דער סמאַרטפאָנע אין דיין קעשענע, די קאָמפּיוטער אויף דיין שרייַבטיש, די אַוואַנסירטע סיסטעמען אין דיין מאַשין - גאָרניט פון עס וואָלט זיין מעגלעך אָן די שטיל, ומזעיק אַרבעט פון ספּעציאַליטעט גאַז. אלס אייגנטימער פון אן אינדוסטריאלער גאז פאבריק, האב איך, אלן, ערשטהאנט געזען ווי די קריטישע מאטעריאלן פארמירן דעם יסוד פון מאדערנער טעכנאלאגיע. פֿאַר געשעפט לעאַדערס ווי Mark Shen, וואָס נאַוויגירן די קאָמפּלעקס גלאבאלע צושטעלן קייט, פארשטאנד די גאַסאַז איז שליסל צו אַנלאַקינג נייַע אַפּערטונאַטיז. דער אַרטיקל איז דיין פולשטענדיק פירער צו איינער פון די מערסט וויכטיק פּלייַערס אין דעם פעלד: ניטראָגען טריפלאָרידע (NF₃). מיר וועלן דעמיסטיפיי דעם שטאַרק גאַז, ויספאָרשן זייַן וויטאַל ראָלע אין די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, און דערקלערן וואָס די קוואַליטעט און צושטעלן זענען קריטיש פֿאַר די גאנצע עלעקטראָניק מאַנופאַקטורינג אינדוסטריע.

וואָס פּונקט איז ניטראָגען טריפלאָרידע (NF₃) גאַז?

אויף דער ערשטער בליק, ניטראָגען טריפלאָרידע, אָפט ריפערד צו דורך זייַן כעמישער פאָרמולע NF₃, קען ויסקומען ווי נאָר אן אנדער ינדאַסטרי גאַז. עס איז אַ בלאַס, ניט-ברענעוודיק, און אַ ביסל מאַסטי-סמעלינג קאַמפּאַונד. אָבער, אין דער וועלט פון אַוואַנסירטע מאַנופאַקטורינג, דעם גאַז איז אַ הויך-פאָרשטעלונג געצייַג. עס איז סינטעטיקלי געשאפן קאַמפּאַונד געמאכט פון איין ניטראָגען אַטאָם און דריי פלאָרין אַטאָמס. דער שליסל צו זייַן מאַכט ליגט אין דעם סטרוקטור. אין צימער טעמפּעראַטור, NF₃ איז לעפיערעך סטאַביל און ינערט, מאכן עס זיכער צו אַריבערפירן און שעפּן קאַמפּערד מיט מער וואַלאַטאַל גאַסיז.

די מאַגיש כאַפּאַנז ווען ענערגיע איז געווענדט. אונטער די הויך-ענערגיע באדינגונגען אינעווייניק א סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג געצייַג, אַזאַ ווי אַ פּלאַזמע קאַמער, די NF₃ מאַלאַקיולז צעלאָזן. זיי ברעכן באַזונדער און באַפרייַען הויך ריאַקטיוו פלאָרין ראַדיקאַלן. טראַכטן פון עס ווי אַ קאַנטראָולד יקספּלאָוזשאַן אויף אַ מיקראָסקאָפּיק וואָג. די פריי פלאָרין אַטאָמס זענען ינקרעדאַבלי עפעקטיוו אין ריאַקטינג מיט און רימוווינג אַנוואָנטיד מאַטעריאַלס, ספּעציעל סיליציום און זייַן קאַמפּאַונדז. די פיייקייט צו זיין סטאַביל ווען איר דאַרפֿן עס און העכסט ריאַקטיוו ווען איר ווילן עס מאכט ניטראָגען טריפלאָרידע גאַז אַ ינוואַליאַבאַל אַסעט אין די גענוי וועלט פון שפּאָן מאַנופאַקטורינג.

דעם יינציק צווייענדיק נאַטור איז וואָס NF₃ איז געווארן אַ קאָרנערשטיין פון מאָדערן סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע. זייַן פעסטקייַט ינשורז זיכערקייַט און רילייאַבילאַטי אין די צושטעלן קייט, בשעת זייַן ריאַקטיוואַטי גיט די הויך-פאָרשטעלונג רייניקונג און עטשינג קייפּאַבילאַטיז וואָס מאַניאַפאַקטשערערז דאַרפֿן. ווען מיר דעווע דיפּער, איר וועט זען ווי דאָס איז פּשוט גאַז ינייבאַלז די שאַפונג פון די מערסט קאָמפּלעקס דעוויסעס אויף דער ערד.

