Biz Xitoyda sanoat gazlarini ishlab chiqarishga ixtisoslashgan zavodni ishga tushirdik. O'z nuqtai nazarimdan men texnologiyaning aql bovar qilmaydigan evolyutsiyasiga guvoh bo'ldim, bularning barchasi ko'pchilik ko'rmaydigan narsa: o'ta yuqori toza gazlar tomonidan quvvatlanadi. Telefoningiz, kompyuteringiz va avtomobilingizdagi mayda mikrochiplar zamonaviy muhandislik mo'jizalaridir, ammo ularni yaratish ushbu maxsus gazlarni aniq va benuqson ta'minlamasdan mumkin emas.

Siz sifat va ishonchli ta'minot zanjiri muhimligini tushunasiz, lekin siz hayron bo'lishingiz mumkin nima uchun yarimo'tkazgichli gazlar uchun standartlar juda astronomik darajada yuqori. Nima uchun Argonning jo'natilishi 99,9999% toza bo'lishi kerak? Ushbu qo'llanma yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish dunyosidagi pardani orqaga tortadi. Biz ishlatiladigan o'ziga xos gazlarni, ular nima qilishini va nima uchun ularning tozaligi eng muhim omil ekanligini o'rganamiz. Oxir-oqibat, siz o'zingiz ishlab chiqargan mahsulotlar haqida aniqroq tushunchaga ega bo'lasiz va ularning qiymatini mijozlaringizga etkazish uchun yaxshi jihozlangan bo'lasiz.

Nima uchun maxsus gazlar yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish uchun juda muhim?

Osmono‘par bino qurishni tasavvur qiling-a, unda bitta noto‘g‘ri qum donasi butun strukturaning qulashiga olib kelishi mumkin. Bu talab qilinadigan aniqlik darajasi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sanoat. Ushbu sanoatning "qurilish bloklari" g'isht va ohak emas, balki atomlar va "asboblar" ko'pincha yuqori darajada ixtisoslashgan gazlardir. Butun uydirma ning integral sxema Bu mikroskopik miqyosda sodir bo'ladi, bu erda materiallar qatlamlari, ko'pincha qalinligi bir necha atomlar yotqiziladi. kremniy gofret.

Bular yarimo'tkazgich jarayonlari aql bovar qilmaydigan darajada sezgir. Har qanday kiruvchi zarracha yoki kimyoviy nopoklik mikrochipning nozik arxitekturasini buzishi, uni foydasiz qilishi mumkin. Bu joy gazlar ishlatiladi. Ular o'ta toza muhit yaratadilar, yangi qatlamlar uchun xom ashyo bilan ta'minlaydilar va elektr energiyasining murakkab yo'llarini o'yib chiqaradigan kimyoviy "skalpellar" vazifasini bajaradilar. The yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayoni ning murakkab raqsi hisoblanadi kimyoviy reaksiyalar, va gazlar etakchi raqqoslardir. Ushbu gazlarning doimiy, ishonchli va o'ta toza ta'minotisiz zamonaviy elektronika mavjud bo'lmaydi.

The yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda ishlatiladigan gazlar standart sanoat mahsulotingiz emas. Ular tushunish qiyin bo'lgan, ko'pincha milliardga yoki hatto trillionga qismlarda o'lchanadigan soflik darajalariga javob berish uchun ishlab chiqilgan. Buning sababi, ishlashi yarimo'tkazgichli qurilmalar ularning atom tuzilishining mukammalligi bilan bevosita bog'liqdir. Inert bo'lishi kerak bo'lgan kislorod yoki suv bug'ining reaktiv molekulasi gaz ni o'zgartirib, oksidlanishga olib kelishi mumkin elektr xususiyatlari kontaktlarning zanglashiga olib keladi va nuqsonlarga olib keladi. Shuning uchun ham maxsus gaz sanoati texnologiya olami uchun juda muhim.

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda ishlatiladigan gazlarning asosiy toifalari qanday?

Biz gaplashganda yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishdagi gazlar, ular odatda funktsiyalariga ko'ra bir necha asosiy toifalarga bo'linadi. Ushbu guruhlarni tushunish har birining rolini aniqlashga yordam beradi gaz majmuada o'ynaydi ishlab chiqarish jarayoni. Bu faqat bitta yoki ikkita gaz emas; zamonaviy yarimo'tkazgich fabrikasi 30 dan ortiq turli talab qiladi gazlar va aralashmalar ishlaydi.

