Gaazhong gaasi ni ifiṣootọ ni ara wa si dojukọ aworan ati imọ-ẹrọ ti ile-iṣẹ ati gaasi pataki iṣelọpọ. Ninu aye giga-giga ti ode oni, paapaa laarin awọn okiti ọgbẹ ile-iṣẹ, eletan naa fun Ultra-giga mimọ Awọn ategun kii ṣe ààyò; o jẹ iwulo idi. Nkan yii jẹ inu ile pataki ti itupalẹ esi fun Awọn ategun pataki. A yoo ṣawari idi ti o paapaa ni teini ohun silẹ le ni awọn abajade Olopọ, bawo ni a ṣe n ṣe iwariri wọnyi Wa awọn impututies wa, ati pe o tumọ si fun awọn iṣowo. Loye impliti gaasi ati awọn ọna fun wọn afọmọ ati iwari, bii ICP-Ms, jẹ bọtini lati jẹ ki igbẹkẹle ati iṣẹ ti igbalode itanna. Nkan yii jẹ iye rẹ nitori pe o funni ni irisi ti o ni ibamu pẹlu lilo okun naa mimọ ti awọn gaasi pataki ti itanna, igun igun kan ti awọn okiti ọgbẹ ati itanna awọn apa.

Kini deede awọn gaasi pataki ti itanna ati kilode ti o jẹ mimọ wọn ṣe pataki ni pataki ni iṣelọpọ semitontuctor?

Awọn ategun pataki, nigbagbogbo tọka si bi Awọn eefin itanna tabi Awọn ategun semiconctor, jẹ ẹya alailẹgbẹ ti Awọn ategun giga-mimọ ati Awọn apopọ gaasi Ni kikun Ẹrọ fun awọn ilana inu intricate só ninu awọn paati itanna. Ronu nipa wọn bi awọn ayaworan alaihan ti ori oni-nọmba. Wọnyi awọn ategun ti a lo ni semictoctor probanic pẹlu iwọn oniruna, bii Silian (Sih₄) fun fifi awọn baasi silic jiyan (AR) bi apata inert, ati pupọ Doping ategun Bii awọn fonu (PHA) tabi Arsine (Ash₃) lati paarọ awọn ohun-ini itanna ti okiti ọgbẹ awọn ohun elo. Oro naa "Awọn pataki pataki"Ti ara rẹ saami ohun elo wọn ti o ni ibamu ati awọn iṣeeṣe giga ti o nilo ninu akojọpọ wọn. Iwọnyi kii ṣe lojoojumọ Awọn aṣọ atẹgun ile-iṣẹ; Awọn alaye ni awọn alaye wọn jẹ okun diẹ sii.

Pataki pataki ti wọn awọn mimọ ko le ṣe igbeyawo, paapaa ni iṣelọpọ semicotanctoctor ṣelọpọ. Awọn Circupition ti ode oni pọ si (ICS) Awọn Transtors ẹya ati awọn ọna ṣiṣe ti o yanilenu, nigbagbogbo wọn ni nanomters (biliti ti mita kan). Ni iwọn kekere ti microcopic yii, paapaa abe ti ko fẹ ohun silẹ-Can iṣe bi soulder ni sisan kekere, dida idamu sisan ti o pinnu tabi nfa awọn abawọn igbekale. Eyi le ja si prún aṣiṣe, ati ninu ile-iṣẹ nibiti o ti ṣe agbejade awọn chips ni a iṣelọpọ lori kan wafer, ti owo-owo kan, Ibajẹ owo ati ijapa lati ibigbogbo iba konkankan le jẹ aiṣedeede. Nitorinaa, awọn mimọ ti awọn gaasi pataki ti itanna jẹ ọlà ti a da ipilẹ lori eyiti gbogbo itanna ati isomita ile-iṣẹ iduroṣinṣin. Eyikeyi ohun silẹ le fi iṣẹ ọwọ kan pamọ, eso, ati igbẹkẹle, ti o ni lile gaasi mimọ iṣakoso pataki.

Ni gaasi Huzhong, a loye pe awọn alabara wa ninu awọn Awọn ile-iṣẹ Awọn ile-iṣẹ Semiconctor Gbẹkẹle wa lati pese awọn ategun ti o pade tabi kọja "awọn ẹya marun" (99.999%) tabi paapaa "awọn akọle mẹfa" (99.9999%) awọn ipele mimọ. Eyi tumọ si pe eyikeyi ohun silẹ Gbọdọ wa ni awọn ifọkansi kekere ju awọn ẹya fun miliọnu (PPM) tabi paapaa awọn apakan fun bilionu (PPB). Iyọrisi ati ṣiṣe ijẹrisi iru giga giga Awọn ipele nilo agbara afọmọ Awọn imuposi ati, Crocially, ti ilọsiwaju itupalẹ esi awọn ọna. Niwaju airotẹlẹ ohun silẹ tun le tọka awọn ọran pẹlu awọn Awọn agolo gigun gaasi tabi pq ipese, ti n ṣe awọn ayẹwo didara deede pataki. A rii daju wa Sitrogen silinden Awọn ọrẹ, fun apẹẹrẹ, pade awọn iṣedede imuni yii mọ, bi nitrogen jẹ gaasi iṣẹ-ṣiṣe ni ọpọlọpọ awọn igbesẹ adaṣe imu.

