Foju inu wo awọn eerun kọnputa kekere ti o fi foonu rẹ rẹ silẹ, laptop rẹ, paapaa ọkọ ayọkẹlẹ rẹ. Awọn ẹrọ ti o nira iyalẹnu wọnyi ti wa ni itumọ pẹlu pipe to gaju, ati ni okan ti iṣelọpọ wọn wa da ipalọlọ ṣugbọn ipa pataki: Awọn ategun pataki. Nkan yii ṣawari ipa pataki ti awọn gaasi mimọ ultra-giga mu ninu semiconductor ati itanna Awọn ile-iṣẹ, salaye idi ti didara wọn ṣe pataki julọ ati bi wọn ṣe mu ṣiṣẹ ayanmọ ti imọ-ẹrọ ti a gbekele ni gbogbo ọjọ. Ronu bi eyi: awọn ategun wọnyi jẹ awọn eroja ikọkọ ti o jẹ igbalode itanna O ṣeeṣe. Loye pataki pataki ni lati loye ọjọ-ọna imọ-ẹrọ.

Mu kuro sinu awọn alaye: ipa pataki ti awọn ategun

Jẹ ki a ṣawari awọn ibeere wọnyi ni alaye.

1

Kii ṣe gbogbo afẹfẹ ti ṣẹda dogba, paapaa nigba ti o ba de ilana ẹlẹgẹ ti iṣelọpọ semicotanctoctor ṣelọpọ. Awọn ategun semiconctor, tun mọ bi Awọn ategun pataki, ni awọn ipele giga ti awọn mimọ. Eyi tumọ si pe wọn fẹrẹẹ jẹ ti a pinnu afẹfẹ, pẹlu awọn oye miiran ti awọn nkan miiran, igba wiwọn ni awọn apakan fun bilionu (PPB). Ko dabi ategun ti awọn ategun lo ninu awọn ile-iṣẹ miiran, iwọnyi Awọn ategun pataki ti wa ni aifọwọyi fun awọn ohun-ini kemikali wọn pato ati agbara wọn lati ṣe awọn iṣẹ asọtẹlẹ ninu ayanmọ ti intricate ẹrọ itanna. Wọnyi ategun ti lo Kii ṣe bi awọn ohun elo aise, ṣugbọn bi awọn alabaṣepọ ti nṣiṣe lọwọ ninu eka naa Kẹmika awọn ifura ti o kọ Awọn ẹrọ isomita.

Asọtẹlẹ ti iwa ti ẹya electics pataki gaasi Ṣe iṣakoso rẹ Awọn gaasi ilana mimọ. Wọnyi Awọn ategun ati awọn apopọ gaasi nigbagbogbo ipadasẹhin tabi ẹrọ inter, farahan ti a yan fun agbara wọn lati etch, muna, tabi ṣẹda awọn fẹlẹfẹlẹ kan lori kan Silicon Wafer. Fun apẹẹrẹ, diẹ ninu atilaasi ti wa ni lo lati fi awọn fiimu tinrin (idogo), lakoko ti awọn miiran lo ninu awọn etchṢe ilana lati yọ ohun elo aifẹ kuro. Awọn okun Awọn ibeere ti awọn Imọ-ẹrọ itanna beere Awọn ipese ti mimọ-giga lati rii daju igbẹkẹle ati iṣẹ ti ikẹhin ẹrọ itanna. O le ṣawari ibiti o wa laarin awọn ategun wa lati loye iyatọ ti o wa.

2. Kilode ti mimọ mimọ ti Ultra-pataki ni pataki fun awọn ategun ti a lo ni iṣeeṣe iṣemikoto?

Foju inu wo igbiyanju lati kọ ọrun giga pẹlu awọn biriki shaky - o rọrun yoo ko ṣiṣẹ. Bakanna, awọn ayanmọ ti okiti ọgbẹ Awọn eerun beere Ultra-giga mimọ. Paapaa awọn oye kakiri ti ohun silẹ ninu ategun ti a lo le ni awọn abajade catastrophic. Wọnyi ohun silẹ awọn eroja, bii atẹgun ati ọrinrin, le dabaru pẹlu ẹlẹgẹ Kẹmika awọn ifura jakejado iṣelọpọ semicotanctoctor, yori si awọn abawọn ati nikẹhin, ikuna ti awọn Awọn ẹrọ isomita.

