ימאַדזשאַן די קליינטשיק קאָמפּיוטער טשיפּס וואָס מאַכט דיין טעלעפאָן, דיין לאַפּטאַפּ, אפילו דיין מאַשין. די ינקרעדאַבלי קאָמפּלעקס דעוויסעס זענען געבויט מיט עקסטרעם פּינטלעכקייַט, און אין די האַרץ פון זייער מאַנופאַקטורינג ליגט אַ שטיל אָבער יקערדיק קראַפט: ספּעציאַליטעט גאַסאַז. דער אַרטיקל יקספּלאָרז די קריטיש ראָלע די הינטער-הויך ריינקייַט גאַסאַז שפּילן אין די סעמיקאַנדאַקטער און עלעקטראָניק ינדאַסטריז, וואָס דערקלערן וואָס זייער קוואַליטעט איז העכסט און ווי זיי געבן די פאַבריקיישאַן פון די טעכנאָלאָגיע מיר פאַרלאָזנ אויף יעדער טאָג. טראַכטן וועגן דעם ווי דאָס: די גאַסאַז זענען די סוד ינגרידיאַנץ וואָס מאַכן מאָדערן עלעקטראָניק מעגלעך. פארשטאנד פון זייער וויכטיקייט איז דער שליסל צו פֿאַרשטיין די צוקונפֿט פון טעכנאָלאָגיע.

דעלווינג אין די דעטאַילס: די וויטאַל ראָלע פון ​​גאַסאַז

זאל ס ויספאָרשן יעדער פון די פראגעס אין דעטאַל.

1. וואָס מאכט אַ גאַז אַ "סעמיקאָנדוקטאָר גאַז" אָדער "עלעקטראָניק ספּעציאַליטעט גאַז"?

ניט אַלע גאַז איז באשאפן גלייַך, ספּעציעל ווען עס קומט צו די יידל פּראָצעס פון סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוצירן. סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז, אויך באקאנט ווי עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז, פאַרמאָגן יקסעפּשנאַלי הויך לעוועלס פון ריינקייַט. דעם מיטל זיי זענען כּמעט לעגאַמרע קאַמפּאָוזד פון די בדעה גאַז, מיט מינוסקיול אַמאַונץ פון אנדערע סאַבסטאַנסיז, אָפט געמאסטן אין פּאַרץ פּער ביליאָן (פּפּב). ניט ענלעך פאַרנעם גאַסאַז געניצט אין אנדערע ינדאַסטריז, די ספּעציאַליטעט גאַסאַז זענען ענדזשאַנירד פֿאַר זייער ספּעציפיש כעמישער פּראָפּערטיעס און זייער פיייקייט צו דורכפירן גענוי פאַנגקשאַנז אין די פאַבריקיישאַן פון קאָמפּליצירט עלעקטראָניש דעוויסעס. די גאַסאַז זענען געניצט ניט נאָר ווי רוי מאַטעריאַלס, אָבער ווי אַקטיוו פּאַרטיסאַפּאַנץ אין דעם קאָמפּלעקס כעמישער ריאַקשאַנז אַז בויען סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס.

די דיפיינינג כאַראַקטעריסטיש פון אַ עלעקטראָניק ספּעציאַליטעט גאַז איז זייַן קאַנטראָולד ריינקייַט פּראָצעס גאַסאַז. די גאַסאַז און גאַז מיקסטשערז זענען אָפט ריאַקטיוו אָדער ינערט, קערפאַלי אויסדערוויילט פֿאַר זייער פיייקייַט צו עטש, דאָפּע, אָדער שאַפֿן ספּעציפיש לייַערס אויף אַ סיליציום ווייפער. פֿאַר בייַשפּיל, עטלעכע גאַסאַז זענען געניצט צו אַוועקלייגן דין פילמס (דעפּאָזיציע), בשעת אנדערע זענען געניצט אין די עטשינג פּראָצעס צו באַזייַטיקן אַנוואָנטיד מאַטעריאַל. די שטרענג באדערפענישן פון די עלעקטראָניק אינדוסטריע פאָדערונג סאַפּלייז פון הויך-ריינקייַט צו ענשור די רילייאַבילאַטי און פאָרשטעלונג פון די לעצט עלעקטראָניש דעוויסעס. איר קענען ויספאָרשן אונדזער קייט פון גאַסאַז צו פֿאַרשטיין די דייווערסיטי בנימצא.

