હુઆઝોંગ ગેસે ઔદ્યોગિક અને કલા અને વિજ્ઞાનમાં નિપુણતા મેળવવા માટે પોતાને સમર્પિત કર્યા છે વિશિષ્ટ ગેસ ઉત્પાદન આજના હાઇ-ટેક વિશ્વમાં, ખાસ કરીને અંદર સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ, માંગ અતિ ઉચ્ચ શુદ્ધતા વાયુઓ માત્ર એક પસંદગી નથી; તે એક સંપૂર્ણ આવશ્યકતા છે. આ લેખ ના જટિલ વિશ્વમાં delves અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ માટે ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓ. અમે અન્વેષણ કરીશું કે શા માટે સૌથી નાનું પણ અશુદ્ધિ પ્રચંડ પરિણામો આવી શકે છે, અમે આ પ્રપંચી કેવી રીતે શોધી શકીએ અશુદ્ધિઓ ટ્રેસ કરો, અને વ્યવસાયો માટે તેનો અર્થ શું છે. સમજણ ગેસની અશુદ્ધિઓ અને તેમના માટેની પદ્ધતિઓ શુદ્ધિકરણ અને શોધ, જેમ કે ICP-MS, આધુનિકની વિશ્વસનીયતા અને કામગીરીને સુનિશ્ચિત કરવાની ચાવી છે ઇલેક્ટ્રોનિક્સ. આ ભાગ તમારા સમય માટે યોગ્ય છે કારણ કે તે કડક જાળવણી પર ફેક્ટરી-આંતરિક પરિપ્રેક્ષ્ય આપે છે ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓની શુદ્ધતા, એક પાયાનો પથ્થર સેમિકન્ડક્ટર અને ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ક્ષેત્રો

ઇલેક્ટ્રોનિક સ્પેશિયાલિટી વાયુઓ બરાબર શું છે અને સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં તેમની શુદ્ધતા શા માટે એટલી મહત્વપૂર્ણ છે?

ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓ, ઘણીવાર તરીકે ઓળખવામાં આવે છે ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓ અથવા સેમિકન્ડક્ટર વાયુઓની અનન્ય શ્રેણી છે ઉચ્ચ શુદ્ધતા વાયુઓ અને ગેસ મિશ્રણ ખાસ કરીને ઈલેક્ટ્રોનિક ઘટકોના ઉત્પાદનમાં સામેલ જટિલ પ્રક્રિયાઓ માટે એન્જિનિયર્ડ. તેમને ડિજિટલ યુગના અદ્રશ્ય આર્કિટેક્ટ તરીકે વિચારો. આ સેમિકન્ડક્ટરમાં વપરાતા વાયુઓ ફેબ્રિકેશનમાં વિવિધ શ્રેણીનો સમાવેશ થાય છે, જેમ કે સિલિકોન સ્તરો જમા કરવા માટે સિલેન (SiH₄), ચેમ્બરની સફાઈ માટે નાઈટ્રોજન ટ્રાઈફ્લોરાઈડ (NF₃), આર્ગોન (એઆર) એક નિષ્ક્રિય ઢાલ તરીકે, અને વિવિધ ડોપિંગ વાયુઓ જેમ કે ફોસ્ફાઈન (PH₃) અથવા આર્સાઈન (AsH₃) ના વિદ્યુત ગુણધર્મોને બદલવા માટે સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી શબ્દ "ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા" પોતે તેમની અનુરૂપ એપ્લિકેશન અને તેમની રચનામાં જરૂરી અત્યંત ચોકસાઈને પ્રકાશિત કરે છે. આ તમારા રોજિંદા નથી ઔદ્યોગિક વાયુઓ; તેમના સ્પષ્ટીકરણો વધુ કડક છે.

તેમના સર્વોચ્ચ મહત્વ શુદ્ધતા અતિશયોક્તિ કરી શકાતી નથી, ખાસ કરીને માં સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન. આધુનિક ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ (ICs) ટ્રાન્ઝિસ્ટર અને વાહક માર્ગો ધરાવે છે જે અવિશ્વસનીય રીતે નાના હોય છે, જે ઘણીવાર નેનોમીટર (એક મીટરનો અબજો ભાગ) માં માપવામાં આવે છે. આ માઇક્રોસ્કોપિક સ્કેલ પર, એક પણ અનિચ્છનીય અણુ - એક અશુદ્ધિ- નાના પ્રવાહમાં પથ્થરની જેમ કાર્ય કરી શકે છે, ઇચ્છિત વિદ્યુત પ્રવાહને વિક્ષેપિત કરી શકે છે અથવા માળખાકીય ખામીઓનું કારણ બની શકે છે. આ ખામીયુક્ત ચિપ તરફ દોરી શકે છે, અને એવા ઉદ્યોગમાં જ્યાં એક જ વેફર પર લાખો ચિપ્સનું ઉત્પાદન થાય છે, વ્યાપકપણે નાણાકીય અને પ્રતિષ્ઠાનું નુકસાન દૂષણ અપાર હોઈ શકે છે. તેથી, ધ ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓની શુદ્ધતા એક પાયાનો આધારસ્તંભ છે જેના પર સમગ્ર ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ ઊભા છે. કોઈપણ અશુદ્ધિ ઉપકરણની કામગીરી, ઉપજ અને વિશ્વસનીયતા સાથે સમાધાન કરી શકે છે, સખત બનાવે છે ગેસ શુદ્ધતા નિયંત્રણ જરૂરી.

હુઆઝોંગ ગેસ પર, અમે સમજીએ છીએ કે અમારા ગ્રાહકો સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગો "ફાઇવ નાઇન્સ" (99.999%) અથવા તો "છ નાઇન" (99.9999%) શુદ્ધતા સ્તરોને પૂર્ણ કરતા અથવા તેનાથી વધુ ગેસ પ્રદાન કરવા માટે અમારા પર આધાર રાખો. આનો અર્થ એ છે કે કોઈપણ અશુદ્ધિ પાર્ટ્સ પ્રતિ મિલિયન (ppm) અથવા તો પાર્ટ્સ પ્રતિ બિલિયન (ppb) કરતાં ઓછી સાંદ્રતામાં હાજર હોવું આવશ્યક છે. આવી સિદ્ધિ મેળવવી અને તેની ચકાસણી કરવી ઉચ્ચ શુદ્ધતા સ્તરો અત્યાધુનિક જરૂરી છે શુદ્ધિકરણ તકનીકો અને, નિર્ણાયક રીતે, અદ્યતન અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ પદ્ધતિઓ એક અણધારી હાજરી અશુદ્ધિ સાથે સમસ્યાઓ પણ સૂચવી શકે છે ગેસ સિલિન્ડરો અથવા પુરવઠા શૃંખલા, સતત ગુણવત્તાની તપાસને મહત્વપૂર્ણ બનાવે છે. અમે અમારી ખાતરી કરીએ છીએ નાઇટ્રોજન સિલિન્ડર ઓફરિંગ્સ, ઉદાહરણ તરીકે, આ ચોક્કસ ધોરણોને પૂર્ણ કરે છે, કારણ કે ઘણા સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન સ્ટેપ્સમાં નાઇટ્રોજન એ વર્કહોર્સ ગેસ છે.