Bawo ni a ṣe le jẹ awọn imperapic kakiri ti ara ẹni dirail awọn ẹrọ iṣelọpọ awọn iṣelọpọ iṣelọpọ?

O jẹ diẹ nira lati fojuinu bii nkan kekere, a wa kakiri aito Ti wọn ni awọn apakan fun bilionu (PPB) tabi paapaa awọn ẹya fun trillion (PPT), le fa iru awọn iṣoro pataki. Ṣugbọn ni agbaye ti okiti ọgbẹ ẹrọ, ohun elo nkan wọnyi koju jẹ awọn majẹmu pataki. Jẹ ki a ro pe ilana ilana isọdi semistenctor kan: o jẹ awọn dosinni, ti awọn igbesẹ elege bii idogo (yiyọ ohun elo), ati icationation ti ion (ti o fi awọn atomu kan pato). Igbesẹ kọọkan gbarale agbegbe kemikali ti o ṣalaye gbangba, nigbagbogbo ṣẹda tabi titọju nipasẹ Awọn ategun pataki. Ti a ba gaasi lo Ninu ọkan ninu awọn igbesẹ wọnyi gbe awọn aifẹ ohun silẹ, iyẹn ohun silẹ ni a le dapọ si awọn fẹlẹfẹlẹ ẹlẹgẹ ti awọn okiti ọgbẹ ẹrọ.

Fun apẹẹrẹ, Awọn impuraini ti fadaka Bii iṣuu soda, irin, tabi idẹ, paapaa ni awọn ifọkansi onirẹlẹ, le ṣee paarọ awọn ohun-ini itanna ti yanrin ti yanrin ti yanrin. Wọn le ṣẹda awọn ọna ṣiṣe ti aifẹ, ti o yori bi "awọn ẹgẹ awọn itanna, fa fifalẹ ẹrọ naa tabi nfa ki o kuna patapata. Ẹya ohun silẹ tun le dabaru pẹlu awọn ifura kemikali ti a pinnu ninu igbesẹ ilana kan. Fun apẹẹrẹ, a todamọ Ni gaasi etching le fa ilọpo meji tabi over-etching, dabaru awọn ilana pipe lori wafer. Ipa naa kii ṣe lori awọn eerun ẹni kọọkan; ti ko mọ ohun silẹ Ọrọ le ja si gbogbo awọn ipele ti awọn wagan ti awọn ti a ṣe iyasọtọ, Abajade ni awọn adanu, awọn idaduro awọn idaduro ti awọn adanu, ti o nilo lati rii daju ipese iduroṣinṣin ti awọn ohun elo didara. Eyi ṣe afihan iwulo to ṣe pataki fun logan wiwọn wiwọn.

Ipenija ni pe "Ipele" itẹwọgba fun eyikeyi ohun silẹ ntọju didan bi okiti ọgbẹ Awọn ẹya ẹrọ di kere. Ohun ti a ka si itẹwọgba ohun silẹ ipele ti ọdun mẹwa sẹhin le jẹ catastrophic kan iba konkankan loni. Ikọkọ alaigbọran yii fun Miatoatuzation Fighteus Itẹwe lori awọn olupese gaasi ati awọn aami itupalẹ lati ni ilọsiwaju Iwọn iṣawari awọn agbara. Paapaa pcesslate Awọn impriraties, eruku kekere ti ko han si oju ihoho, le di ina ni awọn igbesẹ fọtohouluttogratographytompittompittography tabi ṣẹda awọn abawọn ti ara lori dada wafer. Nitorinaa, ṣiṣakoso gbogbo agbara ohun silẹ - boya gaseous, ti fadaka, tabi pcesslate - Ṣe pataki. Awọn ibiti o ti awọn impurities ti o le fa awọn ọran jẹ eyiti o pọ julọ, tẹnumọ iwulo fun okeerẹ Pupa gaasi.

Kini awọn iṣoro iṣoro ti o wọpọ julọ? Idanimọ awọn riri ni awọn gaasi fun awọn ẹrọ itanna.

Nigba ti a ba sọrọ nipa Awọn impurities ni awọn gaasi ti a pinnu fun awọn itanna ati isomita Apakan, a n wo simẹnti Oniruuru ti awọn ohun kikọ, ọkọọkan pẹlu agbara lati fa ipalara nla. Wọnyi awọn impurities lati wa ni ri Le gbooro wa ni tito lẹtọ sinu gaseous, ti fadaka, ati awọn fọọmu apẹrẹ. Loye awọn iṣoro awọn iṣoro wọnyi jẹ igbesẹ akọkọ ninu munadoko itupalẹ esi ati iṣakoso. Pato eegun le yatọ si da lori gaasi funrararẹ, ọna iṣelọpọ rẹ, ibi ipamọ, ati mimu.

Jiebẹ abirun jẹ awọn ategun miiran ti o wa ni akọkọ gaasi pataki. Fun apẹẹrẹ, ninu giga giga nitrogen, geseus wọpọ abirun le pẹlu oxygen (o Atẹgun ati ọrinrin ni iṣoro paapaa bi wọn ṣe n ṣe ayẹwo pupọ ati pe o le ja si ifoyipo ti aifẹ ti okiti ọgbẹ awọn ohun elo tabi ilana ilana. Paapaa ninu ẹya Intert gaasi fẹran jiyan, iwọnyi le wa ni awọn ipele kakiri. Gẹgẹbi ile-iṣẹ kan, a nigbagbogbo rii awọn ibeere fun igbekale ti a Awọn impurities jakejado, pẹlu awọn ẹya ara wọnyi. Fun apẹẹrẹ, awọn agbara wa pẹlu gbigbe eka Rusi Awọn ọja, nibiti iṣakoso paati kọọkan, pẹlu Gaseous ti o pọju abirun, ni paramoy.

