Foonuiyara inu apo rẹ, kọnputa lori tabili rẹ, awọn eto ilọsiwaju ninu ọkọ ayọkẹlẹ rẹ - ko ṣee ṣe laisi ipalọlọ, iṣẹ airi ti awọn ategun pataki ti awọn ategun pataki. Gẹgẹbi eni ti ile-iṣẹ gaasi ile-iṣẹ kan, Mo, Allen, ti rii bi a ti rii akọkọ bawo ni awọn ohun elo to ṣe pataki wọnyi ṣe ibusun ibusun ti imọ-ẹrọ igbalode. Fun awọn oludari iṣowo bi ami shen, ti o lọ kiri ni ipinfunni ipese agbaye ti o muna, oye awọn ategun wọnyi jẹ bọtini lati ṣii awọn aye tuntun. Nkan yii jẹ itọsọna rẹ ti o ni kikun si ọkan ninu awọn oṣere pataki julọ ni aaye yii: Nitrogen Trifluroide (NF₃). A yoo ba jẹ ki agbara yii lagbara afẹfẹ, ṣawari ipa pataki rẹ ninu Ilana iṣelọpọ Semiconctory, ki o ṣalaye idi ti didara ati ipese rẹ jẹ pataki fun gbogbo Itanna ẹrọ itanna ile-iṣẹ.

Kini gangan ni nitrogen Terfluide (NF₃) Gassi?

Ni akọkọ kofiri, Nitrogen Trefluide, nigbagbogbo tọka si nipasẹ agbekalẹ kemikali rẹ Nf₃, le dabi bi ọmọ ile-iṣẹ miiran afẹfẹ. O jẹ awọ, ti ko ni itanna, ati eleyi ti o mu siga pọpo. Sibẹsibẹ, ni agbaye ti Ina ti ilọsiwaju, eyi afẹfẹ jẹ irinṣẹ ṣiṣe-giga. O jẹ iṣelọpọ ti a ṣe pataki pọpo ṣe ti atomu nitrogen kan ati mẹta pulionine awọn ọta. Bọtini si agbara rẹ wa ni eto yii. Ni iwọn otutu yara, Nf₃ jẹ itosi iduro ati ẹrọ inter, ṣiṣe o ailewu lati gbe ati mu akawe si awọn eefin iyipada diẹ sii.

Idan naa ṣẹlẹ nigbati agbara ba lo. Labẹ awọn ipo agbara giga ninu a okiti ọgbẹ Ọpa iṣelọpọ, gẹgẹbi a pisma iyẹwu, awọn Nf₃ ọra decompose. Wọn ya sọtọ ati idasilẹ gaju ipadaduro pulionine awọn ipilẹṣẹ. Ronu ti o bi bugbamu iṣakoso lori iwọn atẹgun kan. Awọn wọnyi ni ọfẹ pulionine Awọn ọta jẹ adaṣe iyalẹnu ni fesi pẹlu ati yiyọ awọn ohun elo aifẹ, paapaa ohun alumọni ati awọn iṣiro rẹ. Agbara yii lati jẹ idurosinsin nigbati o nilo rẹ ati ga pupọ ipadaduro Nigbati o ba fẹ ki o jẹ ki o jẹ Nitrogen Trifluor dukia ti ko ṣee ṣe ni agbaye ti o tọ ti eka omi.

Ihumo meji meji yii jẹ idi Nf₃ ti di igun igun kan ti igbalode Semicotanctor profication. Iduro ti o ni idaniloju aabo ati igbẹkẹle ninu pce pin, lakoko ti o jẹ ki a pese iṣẹ ṣiṣe ṣiṣe giga ati etching awọn iṣelọpọ ti o nilo. Bi a ṣe ri ti o jinlẹ, iwọ yoo rii bi o ṣe dun ti o rọrun afẹfẹ nse ṣiṣẹda awọn ẹrọ ti o ga julọ lori Earth.

Kini idi ti atejade pataki ṣe pataki fun ile-iṣẹ Semicotanctor?