કેવી રીતે માઇક્રોસ્કોપિક ટ્રેસ અશુદ્ધિઓ સેમિકન્ડક્ટર પ્રોડક્શન લાઇનને પાટા પરથી ઉતારી શકે છે?

કેટલીકવાર કલ્પના કરવી મુશ્કેલ છે કે કેવી રીતે આટલું નાનું કંઈક, એ અશુદ્ધિ ટ્રેસ કરો પાર્ટ્સ પર બિલિયન (ppb) અથવા તો પાર્ટ્સ પ્રતિ ટ્રિલિયન (ppt) માં માપવામાં આવે છે, જે આવી નોંધપાત્ર સમસ્યાઓનું કારણ બની શકે છે. પરંતુ વિશ્વમાં સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન, આ માઇક્રોસ્કોપિક દૂષકો મુખ્ય વિલન છે. ચાલો એક સામાન્ય સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન પ્રક્રિયાને ધ્યાનમાં લઈએ: તેમાં ડઝનેક, કેટલીકવાર સેંકડો, ડિપોઝિશન (પાતળી ફિલ્મો મૂકવી), એચિંગ (સામગ્રી દૂર કરવી), અને આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન (ચોક્કસ અણુઓ દાખલ કરવા) જેવા નાજુક પગલાંનો સમાવેશ થાય છે. દરેક પગલું ચોક્કસ રીતે નિયંત્રિત રાસાયણિક વાતાવરણ પર આધાર રાખે છે, જે ઘણીવાર બનાવેલ અથવા જાળવવામાં આવે છે ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓ. જો એ વપરાયેલ ગેસ આમાંના એક પગલામાં અનિચ્છનીય છે અશુદ્ધિ, તે અશુદ્ધિ ના નાજુક સ્તરોમાં સમાવી શકાય છે સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ

દાખલા તરીકે, ધાતુની અશુદ્ધિઓ જેમ કે સોડિયમ, આયર્ન અથવા કોપર, અલ્ટ્રા-ઓછી સાંદ્રતામાં પણ, સિલિકોનના વિદ્યુત ગુણધર્મોમાં ધરખમ ફેરફાર કરી શકે છે. તેઓ અનિચ્છનીય વાહક માર્ગો બનાવી શકે છે, જે શોર્ટ સર્કિટ તરફ દોરી જાય છે, અથવા "ફાંસો" તરીકે કાર્ય કરી શકે છે જે ઇલેક્ટ્રોનના પ્રવાહને અવરોધે છે, ઉપકરણને ધીમું કરે છે અથવા તેને સંપૂર્ણ રીતે નિષ્ફળ બનાવે છે. એન અશુદ્ધિ પ્રક્રિયાના પગલામાં ઉદ્દેશિત રાસાયણિક પ્રતિક્રિયાઓમાં પણ દખલ કરી શકે છે. ઉદાહરણ તરીકે, એ દૂષિત એચિંગ ગેસમાં અંડર-એચિંગ અથવા ઓવર-એચિંગ થઈ શકે છે, જે વેફર પરની ચોક્કસ પેટર્નને બગાડે છે. અસર ફક્ત વ્યક્તિગત ચિપ્સ પર જ નથી; એક વણતપાસાયેલ અશુદ્ધિ આ મુદ્દો વેફર્સના સમગ્ર બેચને સ્ક્રેપ કરવામાં પરિણમી શકે છે, પરિણામે લાખો ડોલરની ખોટ, ઉત્પાદનમાં વિલંબ અને માર્ક શેન જેવા પ્રાપ્તિ અધિકારીઓ માટે માથાનો દુખાવો થાય છે, જેમને ગુણવત્તાયુક્ત સામગ્રીનો સ્થિર પુરવઠો સુનિશ્ચિત કરવાની જરૂર છે. આ મજબૂત માટે નિર્ણાયક જરૂરિયાતને પ્રકાશિત કરે છે ટ્રેસ અશુદ્ધિઓ માપ.

પડકાર એ છે કે કોઈપણ માટે "સ્વીકાર્ય" સ્તર અશુદ્ધિ તરીકે સંકોચતી રહે છે સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ સુવિધાઓ નાની થઈ જાય છે. જે સ્વીકાર્ય માનવામાં આવતું હતું અશુદ્ધિ એક દાયકા પહેલાનું સ્તર આપત્તિજનક હોઈ શકે છે દૂષણ આજે લઘુચિત્રીકરણ માટેની આ અવિરત ઝુંબેશ ગેસ ઉત્પાદકો અને વિશ્લેષણાત્મક પ્રયોગશાળાઓ પર સુધારો કરવા માટે ભારે દબાણ લાવે છે. શોધ મર્યાદા ક્ષમતાઓ સમ રજકણ અશુદ્ધિઓ, નરી આંખે અદૃશ્ય ધૂળના નાના સ્પેક્સ, ફોટોલિથોગ્રાફીના પગલાઓમાં પ્રકાશને અવરોધિત કરી શકે છે અથવા વેફરની સપાટી પર ભૌતિક ખામી સર્જી શકે છે. તેથી, દરેક સંભવિત નિયંત્રણ અશુદ્ધિ - વાયુયુક્ત, ધાતુ અથવા રજકણ - નિર્ણાયક છે. આ અશુદ્ધિઓની શ્રેણી જે સમસ્યાઓનું કારણ બની શકે છે તે વિશાળ છે, વ્યાપકની જરૂરિયાત પર ભાર મૂકે છે ગેસ વિશ્લેષણ.

સૌથી સામાન્ય ટ્રબલમેકર્સ શું છે? ઇલેક્ટ્રોનિક્સ માટે વાયુઓમાં અશુદ્ધિઓની ઓળખ કરવી.

જ્યારે આપણે વાત કરીએ છીએ વાયુઓમાં અશુદ્ધિઓ માટે બનાવાયેલ છે ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને સેમિકન્ડક્ટર સેક્ટર, અમે પાત્રોની વૈવિધ્યસભર કાસ્ટ જોઈ રહ્યા છીએ, જેમાં પ્રત્યેકમાં નોંધપાત્ર નુકસાન થવાની સંભાવના છે. આ અશુદ્ધિઓ શોધી શકાય છે વ્યાપક રીતે વાયુ, ધાતુ અને રજકણ સ્વરૂપોમાં વર્ગીકૃત કરી શકાય છે. આ સામાન્ય મુશ્કેલી સર્જનારાઓને સમજવું એ અસરકારકતાનું પ્રથમ પગલું છે અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ અને નિયંત્રણ. ચોક્કસ અશુદ્ધિઓ હાજર છે ગેસ પોતે, તેની ઉત્પાદન પદ્ધતિ, સંગ્રહ અને હેન્ડલિંગના આધારે બદલાઈ શકે છે.