2. פארוואס איז הינטער-הויך ריינקייַט אַזוי קריטיש פֿאַר גאַסאַז געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן?

ימאַדזשאַן טריינג צו בויען אַ סקייסקרייפּער מיט שאַקי ציגל - עס פשוט וואָלט נישט אַרבעטן. סימילאַרלי, די פאַבריקיישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער טשיפּס פאדערונגען הינטער-הויך ריינקייַט. אפילו שפּור אַמאַונץ פון טומאה אין די גאַסאַז געניצט קענען האָבן קאַטאַסטראָפיק קאַנסאַקווענסאַז. די טומאה עלעמענטן, ווי זויערשטאָף און נעץ, קענען אַרייַנמישנ זיך מיט די יידל כעמישער ריאַקשאַנז בעשאַס סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע, לידינג צו חסרונות און לעסאָף, די דורכפאַל פון די סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס.

די מדרגה פון ריינקייַט פארלאנגט פֿאַר גאַסאַז אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג איז צווישן די שטרענגסטע אין דער וועלט. מיר 'רע גערעדט וועגן הינטער-הויך ריינקייַט, ווו אפילו פּאַרץ פּער ביליאָן פון קאַנטאַמאַנאַנץ קענען זיין דעטראַמענאַל. פֿאַר בייַשפּיל, די בייַזייַן פון אַנוואָנטיד יאָןס קענען טוישן די עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס פון די סיליציום, רענדערינג די ווייפער אַרויסגעוואָרפן. דאָס איז וואָס מיטיק קוואַליטעט קאָנטראָל און אַוואַנסירטע רייניקונג טעקניקס זענען לעגאַמרע יקערדיק פֿאַר קיין סאַפּלייער פון סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז. טראַכטן פון עס ווי באַקינג אַ שטיקל - אפילו אַ קליינטשיק ביסל פון די אומרעכט ינגרידיאַנט קענען צעשטערן די גאנצע זאַך.

3. וואָס גאַסאַז זענען די וואָרכאָרסעס פון די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע?

בשעת פילע ספּעציאַליטעט גאַסאַז שפּילן אַ ראָלע, עטלעכע זענען ינדיספּענסאַבאַל ווערקכאָרסעס אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. ניטראָגען איז וויידלי געניצט ווי אַ ינערט גאַז צו שאַפֿן אַ קאַנטראָולד אַטמאָספער, פּרעווענטינג אַנוואָנטיד כעמישער ריאַקשאַנז. אַרגאָן, אנדערן ינערט זעלטן גאַז, איז אויך קריטיש פֿאַר קריייטינג די קאַנטראָולד ינווייראַנמאַנץ, ספּעציעל אין ספּאַטערינג און אנדערע דעפּאָזיציע פּראַסעסאַז. הידראָגען פיעסעס אַ וויטאַל ראָלע אין רידוסינג אַקסייד לייַערס און ווי אַ טרעגער גאַז.

אויסער דעם, זויערשטאָף איז געניצט אין אַקסאַדיישאַן פּראַסעסאַז צו שאַפֿן סיליציום דייאַקסייד, אַ וויכטיק ינסאַלייטינג מאַטעריאַל. קאַרבאָן דייאַקסייד געפינט אַפּלאַקיישאַנז אין זיכער עטשינג פּראַסעסאַז. העליום, אנדערן זעלטן גאַז, איז געניצט פֿאַר רינען דיטעקשאַן און ווי אַ קריאָגעניק קולאַנט. פֿאַרשטיין די ספּעציפיש פּראָפּערטיעס פון יעדער גאַז איז קריטיש פֿאַר אָפּטימיזינג די פאַרשידן סטאַגעס פון סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע. פּונקט ווי פאַרשידענע מכשירים זענען דארף פֿאַר פאַרשידענע דזשאָבס, אַנדערש גאַסאַז זענען דארף פֿאַר פאַרשידענע סטעפּס אין מאכן אַ שפּאָן. איר קענט לערנען מער וועגן אונדזער הויך קוואַליטעט ניטראָגען צילינדער אָפּציעס.

4. ווי איז הידראָגען ספּאַסיפיקלי געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער און עלעקטראָניק מאַנופאַקטורינג?