Birinchi bo'lib ommaviy gazlar. Bular butun ob'ektda katta miqdorda ishlatiladigan ishchi otlar. Ularni fabning asosiy atmosferasi deb hisoblang. Eng keng tarqalganlari:

• Azot (N₂): Ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlash va inert muhit yaratish uchun kameralar va jihozlarni tozalash uchun ishlatiladi.
• Kislorod (O₂): Yuqori sifatli silikon dioksid (SiO₂) qatlamlarini etishtirish uchun ishlatiladi, ular izolyator vazifasini bajaradi.
• Vodorod (H₂): Sirtlarni tozalash uchun ishlatiladi va maxsus yotqizish jarayonlar.
• Argon (Ar): An inert gaz purkash kabi jarayonlar uchun barqaror muhit yaratish uchun foydalaniladi.

Keyingilar maxsus gazlar, nomi bilan ham tanilgan elektron maxsus gazlar. Bular juda aniq, ko'pincha reaktiv yoki xavfli gazlar, o'rnatish va cho'ktirishning muhim vazifalarini bajaradi. Ular kichikroq miqdorda qo'llaniladi, lekin ancha yuqori narxga ega va juda ehtiyotkorlik bilan ishlashni talab qiladi. Bularni yana quyidagi guruhlarga bo'lish mumkin:

• Cho'kma gazlari: Silan (SiH₄) kabi bu gazlar chip qatlamlarini qurish uchun ishlatiladigan materialning manbai hisoblanadi. Ular parchalanadi va cho'kadi a yupqa plyonka ustiga material kremniy gofret.
• Echangan gazlar: Bular reaktiv gazlar materialni tanlab olib tashlash uchun ishlatiladi. Masalan, uglerod tetraflorid (CF₄) va kabi ftorli birikmalar vodorod xlorid (HCl). Ularda qo'llaniladi qirqish jarayoni sxema naqshlarini o'ymak uchun.
• Dopant gazlar: Bu gazlar "doping" uchun ishlatiladi kremniy, ya'ni ma'lum bir narsani qasddan joriy etish nopoklik (a dopant) uni o'zgartirish uchun elektr xususiyatlari. Bu tranzistorlarni yaratish uchun asosiy hisoblanadi. Umumiy dopant gazlar Arsin (AsH₃) va fosfin (PH₃) kiradi.

Qanday qilib azot gazi yarimo'tkazgich fabrikalarida ish kuchi sifatida ishlaydi?

Agar siz a orqali yuradigan bo'lsangiz yarimo'tkazgich ishlab chiqarish ob'ekt, eng keng tarqalgan gaz duch kelasiz Azot. Garchi u har doim ham asosiy qismda qatnashmaydi kimyoviy reaksiyalar chipni quradigan bo'lsa, uning roli bu reaktsiyalar muvaffaqiyatli bo'lishi uchun shart-sharoitlarni yaratish uchun mutlaqo muhimdir. Azot ishlatiladi birinchi navbatda uning inertligi uchun; u boshqa elementlar bilan tezda reaksiyaga kirishmaydi, bu uni mukammal "to'ldiruvchi" qiladi. gaz.

uchun asosiy foydalanish Azot tozalash va inert muhit yaratishda. Har qanday sezgirlikdan oldin yarimo'tkazgich jarayoni boshlash mumkin, kamera kislorod, suv bug'i va chang kabi ifloslantiruvchi moddalardan butunlay toza bo'lishi kerak. Yuqori tozalik Azot bu kiruvchi elementlarni itarish uchun kamera orqali yuviladi. Bu tasodifiy oksidlanish yoki uni buzadigan boshqa reaktsiyalarning oldini oladi gofret. Xuddi shu printsip asboblar va transport vositalariga (FOUPlar deb nomlanadi) nisbatan qo'llaniladi kremniy gofretlar ning turli bosqichlari o'rtasida ishlab chiqarish jarayoni.

Bundan tashqari, Azot hal qiluvchi rol o‘ynaydi fotolitografiya, sxema dizaynini gofretga bosib chiqarish jarayoni. Zamonaviy chuqur ultrabinafsha (DUV) da litografiya, linzalar va linzalar orasidagi bo'shliq gofret ultra-sof bilan to'ldiriladi Azot (yoki Argon) qisqa toʻlqinli yorugʻlik havoga singib ketmasdan oʻtishi uchun. Ushbu inert muhitsiz jarayon imkonsiz bo'lar edi. Fablarga etkazib berish bo'yicha tajribamga ko'ra, doimiy, yuqori hajmli va yuqori tozalikka bo'lgan talab Azot yetkazib berish muzokara qilinmaydi.