વાયુયુક્ત અશુદ્ધિઓ મુખ્યમાં હાજર અન્ય વાયુઓ છે વિશિષ્ટ ગેસ. ઉદાહરણ તરીકે, માં ઉચ્ચ શુદ્ધતા નાઇટ્રોજન, સામાન્ય વાયુ અશુદ્ધિઓ ઓક્સિજન (O₂), ભેજ (H₂O), કાર્બન ડાયોક્સાઇડ (CO₂), કાર્બન મોનોક્સાઇડ (CO), અને હાઈડ્રોકાર્બન (CHₓ) નો સમાવેશ થઈ શકે છે. ઓક્સિજન અને ભેજ ખાસ કરીને સમસ્યારૂપ છે કારણ કે તે ખૂબ જ પ્રતિક્રિયાશીલ છે અને તેના અનિચ્છનીય ઓક્સિડેશન તરફ દોરી શકે છે. સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી અથવા પ્રક્રિયા સાધનો. એમાં પણ નિષ્ક્રિય ગેસ જેમ આર્ગોન, આ ટ્રેસ સ્તરો પર હાજર હોઈ શકે છે. એક કંપની તરીકે, અમે વારંવાર a ના વિશ્લેષણ માટેની વિનંતીઓ જોઈએ છીએ અશુદ્ધિઓની વિશાળ શ્રેણી, આ પ્રતિક્રિયાશીલ પ્રજાતિઓ સહિત. ઉદાહરણ તરીકે, અમારી ક્ષમતાઓમાં જટિલ ઉત્પાદનનો સમાવેશ થાય છે ગેસમિશ્રણ ઉત્પાદનો, જ્યાં સંભવિત વાયુ સહિત દરેક ઘટકને નિયંત્રિત કરે છે અશુદ્ધિઓ, સર્વોપરી છે.

ધાતુની અશુદ્ધિઓ અન્ય મુખ્ય ચિંતા છે. આ સોડિયમ (Na), પોટેશિયમ (K), કેલ્શિયમ (Ca), આયર્ન (Fe), તાંબુ (Cu), નિકલ (Ni), ક્રોમિયમ (Cr), અને એલ્યુમિનિયમ (Al) જેવી ધાતુઓના અણુઓ છે. તેઓ કાચા માલ, ઉત્પાદન સાધનો (જેમ કે પાઈપલાઈન અને રિએક્ટર) અથવા તો ગેસ સિલિન્ડરો જો યોગ્ય રીતે સારવાર ન કરવામાં આવે તો. ઉલ્લેખ કર્યો છે તેમ, આ ધાતુની અશુદ્ધિઓ ની વિદ્યુત કામગીરીને ગંભીર અસર કરી શકે છે સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણો ppb અથવા ppt સ્તરે આને શોધવા માટે અત્યંત સંવેદનશીલ વિશ્લેષણાત્મક તકનીકોની જરૂર છે જેમ કે ઇન્ડક્ટિવલી કપલ્ડ પ્લાઝમા માસ સ્પેક્ટ્રોમેટ્રી (ICP-MS). આપણે પણ ધ્યાનમાં લેવાની જરૂર છે રજકણ બાબત આ નાના ઘન અથવા પ્રવાહી કણો છે ગેસનો પ્રવાહ. તેઓ વેફર્સ પર ભૌતિક ખામી પેદા કરી શકે છે, સાધનોમાં નોઝલ બ્લોક કરી શકે છે અથવા અન્ય પરિચય આપી શકે છે દૂષકો. ગાળણ કણોને દૂર કરવા માટે ચાવીરૂપ છે, પરંતુ તેમના સ્તરનું નિરીક્ષણ કરવું એ પણ એક વ્યાપક ભાગ છે ગેસ ગુણવત્તા કાર્યક્રમ કેટલાક ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓ પણ છે સડો કરતા વાયુઓ અથવા ઝેરી વાયુઓ, જે તેમના હેન્ડલિંગ અને વિશ્લેષણમાં જટિલતાના અન્ય સ્તરને ઉમેરે છે, તેની ખાતરી કરે છે કે અશુદ્ધિ પ્રોફાઇલ આ જોખમોને વધારતી નથી.

ICP-MS: સેમિકન્ડક્ટર ગેસમાં ધાતુની અશુદ્ધિઓ શોધવા માટેનું ગોલ્ડ સ્ટાન્ડર્ડ?

જ્યારે તે આવે છે ધાતુની અશુદ્ધિઓનું વિશ્લેષણ માં અતિ-ઉચ્ચ શુદ્ધતા વાયુઓ, ઇન્ડક્ટિવલી કપલ્ડ પ્લાઝમા માસ સ્પેક્ટ્રોમેટ્રી, અથવા ICP-MS, વ્યાપકપણે અગ્રણી ટેકનોલોજી તરીકે ગણવામાં આવે છે. તે એક શક્તિશાળી વિશ્લેષણાત્મક તકનીક છે જે વિશાળ શ્રેણીને શોધી અને પ્રમાણિત કરી શકે છે મૂળભૂત અશુદ્ધિઓ, ઘણીવાર આશ્ચર્યજનક રીતે નીચા સ્તરે - કેટલાક તત્વો માટે પાર્ટ્સ-પર-ટ્રિલિયન (ppt) અથવા તો ભાગો-પર-ક્વાડ્રિલિયન (ppq) વિશે વિચારો. આ સંવેદનશીલતા ચોક્કસ શા માટે છે ICP-MS માટે ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ બની ગયું છે સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ, જ્યાં, જેમ આપણે ચર્ચા કરી છે, તેના મિનિટના નિશાન પણ ધાતુની અશુદ્ધિઓ માટે હાનિકારક બની શકે છે ઉત્પાદન ગુણવત્તા.

કેવી રીતે કરે છે ICP-MS તેનો જાદુ કામ કરે છે? સરળ શબ્દોમાં, ધ નમૂના ગેસ (અથવા ગેસમાંથી મેળવેલા સોલ્યુશન)ને ખૂબ જ ગરમ પ્લાઝ્મામાં દાખલ કરવામાં આવે છે, સામાન્ય રીતે આર્ગોન. આ પ્લાઝ્મા, 6,000 થી 10,000 °C ના તાપમાને પહોંચે છે, તે ગેસના પરમાણુઓને તોડી નાખવા અને કોઈપણ સહિત હાજર પરમાણુઓને આયનીકરણ કરવા માટે પૂરતું ઊર્જાસભર છે. ધાતુની અશુદ્ધિઓ. આ આયનો પછી પ્લાઝ્મામાંથી કાઢવામાં આવે છે અને માસ સ્પેક્ટ્રોમીટરમાં માર્ગદર્શન આપવામાં આવે છે. માસ સ્પેક્ટ્રોમીટર ખૂબ જ ચોક્કસ ફિલ્ટરની જેમ કાર્ય કરે છે, આયનોને તેમના માસ-ટુ-ચાર્જ ગુણોત્તરના આધારે અલગ કરે છે. એ શોધક પછી દરેક ચોક્કસ સમૂહ માટે આયનોની ગણતરી કરે છે, જે આપણને ઓળખવા દે છે કે કયા તત્વો હાજર છે અને કયા જથ્થામાં છે. ની ક્ષમતા ICP-MS ના વ્યાપક સ્પેક્ટ્રમ માટે સ્કેન કરવા માટે વિશિષ્ટ વાયુઓમાં ધાતુની અશુદ્ધિઓ સાથે સાથે તે અત્યંત કાર્યક્ષમ બનાવે છે.