הידראָגען איז אַ ווערסאַטאַל גאַז מיט עטלעכע קריטיש אַפּלאַקיישאַנז אין סעמיקאַנדאַקטער און עלעקטראָניק מאַנופאַקטורינג. איינער פון זייַן ערשטיק ניצט איז אין די רעדוקציע פון ​​מעטאַל אַקסיידס. בעשאַס זיכער סטאַגעס פון סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע, אַנוואָנטיד אַקסייד לייַערס קענען פאָרעם אויף די סיליציום ווייפער. הויך-ריינקייַט הידראָגען אקטן ווי אַ רידוסינג אַגענט, ריאַקטינג מיט די אַקסייד צו באַזייַטיקן עס און לאָזן אַ ריין סיליציום ייבערפלאַך.

דערצו, הידראָגען איז אָפט געניצט ווי אַ טרעגער גאַז אין פאַרשידן דעפּאָזיציע פּראַסעסאַז. עס העלפּס צו אַריבערפירן אנדערע ריאַקטיוו גאַסאַז צו די ווייפער ייבערפלאַך אין אַ קאַנטראָולד שטייגער, ינשורינג מונדיר פילם גראָוט. די ינקריסינג פאָקוס אויף סאַסטיינאַביליטי איז אויך דרייווינג אינטערעס אין גרין הידראָגען פֿאַר די אַפּלאַקיישאַנז. די גענוי קאָנטראָל געפֿינט דורך הידראָגען מאכט עס אַן ינוואַליאַבאַל געצייַג אין קריייטינג די ינטראַקאַט סטראַקטשערז פון מיקראָטשיפּס. מיר פאָרשלאָגן פאַרלאָזלעך הידראָגען צילינדער סאַלושאַנז פֿאַר דיין באדערפענישן.

5. וואָס ראָלע טוט ניטראָגען שפּילן אין ינשורינג קוואַליטעט אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע?

ניטראָגען איז אַ ומעטומיק און יקערדיק גאַז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, בפֿרט רעכט צו זייַן ינערט נאַטור. זייַן שליסל ראָלע איז צו שאַפֿן און טייַנען אַן אַטמאָספער פריי פון ריאַקטיוו עלעמענטן ווי זויערשטאָף און נעץ, וואָס קענען קאַנטאַמאַנייט די שפּירעוודיק סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס און אַרייַנמישנ זיך מיט כעמישער ריאַקשאַנז. טראַכטן פון עס ווי אַ פּראַטעקטיוו פאַרדעקן פֿאַר די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס.

איבער פאַרשידן סטאַגעס פון סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע, פון קריסטאַל וווּקס צו ווייפער פּראַסעסינג און פֿאַרזאַמלונג, ניטראָגען איז געניצט צו רייניקן ויסריכט, שאַפֿן קלינראָאָם ינווייראַנמאַנץ און פאַרמייַדן אַקסאַדיישאַן. דאָס העלפּס צו מינאַמייז חסרונות און ענשור די הויך קוואַליטעט און רילייאַבילאַטי פון די לעצט סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס. די קאָנסיסטענט און פאַרלאָזלעך צושטעלן פון הויך-ריינקייַט ניטראָגען איז דעריבער העכסט וויכטיק פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער מאַניאַפאַקטשערערז. ויספאָרשן אונדזער פאַרשידן ניטראָגען צושטעלן אָפּציעס צו ענשור דיין פּראָדוקציע ראַנז סמודלי.

6. פארוואס איז אַרגאָן אָפט בילכער ווי אַ ינערט גאַז אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז?

ענלעך צו ניטראָגען, אַרגאָן איז אן איידעלע גאַז און דעריבער כעמישער ינערט, מאכן עס אַ ויסגעצייכנט ברירה פֿאַר שאפן קאַנטראָולד אַטמאָספערעס אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז. בשעת ניטראָגען איז וויידלי געניצט, אַרגאָן אָפפערס זיכער אַדוואַנטידזשיז אין ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַנז. זייַן העכער אַטאָמישע וואָג קאַמפּערד צו ניטראָגען מאכט עס מער עפעקטיוו אין פּרעווענטינג די דיפיוזשאַן פון אַנוואָנטיד טומאה אַטאָמס.

אַרגאָן איז אָפט געניצט אין ספּאַטערינג, אַ דעפּאָזיציע טעכניק ווו אַ ציל מאַטעריאַל איז באָמבאַרדעד מיט יאָןs, קאָזינג אַטאָמס צו זיין עדזשעקטעד און דאַפּאַזיטיד ווי אַ דין פילם אויף די ווייפער. זייַן ינערטנאַס פּריווענץ עס פון ריאַקטינג מיט די ציל מאַטעריאַל אָדער די דאַפּאַזיטיד פילם. אַרגאָן איז אויך געניצט אין פּלאַזמע עטשינג פּראַסעסאַז. ווי ניטראָגען, אַ קאָנסיסטענט צושטעלן פון הויך-ריינקייַט אַרגאָן איז וויטאַל פֿאַר מיינטיינינג די אָרנטלעכקייַט פון די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס. באַטראַכטן אונדזער פאַרלאָזלעך אַרגאָן גאַז צילינדער אָפּציעס פֿאַר דיין מעכירעס.