Awọn impuraini ti fadaka jẹ ibakcdun pataki miiran. Iwọnyi jẹ awọn ọta ti awọn irin bi iṣuu soda (fun potasiomu (K), irin (cu), nickel (cr), ati aluminium (al). Wọn le wa labẹ awọn ohun elo aise, awọn ẹrọ iṣelọpọ (bii Pipelles ati Awọn Oludari), tabi paapaa awọn Awọn agolo gigun gaasi ara wọn ti ko ba ṣe itọju daradara. Gẹgẹbi a ti sọ, iwọnyi wọnyi Awọn impurities irin le ni ipa ni ipa awọn iṣẹ itanna ti okiti ọgbẹ awọn ẹrọ. Wiwa awọn wọnyi ni PPB tabi awọn ipele PPT nilo awọn imọ-ẹrọ itupalẹ ti o ni ikanra bi a ṣepọ pilasima ibi-ọrọ pilasima (ICP-Ms). A tun nilo lati ro pcesslate ọrọ. Iwọnyi jẹ awọn patikulu kekere tabi awọn patikulu omi ti daduro fun igba diẹ gaasi ṣiṣan omi. Wọn le fa awọn abawọn ti ara lori awọn wafers, di idiwọ awọn nozzles ninu ẹrọ, tabi ṣafihan omi miiran koju. Fifun jẹ bọtini si yiyọ awọn pcpalulates, ṣugbọn ibojuwo awọn ipele wọn jẹ apakan ti okeerẹ kan Didara gaasi Eto. Diẹ ninu Awọn ategun pataki tun wa ategun ategun tabi Awọn ategun majele, eyiti o ṣafikun Layer miiran ti complity si mimu wọn ati itupalẹ, aridaju pe Oluwa ohun silẹ Profaili ko ṣe awọn eewu wọnyi.

ICP-Ms: Iwọn goolu fun ṣawari awọn iyọrisi ti fadaka ni awọn akinpa-semimidoctor?

Nigbati o ba de si Oluwa Onínọmbà ti awọn iṣan ara ninu ultra-giga gaasi mimọ, Ikojọpọ pilasima ibi-nla ti agbegbe, tabi ICP-Ms, ni a gba kaakiri bi imọ-ẹrọ ti o jẹri. O jẹ ilana ti o lagbara ti imọ-ẹrọ ti o le rii ati ṣe alaye ibiti o wa jakejado ti awọn itọsi igba, nigbagbogbo si isalẹ lati iyalẹnu kekere - ronu awọn ẹya-fun-dillion (PPL) tabi paapaa awọn ẹya-fun-3adrillion (PPQ) fun diẹ ninu awọn eroja. Ifamọ yii jẹ idi pataki idi ICP-Ms ti di pataki julọ fun awọn okiti ọgbẹ ile-iṣẹ, nibiti, bi a ti sọrọ, paapaa awọn oriṣi iṣẹju ti Awọn impuraini ti fadaka le jẹ ibajẹ si didara ọja.

Bawo ni ICP-Ms ṣiṣẹ idan rẹ? Ni awọn ofin ti o rọrun, awọn Gaasi ayẹwo (tabi ojutu kan ti a gba lati gaasi) ni a ṣe sinu pilasima gbona pupọ, ojo melo ti ṣe jiyan. Pilasma yii, de awọn iwọn otutu ti 6,000 si 10,000 ° C, jẹ ifunni ti o to lati fọ si isalẹ awọn ohun elo gaasi ati ifunwo awọn atomu ti o wa, pẹlu eyikeyi Awọn impuraini ti fadaka. Awọn ions wọnyi ni a jade lati inu pilasima ati itọsọna sinu iwoye ibi-ọpọ. Awọn iwa ti ọpọ eniyan bi àlẹmọ gangan, yiya sọtọ awọn ions da lori ipin-si-iye owo wọn. A oun ipewari Lẹhinna ka awọn is fun ibi-aye kan pato, fun wa laaye lati ṣe idanimọ iru awọn eroja wa ati ni opoiye. Agbara ti ICP-Ms Lati ọlọjẹ fun awọn ti o gbooro kan ti Awọn impuraini ti fadaka ni awọn gaasi pataki Ni nigbakannaa jẹ ki o munadoko pupọ.