פארוואס זענען ספּעציאַליטעט גאַסאַז יקערדיק פֿאַר די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע?

צו פֿאַרשטיין די וויכטיקייט פון NF₃, מיר ערשטער דאַרפֿן צו אָפּשאַצן די ברייטערער ראָלע וואָס גאַסאַז זענען יקערדיק פֿאַר אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. מאַנופאַקטורינג אַ ינאַגרייטיד קרייַז איז ווי צו בויען אַ סקייסקרייפּער אויף אַ לייַוונט די גרייס פון דיין טאַמנייל. דאָס איז אַ פּראָצעס פון אַדינג און רימוווינג דאַזאַנז פון הינטער-דין לייַערס פון פאַרשידענע מאַטעריאַלס אויף אַ סיליציום ווייפער. יעדער שריט, פון קריייטינג אַ נאַקעט ווייפער צו די לעצט שפּאָן, רילייז אויף אַ קערפאַלי קאַנטראָולד אַטמאָספער פון ספּעציאַליטעט עלעקטראָניש גאַסאַז.

די גאַסאַז דורכפירן עטלעכע קריטיש פאַנגקשאַנז. עטלעכע, ווי אַרגאָן און העליום, זענען געניצט ווי ינערט טרעגער גאַסאַז צו שאַפֿן אַ סטאַביל, ניט-ריאַקטיוו סוויווע און צו צעפירן מער ריאַקטיוו גאַסאַז. אנדערע זענען געניצט פֿאַר דעפּאָזיציע, װא ם א גאַז איז געוויינט צו אַוועקלייגן אַ דין פילם פון מאַטעריאַל אַנטו די ווייפער. פֿאַר בייַשפּיל, אין כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD), גאַסאַז רעאַגירן צו פאָרעם אַ האַרט פילם וואָס ווערט טייל פון די שפּאָן ס קרייַז. דעמאָלט עס זענען עטשינג גאַסאַז, ווי NF₃, וואָס זענען געניצט צו פּונקט שנייַדן אויס פּאַטערנז אין די לייַערס, שאַפֿן די ינטראַקאַט פּאַטווייז פֿאַר עלעקטרע צו לויפן.

אָן אַ שטענדיקע, הינטער-הויך-ריינקייט צושטעלן פון די פאַרשידן גאַסאַז, די גאנצע מאַנופאַקטורינג פּראָצעס װאָלט זיך געשלאָגן. אפילו אַ מינוס טומאה אין א גאַז קען צעשטערן אַ גאַנץ פּעקל פון ווייפערז, קאָסטינג אַ פירמע מיליאַנז פון דאָללאַרס. דאָס איז וואָס סעמיקאַנדאַקטער מאַניאַפאַקטשערערז זענען ינקרעדאַבלי שפּירעוודיק צו די קוואַליטעט און רילייאַבילאַטי פון זייער גאַז סאַפּלייערז. די ריינקייַט פון די גאַז גלייַך טראַנזלייץ צו די קוואַליטעט און פּראָדוקציע טראָגן פון די לעצט פּראָדוקט.

ווי איז NF₃ גאַז געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז?

ניטראָגען טריפלאָרידע האט צוויי ערשטיק, קריטיש אַפּלאַקיישאַנז אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז: פּלאַזמע עטשינג און קאַמער רייניקונג. ביידע זענען יקערדיק פֿאַר קריייטינג הויך-פאָרשטעלונג מיקראָטשיפּס, פֿון פּראַסעסערז צו NAND בליץ זכּרון.