Lati ni oye pataki ti Nf₃, a nilo akọkọ lati riri ni ipa ti o gbooro ti Awọn ategun jẹ pataki fun ninu Ile-iṣẹ Semicotanctor. Ṣelọpọ awọn ẹya ipinpo ti a ṣepọ dabi kikọ ile ọrun giga kan lori kanfasi iwọn ti eekanna atanpako rẹ. O jẹ ilana ti fifi ati yọ awọn dosinni ti awọn fẹlẹfẹlẹ fẹlẹfẹlẹ ti o nipọn ti awọn ohun elo ti o yatọ si a ohun alumọni waffer. Gbogbo igbesẹ kan, lati ṣiṣẹda igboro kan waffer si chirún ikẹhin, gbarale lori afẹfẹ ti o ni aṣẹ ti o jẹ pataki Awọn eefin itanna.

Awọn ategun wọnyi ṣe ọpọlọpọ awọn iṣẹ pataki. Diẹ ninu, bi jiyan ati Helium, ni a lo bi awọn epo-atejade inert lati ṣẹda idurosinsin, kii ṣe imuse kiakia ati lati dilute awọn ategun aifọkanbalẹ. Awọn miiran lo fun idogo, nibi ti afẹfẹ ti lo lati owo ifipamọ fiimu ti o tinrin ti ohun elo pẹlẹpẹlẹ waffer. Fun apẹẹrẹ, ninu kemikali Ooru Idogo (CVD), awọn ategun ṣe ifasita lati fẹlẹfẹlẹ fiimu ti o lagbara ti o di apakan ti Circuit Chinọmu. Lẹhinna awọn eefin etching wa, bi Nf₃, eyiti a lo lati ṣe ayẹwo awọn apẹẹrẹ nigbagbogbo awọn apẹẹrẹ ni awọn fẹlẹfẹlẹ wọnyi, ṣiṣẹda awọn ipa-ọna intricate fun ina lati ṣiṣan.

Laisi igbagbogbo, Ultra-mimọ-mimọ ipese ti awọn ategun oriṣiriṣi wọnyi, gbogbo ilana iṣelọpọ yoo lọ si idaduro. Paapaa minscule ohun silẹ ninu a afẹfẹ le ba gbogbo ipele ti awọn wadasi, ṣe idiyele ile-iṣẹ miliọnu dọla. Eyi ni idi Awọn olupese Alabaṣepọ jẹ ifamọra iyalẹnu si didara ati igbẹkẹle ti awọn olupese gaasi wọn. Awọn mimọ ti awọn afẹfẹ Ta taara tumọ si didara ati iṣelọpọ iṣelọpọ ti ọja ikẹhin.

Bawo ni gaasi NF₃ ti a lo ninu awọn ilana iṣelọpọ Sumbontictor?

Nitrogen Trefluide ni awọn ohun elo meji, awọn ohun elo pataki ni Awọn ilana iṣelọpọ Semiconctory: pilasima etching ati gige ninu. Mejeeji ṣe pataki fun ṣiṣẹda awọn Microvips Iṣẹ-ṣiṣe giga, lati awọn olumulo si Iranti Flash.

Ni akọkọ, jẹ ki a sọrọ nipa etching. Lẹhin Layer ti ohun elo bii ohun alumọni dioxide ti wa ni ifipamọ lori a waffer, Aṣeyọri kan lori rẹ lilo ina. Awọn etch Ilana lẹhinna yọ ohun elo naa kuro ninu awọn agbegbe ti ko ni aabo. Nf₃ ti wa ni a wa sinu iyẹwu kan ati fun ni okun lati ṣẹda a pisma-O awọsanma ti gba agbara ion patikulu ati igbimu pulionine awọn ipilẹṣẹ. Awọn ipilẹṣẹ wọnyi laipẹ awọn waffer dada, fesi pẹlu awọn ohun alumọni ati yiyipada rẹ sinu a jiebẹ pọpo (ohun alumọni Tetrafluide) ti o le jẹ awọn iṣọrọ fa jade ti iyẹwu naa. Alakoso ti ilana yii jẹ ibaragàn-boggling, gba awọn ẹlẹṣin laaye ti o jẹ ẹgbẹẹgbẹrun awọn akoko ti awọn akoko tinrin ju irun eniyan lọ.

