Awọn ara ẹrọ ti a ko mọ tẹlẹ: Idi ti gaasi mimọ-giga jẹ igun igun-ara ti Semiconctor

2025-10-30

Ninu agbaye ti imọ-ẹrọ igbalode, Oluwa okiti ọgbẹ Ṣe ọba. Awọn eefun wọnyi, awọn eerun alaitri agbara ohun gbogbo lati awọn fonutologbo wa si awọn ọkọ ayọkẹlẹ wa ati awọn ile-iṣẹ data ti o ṣiṣẹ intanẹẹti. Ṣugbọn kini agbara ẹda ti awọn eerun wọnyi? Idahun, iyalẹnu, jẹ afẹfẹ. Kii ṣe eyikeyi afẹfẹ, ṣugbọn Awọn ategun giga-mimọ ti ṣiyemeji eekanna. Bi Alleen, eni ti ile-iṣẹ pẹlu awọn ila iṣelọpọ meje ṣe amọja ni awọn gaasi ile-iṣẹ, Mo ti rii Bere fun mimọ fun mimọ ti swerwicketed. Nkan yii jẹ fun awọn oludari iṣowo bi ami shen, ti o wa ni iwaju ti Oluwa afẹfẹ sekeseke Akojo. O loye didara ati idiyele, ṣugbọn lati dari ni otitọ ni ọja yii, o nilo lati ni oye kilode. A yoo se eṣu ti o nipọn ti iṣelọpọ semicotanctoctor ṣelọpọ, n ṣalaye ninu awọn ofin ti o rọrun idi ti aṣọ kan datiku ninu a afẹfẹ Oja le jẹ idiyele ile-iṣẹ kan. Eyi ni itọsọna rẹ lati sọrọ ede ti awọn Ile-iṣẹ Semicotanctor Ati ki o di alabaṣiṣẹpọ aimọ.

Ipa wo ni gaasi mu ṣiṣẹ ni ṣiṣe ni chickonductor súnbà?

Ni ipilẹ rẹ, iṣelọpọ semicotanctoctor ṣelọpọ jẹ ilana ti Ile Mimọ, awọn iyika itanna ti o ni itanna ti o ni itanna lori disiki tinrin ti ohun alumọni, mọ bi a waffer. Foju inu wo gbiyanju lati kọ ọrun giga ni iwọn ti ontẹ ifiweranṣẹ, pẹlu ọkẹ àìmọye awọn yara ati awọn ilelangan. Iyẹn ni iwọn naa ti n sọrọ nipa. Lati ṣaṣeyọri eyi, iwọ ko le lo awọn irinṣẹ ti ara. Dipo, gbogbo ilana iṣelọpọ gbarale lẹsẹsẹ awọn aati kemikali kongẹ, ati ọkọ akọkọ fun awọn aati wọnyi jẹ afẹfẹ.

Awọn ategun ṣiṣẹ bi awọn ọwọ alaihan ti o kọ awọn ipin wọnyi. Wọn ṣe ọpọlọpọ awọn iṣẹ pataki. Diẹ ninu, bi nitrogen, Ṣẹda agbegbe ti o mọ daradara ati iduroṣinṣin, idilọwọ awọn aati ti aifẹ. Awọn miiran, ti a fun mọ awọn ategun ilana, jẹ awọn bulọọki ile gangan tabi awọn irinṣẹ gbigbẹ. Fun apẹẹrẹ, kan pato Iru gaasi le ṣee lo lati fi awọ ti microscopiki ti ohun elo ti ifarada, lakoko miiran afẹfẹ ni a lo lati gbọye etch ohun elo kuro lati ṣẹda ọna opopona. Gbogbo igbesẹ kan, lati gbọ awọn waffer Lati kọ awọn olutọpa ikẹhin, pẹlu kan pato afẹfẹ tabi adalu awọn ategun. Konge ti awọn gaasi ṣiṣan omi ati akojọpọ kemikali rẹ taara sọ aṣeyọri ti awọn eka omi ilana.

Kini idi ti mimọ ṣe pataki ni iṣelọpọ Samusongi?