ערשטער, לאָמיר רעדן וועגן עטשינג. נאָך אַ פּלאַסט פון מאַטעריאַל ווי סיליציום דייאַקסייד איז אַוועקגעשטעלט אויף אַ ווייפער, אַ מוסטער איז פּראַדזשעקטאַד אויף עס ניצן ליכט. די עטש פּראָצעס דעמאָלט רימוווז די מאַטעריאַל פון די אַנפּראַטעקטיד געביטן. NF₃ ווערט אריינגעפירט אין א קאמער און ענערדזשייזד צו שאפן א פּלאַזמע— אַ וואָלקן פון באַשולדיקטע יאָן פּאַרטיקאַלז און ריאַקטיוו פלאָרין ראַדיקאַלן. די ראדיקאלן גענוי באמבארדירן די ווייפער ייבערפלאַך, ריאַקטינג מיט די סיליציום און קאַנווערטינג עס אין אַ גאַזירטע קאַמפּאַונד (סיליציום טעטראַפלואָרידע) וואָס קענען זיין לייכט פּאַמפּט אויס פון די קאַמער. די פּינטלעכקייַט פון דעם פּראָצעס איז גינציק, אַלאַוינג ענדזשאַנירז צו שנייַדן פֿעיִקייטן וואָס זענען טויזנטער פון מאל טינער ווי אַ מענטש האָר.

די צווייטע, און מער געוויינטלעך, נוצן פון ניטראָגען טריפלאָרידע איז ווי א רייניקונג גאַז. בעשאַס די כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) פּראָצעס, ווו דין פילמס זענען דערוואַקסן אויף די ווייפער, אַנוואָנטיד מאַטעריאַל אויך בויען זיך אויף די ין ווענט פון די פּראָצעס קאַמער. דאס רעזאַדו, אָפט געמאכט פון סיליציום אָדער סיליציום ניטריד, מוזן זיין גאָר אַוועקגענומען צווישן פּראַסעסינג יעדער ווייפער אָדער פּעקל פון ווייפערז. אויב ניט, דעם בילד-אַרויף קענען פלייק אַוועק און לאַנד אויף דער ווייַטער ווייפער, קאָזינג אַ כיסאָרן. דא, NF₃ ווערט פּאַמפּט אין די ליידיק קאַמער און אַ פּלאַזמע איז אנגעצונדן. די שטאַרק פלאָרין ראַדאַקאַלז רייַבן די קאַמער ווענט ריין, קאַנווערטינג די האַרט רעזאַדו אין א גאַזירטע בייפּראָדוקט וואָס איז לייכט אַוועקגענומען. דעם רייניקונג ציקל איז קריטיק פֿאַר באַהאַנדלונג די ריינקייַט פון די מאַנופאַקטורינג סוויווע און ינשורינג הויך פּראָדוקציע טראָגן.

וואָס מאכט NF₃ אַ העכער רייניקונג גאַז קאַמפּערד מיט אַלטערנאַטיוועס?

פֿאַר פילע יאָרן, די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע רילייד אויף פּערפלואָראָקאַרבאַנז (פּפקס) ווי טשאַד טעטראַפלאָרידע (CF₄) און העקסאַפלואָראָטהאַנע (C₂F₆) פֿאַר רייניקונג און עטשינג. כאָטש זיי זענען עפעקטיוו, די קאַמפּאַונדז האָבן אַ הויפּט שטערונג: זיי זענען גאָר שטאַרק אָראַנזשעריי גאַסאַז מיט זייער לאַנג אַטמאַספעריק לעבן. פֿאַר בייַשפּיל, C₂F₆ האט אַ הויך גלאבאלע וואָרמינג פּאָטענציעל (GWP) און קענען אָנהאַלטן אין דער אַטמאָספער פֿאַר 10,000 יאָר. ווי ינווייראַנמענאַל רעגיאַליישאַנז טייטאַנד, די אינדוסטריע דארף אַ בעסער לייזונג.

דאס איז ווו NF₃ ימערדזשד ווי אַ קלאָר געווינער. בשעת ניטראָגען טריפלאָרידע איז אויך א שטאַרק אָראַנזשעריי גאַז, עס האט אַ פיל קירצער אַטמאַספעריק לעבן (אַרום 500 יאָר). מער ימפּאָרטאַנטלי, עס איז פיל מער עפעקטיוו אין די רייניקונג פּראָצעס. ין די פּלאַזמע קאַמער, אַ פיל העכער פּראָצענט פון NF₃ מאַלאַקיולז ברעכן אַראָפּ צו באַפרייַען זייער ריאַקטיוו פלאָרין קאַמפּערד מיט PFCs. דאָס מיינט ווייניקער נישט רעאַגירט גאַז איז אויסגעמאטערט פון קאמער. מאָדערן סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקס אויך ינסטאַלירן אַבייטמאַנט סיסטעמען (סקראַבערז) וואָס צעשטערן כּמעט אַלע די נישט רעאַגירט NF₃ און שעדלעך בייפּראָדוקט גאַסאַז איידער זיי זענען באפרייט.