Ikẹẹkeji, ati diẹ wọpọ, Lilo nitrogen Trefluide jẹ bi a Gaagisa. Lakoko awọn IKILO IKILỌ ỌLỌRUN (CVD) ilana, nibiti awọn fiimu tinrin ti wa ni po lori waffer, ohun elo aifẹ tun kọ soke lori ogiri inu ti iyẹwu ilana ilana. Eyi adede, nigbagbogbo ṣe ti ohun alumọni tabi ohun alumọni nitride, gbọdọ wa ni yiyọ kuro laarin sisẹ kọọkan waffer tabi ipele ti awọn wafers. Ti kii ba ṣe bẹ, iṣelọpọ yii le flake kuro ati ilẹ ni atẹle waffer, nfa alebu kan. Nibi, Nf₃ ti fa sinu iyẹwu ti o ṣofo ati kan pisma ti wa ni ina. Alagbara pulionine Awọn ipilẹṣẹ scrub awọn odi iyẹwu naa mọ, iyipada ti o muna adede sinu kan jiebẹ byprodctuct ti o ni rọọrun kuro. Yiyan ti ọrọ yii jẹ ṣe pataki fun mimu mimọ ti agbegbe iṣelọpọ ati aridaju giga iṣelọpọ iṣelọpọ.

Kini o mu ki gaasi ti o ga julọ ti akawe si awọn omiiran?

Fun ọpọlọpọ ọdun, awọn Ile-iṣẹ Semicotanctor gbarale lori awọn ara ilu Forflurocon (PFCs) bi erogba Terbon Ttracluide (CF₄) ati Hexafluorne (C₂f) fun mimọ ati etching. Lakoko ti o munadoko, awọn iṣiro wọnyi wa pẹlu iparun pataki: Wọn jẹ awọn ategun ipa-ilẹ ti o ni agbara pupọ pẹlu igbesi aye oju-aye gigun pupọ. Fun apẹẹrẹ, c₂f ni a Agbara igbona agbaye giga agbaye (GWP) ati pe o le tẹpẹlẹ ni agbegbe ti o wa fun ọdun 10,000. Gẹgẹbi awọn ofin ayika ti rọ, ile-iṣẹ nilo ojutu ti o dara julọ.

Eyi ni ibiti Nf₃ farahan bi Winner ti o daju. Igba pipẹ Nitrogen Trefluide tun jẹ a agbara eefin eefin, o ni igbesi aye apẹẹrẹ ti o kuru pupọ (ni ayika ọdun 500). Ni pataki julọ, o ti wa ni ilọsiwaju diẹ sii ni ilana mimọ. Ninu awọn pisma Iyẹwu, ipin ogorun ti o ga julọ ti Nf₃ Molecules fọ lati tu idaduro wọn silẹ pulionine akawe si pfcs. Eyi tumọ si kere aibikita afẹfẹ ti rẹ kuro ni iyẹwu naa. Igbalode egbe secoctondictorctor Tun fi awọn ọna ṣiṣe ti a darukọ (awọn scrubs) ti o pa fere gbogbo awọn aibikita Nf₃ ati ipalara byprodctuct awọn ategun ṣaaju ki wọn to ni idasilẹ.

Apapo ti o ga pupọ ati wiwa ti o munadoko diẹ sii tumọ si pe gangan Awọn eefin gaasi gaasi lati lilo Nf₃ ti wa ni kekere ju awọn ti o wa lati awọn gaasi PFC agbalagba. Iṣẹ-ṣiṣe giga yii jẹ idi pataki fun isọdọmọ tiwa ngbani.

Bawo ni mimọ-mimọ nitrogen Trifluorde ṣelọpọ?