જ્યારે ICP-MS અતિ શક્તિશાળી છે, તે તેના પડકારો વિના નથી, ખાસ કરીને જ્યારે તેની સાથે વ્યવહાર કરવામાં આવે છે સેમિકન્ડક્ટરમાં વપરાતા વાયુઓ બનાવટ એક સામાન્ય અભિગમ ફસાવવાનો છે અશુદ્ધિઓ ગેસના મોટા જથ્થામાંથી સંગ્રહ માધ્યમ પર અથવા પ્રવાહીમાં, જેનું પછી વિશ્લેષણ કરવામાં આવે છે ICP-MS. જો કે, ડાયરેક્ટ ગેસ ડાયરેક્ટ ઈન્જેક્શન માં ICP-MS સિસ્ટમ પણ અમુક એપ્લિકેશનો માટે વધુ સામાન્ય બની રહી છે, જોકે તેને વિશિષ્ટ ઇન્ટરફેસની જરૂર છે. પદ્ધતિની પસંદગી ચોક્કસ પર આધાર રાખે છે ગેસની અશુદ્ધિઓ વ્યાજ, મેટ્રિક્સ ગેસ અને જરૂરી શોધ મર્યાદા. હુઆઝોંગ ગેસમાં, અમે અત્યાધુનિક વિશ્લેષણાત્મક સાધનોમાં ભારે રોકાણ કરીએ છીએ, જેમાં ICP-MS ક્ષમતાઓ, કારણ કે આપણે જાણીએ છીએ કે વિશ્વસનીય પ્રદાન કરે છે અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ અમારા ગ્રાહકો અમારા પર જે વિશ્વાસ મૂકે છે તેના માટે ડેટા મૂળભૂત છે ઉચ્ચ શુદ્ધતા ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓ ની ચોકસાઇ ICP-MS તેની ખાતરી કરવામાં મદદ કરે છે વાયુઓની શુદ્ધતા માટેની કડક માંગણીઓને પૂર્ણ કરે છે ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ સામગ્રી

ઈલેક્ટ્રોનિક્સ અને સેમિકન્ડક્ટર ઈન્ડસ્ટ્રીઝ માટે અતૂટ ગેસ શુદ્ધતા શા માટે બિન-વાટાઘાટપાત્ર છે?

અતૂટ જરૂરિયાત ગેસ શુદ્ધતા માં ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગો માત્ર એક પસંદગી નથી; તે આધુનિક ઉપકરણ ઉત્પાદનના ભૌતિકશાસ્ત્ર અને અર્થશાસ્ત્ર દ્વારા સંચાલિત મૂળભૂત આવશ્યકતા છે. તરીકે સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ સુવિધાઓ નેનોમીટર સ્કેલ પર સંકોચાય છે, તેમની કોઈપણ પ્રકારની સંવેદનશીલતા દૂષણ સ્કાયરોકેટ્સ એન અશુદ્ધિ જે કદાચ જુના, મોટા ઉપકરણોમાં નહિવત્ હોઈ શકે છે તે હવે કટીંગ-એજ ચિપ્સમાં આપત્તિજનક નિષ્ફળતાઓનું કારણ બની શકે છે. આ ઉપજને સીધી અસર કરે છે - વેફર દીઠ સારી ચિપ્સની ટકાવારી - અને ઉપજમાં થોડો ઘટાડો પણ લાખો ડોલરની ખોવાયેલી આવકમાં અનુવાદ કરી શકે છે. સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદક

આધુનિક માઇક્રોપ્રોસેસર અથવા મેમરી ચિપના જટિલ આર્કિટેક્ચર વિશે વિચારો. તેમાં અબજો ટ્રાન્ઝિસ્ટર છે, દરેક લઘુચિત્ર એન્જિનિયરિંગનો અજાયબી છે. આ ટ્રાન્ઝિસ્ટરનું પ્રદર્શન તેના ચોક્કસ વિદ્યુત ગુણધર્મો પર આધારિત છે સેમિકન્ડક્ટર વપરાયેલી સામગ્રી, જે બદલામાં, અત્યંત સંવેદનશીલ હોય છે અશુદ્ધિઓ. ઉદાહરણ તરીકે, ચોક્કસ ધાતુની અશુદ્ધિઓ સિલિકોન બેન્ડ ગેપમાં અનિચ્છનીય ઉર્જા સ્તરો દાખલ કરી શકે છે, જે લિકેજ વર્તમાનમાં વધારો અથવા વાહક ગતિશીલતામાં ઘટાડો તરફ દોરી જાય છે. આનો અર્થ છે ધીમા, ઓછા કાર્યક્ષમ અથવા સંપૂર્ણપણે બિન-કાર્યક્ષમ ઉપકરણો. વાયુયુક્ત અશુદ્ધિઓ જેમ કે ઓક્સિજન અથવા ભેજ અનિચ્છનીય ઓક્સાઇડ સ્તરોની રચના તરફ દોરી શકે છે, ફિલ્મની જાડાઈ અથવા ઇન્ટરફેસ ગુણધર્મોને બદલી શકે છે જે ઉપકરણની કામગીરી માટે મહત્વપૂર્ણ છે. એકંદરે ગેસ ગુણવત્તા સીધો અનુવાદ કરે છે ઉત્પાદન ગુણવત્તા અને વિશ્વસનીયતા.

વધુમાં, ધ ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગો અત્યંત જટિલ અને ખર્ચાળ ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓ દ્વારા વર્ગીકૃત થયેલ છે. એક સિંગલ સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન પ્લાન્ટ ("ફેબ") બનાવવા અને સજ્જ કરવા માટે અબજો ડોલરનો ખર્ચ થઈ શકે છે. આ વપરાયેલ વાયુઓ આમાંના ઘણા ખર્ચાળ પ્રક્રિયા પગલાં માટે અભિન્ન છે. જો એ વિશિષ્ટ ગેસ સાથે દૂષિત છે અશુદ્ધિ, તે હાલમાં પ્રક્રિયા કરવામાં આવી રહેલી વેફર્સને અસર કરતું નથી; તે ખર્ચાળ પ્રોસેસિંગ સાધનોને પણ દૂષિત કરી શકે છે. આ સફાઈ અને પુનઃયોગ્યતા માટે વિસ્તૃત ડાઉનટાઇમ તરફ દોરી શકે છે, વધુ ખર્ચમાં વધારો કરી શકે છે અને ઉત્પાદન સમયપત્રકને વિક્ષેપિત કરી શકે છે - માર્ક શેન જેવી વ્યક્તિ માટે એક મુખ્ય પીડા બિંદુ, જે તેના ગ્રાહકોની માંગને પહોંચી વળવા સમયસર ડિલિવરી પર આધાર રાખે છે. તેથી, ખાતરી કરવી ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓની શુદ્ધતા સખત દ્વારા અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ સમગ્ર પુરવઠા શૃંખલા માટે એક જટિલ જોખમ ઘટાડવાની વ્યૂહરચના છે. પર ફોકસ ઉચ્ચ શુદ્ધતા વાયુઓ અવિરત છે કારણ કે દાવ અતિ ઊંચો છે.

વિશેષ વાયુઓમાં ધાતુની અશુદ્ધિઓના વિશ્લેષણમાં આપણે કયા મુખ્ય પડકારોનો સામનો કરીએ છીએ?

