Puolijohdeteollisuus

Tarjoamme integroitujen piirien/puolijohteiden asiakkaille erilaisia ​​erikoiskaasuja, joita tarvitaan prosesseissa, kuten diffuusiossa, litografiassa, pinnoituksessa, syövytyksessä, dopingissa ja puhdistuksessa.

Suositeltavat tuotteet alallesi

Typpitrifluoridi

Elektronikaasun ja syövytettävän kohteen välinen kemiallinen reaktio vaaditaan etsausteollisuudessa. Kiekon valmistuksen etsausprosessissa on välttämätöntä käyttää elektronikohtaista kaasua syövytetyn osan poistamiseksi suuntaetsauksen tarkoituksen saavuttamiseksi.

Silaani

Puolijohdeteollisuudessa silaania käytetään pääasiassa erittäin puhtaan polypiin, piidioksidikalvon, piinitridikalvon, polypiieristyskerroksen jne. valmistukseen, ja sitä voidaan käyttää myös aurinkokennojen, optisten kuitujen ja valosähköisten antureiden valmistukseen jne.

Kaasuseos

Elektronikaasuna typpioksiduulia käytetään pääasiassa dielektrisessä ohutkalvoprosessissa puolijohteisten optoelektronisten laitteiden kehittämiseen ja tuotantoon. Se on korvaamaton avainkonseptikaasu, joka vaikuttaa suoraan optoelektronisten laitteiden laatuun.