Paneeliteollisuus

Litteän näyttötekniikan kehittyessä asiakkaat tarvitsevat lisää erikoiskaasuja ja niihin liittyvää ammatillista tietämystä ja kokemusta. Huazhong Gas tarjoaa litteiden näyttöjen asiakkaille laajan valikoiman erikoiskaasumateriaaleja, mukaan lukien doping-, kalvopinnoitus-, etsaus- ja kammion puhdistusprosessit Sovellukset.

Suositeltavat tuotteet alallesi

Silaani

Elektronista silaanikaasua käytetään pääasiassa TFT:n (Thin Film Transistor)/LCD:n (Liquid Crystal Display) tuotannossa näyttöpaneeliteollisuudessa sekä TFT- tai LTPS-substraattien pinnoittamiseen LCD-näytöille.

Ammoniakki

Yhdessä silaanin kanssa se muodostaa a-Si-transistorien piinitridikerroksen.

Kaasuseos

LTPS- ja MOS-transistorien valmistus on lisännyt typpioksiduuliin käyttöä. MO-tuotannon kulutuksen ja käytön näkökulmasta N2O on ohittanut NF3:n ja noussut MO-tuotannon eniten käytetyksi elektroniikkamateriaaliksi.

typpitrifluoridi

NF3 on yleisimmin käytetty elektroniikkamateriaali a-Si- ja LTPS-näyttötuotannossa ja sitä käytetään pääasiassa PECVD-kammioiden puhdistukseen.