Gẹgẹbi olupese, Mo le sọ fun ọ pe iṣelọpọ Nf₃ jẹ eka ati iṣakoso pupọ ilana iṣelọpọ. Erongba ni lati ṣẹda ọja ikẹhin ti o jẹ iyalẹnu mimọ nigbagbogbo 99.999% mimọ tabi ti o ga julọ ohun silẹ le jẹ catastrophic fun iṣelọpọ semicotanctoctor. Ilana naa nilo iṣerero fun imọ-jinlẹ ni mimu awọn kemikali ti o ni itọju pupọ, paapaa pulionine.

Awọn Iṣelọpọ nf₃ ojo melo ni reacting amonia (a pọpo ni sotrogen) tabi ẹya amomium kan ipẹri Apopọ pẹlu igba akọkọ pulionine gaasi ninu ibi-afẹde kan ni Awọn iwọn otutu ti o ga. Idahun yii n ṣe agbekalẹ adalu awọn ategun kan, pẹlu Nf₃, awọn ohun elo ti a ko ni agbara, ati awọn orisirisi littroducts. Ipenija gidi, ati ibiti o ti ṣe afihan otitọ, wa ninu Oluwa afọmọ Ipele ti o tẹle.

Aise jiebẹ adalu lọ nipasẹ ọpọlọpọ afọmọ Awọn igbesẹ lati yọ eyikeyi awọn iṣiro aifẹ kuro. Eyi nigbagbogbo pẹlu lẹsẹsẹ ti scrubbing, ikorandura, ati awọn ilana distillation eniyan. Awọn ilana distillation, ni pataki, awọn lilo kekere pupọ si awọn iwọn kekere lati ya awọn ategun oriṣiriṣi da lori awọn aaye mimu wọn, ya sọtọ Nf₃ lati eyikeyi abuku to ku. Gbogbo igbesẹ ti wa ni abojuto pẹlu ẹrọ ti o ni ẹtọ lati rii daju pe ọja ikẹhin ti o pade awọn pato ti awọn okiti ọgbẹ ile-iṣẹ. Ifaramo yii si iṣakoso Didara ni ohun ti o ya olupese ti o gbẹkẹle lati ọdọ iyoku.

Kini aabo ati mimu awọn ero fun gaasi NF₃?

Aabo ni pataki oke ni ile-iṣẹ ile-iṣẹ afẹfẹ iṣowo. Igba pipẹ Nf₃ kii ṣe ina-igi ati itosi ti iwọn otutu, o jẹ oluranlowo atẹgun ti o lagbara, paapaa ni awọn iwọn otutu ti o ga julọ. Eyi tumọ si pe o le ṣe fesi l'agbara pẹlu awọn ohun elo ina ti o ni ina ati nilo mimu mimu. Ewu akọkọ jẹ majele rẹ; inhang awọn afẹfẹ le ṣe ipalara, o yẹ ki o tọ diẹ ati ohun elo aabo ara ẹni jẹ pataki ni eyikeyi Aaye iṣelọpọ.

Gbogbo ẹwọn ipese, lati ile-iṣẹ wa si alabara okiti ọgbẹ Fabà, ni a kọ ni agbegbe ailewu. Nf₃ ti wa ni gbigbe ni awọn nkan kekere irin ti a ṣe apẹrẹ pataki labẹ titẹ giga. Awọn agolo kekere wọnyi ni idanwo lile ati iwe-ẹri lati rii daju pe wọn le ni lailewu ni afẹfẹ. Gẹgẹbi olupese, a pese awọn sheets data ti ko ni alaye (awọn SDD) ati ikẹkọ si awọn alabara wa lori ibi ipamọ to dara, asopọ. Eyi pẹlu awọn itọsọna lori oṣuwọn sisan Iṣakoso ati awọn ọna awari.

Fun awọn oniwun iṣowo fẹran ami, ẹniti ibakcdun akọkọ jẹ idẹ ipese ati igbẹkẹle, ajọṣepọ pẹlu olupese ti o ni aabo jẹ pataki. Ibaraẹnisọrọ aise tabi aini awọn ilana aabo mimọ lati ọdọ olupese jẹ asia pupa nla. A gberaga ara wa lori n pese ọja kan nikan, ṣugbọn iṣẹ pipe ti o pẹlu atilẹyin ikọni ati oye oye, aridaju, aridaju afẹfẹ de ati pe o fi agbara mu ni gbogbo igbesẹ ti ọna.