Awọn ipele ti mimọ nilo fun Awọn ategun ni iṣelọpọ semiconductor jẹ laarin awọn ti o ni agbara julọ ni agbaye. A n sọrọ nipa Ultra-giga mimọ, nibiti awọn apakan paapaa bilionu kan ti awọn eegun le jẹ iparun. Fun apẹẹrẹ, niwaju ti aifẹ ions le paarọ awọn ohun-ini itanna ti ohun alumọni, Rendeng The waffer asan. Eyi ni idi ti rical Iṣakoso Didara ati ilọsiwaju afọmọ Awọn imuposi jẹ pataki pataki fun eyikeyi olupinfunni ti Awọn ategun semiconctor. Ronu ti o fẹran yan akara oyinbo kan - paapaa diẹ ti eroja ti ko tọ le ba gbogbo nkan ja.

3. Awọn ategun wo ni awọn iṣẹ ile-iṣẹ Semicochoctor?

Lakoko ti ọpọlọpọ Awọn ategun pataki Mu ipa kan, diẹ ninu awọn oṣiṣẹ indispenses ninu awọn Ile-iṣẹ Semicotanctor. Nitrogen ti lo ni gbooro bi ẹya ẹrọ inter afẹfẹ Lati ṣẹda oju-aye ti a ṣakoso, idilọwọ aifẹ Kẹmika awọn ifura. Jiyan, Omiiran ẹrọ inter gaasi, jẹ paapaa pataki fun ṣiṣẹda awọn agbegbe awọn ipinlẹ wọnyi, paapaa ni ariyanjiyan ati omiiran idogo awọn ilana. Hydrogen mu ipa pataki ni idinku ohun elo afẹfẹ fẹlẹfẹlẹ ati bi ti ngbe afẹfẹ.

Ju wọnyi, afẹfẹ ti lo ninu awọn ilana ifosisidari lati ṣẹda siliki dioxide, ohun elo asọye ti o ṣe pataki. Erogba oloro wa awọn ohun elo ni idaniloju etchṣe awọn ilana. Helium, Omiiran gaasi, a ti lo fun iwari gbigbọn ati bi cryogenic tutu. Loye awọn ohun-ini pato ti ọkọọkan afẹfẹ jẹ pataki fun iṣapeye awọn ipo oriṣiriṣi ti Semicotanctor profication. Gege bi awọn irinṣẹ oriṣiriṣi nilo fun awọn iṣẹ oriṣiriṣi, yatọ atilaasi Ti nilo fun awọn igbesẹ oriṣiriṣi ni ṣiṣe crún. O le kọ diẹ sii nipa didara giga wa Sitrogen silinden Awọn aṣayan.

4. Bawo ni a ṣe lo hydrogen pataki ni pataki ni Semicontuctor ati iṣelọpọ Itanna?

Hydrogen jẹ wapọ afẹfẹ pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo ti o ṣe pataki ni okiti ọgbẹ ati Itanna ẹrọ itanna. Ọkan ninu awọn lilo akọkọ rẹ wa ninu idinku irin ohun elo afẹfẹs. Lakoko awọn ipo kan ti Semicotanctor profication, aifẹ ohun elo afẹfẹ Awọn fẹlẹfẹlẹ le dagba lori awọn Silicon Wafer. Mimọ-mimọ hydrogen Awọn iṣe bi aṣoju ti o dinku, fesi pẹlu awọn ohun elo afẹfẹ lati yọ kuro ki o lọ kuro ni mimọ ohun alumọni dada.

Pẹlupẹlu, hydrogen ti lo nigbagbogbo bi ti ngbe afẹfẹ ni ọpọlọpọ idogo awọn ilana. O ṣe iranlọwọ lati gbe iṣẹ ṣiṣe miiran atilaasi si Oluwa waffer dada ni ọna iṣakoso, o ni idaniloju idagbasoke fiimu aṣọ ile aṣọ. Idojukọ jijẹ lori iduroṣinṣin tun jẹ anfani awakọ ninu alawọ ewe hydrogen fun awọn ohun elo wọnyi. Iṣakoso kongẹ ti hydrogen Ṣe o jẹ irinṣẹ ti ko wulo ninu ṣiṣẹda awọn ẹya intricate ti awọn microchips. A nfunni ni igbẹkẹle Sildrogen Awọn solusan fun awọn aini rẹ.

5. Ipa wo ni o ni nitrogen play ni ṣiṣe didara ni ile-iṣẹ Semimicoctor?

Nitrogen jẹ ubiquitous ati pataki afẹfẹ ninu Ile-iṣẹ Semicotanctor, nipataki nitori rẹ ẹrọ inter iseda. Ipa bọtini bọtini rẹ ni lati ṣẹda ati ṣetọju aaye ti o ni ominira lati awọn eroja mimu bi afẹfẹ ati ọrinrin, eyiti o le ṣe ibajẹ ifura Awọn ohun elo Satimidonctor ati dabaru pẹlu Kẹmika awọn ifura. Ronu nipa aṣọ ibora fun ilana iṣelọpọ.

