Yarımkeçirmə sənayesi

Diffuziya, litoqrafiya, çökmə, yırtılma, dökmə, dökmə, dopinq və təmizlik kimi proseslər üçün tələb olunan müxtəlif xüsusi qazlarla inteqrasiya olunmuş dövrə / yarımkeçirici müştərilər təqdim edirik.

Sənaye üçün tövsiyə olunan məhsullar

Azot trifluoride

Elektron qazı və interched, insteksiya ediləcək obyekt arasındakı kimyəvi reaksiya sənaye prosesində tələb olunur. Wafer İstehsalat emal prosesində, istiqamətləndirilmiş hissəni, istiqamətləndirmə məqsədinə çatmaq üçün eTched hissəsini çıxarmaq üçün elektron xüsusi qazdan istifadə etmək lazımdır.

Silek

Yarımkeçirici sənayesində, Silan əsasən yüksək purleyli polisilicon, silikon dioksid filmi, silikon nitridi filmi, polisilikon izolyasiya təbəqəsi və s. İstehsalçı, optik liflər və fotoelektrik sensorlar istehsal etmək üçün də istifadə edilə bilər və s.

Qaç

Elektron qaz kimi, azot oksid, əsasən, yarımkeçirici optoelektronik cihazların inkişafı və istehsalı üçün dielektrik nazik film prosesində istifadə olunur. Optoelektronik cihazların keyfiyyətinə birbaşa təsir edən əvəzolunmaz bir əsas konsepsiya qazıdır.