7. ווייַטער פון די באַסיקס: וואָס אנדערע עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז זענען יקערדיק?

בשעת הידראָגען, ניטראָגען, און אַרגאָן זענען פונדאַמענטאַל, אַ קייט פון אנדערע עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז זענען קריטיש פֿאַר ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַנז אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוצירן. פאָספינע איז אַ שליסל דאָפּאַנט מקור פֿאַר ינטראָודוסינג פאַספעראַס אין סיליציום, אָלטערינג זייַן עלעקטריקאַל קאַנדאַקטיוואַטי. סימילאַרלי, אַרסינע (מיט אַרסעניק) און דיבאָראַנע (מיט באָראָן) זענען געניצט ווי דאָפּאַנטס.

העליום, א ליכט זעלטן גאַז, איז געניצט פֿאַר רינען דיטעקשאַן אין וואַקוום סיסטעמען און ווי אַ קאָאָלינג אַגענט רעכט צו זיין נידעריק בוילינג פונט. פלואָרינע-מיט גאַסאַז, אַזאַ ווי שוועבל העקסאַפלאָרידע, זענען געניצט אין פּלאַזמע עטשינג רעכט צו זייער פיייקייט צו סאַלעקטיוולי באַזייַטיקן מאַטעריאַלס. די ספּעציפיש קאָמבינאַציע פון גאַסאַז און גאַז מיקסטשערז געניצט דעפּענדס אויף די גענוי סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז ינוואַלווד. מיר פאָרשלאָגן אַ ברייט קייט פון גאַסאַז צו טרעפן דייווערס מאַנופאַקטורינג באדערפענישן.

8. וואָס סטרינדזשאַנט מיטלען ינשור די הויך ריינקייַט פון סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז?

בעכעסקעם די הינטער הויך ריינקייַט פון סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז ריקווייערז אַ מאַלטי-לייערד צוגאַנג מיט גאָר שטרענג מיטלען אין יעדער בינע, פון פּראָדוקציע צו עקספּרעס. רייניקונג פּראַסעסאַז אַרייַנציען אַוואַנסירטע טעקניקס ווי דיסטאַליישאַן, אַדסאָרפּטיאָן און מעמבראַנע צעשיידונג צו באַזייַטיקן אפילו שפּור אַמאַונץ פון טומאה. סאַפיסטאַקייטיד אַנאַליזערs זענען געניצט צו קעסיידער מאָניטאָר די גאַז ריינקייַט.

צילינדערס געניצט פֿאַר סטאָרינג און טראַנספּאָרטינג די גאַסאַז דורכגיין שטרענג רייניקונג און טעסטינג צו פאַרמייַדן קאַנטאַמאַניישאַן. סאַפּלייערס אין דעם אינדוסטריע מוזן אַדכיר צו דעם העכסטן קוואַליטעט קאָנטראָל סטאַנדאַרדס און אָפט האַלטן סערטאַפאַקיישאַנז וואָס באַווייַזן זייער פיייקייט צו טרעפן די פאדערן רעקווירעמענץ. די גאנצע צושטעלן קייט איז דיזיינד צו מינאַמייז די ריזיקירן פון ינטראָודוסינג קיין טומאה אין די קריטיש מאַטעריאַלס. אונדזער פאַבריק מיט 7 פּראָדוקציע שורות ינשורז די העכסטן סטאַנדאַרדס פון ריינקייַט.

9. ווי טוט ימפּיוריטי אין סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז פּראַל אויף די לעצט עלעקטראָניש פּראָדוקט?

די פּראַל פון אפילו מינוסקיול אַמאַונץ פון טומאה אין סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז קענען זיין באַטייַטיק, לידינג צו חסרונות און רידוסט פאָרשטעלונג אין די לעצט עלעקטראָניש דעוויסעס. קאַנטאַמאַנאַנץ קענען צעשטערן די יידל כעמישער ריאַקשאַנז בעשאַס דעפּאָזיציע און עטשינג, לידינג צו ניט-מונדיר לייַערס אָדער אַנוואָנטיד עטשינג. טומאה אַטאָמס קענען אויך זיין ינקאָרפּערייטיד אין די סיליציום לאַטאַס, אָלטערינג זייַן עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס און פּאַטענטשאַלי קאָזינג מיטל דורכפאַל.