Jak ọpọlọpọ awọn ipo oriṣiriṣi ti Semicotanctor profication, lati idagba gara si waffer sisẹ ati apejọ, nitrogen Ti lo lati fa ẹrọ ẹrọ, ṣẹda awọn agbegbe ile-ifọṣọ, ki o yago fun ifọwọkọ. Eyi ṣe iranlọwọ lati dinku awọn abawọn ki o rii daju didara giga ati igbẹkẹle ti ikẹhin Awọn ẹrọ isomita. Ipese ti o ni ibamu ati igbẹkẹle ti mimọ nitrogen ti wa ni nitorina paramount fun Awọn olupese Alabaṣepọ. Ṣawari ọpọlọpọ awọn eniyan wa Nitrogen Awọn aṣayan ipese lati rii daju iṣelọpọ rẹ ṣiṣẹ laisiyonu.

6. Naegbọn Apongbe do ma yọn azọndanu lẹ nọ yà zẹẹmẹ lẹ to nujọnu lẹdo tọn lẹ mẹ wẹ lẹngbọọmẹ tọn lẹ to hose teeminuctorctor?

Iru si nitrogen, jiyan jẹ ọlọla afẹfẹ ati nitori kemically ẹrọ inter, ṣiṣe awọn ti o tayọ fun ṣiṣẹda awọn afesks ti o dari ni Awọn ilana Semicontuctoctor. Igba pipẹ nitrogen ti lo pupọ, jiyan nfunni awọn anfani diẹ ninu awọn ohun elo kan pato. Iwuwo ti o ga julọ ti a akawe si nitrogen mu ki o munadoko diẹ sii ni idilọwọ awọn ti aifẹ ohun silẹ awọn ọta.

Jiyan ti wa ni lilo wọpọ ni ariyanjiyan, a idogo Imọye nibiti ohun elo afojusun ti wa ni titu pẹlu ions, nfa awọn atomu lati ni a jade ati fi sinu fiimu ti o tinrin lori waffer. Inter inu rẹ ṣe idiwọ o lati fesi pẹlu ohun elo afojusun tabi fiimu ti a fi sii. Jiyan tun lo ni pilasima etchṣe awọn ilana. Fẹran nitrogen, ipese pipe ti mimọ jiyan jẹ pataki fun mimu iduroṣinṣin ti awọn ilana iṣelọpọ. Ro pe igbẹkẹle wa Silinda gal ardon Awọn aṣayan fun ile-iṣẹ rẹ.

7. Ni ikọja awọn ipilẹ: Kini awọn ategun pataki ti itanna jẹ pataki?

Igba pipẹ hydrogen, nitrogen, ati jiyan ti wa ni ipilẹ, sakani ti miiran Awọn ategun pataki jẹ pataki fun awọn ohun elo kan pato ninu iṣelọpọ semicotanctoctor ṣelọpọ. Phosphine jẹ bọtini tokiki orisun fun iṣafihan irawọ owurọ sinu ohun alumọni, paarọ awọn adaṣe itanna rẹ. Bakanna, Artnine (ti o ni arsenic) ati Dibarone (ti o ni boron) lo bi tokikis.

Helium, ina kan gaasi, a ti lo fun iwari gbigbọn ninu awọn ọna ojiji ati bi aṣoju itutu agbaiye nitori aaye gbigbe kekere rẹ. Pulionine-Ṣe atilaasi, gẹgẹbi sulfar Hexafluor, ni a lo ninu pilasima etchṣe nitori agbara wọn lati ṣii awọn ohun elo kuro. Apapo pato ti Awọn ategun ati awọn apopọ gaasi ti lo da lori kongẹ Awọn ilana Semicontuctoctor lowo. A nfunni ni fifẹ ibiti o ti awọn ategun lati pade awọn aini iṣelọpọ to lopo.

8. Awọn ọna to muna wo daju rii daju mimọ giga ti awọn akinsi giga?

Mimu awọn Ultra giga mimọ ti Awọn ategun semiconctor nilo ọna ti o ni ọpọlọpọ pẹlu lalailopinpin okun Awọn igbese ni gbogbo ipele, lati iṣelọpọ si ifijiṣẹ. Afọmọ Awọn ilana ṣe awọn imọ-ẹrọ ti ilọsiwaju bi Distillation, Asoyun, ati ipinya awo si lati yọ paapaa awọn oye kakiri ti ohun silẹ. Ti o fa itupalẹa lo lati tẹsiwaju atẹle gaasi mimọ.

