સાથે ઊંડા, સાંકડા છિદ્રોને ખોદી શકે છે.

એટોમિક લેયર એચિંગ (ALE) એક ઉભરતી તકનીક છે જે એક સમયે સામગ્રીના એક અણુ સ્તરને દૂર કરે છે. આની અતિ ચોક્કસ માત્રાની જરૂર છે પ્રતિક્રિયાશીલ વાયુઓ. વધુમાં, "ગ્રીન" મેન્યુફેક્ચરિંગ માટેના દબાણથી નવાને અપનાવવાની શક્યતા છે ફ્લોરિન રસાયણશાસ્ત્ર જે નીચા સાથે સમાન કામગીરી પ્રદાન કરે છે GWP.

ભવિષ્ય તે લોકોનું છે જેઓ ગેસ સંશ્લેષણ અને શુદ્ધિકરણ બંનેમાં નવીનતા લાવી શકે છે. તરીકે સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી વિકાસ થાય છે, તેમને આકાર આપવા માટે વપરાતા વાયુઓ પણ વિકસિત થવા જોઈએ.

અદ્યતન સામગ્રી સાથે ભવિષ્યવાદી સેમિકન્ડક્ટર વેફર ફેબ્રિકેશન

કી ટેકવેઝ

  • ફ્લોરિન આવશ્યક છે: ફ્લોરિન રસાયણશાસ્ત્ર માટે મુખ્ય સક્ષમ છે કોતરણી અને સ્વચ્છ માં પગલાં સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન.
  • શુદ્ધતા રાજા છે: ઉચ્ચ-શુદ્ધતા (6N) ખામીને રોકવા અને તેની ખાતરી કરવા માટે બિન-વાટાઘાટપાત્ર છે પ્રક્રિયા સ્થિરતા.
  • વાયુઓની વિવિધતા: વિવિધ વાયુઓ જેમ કે CF4, SF6, અને નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ માં ચોક્કસ ભૂમિકાઓ ભજવે છે બનાવટ.
  • પર્યાવરણીય અસર: મેનેજિંગ ગ્રીનહાઉસ ગેસ ઉત્સર્જન અને ઘટાડો એક જટિલ ઉદ્યોગ પડકાર છે.
  • સપ્લાય સુરક્ષા: એક મજબૂત પુરવઠા સાંકળ અને ઉત્પાદન અટકાવવા માટે વિશ્વસનીય ભાગીદારો જરૂરી છે.

જિઆંગસુ હુઆઝોંગ ગેસમાં, અમે આ પડકારોને સમજીએ છીએ કારણ કે અમે તેમને દરરોજ જીવીએ છીએ. તમને જરૂર છે કે કેમ ઉચ્ચ શુદ્ધતા ઝેનોન તમારી નવીનતમ ઇચ પ્રક્રિયા અથવા પ્રમાણભૂત ઔદ્યોગિક વાયુઓની વિશ્વસનીય ડિલિવરી માટે, અમે ભવિષ્યનું નિર્માણ કરતી તકનીકને સમર્થન આપવા માટે અહીં છીએ.