די קאָמבינאַציע פון העכער עפעקטיווקייַט און מער עפעקטיוו אַבייטמאַנט מיטל אַז די פאַקטיש אָראַנזשעריי גאַז ימישאַנז פון ניצן NF₃ זענען באטייטיק נידעריקער ווי די פון די עלטערע PFC גאַסאַז. דעם העכער פאָרשטעלונג איז אַ שליסל סיבה פֿאַר זייַן וויידספּרעד קינדער.

ווי איז הויך-ריין ניטראָגען טריפלאָרידע געשאפן?

ווי אַ פאַבריקאַנט, איך קענען זאָגן איר אַז פּראַדוסינג NF₃ איז אַ קאָמפּלעקס און העכסט קאַנטראָולד פּראָדוקציע פּראָצעס. דער ציל איז צו שאַפֿן אַ לעצט פּראָדוקט וואָס איז ינקרעדאַבלי ריין - אָפט 99.999% ריינקייַט אָדער העכער - ווייַל אפילו די מינדסטע טומאה קענען זיין קאַטאַסטראָפיק פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע. דער פּראָצעס ריקווייערז עקספּערטיז אין האַנדלינג העכסט ריאַקטיוו קעמיקאַלז, ספּעציעל פלאָרין.

די NF₃ פּראָדוקציע טיפּיקאַללי ינוואַלווז ריאַקטינג אַמאָוניאַ (א קאַמפּאַונד מיט ניטראָגען) אָדער אַמאָוניאַם פלאָרייד קאַמפּאַונד מיט עלעמענטאַל פלאָרין גאַז אין אַ רעאַקטאָר בייַ הויך טעמפּעראַטורעס. דעם אָפּרוף טראגט אַ געמיש פון גאַסאַז, אַרייַנגערעכנט NF₃, אַנריאַקטיד מאַטעריאַלס, און פאַרשידן בייפּראָדוקטן. די פאַקטיש אַרויסרופן, און ווו די עקספּערטיז פון אַ סאַפּלייער טאַקע ווייזט, איז אין די רייניקונג בינע וואָס גייט.

די רוי גאַזירטע געמיש גייט דורך עטלעכע רייניקונג סטעפּס צו באַזייַטיקן קיין אַנוואָנטיד קאַמפּאַונדז. דאָס אָפט ינוואַלווז אַ סעריע פון סקראַבינג, אַדסאָרפּטיאָן, און קריאָגעניק דיסטאַליישאַן פּראַסעסאַז. די דיסטאַליישאַן פּראָצעס, אין באַזונדער, ניצט גאָר נידעריק טעמפּעראַטורעס צו באַזונדער די פאַרשידענע גאַסאַז באזירט אויף זייער בוילינג פונקטן, ייסאַלייטינג די NF₃ פון סיי וועלכע איבעריגע טומאה. יעדער שריט איז מאָניטאָרעד מיט אַוואַנסירטע אַנאַליטיקאַל עקוויפּמענט צו ענשור אַז די לעצט פּראָדוקט מיץ די שטרענג ספּעסאַפאַקיישאַנז סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. דעם היסכייַוועס צו קוואַליטעט קאָנטראָל איז וואָס סעפּערייץ אַ פאַרלאָזלעך סאַפּלייער פון די מנוחה.

וואָס זענען די זיכערקייַט און האַנדלינג קאַנסידעריישאַנז פֿאַר NF₃ גאַז?

זיכערקייַט איז די שפּיץ בילכערקייַט אין די ינדאַסטרי גאַז געשעפט. בשעת NF₃ איז ניט-ברענעוודיק און לעפיערעך סטאַביל אין צימער טעמפּעראַטור, עס איז אַ שטאַרק אַקסאַדייזינג אַגענט, ספּעציעל אין העכער טעמפּעראַטורעס. דעם מיטל אַז עס קענען רעאַגירן ווייאַלאַנטלי מיט ברענעוודיק מאַטעריאַלס און ריקווייערז אָפּגעהיט האַנדלינג. די ערשטיק ריזיקירן איז זייַן טאַקסיסאַטי; ינכיילד די גאַז קענען זיין שעדלעך, אַזוי געהעריק ווענאַליישאַן און פערזענלעכע פּראַטעקטיוו עקוויפּמענט זענען יקערדיק מאַנופאַקטורינג פּלאַץ.

