Awọn atunyẹwo iṣelọpọ Semicoctuctor lori ọpọlọpọ awọn ategun ti awọn ategun pupọ, eyiti o le jẹ tito lẹtọ sinu awọn oriṣi akọkọ mẹta: ategun ti awọn ategun, Awọn ategun pataki, ati awọn ategun etching. Awọn atejade wọnyi gbọdọ jẹ ti mimọ ti o ga pupọ lati ṣe idiwọ idibajẹ, eyiti o le ba ilana akanṣe.

Ategun ti awọn ategun

Nitrogen (n₂):

Ipa: N₂ Sin ọpọlọpọ awọn idi, pẹlu awọn iyẹwu ilana ilana fifọ ati pese aaye inert ti o wa ni oju opo wẹẹbu lakoko awọn ipo oriṣiriṣi somiconnctor.
Awọn akọsilẹ afikun: nitrogen nigbagbogbo wa ni iṣẹ oojọ ni ọkọ ati ibi ipamọ ti awọn wafer Silikoni lati dinku ifosisida. Hert inter inter iseda idaniloju pe ko fesi pẹlu awọn ohun elo miiran, jẹ ki o bojumu fun mimu awọn agbegbe sisọṣiṣẹ mimọ.

Argon (AR):
Ipa: Ni afikun si ilowosi rẹ ni awọn ilana pilasima, Argon jẹ ohun elo irin-ajo ninu awọn ilana gaasi Isakoso jẹ pataki.
Awọn akọsilẹ afikun: Nitoripe o ko fesi pẹlu awọn ohun elo pupọ julọ, eyiti o tun lo Argen, eyiti o ṣe iranlọwọ ni fifipamọ irin tabi awọn fiimu ọjọ-ara nibiti o gbọdọ ṣetọju awọn roboto.

Helium (o):
Ipa: Awọn ohun-ini gbona Helium jẹ ki o wulo fun itutu agbaiye ati mimu iduroṣinṣin iwọn otutu lakoko awọn ilana atunse.
Awọn akọsilẹ afikun: O ti wa ni igbagbogbo ni awọn ọna latrograplopo fun littompili nipa iseda ati agbara ti ko kajusi rẹ lati ṣetọju ipa-ọna opitika naa ni ọfẹ lati kontaminesonu.

Hydrogen (HE):
Ipa: kọja ohun elo rẹ ni equaleing, hydrogen tun ṣe iranlọwọ lati wa ninu awọn aga kemikali ati pe o le kopa ninu awọn ifura kemikali nigba Epitaxy.
Awọn akọsilẹ afikun: lilo hydrogen ninu ifipamọ awọn fiimu ti o gba fun iṣakoso ti o tobi lori awọn ohun elo itanna, yiyipada awọn ohun-ọṣọ itanna wọn ni pataki.

Awọn ategun pataki ati awọn iṣelọpọ

Silane (Sih₄):
Ipa: Yato si jije iṣaaju fun idogo Silicon, Silini le ni polammerized sinu fiimu akojọpọ ti o ṣe awọn abuda itanna ti o mu awọn abuda itanna.
Awọn akọsilẹ afikun: Imojusi rẹ nilo ibamu mimu mimu nitori awọn ifiyesi ailewu, ni pataki nigbati o ba dapọ pẹlu afẹfẹ tabi atẹgun.

Amonia (nh₃):
Ipa: Ni afikun si iṣelọpọ awọn fiimu nitride, amonia jẹ pataki ni iṣelọpọ awọn fẹlẹfẹlẹ kamivation ti o mu igbẹkẹle naa ti awọn ẹrọ semistictor.
Awọn akọsilẹ afikun: O le kopa ninu awọn ilana ti o nilo nitrogen incorporation sinu sikon, imudara awọn ohun-ini itanna.

Phosphine (PHA), Arsine (Ash₃), ati Diborane (B₂h₆):
Ipa: Awọn atejade wọnyi ko ṣe pataki fun gbigbemimọ ṣugbọn o tun ṣe pataki fun iyọrisi awọn ohun-ini itanna ti o fẹ lati awọn ẹrọ isodije ti ilọsiwaju.
Awọn akọsilẹ afikun: awọn ilo iṣọkan wọn dandan awọn ilana aabo ti o muna ati atẹle awọn ọna ṣiṣe ni awọn agbegbe ti ko ni sisita.