Ni awọn igbesi aye wa lojoojumọ, eruku kekere tabi Idosi afẹfẹ ko si adehun nla. Ṣugbọn inu kan okiti ọgbẹ ọgbin ọgbin, tabi "Fat," o jẹ ijamba. Awọn paati ti a kọ lori a ohun alumọni waffer Nigbagbogbo wọn jẹ iwọn ni awọn naanometer-yẹn ni awọn biliti ti mita kan. Lati fi iyẹn sinu irisi, irun ọmọ eniyan kan jẹ to 75,000 awọn ohun elo Naanometer jakejado. Eruku kekere datiku O ko le rii paapaa jẹ omiran nla kan ti o wa ninu agbaye ti okiti ọgbẹ probnition.

Eyi ni idi awọn mimọ jẹ iwa ihuwasi pataki julọ ti awọn ategun naa lo ni semiconctor iṣelọpọ. Eyikeyi molecula ti aifẹ-boya o jẹ molicle omi ti iṣan, irin kekere kan datiku, tabi oriṣiriṣi afẹfẹ moleculule-ni a ka ohun ohun silẹ. Eyi iba konkankan le ṣe idiwọ ẹlẹgẹ iṣesi kemikali n ṣẹlẹ lori awọn wafferỌ dada. Ẹyọkan ohun silẹ le di Circuit kan lati dida, fa Circuit kukuru kan, tabi paarọ awọn Awọn ohun-ini itanna ti Semicioctor ohun elo. Nitori ẹyọkan waffer Le ni awọn ọgọọgọrun tabi ẹgbẹẹgbẹrun awọn eerun ẹni kọọkan, aṣiṣe kekere kan le ja si pipadanu owo ti o tobi. Gbogbo ilana naa beere awọn ipele ti o ga julọ ti mimọ lati ṣiṣẹ rara.

Bawo ni awọn impurities ni awọn gaasi wreclondingchowctor iṣelọpọ?

Nigbati ẹya ohun silẹ wa ni ilana kan afẹfẹ, o le fa "apanilerin alebu. "Eyi kii ṣe abawọn kekere kan; o jẹ a alebu ti o n ṣaja gbogbo ibi-iwe ayelujara lori apakan ti awọn waffer asan. Jẹ ki a wo bi eyi ṣe ṣẹlẹ. Lakoko awọn idogo Alakoso, nibiti awọn fiimu ti wa ni a kọ ni awọ nipasẹ Layer, aifẹ datiku le de lori oke. Nigbati a ba fi opin si atẹle wa lori oke, o ṣẹda ijanu maijepucopic tabi ofo. Abawọn yii le fọ isopọ itanna tabi ṣẹda ọkan ti a ko ṣe atunṣe, n pa ara ilu naa ni itumọ.

Awọn abajade ti eyi jẹ iparun si laini isalẹ ti Fanọ. Afikun akọkọ fun aṣeyọri ninu a okiti ọgbẹ Fab jẹ "ikore"-ogorun ti awọn eerun awọn eerun ṣelọpọ lati ẹyọkan kan waffer. Paapaa kekere silẹ ni So eso, lati 95% si 90%, le ṣe aṣoju awọn miliọnu awọn dọla ni owo-wiwọle ti o sọnu. Impliti gaasi jẹ okunfa taara ti dinku So eso. Eyi ni idi Awọn olupese Alabaṣepọ jẹ ifẹ afẹju pẹlu gaasi mimọ. Wọn nilo lati ni idaniloju pe awọn afẹfẹ titẹ si awọn irinṣẹ dola ti wọn jẹ bilionu wọn jẹ ọfẹ ọfẹ lati eyikeyi todamọ ti o le derail awọn Ilana imudaniloju semicocation. O jẹ ere ti konge awọn nkan mimọ nibiti Yara odo wa fun aṣiṣe.


Nitrogen

Kini awọn gaasi Key ti a lo ni iṣeeṣe semicotanctor?

Ibiti awọn ategun ti a lo ninu Ile-iṣẹ Semicotanctor Ni titobi, ṣugbọn wọn ṣubu ni gbogbogbo sinu awọn ẹka meji: awọn eefin ti o ga julọ ati awọn ategun pataki.

  • Awọn ategunbobo gaasi: Iwọnyi lo ni titobi pupọ ati dagba ipilẹ ti agbegbe iṣelọpọ.