Njẹ nitrogen Trifluudade Ewe alawọ ewe? Loye ipa ayika.

O jẹ pataki lati jẹ sihin nipa awọn aaye ayika ti Nf₃. Bẹẹni, Nitrogen Trefluide jẹ agbara kan gaasi eefin. Ẹgbẹ ajọṣepọ lori Iyipada oju-ọjọ (IPCC) ti ṣe iṣiro pe o ni agbara igbona agbaye agbaye (GWP) Ẹgbẹẹgbẹrun awọn akoko ti o tobi ju erogba lọ dioxide Ju akoko 100-ọdun. Eyi jẹ otitọ pe ile-iṣẹ gba pataki ni pataki.

Sibẹsibẹ, itan naa ko pari nibẹ. Awọn ikolu lori ayika Da lori kii kan lori agbara gaasi, ṣugbọn lori iye ti o ti gba lailewu sinu afe. Gẹgẹbi a ti sọ tẹlẹ, Nf₃ ti munadoko pupọ. Ni igbalode okiti ọgbẹ ile-iṣẹ, opo julọ ti awọn gaasi lo jẹ run tabi ti parun lakoko ilana iṣelọpọ. Awọn pisma fọ lulẹ, ati eyikeyi aibikita afẹfẹ Iyẹn ti rẹ ti wa ni firanṣẹ si eto itusilẹ kan. Awọn eto wọnyi jẹ doko gidi, nigbagbogbo pa run lori 99% ti o ku Nf₃.

Iyipada ile-iṣẹ lati PFCs si Nf₃, ni idapo pẹlu lilo gbooro ti imọ-ẹrọ ti imọ-ẹrọ Awọn eefin gaasi gaasi fun apakan ti iṣelọpọ. Ṣeduro fun Awọn olupese Alabaṣepọ Ati awọn olupese gaasi ṣiṣẹ papọ lati rii daju pe awọn eegun ma dinku. Eyi ni iṣakojọpọ ilana ṣiṣe lati lo iye ti o kere ju afẹfẹ Pataki ati mimu awọn ọna ṣiṣe ijade fun iṣẹ teak. Nitorinaa, lakoko ti Nf₃ jẹ agbara kan gaasi eefin ni eto labu, ẹtan ayika agbaye gidi ni Ṣiṣejade Semicaltuctor Ti wa ni fara pamọ ati dinku ni isalẹ ju awọn ọna miiran ti o rọpo.

Kini ipa ti iran gaasi lori Aye fun awọn aṣọ zecomidonctor nla?

Asekale igbalode Ṣiṣejade Semicaltuctor ni mimi. Awọn ohun elo ti o tobi julọ, ti a mọ bi Mega-Dobs, jẹ ki ọpọlọpọ titobi pupọ ti awọn ọgba eefin. Fun diẹ ninu awọn ategun, bi nitrogen, o dara julọ lati ṣe agbejade wọn taara ni ile-ọja dipo ikoledanu ninu ẹgbẹẹgbẹrun awọn agolo gigun. Eyi ni a mọ bi ni ojule Iran. Fun a ṣe pataki ati irọrun afẹfẹ fẹran Nf₃, awoṣe ti o yatọ diẹ ti n jade: ni ojule isọdọmọ ati onínọmbà.

Lakoko ti o kun Iṣelọpọ nf₃ ni aṣọ jẹ ko wọpọ julọ nitori iṣeeṣe rẹ, awọn olumulo nla-iwọn nigbagbogbo ti fafa ni ojule Gaasi Iṣakoso šiše. Ipese ti o ni ipese ti Nf₃ Ti fi jiṣẹ si Fah, ati lẹhinna eto yii ṣe ni ipele ikẹhin afọmọ ati itupalẹ didara didara ọtun ṣaaju ki awọn afẹfẹ Ti nwọle awọn irinṣẹ iṣelọpọ gbowolori. Eyi n pese ipele ti o gaju ti iṣakoso didara, aridaju pe eyikeyi kontaminesonu lati awọn ila ipese ni a mu. Ọna yii yika awọn anfani ọrọ-aje ti rira olopobobobobo pẹlu idaniloju didara ti ni ojule Isakoso.