Argon mukammal muhitni yaratishda qanday rol o'ynaydi?

Azot kabi, Argon olijanobdir gaz, ya'ni kimyoviy jihatdan inert. Biroq, Argon ishlatiladi og'irroq atom og'irligi afzallik beradigan maxsus ilovalar uchun. Ushbu ilovalarning eng muhimlaridan biri bu purkagichning cho'kishi yoki püskürtülmesidir. Bu jismoniy bug'dir yotqizish jarayoni ning simlarini tashkil etuvchi yupqa metall plyonkalarni yotqizish uchun ishlatiladi integral sxema.

Sputteringda, to'ldirilgan vakuum kamerasida yuqori kuchlanish qo'llaniladi Argon gazi. Bu musbat zaryadlangan plazma hosil qiladi Argon ionlari. Ushbu ionlar tezlashadi va biz qo'ymoqchi bo'lgan metalldan (masalan, mis yoki alyuminiy) yasalgan "nishon"ga aylanadi. To'qnashuvning kuchi metall atomlarini nishondan yiqitadi, so'ngra ular kamera bo'ylab uchadi va uni qoplaydi. kremniy gofret yupqa, bir xil qatlamda. Argon Buning uchun juda mos keladi, chunki u maqsadli atomlarni samarali ravishda siqib chiqarish uchun etarlicha og'ir, ammo kimyoviy jihatdan inert bo'lib, u yaratishga yordam beradigan metall plyonka bilan reaksiyaga kirishmaydi. U mukammallikni ta'minlaydi metallarning cho'kishi uchun muhit.

uchun yana bir kalit foydalanish Argon plazma bilan ishlov berishda mavjud. Bunda qirqish jarayoni, Argon ko'pincha a bilan aralashtiriladi reaktiv etchant gaz. The Argon plazmani barqarorlashtirishga va sirtni jismoniy bombardimon qilishga yordam beradi, kimyoviy qirqishga yordam beradi va materialda aniqroq, vertikal kesmalar hosil qiladi. Ishonchli ta'minot Argon gaz ballonlari metalllashtirish yoki ilg'or etchingni amalga oshiradigan har qanday ob'ekt uchun juda muhimdir.

Vodorodni cho'ktirish va tozalash uchun qanday ishlatilishini tushuntirib bera olasizmi?

Azot va argon reaktivligi uchun baholangan bo'lsa-da, Vodorod yuksakligi uchun qadrlanadi reaktiv, lekin juda toza va nazorat ostida. Vodorod ishlatiladi keng miqyosda yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish yuzalarni tozalash uchun va ma'lum bir turdagi yotqizish epitaksial o'sish deb ataladi. Uning kichik atom o'lchami unga boshqa gazlar kirmaydigan tarzda kirib borishiga va reaksiyaga kirishiga imkon beradi.

Yangi qatlamni o'stirishdan oldin a gofret, sirt atom darajasiga qadar mukammal toza bo'lishi kerak. Vodorod gazi yuzasida hosil bo'lgan har qanday tabiiy oksidni (yupqa, tabiiy ravishda paydo bo'lgan kremniy dioksidi qatlami) olib tashlash uchun "vodorod pishirish" deb ataladigan yuqori haroratli jarayonda ishlatiladi. kremniy sirt. The vodorod kislorod bilan reaksiyaga kirishib, suv bug'ini (H₂O) hosil qiladi, keyin u kameradan tashqariga chiqariladi va toza bo'lib qoladi. kremniy sirt keyingi bosqichga tayyor.

Vodorod ham asosiy komponent hisoblanadi epitaksial o'sish (yoki "epi"), ning bir kristalli qatlamini o'sadigan jarayon kremniy ning tepasida kremniy gofret. Ushbu yangi qatlam mukammal kristall tuzilishga ega va aniq boshqariladi dopant darajalari. Vodorod tashuvchi vazifasini bajaradi gaz uchun kremniy manba gaz (silan yoki triklorosilan kabi). Shuningdek, u har qanday adashgan kislorod atomlarini tozalash orqali toza o'sish muhitini ta'minlaydi. Ushbu epitaksial qatlamning sifati yuqori darajadagi protsessorlarning ishlashi uchun asos bo'lib, uning tozaligini ta'minlaydi. Vodorod tsilindri yetkazib berish juda muhim.