    • Nitrogen (n₂): Eyi ni iṣẹ naa. Ultra-giga awọn mimọ Nitrogen Ti lo lati ṣẹda ijasi "afuri oju-omi" inu awọn irinṣẹ imura. Yi atẹgun yii, ọrinrin, ati awọn patikulu miiran, idilọwọ ifọwọyi ti aifẹ tabi iba konkankan ti waffer.
    • Hydrogen (HE): Nigbagbogbo lo ni apapo pẹlu awọn ategun miiran, hydrogen jẹ pataki fun idaniloju idogo Awọn ilana ati fun ṣiṣẹda awọn agbegbe kẹmika ti o ga julọ ti o nilo lati kọ awọn ẹya Transtores.
    • Argon (AR): Bi inter afẹfẹ, Argon ni a lo ninu ilana kan ti a n jade, nibiti o ti lo lati bomubo ohun elo afojusun, n lu awọn ọta alaimuṣinṣin ti o fi sii pẹlẹpẹlẹ waffer. O tun lo lati ṣẹda awọn pisma ninu ọpọlọpọ etch awọn ilana.
  • Awọn ategun pataki: Iwọnyi jẹ eka, nigbagbogbo eewu, ati awọn ategun ti ẹrọ ti n ṣiṣẹ pupọ ti a lo fun awọn igbesẹ ilana kan pato. Wọn jẹ "awọn eroja" ti nṣiṣe lọwọ.

    • Ettorits: Awọn ategun bii chlorine (ch₂) ati hydrogen bromide (HBR) ni a lo lati ṣe deede carve tabi etch awọn apẹẹrẹ sinu fẹlẹfẹlẹ ti awọn waffer.
    • Dopots: Awọn ategun bii Arsine (Ash₃) ati awọn fsosphing (PHA) ni a lo lati ṣafihan ni pato ohun silẹ sinu ohun alumọni Lati yi awọn ohun-ini itanna rẹ pada, eyiti o jẹ bi awọn triators ti wa ni iṣakoso.
    • Awọn gaasi Iwies: Silane (Sih₄) jẹ apẹẹrẹ Ayebaye, ti a lo bi orisun ti ohun alumọni lati gbe awọn fiimu tinrin.

Fun Oṣiṣẹ ACRAEnt bi Mark, o jẹ pataki lati mọ pe lakoko ti gbogbo awọn ategun wọnyi yatọ, wọn pin ibeere ti o wọpọ: iwọn awọn mimọ.

Ṣe o le ṣalaye idogo ati etching ni awọn ofin ti o rọrun?

Iṣelọpọ semicotanctoctor Pe awọn ọgọọgọrun awọn igbesẹ, ṣugbọn pupọ julọ wọn jẹ iyatọ ti awọn ilana ipilẹ meji: idogo ati etch. Loye awọn wọnyi ni awọn ofin ti o rọrun jẹ bọtini lati loye ipa ti afẹfẹ.

1. Iwoye: kọ awọn fẹlẹfẹlẹ
Ronu idogo bi fifuye pẹlu awọn ohun alumọni. Erongba ni lati ṣafikun tinrin-tinrin, ni pipe laini ohun elo kan si awọn Silicon Wafer.

  • Ilana: Ilana kan afẹfẹ (bii silane) ti wa ni adalu pẹlu a Gas gaasi (bii nitrogen tabi hydrogen). Eyi afẹfẹ adalu jẹ lẹhinna ṣafihan sinu iyẹwu ti o ni awọn waffer. A iṣesi kemikali ti wa ni ọṣọ, nigbagbogbo nipasẹ ooru tabi a pisma, nfa awọn sẹẹli lati "ṣe asọtẹlẹ" kuro ninu Oluwa afẹfẹ ati fẹlẹfẹlẹ kan Filis tinrin Lori awọn wafferỌ dada.
  • Ìbáa Ìdárídí awọn ọrọ mimọ: Ti o ba jẹ pe o wa datiku ninu afẹfẹ Ogbo, o dabi pe speck ti eruku ti o ni awọ sokiri rẹ. Yoo gba ifibọ ni Layer tuntun, ṣiṣẹda igbekale kan alebu. Ti o ba jẹ ohun ti ko ṣe afẹfẹ Molecula, o le fesi ni ọna ti ko dara, yiyipada atike kemikali ati awọn ohun-ini itanna ti Layer.

2. Etching: gbigbe awọn iyika naa
Lẹhin kikọ fẹlẹfẹlẹ kan, o nilo lati kọ ilana Circuit sinu rẹ. Etch ni ilana ti yiyan ohun elo yiyọ kuro.

