Amonia (nh₃), bi o ṣe atunṣe kemikali pataki, ni awọn ohun elo ti o gbilẹ kọja ọpọlọpọ awọn aaye ile-iṣẹ, pẹlu ipa ipa rẹ ni pataki pataki pataki ni iṣelọpọ semiconnctor. Amonia ṣe ipa pataki ninu awọn ipo oriṣiriṣi Nkan yii yoo ṣalaye sinu awọn ohun elo amonia ninu ile-iṣẹ Semimichorctor, itupalẹ ipa ẹrọ ni imudarasi awọn ọja ẹrọ, lakoko tun ṣalaye awọn italaya o dojukọ ati awọn aṣa idagbasoke iwaju.

1. Awọn ohun-ini ipilẹ ati ihuwasi kemikali ti amonia

Ammoni jẹ iṣupọ ti nitrogen ati hydrogen, ti a mọ fun alkalinity lagbara ati pe o wọpọ ni iṣelọpọ nitrogen ajile ile-iṣẹ. Amonia wa bi gaasi ni iwọn otutu yara ṣugbọn o le jẹ ikoko ni iwọn kekere, ṣiṣe o ni orisun gaasi ti o daju pupọ. Ni ile-iṣẹ Semicoctionorctor, awọn ohun-elo kemikali ti amonia ṣe o kan paati pataki ti awọn ilana pataki pupọ (CVD), isọdọmọ ion, ati awọn iṣẹ amọ.

Awọn ohun iwuri Ammoninia le fesi pẹlu ọpọlọpọ awọn irin, yanrin, ati awọn ohun elo miiran lati dagba nitrides tabi lati koju wọn. Awọn ifaṣe wọnyi kii ṣe iranlọwọ nikan ni dida awọn ohun elo fiimu tinrin ti o fẹ ṣugbọn tun mu itanna itanna ti o fẹ ki o tun mu awọn ohun-ini ẹrọ ti awọn ohun elo, nibẹ ni ilosiwaju imọ-ẹrọ iṣemomido.

2. Awọn ohun elo ti amonia ni iṣelọpọ semiconctor

Amonia ṣe ipa pataki ni iṣelọpọ imu iṣelọpọ semicomtorctor, paapaa ni awọn agbegbe atẹle:

2.1 Iwosan ti awọn fiimu fiimu ti o tinrin

Ni iṣelọpọ ifunmọ Semitoltoctonctor igbalode, nitride awọn fiimu tint nitride (Siini), ni lilo pupọ (ALN), ni lilo pupọ, awọn aṣọ aabo Islantical, tabi awọn ohun elo aifọwọyi, tabi awọn ohun elo aifọwọyi. Lakoko Ifiranṣẹ ti awọn fiimu Nitride wọnyi, amonia yoo ṣiṣẹ bi orisun nitrogen pataki.

Iṣura Vapor Kẹmika (CVD) jẹ ọkan ninu awọn ọna ti o wọpọ julọ fun ifilọlẹ fiimu nitrie. Amonia Awọn atehun pẹlu awọn ategun bii Siane (Sih₄) ni awọn iwọn otutu giga lati decompote ati dida siliki nitrides. Idahun naa jẹ atẹle:

3SH4 + 4nh3 → Si3n4 + 12h2

Ilana ilana yii ni dida ti ẹya-ilẹ siliki kan nitride Layer lori siliki walfan waf dada. Amonia pese orisun nitrogen ti iduroṣinṣin ati pe iṣakoso kongẹ ti iṣesi miiran labẹ awọn ipo kan, nitorinaa iṣakoso, ati iṣọkan ti fiimu naa.

Awọn fiimu Nitriede ni iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ, idabobo itanna, ati resistance ifotẹlẹ, ṣiṣe wọn pataki lalailopin ni iṣelọpọ semigoctoctor. Wọn lojọpọ ni awọn iyika ti o ni ibamu (ICS) bi awọn omi fẹlẹfẹlẹ ti ikede, ati awọn Windows opitika sori ẹrọ awọn ẹrọ ti o wa ni ọna.

2.2 IST gbimọ ati doping

Amonia Tun ṣe ipa pataki ninu ilana doping ti awọn ohun elo semigectorctor. Doping jẹ ilana pataki ti o lo lati ṣakoso adaṣe itanna ti awọn ohun elo ninu iṣelọpọ ti awọn ẹrọ somimidoctor. Amonia, bi orisun nitrogen ti o munadoko, nigbagbogbo ni lilo ni ajọṣepọ pẹlu awọn ategun miiran (bii Phosphati miiran lọ ati Dibohane B₂h₆) Lati gbilẹ nitrogen ati awọn ti Gallium ternanide (Gaas

Fun apẹẹrẹ, doping nitrogen le ṣatunṣe awọn ohun-ini itanna ti sikon lati ṣẹda n-iru tabi awọn iru-ọjọ P-iru. Lakoko awọn ilana doping ti o munadoko nitrogen, amonia pese orisun nitrogen giga-giga giga, aridaju iṣakoso konju lori awọn ifọkansi doping. Eyi jẹ pataki fun miatoatuzation ati iṣelọpọ ti awọn ẹrọ giga ni iṣọpọ pupọ (VLSI) iṣelọpọ.

