Pẹlu idagbasoke iyara ti ile-iṣẹ semikondokito agbaye, awọn ilana iṣelọpọ chirún ti wọ ni kikun akoko nanometer. Ninu ilana iṣelọpọ kongẹ pupọ yii, iyipada ayika iṣẹju eyikeyi tabi aimọ ohun elo le ja si piparẹ gbogbo ipele ti wafers. Nitorinaa, awọn gaasi pataki itanna ati awọn gaasi ile-iṣẹ mimọ-giga ṣe ipa ti ko ni rọpo. Lara won, ga ti nw omi argon ti di bọtini iwulo pataki ni awọn iṣẹ ojoojumọ ti awọn ile-iṣẹ semikondokito nitori ailagbara kemikali ti o ga julọ ati awọn ohun-ini ti ara ti o dara julọ.

Nkan yii yoo ṣe itupalẹ awọn ohun elo pataki ti argon omi ni awọn ilana iṣelọpọ chirún ati pese itọsọna rira ọjọgbọn fun awọn ẹgbẹ pq ipese ile-iṣẹ.

Awọn ohun elo Core: Kini idi ti Liquid Argon A ko ṣe iyatọ si iṣelọpọ Semiconductor?

Ninu ilana iṣelọpọ semikondokito Iwaju-Ipari-ti-Laini (FEOL), argon omi fun awọn semikondokito ni a lo ni akọkọ ni awọn ipele pataki atẹle ti o pinnu ikore ọja:

• Ìsọkúlẹ̀ Òru ti Ti ara (PVD) / Sisọ: Gaasi argon-pure-pure, ti a ṣẹda nipasẹ gasification ti argon olomi, jẹ gaasi iṣẹ akọkọ julọ ni awọn ilana itusilẹ PVD. Ninu iyẹwu igbale, awọn ions argon ti wa ni iyara nipasẹ aaye ina lati bombard ohun elo ibi-afẹde, nfa awọn ọta ibi-afẹde lati tu silẹ ati fi silẹ ni deede lori oju wafer lati ṣe fiimu irin kan. Iwa mimọ giga jẹ pataki ṣaaju lati rii daju iwuwo ati aitasera itanna ti fiimu naa.
• 
  

• Ailewu Ailewu Aabo Inert: Lakoko ilana fifa ti ohun alumọni monocrystalline (gẹgẹbi ilana Czochralski) ati awọn ilana annealing iwọn otutu, ohun alumọni ni irọrun ṣe pẹlu atẹgun ni awọn iwọn otutu giga. Nitorinaa, gaasi argon gbọdọ wa ni iṣafihan nigbagbogbo lati rọpo afẹfẹ, pese agbegbe inert patapata ti o ya sọtọ lati atẹgun ati ọrinrin, nitorinaa aridaju idagbasoke pipe ti lattice ohun alumọni.
• 
  
• Cryogenics ati Imọ-ẹrọ Isọgbẹ Wafer: Ninu awọn ilana ilọsiwaju bii iwọn Ultraviolet (EUV) lithography, awọn abuda iwọn otutu kekere ti argon omi (ojuami farabale -186°C) ni a lo nigbakan si awọn ọna itutu agbaiye ti ohun elo deede. Nigbakanna, imọ-ẹrọ aerosol argon tun jẹ lilo fun isọdi-miki ti ara ni iwọn nanometer lori awọn aaye wafer, eyiti o le yọkuro awọn nkan pataki iṣẹju iṣẹju.
• 
  

Awọn ipinnu Didara Ikore: Awọn Ilana Ti o muna ti Argon Liquid Liquid Didara-giga

Awọn ibeere ile-iṣẹ semikondokito fun awọn ohun elo aise jẹ iyalẹnu lile. Argon olomi ile-iṣẹ deede nigbagbogbo nilo lati de mimọ ti 99.9% tabi 99.99%, ṣugbọn eyi ko jina lati pade awọn iwulo ti iṣelọpọ ërún. Fun oṣiṣẹ ga ti nw omi argon, mimọ mimọ ni igbagbogbo nilo lati de ọdọ 99.999% (5N), ati ni awọn apa ilọsiwaju, paapaa nilo lati de ọdọ 99.9999% (6N) tabi ga julọ.