  • Ilana: Awọn waffer ti wa ni ti a bo pẹlu ohun elo ifura-ina ti a pe ni itaregist. Apẹrẹ jẹ iṣẹ akanṣe pẹlẹpẹlẹ rẹ (bii stencil). Awọn agbegbe ti o farahan lẹhinna ni lile. Awọn waffer ni a gbe lẹhinna ni iyẹwu kan ti o kun etutu kan afẹfẹ (bi apo kekere ti o da lori omi). Eyi afẹfẹ ti ni agbara sinu a pisma ipinle, ṣiṣe ti o ba sọrọ pupọ. Awọn pisma awọn waffer, cheally njẹ ohun elo naa nikan Ni awọn agbegbe ko ni aabo nipasẹ stencil.
  • Ìbáa Ìdárídí awọn ọrọ mimọ: Awọn impurities ni awọn gaasi lo fun etching le paarọ oṣuwọn iṣeeṣe. Eyi le fa awọn iyika lati wa ni ikawe pupọ pupọ, dín, tabi rara rara. Irin datiku ohun silẹ le ṣe idiwọ awọn etch Ilana ninu aaye kekere kan, nlọ lẹhin kan "ifiweranṣẹ" ti ohun elo aifẹ ti o dinku Circuit.


Jiyan

Bawo ni apamọwọ gaasi Ultra-giga wo o si ṣetọju?

Ninu Ile-iṣẹ Semiconctor Cover, awọn iwọn mimọ deede bi "ogorun" jẹ asan. A n ba pẹlu iba konkankan lori iwọn kan ti o nira lati loye. Mimọ ni awọn ẹya fun trillion (PPT). Eyi tumọ si fun gbogbo aimọmọ afẹfẹ Awọn ohun sẹẹli, ọkan nikan le jẹ ọkan tabi awọn ohun alumọni meji.

Lati ṣaṣeyọri ati rii daju pe ipele yii ti gaasi mimọ, eto ti o gbooro ti Imifiisi gaasi Ati itupalẹ ni a nilo.

Ipele mimọ Itumọ Àìdàáyà
Awọn ẹya fun milionu (PPM) 1. AGBARA TI AYUPO 1,000,000 Apple buburu kan ni awọn agba 2,000.
Awọn apakan Per Bilionu (PPB) 1. Ọkan keji ni o fẹrẹ to ọdun 32.
Awọn ẹya fun trillion (PPT) 1. Ọkan keji ni ọdun 32,000.

Ni ile-iṣẹ wa, a ko kan ṣe agbejade afẹfẹ; A n gbe ati ẹmi Iṣakoso Didara. Awọn Ipese gaasi pq fun a okiti ọgbẹ Fabanlves ti a ṣe pataki pumidiers ti a fi ọtun sori ọtun ni aaye lilo. Pẹlupẹlu, ti ni ilọsiwaju Pupa gaasi Ti lo awọn irinṣẹ fun Abojuto Ere-ije. Awọn imuposi bii Ayika titẹ titẹ SpectRometry (Apemu) le ṣe Iṣaye irora si isalẹ lati awọn ẹya-fun-dillion ipele, aridaju gaasi Uhp (Wiwu mimọ Ultra-giga) Titan ọpa ilana jẹ pipe.

Kini o ṣe olupese ti gaasi giga-giari?

Fun ori ti a fife bii Mark, ti ​​o ti kayeri irora ti awọn idaduro ọkọ oju-omi ati awọn iwe-ẹri arekereke, igbẹkẹle jẹ ohun gbogbo. Ni agbaye ti Imiami-mimọ giga Awọn ategun, igbẹkẹle wa ni awọn ọwọn mẹta: Idaniloju iṣelọpọ, idaniloju didara, ati imọ-jinlẹ ikọsilẹ.

  1. Kokopọ iṣelọpọ: Olupese ti o gbẹkẹle gbọdọ ni apọju ati awọn agbara iṣelọpọ iṣelọpọ. Awọn Ila-iṣẹ iṣelọpọ meje wa, fun apẹẹrẹ, rii daju pe a le Pade ibeere giga Ati pe iṣoro kan lori ila kan ko da gbogbo awọn iṣelọpọ wa. Eyi n dinku eewu ti awọn idiwọ ipese ti o le pa dọla pupọ-bilionu kan okiti ọgbẹ Fab.
  2. Idaniloju idaniloju idaniloju: O ko to lati beere pe o ni giga mimọ gaasi. O gbọdọ ni anfani lati jẹrisi rẹ. Eyi tumọ si idoko-owo ni ohun elo itupalẹ-aworan ti ilu fun Iṣaye irora. O tun tumọ si pe o jẹ sihin sihin, awọn iwe-ẹri ọlọla ti itupalẹ (coa) pẹlu gbogbo gbigbe. Ṣija jegudujera ijẹrisi jẹ nipa kikọ ibasepo igba pipẹ ti o da lori igbẹkẹle ati data ti o daju.
  3. Imọye ikọsilẹ: Gbigba a ategun gaasi tabi omi cryogenic lati Ilu China si AMẸRIKA ko rọrun. O nilo awọn apoti amọja, imọ ti awọn ilana gbigbe kariaye kariaye, ati eto matikale lati yago fun idaduro. Afikun ti o gbẹkẹle ni oye eyi kii ṣe fifi apoti kan duro; O n ṣakoso apakan pataki ti agbaye okiti ọgbẹ sekeseke Akojo.