די גאנצע צושטעלן קייט, פון אונדזער פאַבריק צו דער קונה סעמיקאַנדאַקטער פאַב, איז געבויט אַרום זיכערקייַט. NF₃ איז טראַנספּאָרטאַד אין ספּעשלי דיזיינד שטאָל סילינדערס אונטער הויך דרוק. די סילינדערס אַנדערגאָו שטרענג טעסטינג און סערטאַפאַקיישאַן צו ענשור אַז זיי קענען בעשאָלעם אַנטהאַלטן די גאַז. ווי אַ סאַפּלייער, מיר צושטעלן דיטיילד סאַפעטי דאַטאַ שיץ (SDS) און טריינינג צו אונדזער קאַסטאַמערז אויף געהעריק סטאָרידזש, פֿאַרבינדונג און האַנדלינג פּראָוסידזשערז. דאָס כולל גיידליינז אויף לויפן קורס קאָנטראָל און רינען דיטעקשאַן סיסטעמען.

פֿאַר געשעפט אָונערז ווי מארק, וועמענס הויפּט דייַגע איז אַ גלאַט און פאַרלאָזלעך צושטעלן קייט, פּאַרטנערינג מיט אַ סאַפּלייער וואָס האט אַ פּראָווען זיכערקייַט רעקאָרד איז קריטיש. באַטלאָניש קאָמוניקאַציע אָדער אַ פעלן פון קלאָר זיכערקייַט פּראָטאָקאָלס פון אַ סאַפּלייער איז אַ הויפּט רויט פאָן. מיר שטאָלצירן זיך מיט פּראַוויידינג ניט בלויז אַ פּראָדוקט, אָבער אַ פולשטענדיק דינסט וואָס ינקלודז לאָגיסטיק שטיצן און זיכערקייַט עקספּערטיז, ינשורינג די גאַז ערייווז און איז כאַנדאַלד בעשאָלעם יעדער שריט פון די וועג.

איז ניטראָגען טריפלאָרידע אַ אָראַנזשעריי גאַז? פארשטאנד די ענוויראָנמענטאַל פּראַל.

עס איז קריטיש צו זיין טראַנספּעראַנט וועגן די ינווייראַנמענאַל אַספּעקץ פון NF₃. יא, ניטראָגען טריפלאָרידע איז אַ שטאַרק אָראַנזשעריי גאַז. די ינטערגאַווערנמענטאַל פּאַנעל פֿאַר קלימאַט ענדערונג (IPCC) האט קאַלקיאַלייטיד אַז עס האט אַ גלאבאלע וואָרמינג פּאָטענציעל (GWP) טויזנטער פון מאל גרעסער ווי טשאַד דייאַקסייד איבער אַ 100-יאָר צייט. דאָס איז אַ פאַקט אַז די אינדוסטריע נעמט זייער עמעס.

אָבער, די געשיכטע טוט נישט סוף דאָרט. די פּראַל אויף די סוויווע דעפּענדס ניט בלויז אויף די גאַז ס פּאָטענציעל, אָבער אויף ווי פיל פון עס איז פאקטיש באפרייט אין די אַטמאָספער. ווי פריער דערמאנט, NF₃ איז העכסט עפעקטיוו. אין אַ מאָדערן סעמיקאַנדאַקטער מעכירעס, די וואַסט מערהייַט פון די גאַז געניצט איז קאַנסומד אָדער חרובֿ בעשאַס די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס. די פּלאַזמע ברייקס עס אַראָפּ, און קיין נישט רעאַגירט גאַז וואָס איז ויסגעמאַטערט איז געשיקט צו אַ אַבייטמאַנט סיסטעם. די סיסטעמען זענען גאָר עפעקטיוו, אָפט דיסטרויינג איבער 99% פון די רוען NF₃.