Loye awọn awoṣe ipese ti o dagbasoke jẹ pataki. Gẹgẹbi olupese, a ti fẹ awọn iṣẹ wa siwaju ju ti o kan awọn silinda lọ. A n ṣiṣẹ bayi pẹlu Awọn olupese Alabaṣepọ kabita Lati ṣe apẹrẹ ati Ifọrọwọsi gaasi okeale ati awọn solusan iṣakoso. Eyi le pẹlu igbẹhin laini iṣelọpọ agbara fun alabara pataki kan, awọn eekakaka pataki, tabi isopọ pẹlu wọn ni ojule awọn ọna ṣiṣe. O jẹ nipa pese iṣẹ ipese ti o rọ ati igbẹkẹle kan ti o pade awọn aini ibeere ti Ipese 21st-orundun. Eyi jẹ apakan bọtini ti nwon.Mirza wa, ni pataki nigbati iranṣẹ awọn alabara pẹlu pataki Awọn agbara iṣelọpọ.

Bawo ni mimọ NF₃ ṣe ipa iru iṣelọpọ iṣelọpọ ni iṣelọpọ súnbrún?

Ninu okiti ọgbẹ agbaye, "Mu" jẹ ohun gbogbo. O jẹ ogorun ti o dara, awọn eerun ti n ṣiṣẹ ti a ṣe agbejade lati ẹyọkan kan ohun alumọni waffer. Eso giga tumọ si ni ere giga; Ikun kekere le jẹ iparun-owo iparun. Mimọ ti awọn gaasi ilana, ni pataki afẹfẹ fẹran Nf₃, ni ipa taara ati iyalẹnu lori iṣelọpọ iṣelọpọ.

Fojuinu an ohun silẹ bi patiku kekere ti ọrinrin (HIO) tabi omiiran jiebẹ pọpo adalu ninu pẹlu awọn Nf₃. Lakoko ilana etutu ti o ni imọlara, iyẹn ohun silẹ le dabaru pẹlu iṣesi kemikali, nfa abawọn airi ti o ni itutu. O le dina awọn etch, fi ohun elo silẹ nibiti o yẹ ki o jẹ, tabi fa ida-ori, yiyọ ohun elo pupọ. Ọna boya, Abajade ipinpo ti a ṣepọ yoo kuna idanwo ikẹhin rẹ. Nigbati o ba n ṣe awọn miliọnu awọn onimọran lori chirún kan, ani ọkan "apakokoro" ti o fa nipasẹ ẹya ohun silẹ le jẹ ki gbogbo ẹrọ asan.

Eyi ni idi ti a fi n ṣe idoko-owo ni agbara ni iṣakoso didara. Nipa pese ifọwọsi, olella-mimọ-mimọ Nf₃, a fun awọn alabara wa igbẹkẹle yẹn pe awọn afẹfẹ kii yoo jẹ orisun ti awọn abawọn. Ṣiṣakoso ifọkansi ti gbogbo awọn paati si isalẹ awọn ẹya-ipele-bilionu idaniloju idaniloju pe awọn ilana iṣelọpọ jẹ idurosinsin ati tunto. Ilana iduroṣinṣin nyorisi si asọtẹlẹ ati giga iṣelọpọ iṣelọpọ, eyiti o jẹ ipinnu ti o ga julọ fun gbogbo okiti ọgbẹ Olupese. Ipa wa bi olupese ti Giga giga giga giga ni lati se imukuro awọn oniyipada ati pese ọja ti didara ti ko ṣe deede.

Kini o yẹ ki o wa fun olupese ti nitrogen Terroor Trifluorge?