Igba pipẹ ICP-Ms jẹ alagbara, kii ṣe laisi awọn italaya rẹ, ni pataki nigbati o ba n ba pẹlu awọn ategun ti a lo ni semictoctor probnition. Ọna ti o wọpọ ni lati pa awọn abirun lati iwọn gaasi nla kan si iwe kekere tabi omi omi, eyiti o ṣe atupale nipasẹ ICP-Ms. Sibẹsibẹ, taara abẹrẹ taara sinu ICP-Ms Eto naa tun di diẹ wọpọ fun awọn ohun elo kan, botilẹjẹpe o nilo awọn ile-iwe amọja. Yiyan ọna da lori pato impliti gaasi ti iwulo, gaasi Matrix, ati pe o nilo Iwọn iṣawari. Ni gaasi Huazhong, a ṣe idokowo ni ohun elo atupale ti ilu-aworan, pẹlu ICP-Ms awọn agbara, nitori awa mọ pe o pese igbẹkẹle itupalẹ esi data jẹ ipilẹ si igbẹkẹle awọn alabara wa ni wa Irẹrẹ giga giga ategun. Konge ti ICP-Ms ṣe iranlọwọ lati rii daju pe mimọ ti awọn ategun pade awọn ibeere ti o lagbara fun ẹrọ itanna awọn ohun elo.

Kini idi ti aiṣan gaasi gaasi ti kii ṣe idunadura fun awọn itanna ati awọn ile-iṣẹ iṣeemiconctor?

Iwulo fun gbigbẹ gaasi mimọ ninu Awọn ẹrọ itanna ati awọn ile-iṣẹ semicoctoctorctor kii ṣe ààyò; O jẹ ibeere pataki nipasẹ fisiksi ati awọn onimọ-ọrọ ti iṣelọpọ ẹrọ ti ode oni. Bii okiti ọgbẹ Awọn ẹya ẹrọ ti o tẹ si iwọn nanameter, ifamọra wọn si eyikeyi fọọmu ti iba konkankan Skyrockets. Ẹya ohun silẹ Iyẹn le jẹ aifiyesi ni agbalagba, awọn ẹrọ nla le bayi fa awọn ikuna catastrophic bayi ni awọn eeyan gige-eti. Eyi taara ni ikore - ipin ogorun ti awọn eerun ti o dara fun wafer kan fun wafer - ati paapaa silẹ silẹ ni eso ti o le tumọ si awọn miliọnu ti o sọnu fun a okiti ọgbẹ Olupese.

Ronu nipa faaji ti eka ti o jẹ ohun orin iyanu kan ti o jẹ ohun-ini iranti. O ni awọn ọkẹ àìńni-ọkẹ ààyé, a máa ya ọnà ìwà yín kọọkan ti ẹnjini. Iṣẹ ti awọn transistors wọnyi da lori awọn ohun-ini itanna ti awọn ohun elo itanna ti okiti ọgbẹ Awọn ohun elo ti a lo, eyiti o jẹ, ni ọwọ, ni ifaragba si abirun. Fun apẹẹrẹ, idaniloju Awọn impuraini ti fadaka le ṣafihan awọn ipele agbara aifẹ laarin okun banki banki, yori si pọ si jijo lọwọlọwọ tabi idinku gbigbe gbigbe ti o dinku tabi dinku dinku. Eyi tumọ si lọra, ko ni lilo daradara, tabi awọn ẹrọ ti kii ṣe iṣẹ ṣiṣe patapata. Jiebẹ abirun Bii atẹgun tabi ọrinrin le ja si dida ti awọn fẹlẹfẹlẹ funfun ti a ti pinnu, yiyipada awọn sisanra fiimu tabi awọn ohun-ini wiwo ni pataki fun iṣẹ ẹrọ. Gbogbo apapọ Didara gaasi taara tumọ si didara ọja ati igbẹkẹle.

Pẹlupẹlu, awọn Awọn ẹrọ itanna ati awọn ile-iṣẹ semicoctoctorctor ti wa ni ijuwe nipasẹ awọn ilana iṣelọpọ ti o gbowolori pupọ. Ẹyọkan okiti ọgbẹ Ohun ọgbin Prodarion ("Fall") le na awọn ọkẹ àìmọye dọla lati kọ ati fun ẹrọ. Awọn ategun ti a lo ni o wa sinu ọpọlọpọ awọn igbesẹ ilana idiyele wọnyi. Ti a ba gaasi pataki ti doti pẹlu ẹya ohun silẹ, kii ṣe ni ipa lori awọn olusọ ọrọ lọwọlọwọ; O tun le ṣe idiwọ ohun elo sisẹ gbowolori ti o funrararẹ. Eyi le ja si downtime silẹ fun mimọ ati iwulo, siwaju simu awọn idiyele ati idayapọ awọn iṣeto iṣelọpọ nla kan, ẹniti o gbarale ifijiṣẹ ti akoko, ẹniti o gbarale ifijiṣẹ ti akoko, ẹniti o gbarale ifijiṣẹ ti akoko, ẹniti o gbarale ifijiṣẹ ti akoko, ẹniti o gbarale ifijiṣẹ ti akoko, ẹniti o gbarale ifijiṣẹ ti akoko, ẹniti o gbarale ifijiṣẹ akoko Nitorina, aridaju Oluwa mimọ ti awọn gaasi pataki ti itanna nipasẹ nira itupalẹ esi jẹ ilana imọ-jinlẹ to ṣe pataki fun gbogbo pq gbogbo. Idojukọ wa giga giga mimọ jẹ trandistless nitori awọn oko naa jẹ iyalẹnu giga.

Awọn italaya bọtini wo ni a dojuko ninu itupalẹ ti awọn impurities metallation ni awọn ategun pataki?