વિશ્લેષણ ધાતુની અશુદ્ધિઓ માં ખાસ વાયુઓ, ખાસ કરીને જેનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ, પડકારોનો અનોખો સમૂહ રજૂ કરે છે. પ્રાથમિક મુશ્કેલી અત્યંત નીચી સાંદ્રતામાંથી ઉદ્દભવે છે કે જેના પર આ અશુદ્ધિઓ સમસ્યારૂપ હોઈ શકે છે - ઘણીવાર પાર્ટ્સ-પર-બિલિયન (ppb) અથવા તો પાર્ટ્સ-પર-ટ્રિલિયન (ppt) રેન્જમાં. આવી મિનિટની માત્રા શોધવા અને સચોટ રીતે માપવા માટે માત્ર અત્યંત સંવેદનશીલ વિશ્લેષણાત્મક સાધનની જરૂર નથી જેમ કે ICP-MS પણ બાહ્ય પરિચય ટાળવા માટે અસાધારણ રીતે an_alytical વાતાવરણ અને ઝીણવટભર્યા નમૂના હેન્ડલિંગ પ્રોટોકોલ્સને સાફ કરો દૂષણ.

એક નોંધપાત્ર પડકાર એ નમૂનાનો પરિચય છે. ઘણા વિશિષ્ટ વાયુઓ વપરાય છે માં ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અત્યંત પ્રતિક્રિયાશીલ, ક્ષતિગ્રસ્ત અથવા તો પાયરોફોરિક (હવામાં સ્વયંભૂ સળગાવવું) છે. આને સુરક્ષિત અને અસરકારક રીતે સ્થાનાંતરિત કરો વાયુઓ જેમ કે વિશ્લેષણાત્મક સાધનમાં ICP-MS ફેરફાર કર્યા વિના નમૂના ગેસ અથવા સાધનને દૂષિત કરવા માટે વિશિષ્ટ ઇન્ટરફેસ અને હેન્ડલિંગ પ્રક્રિયાઓની જરૂર પડે છે. દાખલા તરીકે, સીધું ઇન્જેક્શન એ સડો કરતા ગેસ જેમ કે હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડ (HCl) ને ધોરણમાં ICP-MS સિસ્ટમ તેને ગંભીર નુકસાન પહોંચાડી શકે છે. તેથી, પરોક્ષ પદ્ધતિઓ, જેમ કે ઇમ્પિંગર ટ્રેપિંગ (કેપ્ચર કરવા માટે પ્રવાહી દ્વારા ગેસનો પરપોટો અશુદ્ધિઓ) અથવા ક્રાયોજેનિક ટ્રેપિંગનો ઉપયોગ ઘણીવાર થાય છે. જો કે, આ પદ્ધતિઓ તેમના પોતાના સંભવિત સ્ત્રોતો રજૂ કરી શકે છે દૂષણ અથવા વિશ્લેષિત નુકશાન જો સંપૂર્ણ રીતે કરવામાં ન આવે. ની પસંદગી વાહક ગેસ મંદન માટે, જો જરૂરી હોય તો, તે પણ દોષરહિત હોવું જોઈએ શુદ્ધતા.

બીજો પડકાર "મેટ્રિક્સ ઇફેક્ટ" છે. બલ્ક ગેસ પોતે (દા.ત., આર્ગોન, નાઇટ્રોજન, હાઇડ્રોજન) ની શોધમાં દખલ કરી શકે છે અશુદ્ધિઓ ટ્રેસ કરો. ઉદાહરણ તરીકે, માં ICP-MS, પ્લાઝ્મા બલ્કમાંથી રચાય છે ગેસ પોલીઆટોમિક આયનો બનાવી શકે છે જેનો સમૂહ-થી-ચાર્જ ગુણોત્તર અમુક લક્ષ્ય જેટલો જ હોય ​​છે ધાતુની અશુદ્ધિઓ, ખોટા હકારાત્મક અથવા અચોક્કસ પરિમાણ તરફ દોરી જાય છે. વિશ્લેષકોએ અથડામણ/પ્રતિક્રિયા કોષો જેવી તકનીકોનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ ICP-MS અથવા આ સ્પેક્ટ્રલ હસ્તક્ષેપને દૂર કરવા માટે ઉચ્ચ-રિઝોલ્યુશન માસ સ્પેક્ટ્રોમેટ્રી. વધુમાં, માપાંકન ધોરણો માપાંકન માટે વપરાય છે ધાતુની અશુદ્ધિઓ અત્યંત સચોટ અને શોધી શકાય તેવું હોવું જોઈએ, અને સમગ્ર વિશ્લેષણાત્મક પ્રક્રિયાની વિશ્વસનીયતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે માન્ય હોવી જોઈએ. અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ પરિણામો અમે, એક સપ્લાયર તરીકે, ની અખંડિતતા વિશે પણ ચિંતા કરીએ છીએ ગેસ સિલિન્ડરો અને તેમની યોગદાનની ક્ષમતા ધાતુની અશુદ્ધિઓ સમય જતાં, જે ચાલુ ગુણવત્તા નિયંત્રણ જરૂરી છે.

શું ગેસ એક્સચેન્જ ઉપકરણનો ઉપયોગ ટ્રેસ અશુદ્ધિઓના માપનની ચોકસાઈને વધારી શકે છે?

હા, ગેસ વિનિમય ઉપકરણનો ઉપયોગ કરીને ની ચોકસાઈ વધારવામાં ખરેખર નોંધપાત્ર ભૂમિકા ભજવી શકે છે ટ્રેસ અશુદ્ધિઓ માપ, ખાસ કરીને જ્યારે પડકારરૂપ સાથે વ્યવહાર કરવામાં આવે છે ગેસ મેટ્રિસિસ અથવા જ્યારે અલ્ટ્રા-લો માટે લક્ષ્ય રાખ્યું હોય શોધ મર્યાદા. એ ગેસ વિનિમય ઉપકરણ, કેટલીકવાર મેટ્રિક્સ એલિમિનેશન સિસ્ટમ તરીકે ઓળખવામાં આવે છે, અનિવાર્યપણે બલ્કને પસંદગીયુક્ત રીતે દૂર કરીને કાર્ય કરે છે ગેસ (નો મુખ્ય ઘટક નમૂના ગેસ) ધ્યાન કેન્દ્રિત કરતી વખતે અશુદ્ધિઓ ટ્રેસ કરો રસ. આ પૂર્વ-એકાગ્રતા પગલું અનુગામી વિશ્લેષણાત્મક તકનીકોની સંવેદનશીલતાને નાટ્યાત્મક રીતે સુધારી શકે છે જેમ કે ICP-MS અથવા ગેસ ક્રોમેટોગ્રાફ સિસ્ટમો

ઘણા પાછળ સિદ્ધાંત ગેસ વિનિમય ઉપકરણો અર્ધ-પારગમ્ય પટલ અથવા પસંદગીયુક્ત શોષણ/શોષણ પદ્ધતિનો સમાવેશ થાય છે. ઉદાહરણ તરીકે, a માંથી હાઇડ્રોજનને પસંદગીયુક્ત રીતે દૂર કરવા માટે પેલેડિયમ પટલનો ઉપયોગ કરી શકાય છે ગેસ મિશ્રણ, અન્ય પરવાનગી આપે છે વાયુઓમાં અશુદ્ધિઓ ધ્યાન કેન્દ્રિત કરવું અને a ને પસાર કરવું શોધક. તેવી જ રીતે, ચોક્કસ શોષક સામગ્રી ચોક્કસને ફસાવી શકે છે અશુદ્ધિઓ વહેતા માંથી ગેસ સ્ટ્રીમ, જે પછી સ્વચ્છના નાના જથ્થામાં થર્મલી ડિસોર્બ કરી શકાય છે વાહક ગેસ વિશ્લેષણ માટે. બલ્કની માત્રામાં ઘટાડો કરીને ગેસ સુધી પહોંચે છે શોધક, આ ઉપકરણો મેટ્રિક્સ હસ્તક્ષેપને ઘટાડે છે, પૃષ્ઠભૂમિ અવાજ ઘટાડે છે, અને લક્ષ્ય માટે સિગ્નલ-ટુ-અવાજ ગુણોત્તર અસરકારક રીતે વધારે છે. અશુદ્ધિઓ ટ્રેસ કરો. આ નીચા તરફ દોરી શકે છે તપાસની મર્યાદા.