Pataki diẹ sii ni iṣakoso aimọ. Awọn akoonu ti atẹgun, nitrogen, ọrinrin, lapapọ hydrocarbons (THC), ati itopase irin ions gbọdọ wa ni iṣakoso muna ni ppb (awọn ẹya fun bilionu) tabi paapa ppt (awọn ẹya fun aimọye). Paapaa ti iye iṣẹju kan ti awọn idoti ba dapọ sinu opo gigun ti epo, yoo dagba awọn abawọn bulọọgi lori dada wafer, nfa awọn iyika kukuru kukuru tabi jijo lọwọlọwọ, fifaa taara oṣuwọn ikore ati mu awọn adanu ọrọ-aje nla wa.

Itọsọna rira: Bii o ṣe le ṣe iṣiro ati Yan Olupese Argon Liquid Ọjọgbọn kan?

Fi fun ipa ipinnu ti awọn gaasi mimọ-giga ni iṣiṣẹ ti awọn laini iṣelọpọ, wiwa ati aabo ti oṣiṣẹ ni kikun ati olupese argon omi ti o lagbara jẹ iṣẹ-ṣiṣe pataki fun rira ati awọn ẹgbẹ pq ipese. Nigbati o ba n ṣe iṣiro awọn olupese ti o ni agbara, o gba ọ niyanju lati dojukọ awọn iwọn mẹta wọnyi:

Iṣakoso Didara lile ati Awọn agbara Idanwo: Awọn olupese ti o dara julọ gbọdọ wa ni ipese pẹlu ohun elo itupale itupale oke-ipele gẹgẹbi Gas Chromatographs (GC) ati Mass Spectrometers (MS). Wọn gbọdọ ni anfani lati pese alaye COA (Iwe-ẹri Onínọmbà) fun ipele kọọkan lati rii daju pe aitasera pipe ni mimọ laarin awọn ifijiṣẹ.

Resilience Pq Ipese Lagbara ati Iduroṣinṣin Ifijiṣẹ: Fabs nigbagbogbo ṣiṣẹ 24/7/365, ati awọn iye owo ti isalẹ-akoko jẹ lalailopinpin giga. Nitorinaa, awọn olupese gbọdọ ni awọn agbara ibi ipamọ omi agbegbe ti o tobi pupọ, ọkọ oju-omi kekere tiwọn ti awọn ọkọ nla ti ojò cryogenic, ati awọn ero airotẹlẹ pipe fun idaniloju ipese pajawiri.

Awọn apoti To ti ni ilọsiwaju ati Imọ-ẹrọ Atako “Ibajẹ Atẹle”: Ko si bi gaasi ti nw jẹ, o jẹ asan ti o ba ti doti nigba gbigbe. Idojukọ yẹ ki o wa lori awọn tanki ipamọ cryogenic ti olupese ati awọn imọ-ẹrọ itọju ogiri inu ogiri (gẹgẹbi boya o ti gba itọju Electropolishing / EP), bakanna bi Awọn ilana Iṣiṣẹ Iṣeduro Standard (SOP) fun àtọwọdá ati pipeline purging nigba kikun ati awọn ipele gbigbe, ni idaniloju pe mimọ giga le jẹ jiṣẹ taara lati ọgbin si ebute alabara.

Ipari

Labẹ ilọsiwaju ilọsiwaju ti Ofin Moore, omi-mimọ giga argon kii ṣe ohun elo ipilẹ nikan, ṣugbọn tun jẹ “alabobo alaihan” fun awọn ilana semikondokito ilọsiwaju. Ni imọ-jinlẹ ati lile ni iṣiro ati yiyan a omi argon olupese pẹlu agbara okeerẹ lati rii daju pe didara giga ati ipese iduroṣinṣin ti argon omi fun awọn semikondokito jẹ okuta igun bọtini fun gbogbo ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito lati mu ikore ilana ati ṣẹgun ni idije ọja agbaye.