Itupalẹ Awọn impuraini ti fadaka ninu Awọn ategun pataki, pataki awọn ti a lo ninu okiti ọgbẹ ile-iṣẹ, ṣafihan eto alailẹgbẹ ti awọn italaya. Iṣoro akọkọ ti o wa lati awọn ifọkansi kekere ti o yatọ ni eyiti awọn wọnyi abirun Le jẹ iṣoro - nigbagbogbo ni awọn ẹya-fun-bilionu (PPB) tabi paapaa awọn ẹya-fun-dillion (PPT). Ṣawari ati ni pipe ni pataki iru awọn idiyele iṣẹju bẹ nilo kii ṣe irinna atupale pupọ ICP-Ms Ṣugbọn tun iyasọtọ nu awọn agbegbe an_allypical ati awọn ilana imuṣiṣẹpọ ti o ni idaniloju lati yago fun awọn ita ita iba konkankan.

Ipenija pataki kan jẹ ifihan ifihan ayẹwo. Ọpọlọpọ Awọn ategun pataki ti a lo ninu itanna ti wa ni ibamu pupọ, corrosive, tabi paapaa piyrophoracric (isùn lẹẹkọkan ni afẹfẹ). Lailewu ati gbigbe ni awọn wọnyi atilaasi sinu ohun elo itupamo bi ẹya ICP-Ms Laisi yi pada Gaasi ayẹwo tabi itosi irinse nilo awọn ile-ini pataki ati awọn ilana mimu. Fun apẹẹrẹ, taara ninu a ategun gaasi Bi Hydrogen Chroraide (HCL) sinu boṣewa ICP-Ms eto le bajẹ ibajẹ rẹ. Nitorina, awọn ọna aiṣe-taara, gẹgẹ bi idiwọ ti ko imping (ki o ma jẹ gaasi nipasẹ omi lati mu abirun) tabi idenkeniki okuta, ni a gba agbanisiṣẹ nigbagbogbo. Sibẹsibẹ, awọn ọna wọnyi le ṣafihan awọn orisun agbara wọn ti iba konkankan tabi pipadanu atupale ti ko ba ṣe daradara. Yiyan ti Gas gaasi fun diobasi, ti o ba nilo, gbọdọ tun jẹ impeccable awọn mimọ.

Ipenija miiran jẹ "ipa Matrix." Olopobobo afẹfẹ funrararẹ (fun apẹẹrẹ, jiyan, nitrogen, hydrogen) le dabaru pẹlu iṣawari ti Wa awọn impututies wa. Fun apẹẹrẹ, ninu ICP-Ms, pilasima ṣe agbekalẹ lati inu olopo afẹfẹ le ṣẹda awọn ions polyatomic ti o ni ipin-si-iye owo kanna bi diẹ ninu ibi-afẹde Awọn impuraini ti fadaka, yori si awọn idaniloju eke tabi iṣiro ti o peye. Awọn atunnkanka gbọdọ lo awọn imuposi bi awọn sẹẹli alapin / awọn sẹẹli ninu awọn ICP-Ms Tabi ibi-afẹde giga-giga lati bori awọn interceres scerent wọnyi. Pẹlupẹlu, awọn ajohunše camailation ti a lo fun ìfiju Awọn impurities irin gbọdọ jẹ deede ti o gaju ati tẹkẹyin, ati gbogbo ilana atunyẹwo gbọdọ wa ni idaniloju lati rii daju igbẹkẹle ti awọn itupalẹ esi awọn abajade. Awa, bi olupese, tun ṣe aibalẹ nipa iduroṣinṣin ti Awọn agolo gigun gaasi ati agbara wọn lati ṣe alabapin Awọn impuraini ti fadaka Ju akoko, eyiti o ṣe pataki iṣakoso didara.

Ṣe o le lo ẹrọ paṣipaarọ gaasi mu deede ti wiwọn imputerities wa?

Bẹẹni, lilo ẹrọ paṣipaarọ gaasi kan le nitootọ mu ipa pataki ni imudarasi deede ti wiwọn wiwọn, Paapa nigbati o ba n ba awọn ibaraẹnisọrọ afẹfẹ macries tabi nigbati ero fun ultra-kekere iṣawakiri awọn idiwọn. A Ẹrọ paṣipaarọ gaasi, nigbami tọka si bi eto imukuro Matrix, awọn iṣẹ pataki nipasẹ yiyan yiyọ kuro afẹfẹ (paati akọkọ ti awọn Gaasi ayẹwo) lakoko ti o ṣojukọ awọn Wa awọn impututies wa ti iwulo. Igbesẹ-ṣiṣe-fojupẹ-fojusi le ṣe irọrun ilọsiwaju ifamọra ti awọn imọ-ẹrọ ti o tẹle bi ICP-Ms tabi chromator awọn ọna ṣiṣe.

Ofin naa ni ẹhin ọpọlọpọ Awọn ẹrọ paṣipaarọ gaasi Pe awo aṣofin ologbele-permere tabi yiyan / siseto ijumọsọrọ. Fun apẹẹrẹ, a le ṣee lo awo awo kan lati yan Hydrogen lati a Riipo adalu, gbigba miiran Awọn impurities ni awọn gaasi lati wa ni ogidi ati kọja si a oun ipewari. Bakanna, awọn ohun elo Adsorbent kan pato le dẹrọ kan abirun lati kan ti nṣan afẹfẹ Oja, eyiti o le lẹhinna jẹ ki gbona ni iwọn didun kekere ti mimọ Gas gaasi fun itupalẹ. Nipa idinku iye ti olopobobo afẹfẹ de awọn oun ipewari, awọn ẹrọ wọnyi dinku mtrix interess, kekere ariwo isale, ati ki o pọ si ipin Wa awọn impututies wa. Eyi le ja si isalẹ opin iwari.