ના ફાયદા ગેસ વિનિમય ઉપકરણનો ઉપયોગ કરીને વિશ્લેષણ કરતી વખતે ખાસ કરીને સ્પષ્ટ થાય છે ઇલેક્ટ્રોનિકમાં અશુદ્ધિઓ વાયુઓ કે જે સીધી રીતે હેન્ડલ કરવા મુશ્કેલ છે અથવા જે વિશ્લેષણાત્મક સાધનોમાં નોંધપાત્ર દખલ કરે છે. ઉદાહરણ તરીકે, જ્યારે અત્યંત પ્રતિક્રિયાશીલમાં ટ્રેસ ઓક્સિજન અથવા ભેજને માપવાનો પ્રયાસ કરવામાં આવે છે વિશિષ્ટ ગેસ, એ ગેસ વિનિમય ઉપકરણ સંભવિત રીતે આને અલગ કરી શકે છે અશુદ્ધિઓ વધુ સૌમ્ય માં વાહક ગેસ જેમ આર્ગોન અથવા હિલીયમ સુધી પહોંચે તે પહેલાં શોધક. આ માત્ર ચોકસાઈને સુધારે છે પરંતુ સંવેદનશીલ વિશ્લેષણાત્મક ઘટકોને પણ સુરક્ષિત કરી શકે છે. ના ઉત્પાદક તરીકે 99.999% શુદ્ધતા 50L સિલિન્ડર ઝેનોન ગેસ, અમે અસાધારણતાને ચકાસવામાં આવી અદ્યતન તકનીકોના મૂલ્યને સમજીએ છીએ શુદ્ધતા દુર્લભ અને ખાસ વાયુઓ. આ ટેક્નોલોજી જટિલમાં મદદ કરે છે ગેસ શુદ્ધિકરણ અને ચકાસણીના તબક્કા.

નિર્ણાયક કડી: સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં સીધા ઉપયોગમાં લેવાતા વાયુઓમાં અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ.

આ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં સીધો ઉપયોગ થાય છે ફેબ્રિકેશન પ્રક્રિયાનું જીવન છે. આમાં માત્ર નથી જથ્થાબંધ વાયુઓ જેમ કે નાઇટ્રોજન અને આર્ગોન, પણ ની વિશાળ શ્રેણી ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓ જેમ કે એપિટેક્સિયલ વાયુઓ (દા.ત., સિલેન, વધતી જતી સ્ફટિક સ્તરો માટે જર્મન), એચીંગ વાયુઓ (દા.ત., પેટર્નિંગ માટે NF₃, SF₆, Cl₂), આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન વાયુઓ (દા.ત., આર્સિન, ફોસ્ફીન, ડોપિંગ માટે બોરોન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ), અને ડિપોઝિશન વાયુઓ. આ દરેક માટે જરૂરી ગેસ, સ્વીકાર્ય સ્તર અને પ્રકાર અશુદ્ધિ સખત રીતે વ્યાખ્યાયિત કરવામાં આવે છે કારણ કે કોઈપણ વિચલન સીધું જ ખામીઓમાં પરિવર્તિત થઈ શકે છે સેમિકન્ડક્ટર વેફર આ બનાવે છે અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ આ માટે પ્રક્રિયા વાયુઓ એકદમ નિર્ણાયક ગુણવત્તા નિયંત્રણ પગલું.

પાતળા સિલિકોન ડાયોક્સાઇડ સ્તરના જુબાનીનો વિચાર કરો, ટ્રાંઝિસ્ટરમાં સામાન્ય ઇન્સ્યુલેટર. જો ઓક્સિજન ગેસનો ઉપયોગ થાય છે આ પ્રક્રિયા માટે હાઇડ્રોકાર્બન સમાવે છે અશુદ્ધિઓ, કાર્બનને ઓક્સાઇડ સ્તરમાં સમાવી શકાય છે, જે તેના ઇન્સ્યુલેટીંગ ગુણધર્મોને બગાડે છે અને સંભવિત રીતે ઉપકરણની નિષ્ફળતા તરફ દોરી જાય છે. એ જ રીતે, જો એક કોતરણી ગેસ અનપેક્ષિત સમાવે છે અશુદ્ધિ, તે એચ રેટ અથવા પસંદગીમાં ફેરફાર કરી શકે છે, જે ખૂબ મોટી, ખૂબ નાની અથવા ખોટી રીતે આકારની સુવિધાઓ તરફ દોરી જાય છે. પણ એક અશુદ્ધિ માં નિષ્ક્રિય ગેસ જેમ આર્ગોન ગેસ સિલિન્ડર સ્પુટરિંગ માટે વપરાયેલ વેફર સપાટી પર ટ્રાન્સફર કરી શકાય છે, જે ફિલ્મની ગુણવત્તાને અસર કરે છે. ની અસર અશુદ્ધિ ઘણીવાર પ્રક્રિયા-વિશિષ્ટ હોય છે, જેનો અર્થ થાય છે અશુદ્ધિ એક પગલામાં સહન કરવું મહત્વપૂર્ણ હોઈ શકે છે દૂષિત બીજામાં.

આ નિર્ણાયક કડી માટે વ્યાપક અભિગમની આવશ્યકતા છે અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ. તે માત્ર અંતિમ ઉત્પાદન તપાસવા વિશે નથી; તેમાં કાચા માલનું મોનિટરિંગ, પ્રક્રિયામાં સ્ટ્રીમ્સ અને અંતિમનો સમાવેશ થાય છે ગેસ શુદ્ધિકરણના તબક્કા. માટે સેમિકન્ડક્ટર વિશેષતા વાયુઓ, માટે સ્પષ્ટીકરણો સેમિકન્ડક્ટરમાં અશુદ્ધિઓ ઍપ્લિકેશનો ઘણીવાર અત્યંત ચુસ્ત હોય છે, જે વિશ્લેષણાત્મક શોધની સીમાઓને આગળ ધપાવે છે. અમે અમારા ગ્રાહકો સાથે નજીકથી કામ કરીએ છીએ સેમિકન્ડક્ટર અને ઇલેક્ટ્રોનિક્સ તેમના વિશિષ્ટ સમજવા માટે ક્ષેત્ર અશુદ્ધિ વિવિધ માટે સંવેદનશીલતા વાયુઓ અને ગેસ મિશ્રણ. આ સહયોગી અભિગમ એ સુનિશ્ચિત કરવામાં મદદ કરે છે કે શુદ્ધતા વિશેષતા વાયુઓ અમે તેમની અદ્યતન મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયાઓની માગણી જરૂરિયાતોને સતત પૂરી કરીએ છીએ. પડકાર એ શોધવામાં રહેલો છે અશુદ્ધિઓની વિશાળ શ્રેણી સતત ઘટતા સ્તરે.