די יבעררוק פון די ינדאַסטרי פון PFCs צו NF₃, קאַמביינד מיט די וויידספּרעד נוצן פון אַבייטמאַנט טעכנאָלאָגיע, האט אַקשלי געפֿירט צו אַ נעץ רעדוקציע אין אָראַנזשעריי גאַז ימישאַנז פּער אַפּאַראַט פון פּראָדוקציע. פאַראַנטוואָרטלעך סעמיקאַנדאַקטער מאַניאַפאַקטשערערז און גאַז סאַפּלייערז אַרבעט צוזאַמען צו ענשור אַז ימישאַנז זענען מינאַמייזד. דעם ינוואַלווז אָפּטימיזינג די רייניקונג פּראָצעס צו נוצן די מינדסטער סומע פון גאַז נייטיק און מיינטיינינג די אַבייטמאַנט סיסטעמען פֿאַר שפּיץ פאָרשטעלונג. אַזוי, בשעת NF₃ איז אַ שטאַרק אָראַנזשעריי גאַז אין אַ לאַב באַשטעטיקן, זיין פאַקטיש-וועלט ינווייראַנמענאַל שפּור אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג איז קערפאַלי געראטן און באטייטיק נידעריקער ווי די אַלטערנאַטיוועס עס ריפּלייסט.

וואָס איז די ראָלע פון גאַז דור אויף פּלאַץ פֿאַר גרויס סעמיקאַנדאַקטער פאַבס?

די וואָג פון מאָדערן סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג איז ברעטטייקינג. די גרעסטע פאַסילאַטיז, באקאנט ווי מעגאַ-פאַבס, פאַרנוצן ריזיק קוואַנטאַטיז פון גאַז. פֿאַר עטלעכע גאַסאַז, ווי ניטראָגען, עס איז מער עפעקטיוו צו פּראָדוצירן זיי גלייַך אין די מעכירעס אלא ווי טראַקינג אין טויזנטער פון סילינדערס. דאָס איז באקאנט ווי אויף-פּלאַץ דור. פֿאַר אַ העכסט ספּעשאַלייזד און ריאַקטיוו גאַז ווי NF₃, אַ ביסל אַנדערש מאָדעל איז ימערדזשינג: אויף-פּלאַץ רייניקונג און אַנאַליסיס.

בשעת פול NF₃ פּראָדוקציע אין אַ פאַב איז ומגעוויינטלעך רעכט צו זייַן קאַמפּלעקסיטי, גרויס-וואָג ניצערס אָפט האָבן סאַפיסטאַקייטיד אויף-פּלאַץ גאַז פאַרוואַלטונג סיסטעמען. א פאַרנעם צושטעלן פון NF₃ איז איבערגעגעבן צו די פאַב, און דער סיסטעם פּערפאָרמז די לעצט בינע רייניקונג און קעסיידערדיק קוואַליטעט אַנאַליסיס רעכט איידער די גאַז גייט אריין די טייערע מאַנופאַקטורינג מכשירים. דאָס גיט אַ לעצט שיכטע פון ​​קוואַליטעט קאָנטראָל, ינשורינג אַז קיין פּאָטענציעל קאַנטאַמאַניישאַן פון די צושטעלן שורות איז געכאפט. דער צוגאַנג קאַמביינז די עקאָנאָמיש בענעפיץ פון פאַרנעם פּערטשאַסינג מיט די קוואַליטעט פארזיכערונג פון אויף-פּלאַץ פאַרוואַלטונג.

פארשטאנד פון די יוואַלווינג צושטעלן מאָדעלס איז וויכטיק. ווי אַ סאַפּלייער, מיר האָבן יקספּאַנדיד אונדזער באַדינונגס ווייַטער פון בלויז פילונג סילינדערס. מיר איצט אַרבעט מיט גלאבאלע סעמיקאַנדאַקטער מאַניאַפאַקטשערערז צו פּלאַן און ינסטרומענט פולשטענדיק גאַז עקספּרעס און פאַרוואַלטונג סאַלושאַנז. דאָס קען אַרייַננעמען דעדאַקייטאַד פּראָדוקציע שורה קאַפּאַציטעט פֿאַר אַ הויפּט קונה, ספּעשאַלייזד לאַדזשיסטיקס, אָדער ינטאַגריישאַן מיט זייער אויף-פּלאַץ סיסטעמען. עס ס וועגן צושטעלן אַ פלעקסאַבאַל און פאַרלאָזלעך צושטעלן קייט וואָס טרעפן די פאדערן באדערפענישן פון 21 יאָרהונדערט מאַנופאַקטורינג. דאָס איז אַ שליסל טייל פון אונדזער סטראַטעגיע, ספּעציעל ווען סערווינג קלייאַנץ מיט באַטייַטיק פּראָדוקציע קאַפּאַציטעט.