Silins lo fun titoju ati gbigbe awọn wọnyi atilaasi Taraingo ti o nira ati idanwo lati yago fun kontaminesonu. OlupinfunniS ninu ile-iṣẹ yii gbọdọ faramọ ti o ga julọ Iṣakoso Didara Awọn ajohunše ati nigbagbogbo mu awọn ijẹrisi ti o n ṣafihan agbara wọn lati ba awọn ibeere wọnyi awọn ibeere wọnyi. Gbogbo ẹwọn ipese jẹ apẹrẹ lati dinku eewu ti ṣafihan eyikeyi ohun silẹ sinu awọn ohun elo to ṣe pataki wọnyi. Ile-iṣẹ wa pẹlu awọn ila iṣelọpọ 7 ṣe idaniloju awọn iṣelaku ti o ga julọ ti mimọ.

9. Bawo ni ida ti o jẹ idajẹ ni awọn eefin ategun lori ọja ti itanna ikẹhin?

Ipa ti awọn oye to dara julọ ti ohun silẹ ninu Awọn ategun semiconctor le jẹ pataki, yori si awọn abawọn ati iṣẹ idinku ni ikẹhin ẹrọ itanna. Awọn eegun le ba eleto Kẹmika awọn ifura jakejado idogo ati etchpọ, yori si awọn fẹlẹfẹlẹ ti kii ṣe iṣọkan tabi etching aifẹ. Ohun silẹ Awọn ọta le tun ṣe akojọpọ sinu ohun alumọni Latterise, yiyipada awọn ohun-ini itanna rẹ ati agbara nfa ikuna ẹrọ.

Ni ikẹhin, ohun silẹ le dinku ikore ti iṣẹ ṣiṣe Awọn ẹrọ isomita, Mu awọn idiyele iṣelọpọ pọ, ki o dojuri igbẹkẹle ti ikẹhin itanna. Eyi ni idi ti awọn Ile-iṣẹ Semicotanctor Awọn ibiti iru tcnu to lagbara lori awọn gaasi mimọ ati ṣiṣẹ ni pẹkipẹki pẹlu olupinfunniS ni o le ṣe ẹri awọn ti o nilo Ultra-giga mimọ. Foju inu wo ohun elo kan ti eruku ti o dabaru Cirriit ti miscopic - iyẹn jẹ iwọn ti ipenija naa.

10. N wa niwaju: Kini awọn aṣa iwaju ni awọn ategun fun isomimotutu ati itanna?

Awọn Ile-iṣẹ Semicotanctor ti wa ni igbagbogbo n dagbasoke, ati awọn ibeere lori Awọn ategun semiconctor ti n yipada pẹlu rẹ. Awọn aṣa pẹlu eletan ti n pọ si fun paapaa ga julọ Awọn ategun mimọ bi awọn titobi ara-ara lori awọn eerun igi gbigbẹ. Idojukọ wa tun dagba lori idagbasoke tuntun Awọn ategun pataki ati awọn ategun ati awọn gbooro Pẹlu awọn ohun-ini imudara fun awọn imuposi iṣelọpọ.

Iduroṣinṣin jẹ awakọ bọtini miiran, pẹlu ifẹ si pọ si alawọ ewe hydrogen ati awọn miiran ayika ore atilaasi. Idagbasoke ti ilọsiwaju itupalẹ Imọ-ẹrọ fun wiwa awọn ipele kekere ti o wa ni ohun silẹ yoo tun jẹ pataki. Ọjọ iwaju ti itanna jẹ acextricably sopọ mọ awọn ilọsiwaju ni iṣelọpọ ati mimu awọn wọnyi pataki atilaasi.

Awọn aṣọ-ẹhin bọtini: Pataki pataki ti awọn ategun semimicaltor

• Awọn ategun pataki pẹlu Ultra-giga mimọ jẹ pataki fun Semiconctor ati iṣelọpọ itanna.
• Paapaa awọn oye kakiri ti ohun silẹ le ni ipa ni didara ati igbẹkẹle ti ẹrọ itanna.
• Nitrogen ati jiyan jẹ pataki fun ṣiṣẹda ẹrọ inter afmosheess, lakoko ti hydrogen Ṣe pataki fun idinku ati awọn ohun elo ti ngbe.
• Ibiti o ti wa Awọn ategun pataki, bi phosphine ati Helium, ni a lo fun awọn ilana kan pato.
• Awọn igbese to lagbara wa ni aye lati rii daju awọn giga giga ti iwọnyi atilaasi Nigba ti o ni ipese ipese.
• Ọjọ iwaju ti Imọ-ẹrọ itanna da lori innodàstandà tẹsiwaju ni Equondoctor gaasi Imọ-ẹrọ.

Fun igbẹkẹle Awọn ipese ti mimọ-giga Awọn aṣọ atẹgun ile-iṣẹ, pẹlu nitrogen, jiyan, ati hydrogen, pe wa ni gaasi huzhong. O tun le ṣawari awọn ọrẹ wa fun Iwọn otutu kekere ti gaasi silinda ati sakani wa ti Silinda gal ardon.