Awọn anfani ti lilo ẹrọ paṣipaarọ gaasi kan jẹ pataki julọ nigbati itutu awọn impurities ninu itanna Awọn ategun ti o nira lati mu taara tabi ti o fa kikọlu pataki ni awọn ohun elo itupalẹ. Fun apẹẹrẹ, nigbati o ba gbiyanju lati wiwọn atẹgun wa kakiri tabi ọrinrin ni ibamu pupọ gaasi pataki, A Ẹrọ paṣipaarọ gaasi le ya awọn wọnyi lọ abirun sinu ọlá diẹ sii Gas gaasi fẹran jiyan tabi helium ṣaaju ki wọn to de ọdọ oun ipewari. Eyi kii ṣe imudarasi deede ṣugbọn tun le daabobo awọn ohun elo itupalẹ imọ-jinlẹ. Bi olupese ti 99.999% mimọ 50l silinda Xel Galinder, a loye iye ti awọn imọ-jinlẹ to ni ilọsiwaju ni ijẹrisi iyasọtọ awọn mimọ ti toje ati Awọn ategun pataki. Imọ-ẹrọ ti imọ-ẹrọ yii ni pataki Imifiisi gaasi ati awọn ipele ijerisi.

Ọna asopọ to ṣe pataki: itupalẹ impulujẹ ni awọn gaasi ti a lo taara ni iṣelọpọ Semicotanctor.

Awọn Awọn ategun ti a lo taara ni iṣelọpọ Semicoctuctor ni aye ti ilana ilana. Iwọnyi pẹlu kii ṣe nikan ategun ti awọn ategun bi nitrogen ati jiyanṢugbọn ṣugbọn tun owo fifẹ ti Awọn ategun pataki bi eleyi Awọn ategun epo (fun apẹẹrẹ, silian, Jẹmmani fun awọn fẹlẹfẹlẹ crystal ndagba), etching ategun (fun apẹẹrẹ, nf₃, sf₆, cc fun apẹrẹ), ion awọn ategun ti ion (Fun apẹẹrẹ, Arthine, Phoṣfere, Boron Treflude fun doping), ati awọn gaasi idogo. Fun ọkọọkan awọn wọnyi ategun nilo, ipele ati iru itẹwọgba ohun silẹ ti wa ni asọye ti n ṣalaye nitori iyapa eyikeyi le ṣe itumọ taara sinu awọn abawọn lori awọn okiti ọgbẹ wafer. Eyi mu itupalẹ esi fun awọn wọnyi Awọn gaasi ilana Igbesẹ Iṣakoso to gaju.

Ro idogo ti sirocon dilicon Dioxide Layer kan, InọlAtor ti o wọpọ ni awọn olutọpa. Ti atẹgun ti lo gaasi Fun ilana yii ni Hydrocarbon abirun, erogba le ṣe idapọ sinu Layer akiri, ibajẹ awọn ohun-ini ti o ni iyọkuro ati pe o yorisi si ikuna ẹrọ. Bakanna, ti o ba jẹ etching kan afẹfẹ Ni airotẹlẹ ohun silẹ, o le paarọ awọn epa oṣuwọn tabi yiyan, yori si awọn ẹya ti o tobi ju, kekere, tabi apẹrẹ ti ko tọ. Paapaa ẹya ohun silẹ ninu ẹya Intert gaasi fẹran Silinda gal ardon Ti a lo fun fifun ni a le gbe si pẹlẹpẹlẹ dada dada, ti o ni ipa lori didara fiimu. Ipa ti ẹya ohun silẹ jẹ igbagbogbo ilana-pato, itumo ẹya ohun silẹ farada ninu igbesẹ kan le jẹ pataki todamọ Ni miiran.

Ọna asopọ to nira yii nilo ọna pipe si itupalẹ esi. Kii ṣe nipa yiyewo ọja ikẹhin; o pẹlu ibojuwo awọn ohun elo aise, awọn ṣiṣan ilopọ, ati ik afẹfẹ Awọn ipele mimọ. Fun olomita pataki awọn ategun, awọn alaye ni pato fun impurities ni semicondoctor Awọn ohun elo jẹ igbagbogbo ni wiwọ pupọ, titari awọn aala ti iwari abẹwodi. A n ṣiṣẹ ni pẹkipẹki pẹlu awọn alabara wa ninu awọn secoctonctor ati itanna aaye lati ni oye pato wọn ohun silẹ Awọn ifojusi fun oriṣiriṣi Awọn ategun ati awọn apopọ gaasi. Ọna iṣọpọ yii ṣe iranlọwọ idaniloju pe Awọn ategun pataki A pese nigbagbogbo pade awọn ibeere eletan ti awọn ilana iṣelọpọ ti ilọsiwaju wọn. Awọn ipenija wa ni wiwa a Awọn impurities jakejado ni awọn ipele ti o dinku lailai.

Nikan kọja lb: awọn iṣe ti o dara julọ fun mimu awọn epo-mimọ giga-mimọ dideamidoctor lati yago fun kontaminesonu.