ווי קען NF₃ ריינקייַט ווירקן פּראָדוקציע טראָגן אין טשיפּ מאַנופאַקטורינג?

אין די סעמיקאַנדאַקטער וועלט, "טראָגן" איז אַלץ. דאָס איז דער פּראָצענט פון גוט ארבעטן טשיפּס געשאפן פון אַ איין סיליציום ווייפער. א הויך טראָגן מיטל הויך פּראַפיטאַביליטי; אַ נידעריק טראָגן קענען זיין פאַנאַנשאַלי דעוואַסטייטינג. די ריינקייַט פון דעם פּראָצעס גאַסאַז, ספּעציעל אַ ריאַקטיוו גאַז ווי NF₃, האט אַ דירעקט און דראַמאַטיק פּראַל אויף פּראָדוקציע טראָגן.

ימאַדזשאַן אַ טומאה ווי אַ קליינטשיק פּאַרטאַקאַל פון נעץ (H₂O) אָדער אנדערן גאַזירטע קאַמפּאַונד געמישט מיט די NF₃. בעשאַס די שפּירעוודיק עטש פּראָצעס, אַז טומאה קענען אַרייַנמישנ זיך מיט די כעמישער רעאַקציע, קאָזינג אַ מיקראָסקאָפּיק כיסאָרן אין די שפּאָן ס קרייַז. עס קען פאַרשפּאַרן די עטש, געלאזן מאַטעריאַל ווו עס זאָל נישט זיין, אָדער פאַרשאַפן איבער-עטטשינג, רימוווינג צו פיל מאַטעריאַל. אָדער וועג, די ריזאַלטינג ינאַגרייטיד קרייַז וועט פאַרלאָזן זייַן לעצט פּרובירן. ווען איר מאַכן מיליאַנז פון טראַנזיסטערז אויף אַ איין שפּאָן, אפילו איין "רעצייעך כיסאָרן" געפֿירט דורך אַ טומאה קענען מאַכן די גאנצע שפּאָן אַרויסגעוואָרפן.

דאָס איז וואָס מיר ינוועסטירן אַזוי שווער אין קוואַליטעט קאָנטראָל. דורך צושטעלן סערטאַפייד, הינטער-הויך-ריינקייט NF₃, מיר געבן אונדזער קאַסטאַמערז בטחון אַז די גאַז וועט נישט זיין אַ מקור פון חסרונות. קאָנטראָלירן די קאַנסאַנטריישאַן פון יעדער קאָמפּאָנענט אַראָפּ צו די פּאַרץ-פּער-ביליאָן מדרגה ינשורז אַז די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס איז סטאַביל און ריפּיטאַבאַל. א סטאַביל פּראָצעס פירט צו אַ פּרידיקטאַבאַל און הויך פּראָדוקציע טראָגן, וואָס איז די לעצט ציל פֿאַר יעדער סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקאַנט. אונדזער ראָלע ווי אַ סאַפּלייער פון הויך ריינקייַט ספּעציאַליטעט גאַסאַז איז צו עלימינירן וועריאַבאַלז און צושטעלן אַ פּראָדוקט פון אַנקאַמפּראַמייזינג קוואַליטעט.

וואָס זאָל איר קוקן פֿאַר אין אַ ניטראָגען טריפלאָרידע סאַפּלייער?

פֿאַר אַ ייַנשאַפונג אָפיציר ווי מארק, טשוזינג די רעכט סאַפּלייער פֿאַר אַ קריטיש מאַטעריאַל ווי NF₃ גייט ווייַט ווייַטער פון נאָר קאַמפּערינג פּרייסיז. די ריסקס פון אַ שלעכט שוטפעס - טראַנספּאָרט דילייז, קוואַליטעט ישוז, נעבעך קאָמוניקאַציע - זענען פשוט צו הויך. באַזירט אויף מיין דערפאַרונג, דאָ זענען די הויפּט סיבות צו באַטראַכטן:

ערשטער, וועראַפייאַבאַל קוואַליטעט און סערטאַפאַקיישאַנז. א טראַסטווערדי סאַפּלייער וועט צושטעלן אַ סערטיפיקאַט פון אַנאַליסיס (קאָאַ) מיט יעדער טראַנספּאָרט, דיטיילד די ריינקייַט לעוועלס און ליסטינג קיין דיטעקטאַד ימפּיוראַטיז. זיי זאָל זיין געהאָרכיק מיט אינטערנאַציאָנאַלע סטאַנדאַרדס ווי ISO 9001. פרעגן וועגן זייער אַנאַליטיקאַל קייפּאַבילאַטיז. צי זיי האָבן די ויסריכט צו דעטעקט ימפּיוראַטיז אין די לעוועלס פארלאנגט פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז?