Hydrogen

Kini iyatọ laarin gaasi ololubo ati gaasi pataki?

Loye iyatọ laarin gaasi olopo ati gaasi pataki jẹ bọtini fun ẹnikẹni ti o kan ninu efin fun awọn Ile-iṣẹ Semicotanctor. Lakoko ti awọn mejeeji nilo iwọn awọn mimọ, iwọn wọn, mimu, ati ohun elo yatọ pupọ.

Ategun ti awọn ategun, bi Ọpọpọ giga giga giga ti o dara julọ, tọka si awọn ategun bii nitrogen, atẹgun, argon, ati hydrogen. Wọn jẹ ipilẹ ti agbegbe Fana naa. Oro "olopobobo" tọka si awọn iwọn titobi ti a lo. Awọn ategun wọnyi ni igbagbogbo iṣelọpọ lori aaye tabi ti firanṣẹ nipasẹ awọn epo igbẹhin taara si eto pinpin ti Fal Fat. Awọn italaya akọkọ nibi ti wa ni mimu awọn mimọ Ju awọn nẹtiwọki pinpin ti o tobi ati aridaju ti ko ni idiwọ, ipese iwọn didun-giga.

Gaasi pataki (tabi gaasi itanna) tọka si ẹya gbooro ti igbagbogbo, ngbiyanju, tabi awọn eefin eewu ti a lo ni awọn igbesẹ kekere fun awọn igbesẹ ilana kan pato bi etching ati idogo. Awọn apẹẹrẹ ni linan, amonia, boron trichlore, ati nitrogen Trifluide. Iwọnyi ni a jiṣẹ ni awọn iyipo titẹ-giga kọọkan. Awọn italaya pẹlu gaasi pataki jẹ aabo ti o gaju ninu mimu, aridaju ipasẹ pipe pipe fun awọn apopọ gaasi, ati idilọwọ eyikeyi awọn ifura ti o ni igbakọọkan laarin silinda ti o le fi adehun Didara gaasi.

Bawo ni eletan fun riamical-mimọ gaasi rimichoctor dide?

Awọn Ile-iṣẹ Semicotanctor ko duro sibẹ. Ofin Moyo, akiyesi pe awọn transtors ti o ni ilọpo meji ni gbogbo ọdun meji, tẹsiwaju lati Titari awọn aala ti fisinsi. Bi awọn olutọpa ọkọ ayọkẹlẹ, wọn di alafarabalẹ diẹ sii ni imọlara si iba konkankan. A iwọn patiku ti o jẹ itẹwọgba ọdun marun sẹhin jẹ "apani alebu"Loni.

Awakọ alaigbọran yii fun awọn eerun ti o kere ju ati diẹ sii ti o lagbara tumọ si eletan naa fun awọn ipele ti o ga julọ ti gaasi mimọ ti n dagba. A n gbe lati agbaye kan nibiti awọn ẹya-fun-bilionu jẹ iwọntunwọnsi goolu si ọkan nibiti awọn ẹya-fun-Pre-dillion ni ibeere titẹ sii ti o kere julọ fun sexidoctor ti ilọsiwaju awọn iho. Pẹlupẹlu, awọn ohun elo tuntun ati awọn ile-iṣẹ tuntun, bi 3D Nand ati ẹnu-ọna - gbogbo-kakiri (Gaa) nilo aaye tuntun ti Gaasi-tele awọn apopọ ati awọn iṣaaju. Bii Awọn aṣelọpọ gaasi, A wa ninu ere-ije igbagbogbo ti innodàsation, Dagbale awọn imọ-ẹrọ mimọ tuntun ati awọn ọna itupalẹ lati tọju Pace pẹlu awọn Ile-iṣẹ Semiconctor Cover.