Etchant gazlar nima va ular mikroskopik sxemalarni qanday o'yadilar?

Agar yotqizish qatlamlarni qurish bilan bog'liq bo'lsa, o'ymak ularni sxema naqshlarini yaratish uchun tanlab o'yib olishdir. Buni mikroskopik haykaltaroshlik sifatida tasavvur qiling. Bir naqsh yordamida aniqlangandan so'ng fotolitografiya, etchant ta'minlash uchun gazlar ishlatiladi himoyalanmagan joylardan materialni olib tashlash uchun kimyoviy vositalar gofret. Bu eng murakkab va muhim bosqichlardan biridir chip ishlab chiqarish.

The qirqishda ishlatiladigan gazlar jarayon odatda ftor, xlor yoki brom asosidagi birikmalardir. ning tanlovi gaz ishlangan materialga bog'liq.

• Ftorga asoslangan gazlar (masalan, CF₄, SF₆, NF₃) chizish uchun juda yaxshi kremniy va kremniy dioksidi.
• Xlorga asoslangan gazlar (masalan, Cl₂, BCl₃, HCl) ko'pincha alyuminiy kabi metallarga ishlov berish uchun ishlatiladi.

Bular reaktiv gazlar plazma kamerasiga kiritiladi. Plazma uni buzadi gaz molekulalarni yuqori darajaga ajratadi reaktiv ionlar va radikallar. Keyinchalik bu radikallar sirt bilan reaksiyaga kirishadi gofret, osongina pompalanadigan yangi uchuvchi birikma hosil qiladi va shu bilan materialni "o'ydiradi". Talab qilinadigan aniqlik juda katta; maqsad etch to'g'ridan-to'g'ri pastga (anizotropik tarzda) naqshli qatlamni kesmasdan. Zamonaviy yarimo'tkazgich fabrikalari kompleksidan foydalaning gaz aralashmalari va bunga erishish uchun diqqat bilan nazorat qilinadigan plazma sharoitlari.

Kimyoviy bug'larning cho'kishi (CVD) nima va qaysi gazlar ishtirok etadi?

Kimyoviy bug'larning cho'kishi (CVD) asosiy toshdir yotqizish jarayoni ichida yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish. Bu turli xil izolyatsion va o'tkazuvchan yupqa plyonkalarni yaratish uchun ishlatiladigan asosiy usul yarimo'tkazgichli qurilma. Asosiy g'oya - oqim a gaz (yoki gazlar aralashmasi) isitiladi gofret. Issiqlik sabab bo'ladi gaz gofret yuzasida reaksiyaga kirishish yoki parchalanish, kerakli materialning qattiq plyonkasini ortda qoldirish.

Bu reaksiyalarning har biri nihoyatda barqaror va nihoyatda barqaror sharoitlarni talab qiladi yuqori toza gazlar. Misol uchun, Silan yordamida polisilikon qatlamini yotqizishda, har qanday kislorod nopoklik ichida gaz oqim o'rniga kremniy dioksidi hosil bo'lishiga olib keladi va qatlamning o'tkazuvchanlik xususiyatlarini buzadi. Shuning uchun biz yetkazib beruvchi sifatida e'tiborimizni katta e'tiborga qaratamiz tozalash va bularni tahlil qilish cho'kma gazlari. ning butun kutubxonasi Ommaviy yuqori tozalikdagi maxsus gazlar Bizning taklifimiz ushbu qat'iy talablarni qondirishga qaratilgan.

Nima uchun ultra yuqori tozalik yarimo'tkazgichli gazlar uchun eng muhim omil hisoblanadi?

Men buni ortiqcha baholay olmayman: ichida yarimo'tkazgich sanoati, poklik hamma narsa. Atama yuqori tozalik 99% yoki hatto 99,9% degani emas. uchun yarimo'tkazgichli gazlar, biz gaplashamiz ultra yuqori tozalik (UHP), bu odatda 99,999% (ko'pincha "besh to'qqiz" deb ataladi) yoki undan yuqori. Ba'zilar uchun tanqidiy texnologik gazlar, talab 99,9999% ("olti to'qqiz") yoki undan ham yuqori bo'lishi mumkin. Sababi oddiy: ifloslantiruvchi moddalar ishlashni o'ldiradi.