צום סוף, טומאה קענען פאַרמינערן די טראָגן פון פאַנגקשאַנאַל סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס, פאַרגרעסערן מאַנופאַקטורינג קאָס, און קאָמפּראָמיס די רילייאַבילאַטי פון די לעצט עלעקטראָניק. דאָס איז וואָס די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע לייגט אזא שטארקע טראָפּ אויף די גאַז ריינקייַט און אַרבעט ענג מיט סאַפּלייערס וואס קענען גאַראַנטירן די פארלאנגט הינטער-הויך ריינקייַט. ימאַדזשאַן אַ איין ספּעק פון שטויב רוינינג אַ מיקראָסקאָפּיק קרייַז - דאָס איז די וואָג פון די אַרויסרופן.

10. קוקן פאָרויס: וואָס זענען די צוקונפֿט טרענדס אין גאַסאַז פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער און עלעקטראָניק?

די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע איז קעסיידער יוואַלווינג, און די פאדערונגען אויף סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז זענען טשאַנגינג מיט אים. טרענדס אַרייַננעמען די ינקריסינג פאָדערונג פֿאַר אפילו העכער ריינקייַט גאַסאַז ווי שטריך סיזעס אויף טשיפּס ייַנשרומפּן. עס איז אויך אַ גראָוינג פאָקוס אויף דעוועלאָפּינג נייַע ספּעציאַליטעט גאַסאַז און גאַסאַז און מיקסטשערז מיט ימפּרוווד פּראָפּערטיעס פֿאַר אַוואַנסירטע מאַנופאַקטורינג טעקניקס.

סאַסטיינאַביליטי איז אן אנדער שליסל שאָפער, מיט ינקריסינג אינטערעס אין גרין הידראָגען און אנדערע ינווייראַנמענאַלי פרייַנדלעך גאַסאַז. די אַנטוויקלונג פון אַוואַנסירטע אַנאַליזער טעכנאָלאָגיע פֿאַר דיטעקטינג אפילו נידעריקער לעוועלס פון טומאה וועט אויך זיין קריטיש. די צוקונפֿט פון עלעקטראָניק איז ינעקסטריקאַבלי לינגקט צו אַדוואַנטידזשיז אין די פּראָדוקציע און האַנדלינג פון די יקערדיק גאַסאַז.

שליסל נעמען: די וויכטיקייט פון סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז

• ספּעציעלע גאַסאַז מיט הינטער-הויך ריינקייַט זענען יקערדיק פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער און עלעקטראָניק מאַנופאַקטורינג.
• אפילו שפּור אַמאַונץ פון טומאה קענען סאַווירלי פּראַל די קוואַליטעט און רילייאַבילאַטי פון עלעקטראָניש דעוויסעס.
• ניטראָגען און אַרגאָן זענען קריטיש פֿאַר קריייטינג ינערט אַטמאָספערעס, בשעת הידראָגען איז וויטאַל פֿאַר רעדוקציע און טרעגער אַפּלאַקיישאַנז.
• א פּלאַץ פון אנדערע עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז, ווי פאָספינע און העליום, זענען געניצט פֿאַר ספּעציפיש פּראַסעסאַז.
• סטרינדזשאַנט מיטלען זענען אין פּלאַץ צו ענשור די הויך ריינקייַט פון די גאַסאַז איבער די צושטעלן קייט.
• די צוקונפֿט פון די עלעקטראָניק אינדוסטריע דעפּענדס אויף פארבליבן כידעש אין סעמיקאַנדאַקטער גאַז טעכנאָלאָגיע.

פֿאַר פאַרלאָזלעך סאַפּלייז פון הויך-ריינקייַט אינדוסטריעלע גאַסאַז, אַרייַנגערעכנט ניטראָגען, אַרגאָן, און הידראָגען, קאָנטאַקט אונדז אין Huazhong Gas. איר קענט אויך ויספאָרשן אונדזער אָפרינגז פֿאַר נידעריק טעמפּעראַטור ינסאַלייטיד גאַז צילינדער און אונדזער קייט פון אַרגאָן גאַז צילינדער.