Global yarimo'tkazgich sanoatining jadal rivojlanishi bilan chip ishlab chiqarish jarayonlari to'liq nanometr davriga kirdi. Ushbu o'ta aniq ishlab chiqarish jarayonida atrof-muhitning har qanday daqiqali o'zgarishi yoki materialning nopokligi gofretlarning butun partiyasini parchalanishiga olib kelishi mumkin. Shuning uchun elektron maxsus gazlar va yuqori toza sanoat gazlari o'zgarmas rol o'ynaydi. Ular orasida, yuqori toza suyuqlik argon yakuniy kimyoviy inertligi va mukammal fizik xususiyatlari tufayli yarimo'tkazgich fabrikalarining kundalik ishlarida ajralmas kalitga aylandi.

Ushbu maqola chip ishlab chiqarish jarayonlarida suyuq argonning asosiy qo'llanilishini chuqur tahlil qiladi va korxona ta'minot zanjiri guruhlari uchun professional xaridlar bo'yicha qo'llanmani taqdim etadi.

Asosiy ilovalar: Nima uchun suyuq argon yarimo'tkazgich ishlab chiqarishdan ajralmas?

Front-end-of-Line (FEOL) yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida yarimo'tkazgichlar uchun suyuq argon asosan mahsulot rentabelligini aniqlaydigan quyidagi asosiy bosqichlarda qo'llaniladi:

• Jismoniy bug 'cho'kishi (PVD) / purkash: Suyuq argonni gazlashtirish natijasida hosil bo'lgan o'ta toza argon gazi PVD püskürtme jarayonlarida eng asosiy ishchi gazdir. Vakuum kamerasida argon ionlari maqsadli materialni bombardimon qilish uchun elektr maydon tomonidan tezlashtiriladi, bu esa maqsadli atomlarning ajralib chiqishiga va metall plyonka hosil qilish uchun gofret yuzasiga teng ravishda cho'kishiga olib keladi. Yuqori tozalik plyonkaning zichligi va elektr mustahkamligini ta'minlash uchun zaruriy shartdir.
• 
  

• Mutlaqo xavfsiz inert himoya atmosfera: Monokristalli kremniyni tortib olish jarayonida (masalan, Czochralski jarayoni) va yuqori haroratli tavlanish jarayonlarida kremniy yuqori haroratlarda kislorod bilan oson reaksiyaga kirishadi. Shu sababli, havoni almashtirish uchun argon gazini doimiy ravishda kiritish kerak, kislorod va namlikdan ajratilgan mutlaqo inert muhitni ta'minlaydi va shu bilan silikon kristalli panjaraning mukammal o'sishini ta'minlaydi.
• 
  
• Kriogenika va gofretni tozalash texnologiyasi: Ekstremal ultrabinafsha (EUV) litografiyasi kabi ilg'or jarayonlarda suyuq argonning ultra past haroratli xarakteristikalari (qaynoq nuqtasi -186 ° C) ba'zan nozik uskunalarning sovutish tizimlariga qo'llaniladi. Bir vaqtning o'zida argon aerozol texnologiyasi gofret yuzalarida nanometr miqyosda jismoniy mikro tozalash uchun ham qo'llaniladi, bu esa mayda zarrachalarni buzmasdan olib tashlashi mumkin.
• 
  

Sifat hosilni aniqlaydi: Yuqori toza suyuqlik argonining qat'iy standartlari

Yarimo'tkazgich sanoatining xom ashyoga bo'lgan talablari juda qattiq. Oddiy sanoat darajasidagi suyuq argon odatda faqat 99,9% yoki 99,99% tozalikka erishishi kerak, ammo bu chip ishlab chiqarish ehtiyojlarini qondirishdan uzoqdir. uchun malakali yuqori toza suyuqlik argon, asosiy tozalik odatda 99,999% (5N) ga yetishi uchun talab qilinadi va rivojlangan tugunlarda u hatto 99,9999% (6N) yoki undan yuqori darajaga yetishi kerak.

Eng muhimi, nopoklikni nazorat qilishdir. Kislorod, azot, namlik, umumiy uglevodorodlar (THC) va iz metall ionlarining tarkibi ppb (milliardga qism) yoki hatto ppt (trillionga qism) darajasida qat'iy nazorat qilinishi kerak. Gaz quvuriga bir daqiqali aralashmalar aralashsa ham, u gofret yuzasida mikro nuqsonlarni hosil qiladi, bu esa chipning qisqa tutashuviga yoki oqimning oqib ketishiga olib keladi, to'g'ridan-to'g'ri rentabellikni pasaytiradi va katta iqtisodiy yo'qotishlarga olib keladi.

Xarid qilish bo'yicha qo'llanma: Professional suyuq argon yetkazib beruvchini qanday baholash va tanlash mumkin?

Ishlab chiqarish liniyalarining ishlashida yuqori toza gazlarning hal qiluvchi rolini hisobga olgan holda, to'liq malakali va qobiliyatli suyuq argon yetkazib beruvchini topish va ta'minlash xaridlar va ta'minot zanjiri guruhlari uchun asosiy vazifadir. Potentsial etkazib beruvchilarni baholashda quyidagi uchta o'lchovga e'tibor qaratish tavsiya etiladi:

Qattiq sifat nazorati va sinov imkoniyatlari: Zo'r etkazib beruvchilar gaz xromatograflari (GC) va massa spektrometrlari (MS) kabi yuqori darajadagi izlarni tahlil qilish uskunalari bilan jihozlangan bo'lishi kerak. Yetkazib berishlar orasidagi soflikning mutlaq izchilligini ta'minlash uchun ular har bir partiya uchun batafsil COA (tahlil sertifikati) taqdim etishi kerak.

Kuchli ta'minot zanjiri chidamliligi va yetkazib berish barqarorligi: Fabs odatda 24/7/365 ishlaydi va ishlamay qolish vaqti juda yuqori. Shu sababli, etkazib beruvchilar suyuqlikni saqlash uchun katta hajmli mahalliy imkoniyatlarga, o'zlarining kriogen tankerlar parkiga va favqulodda vaziyatlarni ta'minlash bo'yicha keng qamrovli favqulodda vaziyatlar rejalariga ega bo'lishi kerak.

Ilg'or konteynerlar va "ikkilamchi ifloslanish" texnologiyasi: Gazning tozaligi qanchalik yuqori bo'lmasin, tashish paytida ifloslangan bo'lsa, foydasiz. Asosiy e'tibor yetkazib beruvchining kriogen saqlash tanklari va tankerning ichki devorini tozalash texnologiyalariga (masalan, elektropolishing/EP bilan ishlov berishdan o'tganmi) hamda yuqori tozalikni zavoddan to'g'ridan-to'g'ri mijoz terminaliga yetkazib berishni ta'minlaydigan to'ldirish va uzatish bosqichlarida vana va quvurlarni tozalash bo'yicha Standart Operatsion Protseduralarga (SOP) qaratilishi kerak.

Xulosa

Mur qonunining uzluksiz rivojlanishi ostida, yuqori toza suyuqlik argon nafaqat asosiy sarflanadigan material, balki ilg'or yarimo'tkazgich jarayonlari uchun "ko'rinmas eskort" hamdir. Ilmiy va qat'iy baholash va tanlash a suyuq argon yetkazib beruvchi Yarimo'tkazgichlar uchun suyuq argonning yuqori sifatli va barqaror ta'minlanishini ta'minlash uchun keng qamrovli kuchga ega bo'lgan har bir yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchi korxona uchun jarayon rentabelligini oshirish va global bozor raqobatida g'alaba qozonish uchun asosiy poydevor hisoblanadi.