Zamonaviy mikrochipdagi xususiyatlar nanometrlarda (metrning milliarddan bir qismi) o'lchanadi. Bunday miqyosda bitta begona zarracha yoki keraksiz molekula supermagistralning o'rtasida joylashgan toshga o'xshaydi. An nopoklik mumkin:

• Elektr xususiyatlarini o'zgartirish: Adashgan natriy ioni tranzistorning chegara kuchlanishini o'zgartirishi mumkin, bu esa uni noto'g'ri vaqtda yoqish yoki o'chirishga olib keladi.
• Strukturaviy nuqsonlarni yaratish: Kislorod molekulasi epitaksial o'sish vaqtida mukammal kristall panjarani buzishi mumkin, bu elektron oqimiga to'sqinlik qiladigan "dislokatsiya" hosil qiladi.
• Qisqa tutashuvlarning sabablari: Metall zarracha ikkita qo'shni o'tkazuvchi chiziqni bog'lab, o'lik qisqa chiziq hosil qilishi mumkin.
• Hosildorlikni kamaytirish: Qanchalik ko'p ifloslantiruvchi moddalar mavjud bo'lsa, har birida nuqsonli chiplar soni shunchalik yuqori bo'ladi gofret, bu rentabellikka bevosita ta'sir qiladi.

Shuning uchun ishlab chiqaruvchi sifatida bizning eng katta sarmoyamiz tozalash va analitik uskunalarga qaratilgan. Har bir to'plam gaz kerak mijozlarimiz tomonidan talab qilinadigan milliard boshiga qismlar (ppb) yoki trillion boshiga qismlar (ppt) spetsifikatsiyalariga javob berishini tekshirish uchun sinovdan o'tkazing. The yuqori toza gazlarga talab butunni harakatga keltiradigan narsa maxsus gaz bozori elektronika uchun.

Yuqori toza gazlarni sifatli va ishonchli yetkazib berishni qanday ta'minlaymiz?

Mark kabi xaridlar bo'yicha xodim uchun bu eng muhim savol. Agar katta narx ma'nosiz bo'lsa gaz sifat mos kelmaydi yoki jo'natilish kechikdi. Men dahshatli voqealarni eshitdim: soxta tahlil sertifikatlari yoki jo'natuvchi etkazib beruvchilar maxsus gazlar bir necha hafta davomida bojxonada ushlab turilib, ishlab chiqarish liniyasining to'xtab qolishiga olib keldi. Ushbu og'riqli nuqtalarga murojaat qilish bizning biznes falsafamizning asosini tashkil etadi.

Sifatni ta'minlashdan boshlanadi tozalash jarayon. Biz kriyojenik distillash va ixtisoslashgan adsorbent materiallar kabi ilg'or tizimlardan foydalanamiz. Ammo jarayon shu bilan tugamaydi. Eng muhim bosqich - bu tekshirish. Biz gaz xromatografi-mass-spektrometrlari (GC-MS) kabi eng zamonaviy analitik asboblardan har bir silindrni jo'natishdan oldin sinab ko'rish uchun foydalanamiz. Biz mijozlarimizga har bir partiya uchun batafsil va haqiqiy tahlil sertifikati (COA) bilan ta'minlaymiz. gazning tozaligi.

A ishonchli ta'minot zanjir tenglamaning ikkinchi yarmidir. Bunga quyidagilar kiradi:

• Mustahkam tsilindrni tayyorlash: uchun silindrlar ultra yuqori toza gazlar idishning o'zi ifloslanmasligini ta'minlash uchun maxsus tozalash va passivatsiya jarayonidan o'ting gaz.
• Intellektual logistika: Biz yuqori bosimli va ba'zan xavfli materiallarni xalqaro miqyosda tashish qoidalarini tushunadigan tajribali logistika hamkorlari bilan ishlaymiz. Biz bojxona rasmiylashtiruvini uzluksiz ta'minlash uchun barcha kerakli hujjatlarni taqdim etamiz.
• Aniq aloqa: Bizning savdo va qo'llab-quvvatlash guruhlarimiz muntazam yangilanishlarni taqdim etish uchun o'qitilgan. Siz har doim buyurtmangizning holatini, ishlab chiqarishdan yakuniy yetkazib berishgacha bilib olasiz. Biz buni bashorat qilish mumkinligini tushunamiz yuqori toza gazlarni etkazib berish mijozlarimiz o'zlarining ishlab chiqarish jadvallarini boshqarishlari uchun juda muhimdir. Biz hatto har xil narsalarni taklif qilamiz gaz aralashmasi muayyan jarayon ehtiyojlarini qondirish uchun variantlar.