רגע, צושטעלן קייט רילייאַבילאַטי און דורכזעיקייַט. קען דער סאַפּלייער באַווייַזן אַ שטאַרק לאַדזשיסטיקס נעץ צו פאַרמייַדן דילייז? צי זיי האָבן יבעריק פּראָדוקציע קאַפּאַציטעט צו ענשור אַ פעסט צושטעלן? קאָמוניקאַציע איז דער שליסל דאָ. דיין סאַפּלייער זאָל זיין פּראָואַקטיוו, צושטעלן דערהייַנטיקונגען אויף שיפּמאַנץ און זיין גרינג צו ענטפֿערן פֿראגן. דעם גלייך ווענדט די ווייטיק פונט פון באַטלאָניש קאָמוניקאַציע.

צום סוף, קוק פֿאַר טעכניש עקספּערטיז. א גוט סאַפּלייער טוט נישט נאָר פאַרקויפן אַ פּראָדוקט; זיי צושטעלן אַ לייזונג. זיי זאָל פֿאַרשטיין דיין אַפּלאַקיישאַנז און קענען פאָרשלאָגן טעכניש שטיצן. זיי זאָל זיין נאַלאַדזשאַבאַל וועגן זיכערקייַט, האַנדלינג און אפילו די ינווייראַנמענאַל רעגיאַליישאַנז אַרום די גאַז אַפּלאַקיישאַנז. א סאַפּלייער וואָס קענען שפּילן ווי אַ נאַלאַדזשאַבאַל שוטעף איז ינפאַנאַטלי מער ווערטפול ווי איינער וואָס איז נאָר אַ פאַרקויפער. דעם עקספּערטיז איז דער יסוד פון אַ לאַנג-טערמין, רעוועכדיק שייכות. מיר שטרעבן צו זיין דער שוטעף פֿאַר אַלע אונדזער קלייאַנץ, ניט נאָר די גאַז אָבער דער שלום פון גייַסט וואָס קומט מיט אים.

שליסל טייקאַווייַס

• יקערדיק געצייַג: ניטראָגען טריפלאָרידע (NF₃) איז אַ קריטיש ספּעציאַליטעט גאַז געניצט פֿאַר פּלאַזמע עטשינג און קאַמער רייניקונג אין די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס.
• העכער פאָרשטעלונג: NF₃ איז מער עפעקטיוו און האט אַ נידעריקער עפעקטיוו ינווייראַנמענאַל פּראַל ווי די עלטערע PFC גאַסאַז עס ריפּלייסט, דאַנק צו הויך יוטאַלאַזיישאַן ראַטעס און מאָדערן אַבייטמאַנט סיסטעמען.
• ריינקייַט איז פּראָפיטאַביליטי: די הינטער-הויך ריינקייַט פון NF₃ איז ניט-פאַרקויפלעך. אפילו שפּור ימפּיוראַטיז קענען אָנמאַכן חסרונות אויף אַ סיליציום ווייפער, דראַסטיקלי רידוסינג די פּראָדוקציע טראָגן און פּראַפיטאַביליטי פון שפּאָן מאַנופאַקטורינג.
• זיכערקייַט און האַנדלינג זענען שליסל: בשעת סטאַביל, NF₃ איז אַ טאַקסיק און אַקסאַדייזינג גאַז וואָס ריקווייערז ספּעשאַלייזד האַנדלינג, סערטאַפייד סילינדערס און אַ טיף פארשטאנד פון זיכערקייַט פּראָטאָקאָלס.
• סאַפּלייער ברירה איז קריטיש: ווען סאַלעקטינג אַן NF₃ סאַפּלייער, פּרייאָראַטייז וועראַפייאַבאַל קוואַליטעט, צושטעלן קייט רילייאַבילאַטי, טראַנספּעראַנט קאָמוניקאַציע און טיף טעכניש עקספּערטיז איבער פּרייַז אַליין.