Bi oluraja, kini awọn ijẹrisi didara o yẹ ki n wa?

Lilọ kiri agbaye ti awọn olupese le jẹ alakikanju, ni pataki nigbati awọn olugbagbọ pẹlu awọn ọja imọ-ẹrọ. Awọn iwe-ẹri pese pataki, afọwọsi ẹni-kẹta ti awọn agbara olupese ati ifaramo si didara. Nigbati ekan Awọn ategun giga-mimọ fun awọn Ile-iṣẹ Semicotanctor, eyi ni awọn ohun diẹ lati wa:

  • ISO 9001: Eyi jẹ iwe ẹri ipilẹ fun awọn ọna iṣakoso didara. O fihan pe olupese ti ṣalaye daradara ati awọn ilana ti o tun ṣe atunṣe fun iṣelọpọ, ayewo, ati ifijiṣẹ.
  • ISO / IEC 17025: Eyi jẹ pataki kan. O jẹ igbesẹ ti fun ifigagbaga ti idanwo ati awọn ile-ifowopamọ. Olupese pẹlu iwe-ẹri yii ti fihan pe TO-ile-idile wọn ti o ṣe ipilẹṣẹ ijẹrisi rẹ ti onínọmbà-jẹ deede ati igbẹkẹle.
  • Onínọmbà ti o ni itọsi: Nigbagbogbo beere ijẹrisi ti onínọmbà (coa) fun gbogbo silinda kan tabi ipele. Ijẹrisi yii yẹ ki o ṣalaye ipele deede ti pataki awọn impurities ninu gaasi, wọn nipasẹ awọn ọna itupalẹ kan pato gaasi Chrotomatography tabi ibi-iwoye.

Gẹgẹbi oludari ipinnu bi ami, ọpa rẹ ti o dara julọ ni lati beere awọn ibeere ti o pe. Maṣe kan beere "ni eyi afẹfẹ jẹ mimọ? "beere" Bawo ni o ṣe jẹri rẹ jẹ mimọ? Ṣe afihan iwe-ẹri Lab rẹ han mi. Ṣe alaye ilana rẹ fun ṣiṣe idaniloju iduroṣinṣin pupọ. "Ijọṣepọ gidi kan ati alabaṣepọ igbẹkẹle yoo gba awọn ibeere wọnyi ati ni igboya, awọn idahun sihin.


Awọn ọna itẹwe bọtini

  • Gaasi jẹ ọpa: Ninu Ṣiṣejade Semicaltuctor, awọn ategun kii ṣe awọn ohun elo nikan; Awọn irinṣẹ Awọn alabapade ti a lo lati kọ ati awọn ọkọ ayọkẹlẹ ti ara ẹrọ maikiikiko lori a Silicon Wafer.
  • Mimọ jẹ ohun gbogbo: Iwọn ti eka omi jẹ kekere pe ẹyọkan ti ko fẹ datiku tabi ohun silẹ Molecula le pa chirún kan, ṣiṣe Ultra-giga mimọ ibeere ti kii ṣe idunadura.
  • Ikore ni ibi-afẹde: Ilo akọkọ ti kontaminesonu sii jẹ idinku ninu iṣelọpọ So eso, eyiti o tumọ taara si awọn miliọnu dọla ni owo-wiwọle ti o sọnu fun egbe secoctondictorctor.
  • Awọn ilana akọkọ meji: Pupọ awọn igbesẹ ni ṣiṣe prún kan pẹlu boya idogo (awọn ipele ile) tabi etch (Gbigbe awọn awoṣe), awọn mejeeji eyiti o gbẹkẹle patapata lori awọn aati kemikali kongẹ ti awọn iṣu funfun.
  • Gbẹkẹle jẹ bọtini: Olupese igbẹkẹle ninu awọn Equondoctor gaasi Oja gbọdọ ṣe afihan iṣelọpọ iṣelọpọ, idaniloju idaniloju idaniloju idaniloju nipa awọn lebs ti a fọwọsi, ati Isakoso awọn agbowowo.
  • Ọjọ iwaju jẹ mimọ: Bi awọn apanirun di ilọsiwaju ni ilọsiwaju diẹ sii, ibeere naa fun awọn ipele ti o ga julọ ti gaasi mimọ (si isalẹ awọn ẹya-fun-dillion) yoo tẹsiwaju lati dagba.