Aridaju Oluwa mimọ ti awọn gaasi pataki ti itanna ko pari nigbati awọn afẹfẹ Fi oju ẹrọ iṣelọpọ wa silẹ. Ṣetọju pe awọn mimọ Gbogbo ọna si aaye ti lilo ninu a okiti ọgbẹ Fabì nilo ifojusi si i akọkọ si mimu, ibi ipamọ, ati pinpin. Paapaa ti o ga julọ Puga Pual le di ti doti ti ko ba ṣakoso ni deede. Ni gaasi Huzhong, a kii ṣe idojukọ nikan lori iṣelọpọ Awọn ategun giga-mimọ ṣugbọn tun ni imọran awọn alabara wa lori awọn iṣe ti o dara julọ lati yago fun awọn ipo iba konkankan.

Bọtini awọn iṣe ti o dara julọ pẹlu:

• Aṣayan paati: Gbogbo awọn paati ni eto ifijiṣẹ gaasi - pẹlu Awọn agolo gigun gaasi, awọn oṣiṣẹ, awọn falifu, iwẹ, ati awọn ohun elo - gbọdọ ni a ṣe lati awọn ohun elo ti o yẹ (fun apẹẹrẹ, irin ti ko ni itanna ati ifọwọsi ni pataki ati ifọwọsi fun Ultra-giga mimọ (Iṣẹ-iṣẹ UHP). Lilo awọn ohun elo ti ko tọ le ja si ṣiṣan ti abirun tabi a titale ti fadaka leaching sinu awọn gaasi ṣiṣan omi.
• Iduroṣinṣin Eto: Eto ifijiṣẹ ti gaasi gbọdọ jẹ ki o ni-gàn. Paapaa awọn fors kekere le gba apmosporic koju Bi atẹgun, ọrinrin, ati pcesslate ọrọ lati tẹ eto, gboju gaasi mimọ. Ṣiṣayẹwo iyọ deede jẹ pataki.
• Awọn ilana mimọ: Awọn ilana fifun ni gbogbo akoko ni gbogbo igba ti a ṣe tabi silinda kan ti yipada. Eyi pẹlu fluusing awọn ila pẹlu a gaari mimọ (bii jiyan tabi nitrogen) lati yọ afẹfẹ eyikeyi tabi abirun. Lailoping pupo jẹ orisun ti o wọpọ ti iba konkankan. Nigbagbogbo a ṣe iṣeduro awọn panẹli purge ti odoju lati rii daju iduroṣinṣin.
• Awọn ohun elo igbẹhin: Lilo awọn ilana iyasọtọ ati awọn ila fun pato atilaasi tabi awọn idile ti atilaasi le ṣe idiwọ idibajẹ. Eyi ṣe pataki julọ nigba yiyi laarin ẹya Intert gaasi ati ifasimu tabi ategun gaasi.
• Mimu Groinder: Awọn agolo gigun gaasi yẹ ki o wa ni ibamu pẹlu abojuto lati yago fun bibajẹ. O yẹ ki wọn wa ni fipamọ ni apẹrẹ, awọn agbegbe itutu daradara, ati "Akọkọ-ni, akọkọ-jade" Managery Manakoso yẹ ki o ṣe. Lilo ọrinrin ti igbẹhin ati atẹgun Awọn itupale ni awọn aaye to ṣe pataki le ṣe iranlọwọ fun atẹle ni eyikeyi ingress ti awọn wọnyi wọpọ abirun.

Fun awọn onibara bi Marku Shen, tani n ra awọn ategun fun resale tabi fun lilo ninu iṣelọpọ wọnyi jẹ pataki fun mimu awọn didara ọja Wọn ṣe ileri fun awọn alabara tiwọn. O jẹ ojuṣe o pin. A rii daju wa Sildrogen Awọn ọja, fun apẹẹrẹ, ti wa ni kikun ati ṣetọju lati yago fun ohun silẹ Goorry, ṣugbọn eto ayẹwo-lọwọlọwọ ṣe ipa pataki ni dọgbadọgba pataki. Ija lodi si ohun silẹ jẹ igbiyanju nigbagbogbo lati iṣelọpọ si ohun elo.

Gazing sinu Boolu Crystal: Kini awọn innowation iwaju wo ni a le nireti ninu iṣawari impricity fun awọn ategun to ite?

Ibeere fun lailai-ti o ga julọ awọn mimọ ninu itanna ite ite ati diẹ sii ni ifura Iṣaye irora Awọn ọna jẹ irin-ajo ti o tẹsiwaju, ti a fi ofin de okiti ọgbẹ ile-iṣẹ. Bii Ẹrọ Sọrọ siwaju si Awọn ohun elo Nainomet Sub-10 ati awọn ohun elo tuntun soro ati 3D Nand ati ẹnu-ọna ati ẹnu-ọna Wa awọn impututies wa yoo di diẹ sii. Eyi yoo ṣe iyọkuro awọn ilọsiwaju siwaju ni mejeeji Imifiisi gaasi Awọn imọ-ẹrọ ati itupalẹ esi awọn agbara.