Yarimo'tkazgich sanoatida gazlar uchun kelajak nima bo'ladi?

The yarimo'tkazgich sanoati hech qachon bir joyda turmaydi. Mur qonunida bashorat qilinganidek, chip ishlab chiqaruvchilar doimo kichikroq, tezroq va kuchliroq qurilmalarni yaratishga intilishadi. Bu tinimsiz yangilik to'g'ridan-to'g'ri ta'sir qiladi gazlar va aralashmalar ularni ishlab chiqarishda foydalaniladi. ga o'tayotganimizda yarimo'tkazgichlarning keyingi avlodi texnologiya o'lchamlari bir necha nanometrgacha qisqarganda, gazning tozaligiga qo'yiladigan talablar yanada keskinlashadi.

Biz yangi materiallarga nisbatan tendentsiyani ko'rmoqdamiz kremniygalliy nitridi (GaN) va kremniy karbid (SiC) kabi yangi va har xil narsalarni talab qiladi. texnologik gazlar yotqizish va joylashtirish uchun. Bundan tashqari, FinFET va Gate-All-Around (GAA) tranzistorlari kabi murakkabroq 3D arxitekturasiga ham qadam qo'yildi, ular yanada aniqlikni talab qiladi. yotqizish va etch qadamlar. Bu degani maxsus gaz sanoat doimiy ravishda yangi molekulalarni ishlab chiqish va yanada yuqori darajalarga erishish uchun innovatsiyalar qilishi kerak tozalash.

Yetkazib beruvchi sifatida mening nuqtai nazarimdan, kelajak hamkorlik haqida. Endi bitta tsilindrni sotishning o'zi etarli emas gaz. Biz mijozlarimiz bilan yaqindan hamkorlik qilishimiz kerak elektronika ishlab chiqarish sektorning kelajakdagi texnologiya yo'l xaritalarini tushunish uchun. Bu bizga yangi ehtiyojni oldindan bilish imkonini beradi yuqori toza gazlar va ularni ta'minlash uchun ishlab chiqarish va tahliliy imkoniyatlarga sarmoya kiriting. Ko'rinmas qahramonlar yarimo'tkazgich dunyo - gazlar - texnologik taraqqiyotning oldingi safida bo'lishda davom etadi.

Asosiy xulosalar

Talab qilinadigan yarimo'tkazgichlar bozori uchun sanoat gazlarini ishlab chiqarayotganda, eslash kerak bo'lgan eng muhim narsalar:

• Poklik eng muhimi: Eng muhim omil - bu ultra yuqori tozalik. Ifloslantiruvchi moddalar, hatto milliardlab qismlarda ham, qurilmaning halokatli ishdan chiqishiga olib kelishi va ishlab chiqarish rentabelligini kamaytirishi mumkin.
• Gazlarning o'ziga xos vazifalari bor: Gazlar bir-birini almashtirib bo'lmaydi. Ular inert atmosferalarni (azot, argon) yaratish, qatlamlarni qurish (cho'kma gazlari Silan kabi) va o'yma sxemalar (oqartiruvchi gazlar CF₄ kabi).
• Ta'minot zanjiri juda muhim: Ishonchli yetkazib beruvchi faqat mahsulotni sotishdan ko'proq narsani qiladi. Ular jiddiy sinovlar orqali sifatni ta'minlaydi, haqiqiy sertifikatlar beradi, murakkab logistikani boshqaradi va qimmat ishlab chiqarish kechikishlarining oldini olish uchun aniq aloqani ta'minlaydi.
• Texnik bilimlar qiymat qo'shadi: Tushunish nima uchun ma'lum gaz ishlatiladi va nima uchun uning sofligi shunchalik muhimki, o'z mijozlaringiz uchun yanada samarali hamkor bo'lish, sifatni oqlash va uzoq muddatli ishonchni mustahkamlash imkonini beradi.
• Sanoat rivojlanmoqda: Kichikroq va kuchliroq chiplarga bo'lgan intilish yangi, hatto toza bo'lgan talabni anglatadi maxsus gazlar faqat o'sishda davom etadi. Oldinga intilish uchun istiqbolli yetkazib beruvchi bilan hamkorlik qilish muhim ahamiyatga ega.