Halbleiterindustrie

Wir versorgen Kunden mit integrierten Schaltkreisen/Halbleitern mit verschiedenen Spezialgasen, die für Prozesse wie Diffusion, Lithographie, Abscheidung, Ätzen, Dotieren und Reinigen erforderlich sind.

Empfohlene Produkte für Ihre Branche

Stickstofftrifluorid

Im industriellen Ätzprozess ist die chemische Reaktion zwischen dem Elektronengas und dem zu ätzenden Objekt erforderlich. Im Ätzprozess der Waferherstellung ist es notwendig, ein elektronenspezifisches Gas zu verwenden, um den geätzten Teil zu entfernen, um den Zweck des gerichteten Ätzens zu erreichen.

Silan

In der Halbleiterindustrie wird Silan hauptsächlich zur Herstellung von hochreinem Polysilizium, Siliziumdioxidfilmen, Siliziumnitridfilmen, Polysilizium-Isolationsschichten usw. verwendet und kann auch zur Herstellung von Solarzellen, optischen Fasern und fotoelektrischen Sensoren usw. verwendet werden.

Gasgemisch

Als Elektronengas wird Lachgas hauptsächlich im dielektrischen Dünnschichtverfahren für die Entwicklung und Produktion von optoelektronischen Halbleiterbauelementen verwendet. Es ist ein unersetzliches Schlüsselkonzeptgas, das sich direkt auf die Qualität optoelektronischer Geräte auswirkt.