બિયોન્ડ ધ લેબ: દૂષિતતાને રોકવા માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા સેમિકન્ડક્ટર ગેસને હેન્ડલ કરવા માટેની શ્રેષ્ઠ પદ્ધતિઓ.

ખાતરી કરવી ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓની શુદ્ધતા સમાપ્ત થતું નથી જ્યારે ગેસ અમારી ઉત્પાદન સુવિધા છોડી દે છે. તે જાળવવું શુદ્ધતા a માં ઉપયોગના બિંદુ સુધીની બધી રીતે સેમિકન્ડક્ટર ફેબને હેન્ડલિંગ, સ્ટોરેજ અને વિતરણ પર ઝીણવટપૂર્વક ધ્યાન આપવાની જરૂર છે. પણ સૌથી વધુ શુદ્ધતા ગેસ જો યોગ્ય રીતે વ્યવસ્થાપન ન કરવામાં આવે તો તે દૂષિત થઈ શકે છે. હુઆઝોંગ ગેસ પર, અમે માત્ર ઉત્પાદન પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરતા નથી ઉચ્ચ શુદ્ધતા વાયુઓ પરંતુ અમારા ગ્રાહકોને ડાઉનસ્ટ્રીમને રોકવા માટે શ્રેષ્ઠ પ્રયાસો વિશે પણ સલાહ આપો દૂષણ.

મુખ્ય શ્રેષ્ઠ પ્રયાસોમાં શામેલ છે:

• ઘટકોની પસંદગી: ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમના તમામ ઘટકો - સહિત ગેસ સિલિન્ડરો, રેગ્યુલેટર, વાલ્વ, ટ્યુબિંગ અને ફીટીંગ્સ – યોગ્ય સામગ્રી (દા.ત., ઈલેક્ટ્રોપોલિશ્ડ સ્ટેઈનલેસ સ્ટીલ)માંથી બનેલી હોવી જોઈએ અને ખાસ કરીને સાફ અને પ્રમાણિત હોવી જોઈએ. અતિ ઉચ્ચ શુદ્ધતા (UHP) સેવા. ખોટી સામગ્રીનો ઉપયોગ કરવાથી આઉટગેસ થઈ શકે છે અશુદ્ધિઓ અથવા એ ધાતુની અશુદ્ધિ માં leaching ગેસનો પ્રવાહ.
• સિસ્ટમ અખંડિતતા: ગેસ ડિલિવરી સિસ્ટમ લીક-ટાઈટ હોવી જોઈએ. નાના લિક પણ વાતાવરણને મંજૂરી આપી શકે છે દૂષકો જેમ કે ઓક્સિજન, ભેજ અને રજકણ સિસ્ટમ દાખલ કરવા માટે બાબત, સમાધાન ગેસ શુદ્ધતા. નિયમિત લીક તપાસ જરૂરી છે.
• શુદ્ધિકરણ પ્રક્રિયાઓ: જ્યારે પણ કનેક્શન બનાવવામાં આવે અથવા સિલિન્ડર બદલાય ત્યારે યોગ્ય શુદ્ધિકરણ પ્રક્રિયાઓ મહત્વપૂર્ણ છે. આમાં એ સાથે લીટીઓને ફ્લશ કરવાનો સમાવેશ થાય છે ઉચ્ચ શુદ્ધતા નિષ્ક્રિય ગેસ (જેમ કે આર્ગોન અથવા નાઇટ્રોજન) કોઈપણ ફસાયેલી હવાને દૂર કરવા અથવા અશુદ્ધિઓ. અપર્યાપ્ત શુદ્ધિકરણ એ એક સામાન્ય સ્ત્રોત છે દૂષણ. સુસંગતતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે અમે વારંવાર સ્વચાલિત પર્જ પેનલ્સની ભલામણ કરીએ છીએ.
• સમર્પિત સાધનો: વિશિષ્ટ માટે સમર્પિત નિયમનકારો અને રેખાઓનો ઉપયોગ કરવો વાયુઓ અથવા ના પરિવારો વાયુઓ ક્રોસ-પ્રદૂષણ અટકાવી શકે છે. એક વચ્ચે સ્વિચ કરતી વખતે આ ખાસ કરીને મહત્વનું છે નિષ્ક્રિય ગેસ અને પ્રતિક્રિયાશીલ અથવા સડો કરતા ગેસ.
• સિલિન્ડર હેન્ડલિંગ: ગેસ સિલિન્ડરો નુકસાન ટાળવા માટે કાળજી સાથે નિયંત્રિત કરવું જોઈએ. તેમને નિયુક્ત, સારી રીતે વેન્ટિલેટેડ વિસ્તારોમાં સંગ્રહિત કરવા જોઈએ અને "ફર્સ્ટ-ઈન, ફર્સ્ટ-આઉટ" ઈન્વેન્ટરી મેનેજમેન્ટનો અભ્યાસ કરવો જોઈએ. ઉપયોગ કરીને સમર્પિત ભેજ અને ઓક્સિજન નિર્ણાયક બિંદુઓ પર વિશ્લેષકો પણ આ સામાન્યના કોઈપણ પ્રવેશ માટે મોનિટર કરવામાં મદદ કરી શકે છે અશુદ્ધિઓ.

માર્ક શેન જેવા ગ્રાહકો માટે, જેઓ પુનર્વેચાણ માટે અથવા ઉત્પાદનમાં ઉપયોગ માટે ગેસ મેળવે છે, આ હેન્ડલિંગ પ્રેક્ટિસને સમજવી જરૂરી છે. ઉત્પાદન ગુણવત્તા તેઓ તેમના પોતાના ગ્રાહકોને વચન આપે છે. તે સહિયારી જવાબદારી છે. અમે અમારી ખાતરી કરીએ છીએ હાઇડ્રોજન સિલિન્ડર ઉત્પાદનો, દાખલા તરીકે, રોકવા માટે ભરવામાં આવે છે અને જાળવવામાં આવે છે અશુદ્ધિ પ્રવેશ કરે છે, પરંતુ અંતિમ-વપરાશકર્તાની સિસ્ટમ પણ એટલી જ મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. સામેની લડાઈ અશુદ્ધિ ઉત્પાદનથી એપ્લિકેશન સુધી સતત પ્રયાસ છે.

ક્રિસ્ટલ બૉલ તરફ જોવું: ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ વાયુઓ માટે અશુદ્ધતા શોધમાં આપણે ભવિષ્યમાં કઈ નવીનતાઓની અપેક્ષા રાખી શકીએ?

