Polovodičový průmysl

Zákazníkům s integrovanými obvody/polovodiči poskytujeme různé speciální plyny potřebné pro procesy, jako je difúze, litografie, depozice, leptání, dopování a čištění.

Doporučené produkty pro váš obor

Fluorid dusnatý

Chemická reakce mezi elektronovým plynem a předmětem, který se má leptat, je vyžadována v průmyslovém procesu leptání. V procesu leptání při výrobě destiček je nutné použít elektronově specifický plyn k odstranění leptané části, aby se dosáhlo účelu směrového leptání.

silan

V polovodičovém průmyslu se silan používá hlavně k výrobě vysoce čistého polysilikonu, filmu oxidu křemičitého, filmu z nitridu křemíku, izolační vrstvy polysilikonu atd., a lze jej také použít k výrobě solárních článků, optických vláken a fotoelektrických senzorů atd.

Směs plynů

Jako elektronový plyn se oxid dusný používá hlavně v procesu dielektrického tenkého filmu pro vývoj a výrobu polovodičových optoelektronických zařízení. Je to nenahraditelný klíčový koncepční plyn, který přímo ovlivňuje kvalitu optoelektronických zařízení.