A le fonisin ọpọlọpọ awọn aṣa:

• Awọn ifilelẹ isalẹ isalẹ: Awọn imọ-ẹrọ itupalẹ bii ICP-Ms, Gaasi chromatography-marctometry (GC-MS), ati iho-iho-isalẹ-isalẹ iwoye-isalẹ-isalẹ-isalẹ isalẹ-isalẹ (awọn CRD) yoo tẹsiwaju lati dagbasoke, titari iṣawakiri awọn idiwọn Fun gbigbọ ibiti o ti awọn impurities silẹ si awọn ipele Pit-ẹyọkan tabi paapaa sinu agbegbe PPQ. Eyi yoo nilo awọn imotuntun ni awọn orisun ion, awọn iṣayẹwo ibi-ese, ati oun ipewari Imọ-ẹrọ.
• IN-TAU ATI IBI TI A TI NIPA: Ibeere ti ndagba wa fun awọn ọna awọn atupale ti o le ṣe atẹle gaasi mimọ Ni akoko gidi, taara ni aaye ti lilo laarin awọn okiti ọgbẹ Fab. Eyi ngbanilaaye fun wiwa lẹsẹkẹsẹ ti eyikeyi iba konkankan awọn iṣẹlẹ tabi awọn idinku ninu ohun silẹ Awọn ipele, fun igbese to tọ atunṣe ati pipadanu ọja dinku. Awọn sensorized miiterized ati awọn algoriths ti o ni ilọsiwaju yoo mu ipa bọtini wa nibi.
• Onínọmbà gaasi Illasi: Ọjọ iwaju okiti ọgbẹ Awọn ilana le pẹlu eka sii Awọn apopọ gaasi pẹlu ọpọlọpọ awọn irinše ti o ni agbara pupọ. Itupalẹ abirun Ninu iru awọn matrics ti o nija bẹ yoo nilo awọn ilana itupalẹ tuntun ati awọn irinṣẹ itumọ data ti o ga julọ. Agbara lati wiwọn ohun kan ohun silẹ Ninu paati kan laisi kikọlu lati awọn miiran yoo jẹ pataki.
• Idojukọ lori "apanirun": Iwadi yoo tẹsiwaju lati ṣe idanimọ pato impurities ni semicondoctor Sikiri ti o ni ikogun nla ipa nla lori iṣẹ ẹrọ tabi eso, paapaa ni awọn ipele kekere ti o yatọ. Awọn ọna itupalẹ yoo di ẹni ti o fojusi si ọna "apanirun" abirun.
• Awọn atupale data ati AI: Awọn iwọn to gbooro ti data ti ipilẹṣẹ nipasẹ ilọsiwaju itupalẹ esi Awọn ọna ṣiṣe yoo ni itẹlọrun nipa lilo AI ati ẹrọ ẹrọ lati ṣe idanimọ awọn oṣuwọn, asọtẹlẹ agbara iba konkankan Awọn ọran, ati pe o dara julọ Imifiisi gaasi awọn ilana. Eyi le ṣe iranlọwọ ninu iṣakoso didara didara kuku ju iṣoro iṣoro iṣoro-yanju.

Ni Gaasi Huzhong, a ti ni ileri lati duro ni iwaju ti awọn idagbasoke wọn. A nigbagbogbo ni idoko-owo ni iwadi ati idagbasoke, ifowosowopo pẹlu awọn alabaṣepọ ile-iṣẹ ati awọn ile-ẹkọ ẹkọ lati tẹsiwaju ilana imọ-jinlẹ ti giga mimọ gaasi iṣelọpọ ati itupalẹ esi. Fun awọn alabara wa, pẹlu awọn ti o ni oye ti o jẹwọ bi ami shen, eyi tumọ si ipese ti o gbẹkẹle Awọn ategun pataki iyẹn pade awọn aini ti awọn Awọn ẹrọ itanna ati awọn ile-iṣẹ semicoctoctorctor. Sakani wa ti wa Helium, ti a mọ fun interness rẹ ati lilo ninu awọn ohun elo amọja, tun anfani lati awọn ayẹwo ananigbo ti ilọsiwaju wọnyi lati rii daju kekere ohun silẹ Awọn ipele.

Awọn ọna kika bọtini lati ranti:

• Awọn ategun pataki jẹ ipilẹ si Ṣiṣejade Semicaltuctor, ati wọn awọn mimọ jẹ alaigbagbọ.
• Paapaa Wa awọn impututies wa, wọn ni PPB tabi PPT, le fa awọn abawọn pataki ati pipadanu ninu okiti ọgbẹ awọn ẹrọ.
• Wọpọ Awọn impurities ni awọn gaasi pẹlu awọn ategun miiran (bii OV, HIO), Awọn impuraini ti fadaka, ati pcesslate ọrọ.
• ICP-Ms jẹ imọ-ẹrọ ti ile-iṣẹ fun ṣawari kan Awọn impurities jakejado, Paapa Awọn impuraini ti fadaka, ni awọn ipele-iwọn otutu.
• Mimu gaasi mimọ nilo mimu mimu ati iduroṣinṣin eto lati Silinda gaasi si aaye ti lilo lati yago fun iba konkankan.
• Ọjọ iwaju yoo rii paapaa kekere iṣawakiri awọn idiwọn, ibojuwo gidi-akoko, ati Aisan itupalẹ esi fun ẹrọ itanna ategun.
• Ṣiṣakoso gbogbo agbara ohun silẹ Ṣe pataki fun idaniloju didara ọja ati igbẹkẹle ti ode oni itanna.