2.3 Ninu ati Etching

Ninu ati etutu awọn ilana jẹ bọtini lati ṣe idaniloju didara dada ti awọn ẹrọ ni iṣelọpọ zemigoctoctor. Ammonina wa ni lilo pupọ ninu awọn ilana wọnyi, pataki ni itching posma ati di mimọ.

Ni pilasima etching, amonia le ni idapo pẹlu awọn ategun miiran (bii chlorine, chun) lati ṣe iranlọwọ lati yọ awọn dọgba miiran, climederities, ati awọn impuriti irin lati oju waffer. Fun apẹẹrẹ, awọn ammonicts ṣe atunṣe atẹgun pẹlu awọn ẹya atẹgun atẹgun ti o wa (bii o₃ ati ki o o₂), eyiti o ni agbara yọ awọn maalu ilẹ ati rii daju iduroṣinṣin ni awọn ilana atẹle.

Ni afikun, amonia le ṣe bi epo ninu awọn ilana ṣiṣe ti a dagba nitori awọn aati kemikali tabi awọn ọran ilana, nitorinaa ṣetọju mimọ giga ti wafer.

3. Awọn anfani ti amonia ninu ile-iṣẹ Semicochoctor

Amonia nfunni awọn anfani pupọ ni iṣelọpọ semitoctionctor, paapaa ni awọn agbegbe atẹle:

3.1!

Amonia jẹ orisun nitrogen ati funfun ti o pese idurosinsin ati ipese ti awọn ọrẹ nitrogen fun idogo ti awọn ilana fiimu ati awọn ilana doping. Eyi jẹ pataki fun imura ti micro- ati awọn ẹrọ Nano-aseka ni iṣelọpọ Simidoctionclocctor. Ni ọpọlọpọ awọn ọran, amonia jẹ atunse ati iṣakoso ju awọn ategun orisun nitrogen miiran (bii gaasi nitrogen tabi awọn ohun elo malu nitrogen).

3.2 Iṣakoso ilana ti o dara julọ

Imura ti amonia ngbanilaaye lati ṣe deede awọn oṣuwọn awọn idari idari ati sisanra fiimu ni ọpọlọpọ awọn ilana eka. Nipa ṣiṣatunṣe oṣuwọn sisan ti amonia, iwọn otutu, ati akoko ifura, ati awọn abuda igbekale ti awọn fiimu, nitorinaa o nfa iṣẹ awọn ẹrọ naa.

3.3 Iye-iye ati ọrẹ ayika

Ti a ṣe afiwe si awọn ategun orisun omi miiran, amonia jẹ idiyele kekere ati pe o ni lilo lilo nitrogen ti o ga julọ, ṣiṣe ni anfani pupọ ni iṣelọpọ sunmomidoctoctor nla. Pẹlupẹlu, atunlo amonia ati awọn imọ-ẹrọ tun wa ni ilọsiwaju, ṣiṣe alabapin si ore-ẹni agbegbe rẹ.

4. Aabo ati awọn italaya ayika

Pelu ipa pataki ni iṣelọpọ semiconctor, amonia ṣafihan awọn ewu ti o lagbara. Ni iwọn otutu yara, amonia jẹ gaasi, ati ninu fọọmu omi omi rẹ, o jẹ ibamu pupọ ati majele, nilo awọn ọna aabo ti o muna nigba lilo.

1. Ibi ipamọ ati GbigbePipa
2. Aabo Ṣiṣẹ: Awọn oniṣẹ ni awọn ila iṣelọpọ awọn semicogractoctor, gẹgẹbi awọn goggles, awọn ibọwọ, ati awọn iboju iparada, lati yago fun ifihan Amoni fun ara eniyan.
3. Itọju gaasiPipa

Bi awọn ilana iṣelọpọ toumboncut tẹsiwaju ati eletan fun iṣẹ ẹrọ giga pọsi o pọ si, ipa amonia ninu ile-iṣẹ yoo tẹsiwaju lati dagba. Eyi jẹ otitọ paapaa ni awọn iyika ti o ni agbara gidi, awọn eerun iṣiro iṣiro, ati awọn imọ-ẹrọ to ni ilọsiwaju. Ni afikun, bi awọn ofin ayika di lile, idagbasoke ti iṣelọpọ alawọ ewe ati awọn imọ-ẹrọ atunlo fun amonia to ṣe pataki ni ọjọ iwaju ile-iṣẹ.

Awọn ohun elo amonia ni ile-iṣẹ Semiconctor pese ipilẹ giga fun idagbasoke awọn ohun elo itanna wọn. Atuntan rẹ ninu imudarasi iṣelọpọ ṣiṣe, idinku awọn idiyele iṣelọpọ, ati dication awakọ imọ-ẹrọ jẹ indispensable. Gẹgẹbi awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ, ohun elo amonia yoo tẹsiwaju lati faagun, iranlọwọ fun ile-iṣẹ semimicaltor da lori ṣiṣe ṣiṣe ati iduroṣinṣin ayika.

Amonia, bi awọn kaadi kemikali to wulo, mu ipa iparun kan ni iṣelọpọ semigoctoctor. O jẹ pataki fun idogo ti awọn fiimu nitride, noping, ati awọn ilana mimọ / etching. Pẹlu ilọsiwaju tẹsiwaju ti imọ-ẹrọ ti o tẹsiwaju, awọn ohun elo amonia ti wa ni ṣeto lati dagba, ṣiṣe awọn ọrẹ si awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ ati itọsọna ọrẹ ti o munadoko ati itọsọna ọrẹ ayika.