Industrija poluprovodnika

Kupcima integrisanih kola/poluprovodnika obezbeđujemo razne specijalne gasove potrebne za procese kao što su difuzija, litografija, taloženje, jetkanje, dopiranje i čišćenje.

Preporučeni proizvodi za vašu industriju

Azot trifluorid

Hemijska reakcija između elektronskog plina i predmeta koji se nagriza potrebna je u industrijskom procesu jetkanja. U procesu jetkanja proizvodnje pločice, potrebno je koristiti plin specifičan za elektrone za uklanjanje ugraviranog dijela kako bi se postigla svrha usmjerenog jetkanja.

Silane

U industriji poluvodiča, silan se uglavnom koristi za proizvodnju polisilicijuma visoke čistoće, filma od silicijum dioksida, filma silicijum nitrida, polisilicijumskog izolacionog sloja, itd., a može se koristiti i za proizvodnju solarnih ćelija, optičkih vlakana i fotoelektričnih senzora itd.

Gasmixture

Kao elektronski plin, dušikov oksid se uglavnom koristi u procesu dielektričnog tankog filma za razvoj i proizvodnju poluvodičkih optoelektronskih uređaja. To je nezamjenjiv ključni koncept plina koji direktno utječe na kvalitetu optoelektronskih uređaja.