Fun oṣiṣẹ ti o ni aabo bi Mark, yiyan olupese ti o tọ fun ohun elo to ṣe pataki bi Nf₃ lọ ti o kọja kọja awọn idiyele ti o kan ṣe afiwe. Awọn eewu ti awọn idaduro ọkọ oju omi ti ko dara, awọn ọran didara, ibaraẹnisọrọ ti ko dara-jẹ ki o to gaju. Da lori iriri mi, eyi ni awọn okunfa bọtini lati gbero:

Akọkọ, didara didara ati awọn iwe-ẹri. Olupese igbẹkẹle yoo pese ijẹrisi igbẹkẹle (coa) pẹlu gbogbo fifiranṣẹ, alaye awọn ipele mimọ ati ṣiṣe atokọ eyikeyi awọn abawọn eyikeyi ti o ri. Wọn yẹ ki o wa ni ibamu pẹlu awọn ajohunše agbaye bi ISO 9001. Beere nipa awọn agbara ofin wọn. Ṣe wọn ni awọn ohun elo lati rii awọn impurities ni awọn ipele ti o nilo fun okiti ọgbẹ Awọn ohun elo?

Keji, igbẹkẹle ipese ati akotan. Njẹ olupese le ṣafihan nẹtiwọọki awọn eetan kan lati yago fun awọn idaduro? Ṣe wọn ni atunse Awọn agbara iṣelọpọ Lati rii daju ipese ti o duro? Ibaraẹnisọrọ jẹ bọtini nibi. Olupese rẹ yẹ ki o ṣakoso, pese awọn imudojuiwọn lori awọn gbigbe gbigbe ati ni imurasilẹ wa lati dahun awọn ibeere. Eyi taara koju si aaye irora ti ibaraẹnisọrọ.

Ni ipari, wo fun ẹkọ imọ-ẹrọ. Olupese ti o dara ko kan ta ọja kan; Wọn pese ojutu kan. Wọn yẹ ki o loye awọn ohun elo rẹ ki o ni anfani lati pese atilẹyin imọ-ẹrọ. Wọn yẹ ki o jẹ oye nipa aabo, mimu, ati paapaa awọn ilana ayika ti yika awọn Awọn ohun elo gaasi. Olupese ti o le ṣiṣẹ bi alabaṣepọ ti oye ti jẹ ailopin o niyelori ju ọkan ti o jẹ ataja kan. Imọye yii ni ipilẹ ti igba pipẹ, ibatan ti o ni ere. A gbiyanju lati jẹ alabaṣepọ yẹn fun gbogbo awọn alabara wa, ti pese kii ṣe awọn afẹfẹ Ṣugbọn alaafia ti o wa pẹlu rẹ.

Awọn ọna itẹwe bọtini

• Ọpa pataki: Nitrogen Trifluroide (NF₃) jẹ pataki pataki afẹfẹ lo fun pilasima etching ati gige ninu awọn Ilana iṣelọpọ Semiconctory.
• Iṣẹ giga: Nf₃ ti wa ni lilo daradara ati pe o ni ipa ayika ayika ti o munadoko ju awọn gaasi pfc agbalagba ti o rọpo, o ṣeun si awọn oṣuwọn lilo giga ati awọn ọna idaamu idaamu igbalode.
• Awaye jẹ ipin: Awọn mimọ ti ara-giga ti Nf₃ jẹ alaigbagbọ. Paapaa awọn imputuditi wa le fa awọn abawọn lori a ohun alumọni waffer, dinku idinku awọn iṣelọpọ iṣelọpọ Ati ni oye ti eka omi.
• Aabo ati mimu jẹ bọtini: Lakoko ti iduroṣinṣin, Nf₃ jẹ majele ati oxidizing afẹfẹ Iyẹn nilo mimu mimu, kekere ti o fọwọsi, ati oye jinlẹ ti awọn ilana aabo.
• Aṣayan afikun jẹ pataki: Nigbati yiyan ẹya Nf₃ Olupese, ṣaju agbara didara julọ, igbẹkẹle pq igbẹkẹle, ibaraẹnisọrọ to jinlẹ, ati imọ-ẹrọ ti o jinlẹ lori idiyele nikan.