Ile-iṣẹ Semicioctor, gẹgẹbi ipilẹ ti ilana imọ-ẹrọ igbalode, pẹlu awọn ategun-mimọ giga pupọ ninu ilana iṣelọpọ rẹ. Awọn ategun pataki fun awọn imiquoctovertors tọka si awọn ategun ti o mu ipa pataki ni iṣelọpọ ohun elo semicomonctoctric, iṣelọpọ fiimu, etching, ati awọn ilana miiran. Awọn ategun wọnyi gbọdọ pade awọn ibeere to muna fun mimọ, iduroṣinṣin, ati iṣakoso ṣiṣe lori awọn ilana idahun. Nkan yii yoo ṣafihan ọpọlọpọ awọn eefin iyebiye ti o wọpọ wọpọ ti a lo ninu awọn isunmọ ati ijiroro awọn ipa wọn ni ilana iṣelọpọ Semicaltor.

1. Hydrogen (H₂)

Hydrogen Ti a lo pupọ ni iṣelọpọ iṣelọpọ Sumtoncuttor, paapaa ninu idogo Vapor Vapor (CVD) ati awọn aati idinku. Ni CVD, hydrogen nigbagbogbo ni apọpọ pẹlu awọn ategun miiran lati dagba awọn fiimu tinrin, bii awọn fiimu fadakalion. Hydrogen tun ṣe bi aṣoju dide ni idogo irin ati awọn ilana yiyọ. Ni afikun, a lo hydrogen ni mimọ ati tọju awọn iwarasiamidoctonctor wamicominactor lati fa awọn isọdi oju omi ati ilọsiwaju didara awọn eerun.

2. Nitrogen (n₂)

Nitrogen, gaasi inert, ni o kun lati pese agbegbe atẹgun-ọfẹ ni iṣelọpọ semitoctionctor. O ti wa ni lilo wọpọ ninu awọn ohun elo, awọn ilana itutu agba, ati bi o ti sọ di pupọ ninu awọn afihan ifura. Ninu ile-ifilọlẹ agbara ati awọn ilana etching, nitrogen nigbagbogbo ni idapọ pẹlu awọn ategun miiran lati da duro awọn ipo idaduro ki o ṣakoso oṣuwọn iṣe. Nitrogen ni a tun lo lati dinku ohun elo afẹfẹ, aabo awọn ohun elo ti o ni imọlara lati ibajẹ apanirun.

3. Oxygen (o₂)

Afẹfẹ Mu ipa pataki kan ni ile-iṣẹ Semicochoctor, ni pataki ni awọn ilana ifosiwera. Ni awọn dida ti sirikon dilicon dioxide lori dada ti awọn wafikon wafers, atẹgun jẹ pataki. Nipa iṣafihan atẹgun, awọn fọọmu iyipo aijile kan lori siliki dada, eyiti o ṣe pataki fun iṣẹ itanna ati iduroṣinṣin ẹrọ. Agbẹ ti a tun lo ninu ninu ati awọn ilana etching pẹlu awọn ategun kemikali miiran lati dagba awọn ohun elo maalu tabi yọ awọn fiimu irin kan.

4. Erogba Testrafluide (CF₄)

Carbon tetrafluide ni lilo pupọ ni awọn ilana etching. Ni okitiro ni igbamo, CF₄ jẹ idapọ pẹlu awọn ategun miiran lati yọ awọn fiimu tinrin ti sikocon, irin, ati awọn ohun elo miiran. Nigbati CF₄ darapọ pẹlu flutine, o fẹlẹfẹlẹ ti o wu omi, eyiti o ni isọdọtun lagbara ati pe o le daradara etch awọn ohun elo afojusun. Gassi yii jẹ pataki fun ilana-pipe giga etching ni iṣelọpọ Circuit iṣelọpọ.

5. Hydrogen Chloraide (HCL)

Hydrogen Clor gaasi ni akọkọ bi gaasi etching, paapaa ninu etching ti awọn ohun elo irin. O ṣe atunṣe pẹlu awọn fiimu irin lati ṣe agbekalẹ awọn kilorodes, gbigba laaye awọn fẹlẹfẹlẹ irin lati yọ. Ilana yii ni lilo pupọ ni apẹrẹ ti awọn fiimu irin ti o tinrin, aridaju pe awọn ẹya chirker.

6. Nitrogen Trifluroide (NF₃)

Nitrogen Terroorde ni o kun lo lati nu awọn iṣẹ idogo ti o mọ ni ẹrọ itanna Plastma. Ni awọn ilana ilana ìlerí Pilasma, nf₃ awọn ohun elo ti a pamọ (bii Silicon flurororides) lati dagba ni rọọrun yiyọ fliorides. Gaasi yii jẹ deede pupọ ninu ilana mimọ, iranlọwọ lati ṣetọju mimọ ti ohun elo etching ati mu imudarasi deede ati ṣiṣe ti awọn ilana iṣelọpọ.

7. Silian (Sih₄)

Silane jẹ gaasi ti a lo ni igbagbogbo ninu idogo imọ-ẹrọ kemikali (CVD), paapaa fun fifi awọn fiimu siliki tinrin. Silane Decompores ni awọn iwọn otutu giga lati dida awọn fiimu siliki lori sotrouterate, eyiti o jẹ pataki ni iṣelọpọ semiconncloctor. Nipa ṣiṣatunṣe sisan ti silane ati awọn ipo iṣe-ipa, oṣuwọn idogo ati didara fiimu le ni iṣakoso ni iṣaaju.

8. Boron Trefluide (BF₃)

Boron Trifluoride jẹ gaasi doping pataki, ojo melo ti lo ninu ilana ilana boron ti Boron ni iṣelọpọ Semitoctorctor. O ti lo lati ṣatunṣe awọn ohun-ini itanna ti gara nipasẹ fesi pẹlu silicon somo lati dagba Layer doping ti o fẹ. Ilana Boron doping jẹ pataki fun ṣiṣẹda awọn ohun elo iruwe-iru si iru awọn ohun elo ọlẹ ti o ni ipo bf₃ ni ipa pataki ninu ilana yii.

9. Efin hexafluor (sf₆)

E fifin Hexafluide Ni a lo ni a lo ni awọn ilana etching Etchingn, paapaa ni etching giga. Nitori awọn ohun-ini ti o ga julọ ati iduroṣinṣin ti o ga julọ, sf₆ le ni idapo pẹlu awọn ategun miiran lati yọ awọn fiimu ti o tọkan kuro. O tun nlo pupọ ni ion el eon, yiyọ kuro daradara yiyọ awọn fiimu irin ti aifẹ.

Ipari

Awọn ategun pataki fun awọn isomita ṣe ipa ipa irable kan ti iṣelọpọ ti awọn iyikapọpọ. Gẹgẹbi imọ-ẹrọ tẹsiwaju lati ilosiwaju, eletan fun mimọ ti o ga julọ ati iṣẹ ti awọn ategun wọnyi pọ si, awọn olupese ti n tọka nigbagbogbo. Ni ọjọ iwaju, ile-iṣẹ Semicotanctor yoo tẹsiwaju lati gbekele awọn ategun pataki wọnyi lati ṣe atilẹyin iṣelọpọ ti awọn eelu ti nyin atẹle ati awọn imotuntun imọ-ẹrọ. Nitorinaa, oye ati fifi awọn eefin pataki jẹ pataki ni iwakọ idagbasoke ti nlọsiwaju ti ile-iṣẹ Semicotanctor.