Etching ati awọn ategun mimu

FlurorocalBons (CF₄, SFT):
Ipa: Awọn ategun wọnyi wa ni oojọ ni awọn ilana gbigbẹ ti ko jinna, eyiti o funni ni pataki ga afiwe si awọn ọna ettring tutu.
Awọn akọsilẹ afikun: CF₄ ati SF₆ jẹ pataki nitori agbara wọn lati ettt awọn ohun elo ti o da lori silicon-orisun daradara, gbigba fun sisọ didara aṣa ti o ṣe pataki ni microectronics igbalode.

Kiloraine (CLI) ati hydrogen fluoride (HF):
Ipa: Chlorine pese awọn agbara etcheng ibinu, paapaa fun awọn irin, lakoko ti HF jẹ pataki fun yiyọ yiyọ okun.
Awọn akọsilẹ afikun: Apapo awọn ategun wọnyi gba laaye fun yiyọ kuro ni iwọn afikun nipa awọn igbesẹ mimọ fun awọn igbesẹ ilana atẹle.

Nitrogen Terfluide (NF₃):
Ipa: NF₃ jẹ pivotal fun mimọ ayika ni awọn ọna CVD, fesi pẹlu awọn alumoni lati ṣetọju iṣẹ ti aipe.
Awọn akọsilẹ afikun: Pelu awọn ifiyesi nipa agbara eefin eefin rẹ, ṣiṣe ṣiṣe ni mimọ jẹ ki lilo ti o fẹran sii, botilẹjẹpe lilo lilo ayika ṣọra.

Oxygen (o₂):
A ipa: awọn ilana apapo ṣe irọrun nipasẹ atẹgun le ṣẹda awọn fẹlẹfẹlẹ ti o ni ariyanjiyan pataki ni awọn eto Semiconclower.
Awọn akọsilẹ afikun: ipa atẹgun ni fifi ohun elo ifosiwera ti ohun elo silicon lati dagba awọn fẹlẹfẹlẹ sio₂ ṣe pataki fun ipinya ati aabo ti awọn paati kaakiri.

Awọn ategun ti n jade ni iṣelọpọ semiconctor

Ni afikun si awọn ọpa eefin aṣa ti a ṣe akojọ loke, awọn ategun miiran n gba akiyesi ni ilana iṣelọpọ Semicoctor, pẹlu:

Crogba Dioxide (COC): Ti a lo ninu diẹ ninu awọn ohun elo mimọ ati etching, paapaa awọn ti o ṣe pẹlu awọn ohun elo ti ilọsiwaju.

Silicon Dioxide (Sio₂): Bi o tilẹ kii ṣe gaasi labẹ awọn ipo deede, awọn fọọmu vikized ti silicon dioxide ni lilo ninu awọn ilana iwuri kan.

Awọn ero ayika

Ile-iṣẹ Semicioctor ti wa ni idojukọ pọ si lori idinku ikolu ti agbegbe ti o ni nkan ṣe pẹlu lilo awọn ategun pupọ, paapaa awọn ti o jẹ eefin eefin orisun omi. Eyi ti yori si idagbasoke ti awọn eto iṣakoso gaasi ti ilọsiwaju ati iṣawari awọn awọn ategun miiran ti o le pese iru awọn anfani kanna pẹlu atẹsẹ ayika kekere.

Ipari

Awọn ategun ti a lo ni iṣelọpọ iṣelọpọ Simictonctor Play ipa to ṣe pataki ni idaniloju idaniloju konta ati ṣiṣe ti awọn ilana isọdi. Gẹgẹbi awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ, ile-iṣẹ iṣemicioutctor nigbagbogbo ṣe awọn ilọsiwaju ni mimọ gaasi ni gaasi ni gaasi ni ibatan ati awọn ifiyesi ayika ti o ni nkan ṣe pẹlu lilo wọn.