સદા-ઉચ્ચની શોધ શુદ્ધતા માં ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ વાયુઓ અને વધુ સંવેદનશીલ અશુદ્ધિ શોધ પદ્ધતિઓ એ એક સતત પ્રવાસ છે, જે માં નવીનતાની અવિરત ગતિથી ચાલે છે સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ જેમ જેમ ઉપકરણની સુવિધાઓ પેટા-10 નેનોમીટર ક્ષેત્રમાં વધુ સંકોચાઈ રહી છે અને નવી સામગ્રી અને આર્કિટેક્ચર્સ (જેમ કે 3D NAND અને ગેટ-ઓલ-અરાઉન્ડ ટ્રાન્ઝિસ્ટર) ઉભરી આવે છે, તેમ તેમ ની અસર પણ ઓછી થાય છે. અશુદ્ધિઓ ટ્રેસ કરો વધુ સ્પષ્ટ થશે. આ બંનેમાં વધુ પ્રગતિની જરૂર પડશે ગેસ શુદ્ધિકરણ ટેકનોલોજી અને અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ ક્ષમતાઓ

અમે ઘણા વલણોની અપેક્ષા રાખી શકીએ છીએ:

• નીચલી તપાસ મર્યાદા: વિશ્લેષણાત્મક તકનીકો જેવી ICP-MS, ગેસ ક્રોમેટોગ્રાફી-માસ સ્પેક્ટ્રોમેટ્રી (GC-MS), અને કેવિટી રિંગ-ડાઉન સ્પેક્ટ્રોસ્કોપી (CRDS) આગળ વધવાનું ચાલુ રાખશે. શોધ મર્યાદા વિશાળ માટે અશુદ્ધિઓની શ્રેણી સિંગલ-ડિજિટ ppt સ્તર સુધી અથવા તો ppq ડોમેનમાં પણ. આના માટે આયન સ્ત્રોતો, માસ વિશ્લેષકો અને નવીનતાઓની જરૂર પડશે શોધક ટેકનોલોજી
• ઇન-સીટુ અને રીઅલ-ટાઇમ મોનિટરિંગ: મોનિટર કરી શકે તેવી વિશ્લેષણાત્મક સિસ્ટમોની માંગ વધી રહી છે ગેસ શુદ્ધતા રીઅલ-ટાઇમમાં, સીધું અંદર ઉપયોગના બિંદુ પર સેમિકન્ડક્ટર ફેબ આ કોઈપણની તાત્કાલિક તપાસ માટે પરવાનગી આપે છે દૂષણ ઘટનાઓ અથવા પ્રવાહો અશુદ્ધિ સ્તરો, ઝડપી સુધારાત્મક ક્રિયાને સક્ષમ કરે છે અને ઉત્પાદનના નુકસાનને ઘટાડે છે. લઘુચિત્ર સેન્સર્સ અને અદ્યતન કેમોમેટ્રિક અલ્ગોરિધમ્સ અહીં મુખ્ય ભૂમિકા ભજવશે.
• જટિલ ગેસ મિશ્રણનું વિશ્લેષણ: ભાવિ સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાઓ વધુ જટિલ હોઈ શકે છે ગેસ મિશ્રણ બહુવિધ પ્રતિક્રિયાશીલ ઘટકો સાથે. વિશ્લેષણ અશુદ્ધિઓ આવા પડકારરૂપ મેટ્રિસિસમાં નવી વિશ્લેષણાત્મક વ્યૂહરચના અને અત્યાધુનિક ડેટા અર્થઘટન સાધનોની જરૂર પડશે. માપવાની ક્ષમતા અશુદ્ધિ અન્યના દખલ વિના એક ઘટકમાં નિર્ણાયક હશે.
• "કિલર" અશુદ્ધિઓ પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરો: સંશોધન ચોક્કસ ઓળખવાનું ચાલુ રાખશે સેમિકન્ડક્ટરમાં અશુદ્ધિઓ પ્રક્રિયા કે જે ઉપકરણની કામગીરી અથવા ઉપજ પર અપ્રમાણસર રીતે મોટી અસર કરે છે, અત્યંત નીચા સ્તરે પણ. વિશ્લેષણાત્મક પદ્ધતિઓ આ "કિલર" તરફ વધુ લક્ષિત બનશે અશુદ્ધિઓ.
• ડેટા એનાલિટિક્સ અને AI: અદ્યતન દ્વારા જનરેટ થયેલ ડેટાની વિશાળ માત્રા અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ વલણોને ઓળખવા, સંભવિત આગાહી કરવા માટે AI અને મશીન લર્નિંગનો ઉપયોગ કરીને સિસ્ટમોનો લાભ લેવામાં આવશે દૂષણ મુદ્દાઓ, અને ઑપ્ટિમાઇઝ કરો ગેસ શુદ્ધિકરણ પ્રક્રિયાઓ આ પ્રતિક્રિયાશીલ સમસ્યા-નિવારણને બદલે સક્રિય ગુણવત્તા નિયંત્રણમાં મદદ કરી શકે છે.

હુઆઝોંગ ગેસ પર, અમે આ વિકાસમાં મોખરે રહેવા માટે પ્રતિબદ્ધ છીએ. અમે વિજ્ઞાનને આગળ વધારવા માટે ઉદ્યોગ ભાગીદારો અને શૈક્ષણિક સંસ્થાઓ સાથે સહયોગ કરીને સંશોધન અને વિકાસમાં સતત રોકાણ કરીએ છીએ. ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ ઉત્પાદન અને અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ. અમારા ગ્રાહકો માટે, જેમાં માર્ક શેન જેવા ગુણવત્તા પ્રત્યે સભાન લોકોનો સમાવેશ થાય છે, આનો અર્થ છે વિશ્વસનીય પુરવઠો ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓ જે વિકસતી જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગો. અમારી શ્રેણી હિલીયમ, તેની નિષ્ક્રિયતા અને વિશિષ્ટ કાર્યક્રમોમાં ઉપયોગ માટે જાણીતું છે, તે ન્યૂનતમ સુનિશ્ચિત કરવા માટે આ અદ્યતન વિશ્લેષણાત્મક ચકાસણીથી પણ લાભ મેળવે છે. અશુદ્ધિ સ્તર

યાદ રાખવા માટેના મુખ્ય ઉપાયો:

• ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષતા વાયુઓ માટે મૂળભૂત છે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન, અને તેમના શુદ્ધતા બિન-વાટાઘાટપાત્ર છે.
• સમ અશુદ્ધિઓ ટ્રેસ કરો, ppb અથવા ppt માં માપવામાં આવે છે, તે નોંધપાત્ર ખામીઓ અને ઉપજમાં નુકશાનનું કારણ બની શકે છે સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણો
• સામાન્ય વાયુઓમાં અશુદ્ધિઓ અન્ય વાયુઓનો સમાવેશ કરો (જેમ કે O₂, H₂O), ધાતુની અશુદ્ધિઓ, અને રજકણ બાબત
• ICP-MS એ શોધવા માટેની પાયાની ટેકનોલોજી છે અશુદ્ધિઓની વિશાળ શ્રેણી, ખાસ કરીને ધાતુની અશુદ્ધિઓ, અતિ-નીચા સ્તરે.
• જાળવણી ગેસ શુદ્ધતા થી ઝીણવટભરી હેન્ડલિંગ અને સિસ્ટમની અખંડિતતાની જરૂર છે ગેસ સિલિન્ડર રોકવા માટે ઉપયોગના બિંદુ સુધી દૂષણ.
• ભવિષ્યમાં વધુ નીચું જોવા મળશે શોધ મર્યાદા, રીઅલ-ટાઇમ મોનિટરિંગ અને AI-સંચાલિત અશુદ્ધતા વિશ્લેષણ માટે ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ વાયુઓ
• દરેક સંભવિત નિયંત્રણ અશુદ્ધિ ખાતરી કરવા માટે મહત્વપૂર્ણ છે ઉત્પાદન ગુણવત્તા અને આધુનિકની વિશ્વસનીયતા ઇલેક્ટ્રોનિક્સ.