Cho'ntagingizdagi smartfon, stolingizdagi kompyuter, avtomobilingizdagi ilg'or tizimlar - bularning hech biri maxsus gazlarning jim, ko'rinmas ishisiz amalga oshirilmaydi. Sanoat gaz zavodining egasi sifatida men, Allen, ushbu muhim materiallar qanday qilib zamonaviy texnologiyalarning asosini tashkil etishini ko'rganman. Murakkab global ta'minot zanjirida yuradigan Mark Shen kabi biznes rahbarlari uchun bu gazlarni tushunish yangi imkoniyatlarni ochishning kalitidir. Ushbu maqola ushbu sohadagi eng muhim o'yinchilardan biri uchun to'liq qo'llanmadir: Azot trifloridi (NF₃). Biz bu kuchli narsani yo'q qilamiz gaz, uning hayotiy rolini o'rganing yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayoni, va nima uchun uning sifati va ta'minoti butun uchun muhimligini tushuntiring elektronika ishlab chiqarish sanoat.

Azot triflorid (NF₃) gazi aynan nima?

Bir qarashda, Azot trifloridi, ko'pincha uning kimyoviy formulasi bilan ataladi NF₃, shunchaki boshqa sanoat kabi ko'rinishi mumkin gaz. Bu rangsiz, yonmaydigan va ozgina chiriyotgan hidli birikma. Biroq, dunyoda ilg'or ishlab chiqarish, bu gaz yuqori samarali vositadir. Bu sintetik tarzda ishlab chiqarilgan birikma bir azot va uchta atomdan iborat ftor atomlar. Uning kuchining kaliti bu tuzilishda yotadi. Xona haroratida, NF₃ nisbatan barqaror va inert, ko'proq uchuvchi gazlar bilan solishtirganda tashish va ishlov berish xavfsiz.

Sehrgarlik energiya qo'llanilganda sodir bo'ladi. Ichkarida yuqori energiya sharoitida a yarimo'tkazgich ishlab chiqarish vositasi, masalan, a plazma kamera, NF₃ molekulalar parchalanish. Ular ajralib chiqadi va yuqori darajada bo'shatiladi reaktiv ftor radikallar. Buni mikroskopik miqyosda boshqariladigan portlash kabi tasavvur qiling. Bular bepul ftor atomlar, ayniqsa, keraksiz moddalar bilan reaksiyaga kirishishda va ularni olib tashlashda juda samarali kremniy va uning birikmalari. Bu qobiliyat sizga kerak bo'lganda barqaror bo'lish va yuqori darajada reaktiv qachon xohlasangiz, qiladi Azot triflorid gazi aniq dunyosida bebaho boylik chip ishlab chiqarish.

Bu noyob dual tabiatning sababi NF₃ zamonaviylikning tamal toshiga aylandi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish. Uning barqarorligi ta'minot zanjirida xavfsizlik va ishonchlilikni ta'minlaydi, reaktivligi esa ishlab chiqaruvchilarga kerak bo'lgan yuqori samarali tozalash va qirqish qobiliyatini ta'minlaydi. Biz chuqurroq o'rganib chiqsak, bu qanday oddiy ovozli ekanligini ko'rasiz gaz Yerdagi eng murakkab qurilmalarni yaratish imkonini beradi.

Nima uchun maxsus gazlar yarimo'tkazgich sanoati uchun zarur?

ning ahamiyatini tushunish uchun NF₃, biz birinchi navbatda kengroq rolni qadrlashimiz kerak gazlar muhim ahamiyatga ega uchun yarimo'tkazgich sanoati. Ishlab chiqarish a integral sxema Bu sizning eskizingiz o'lchamidagi tuval ustiga osmono'par bino qurishga o'xshaydi. Bu turli xil materiallarning o'nlab ultra yupqa qatlamlarini qo'shish va olib tashlash jarayonidir kremniy gofret. Yalang'och yaratishdan boshlab har bir qadam gofret yakuniy chipga, mutaxassislikning diqqat bilan boshqariladigan atmosferasiga tayanadi elektron gazlar.

Bu gazlar bir qancha muhim vazifalarni bajaradi. Ba'zilar kabi argon va geliy, barqaror, reaktiv bo'lmagan muhit yaratish va ko'proq reaktiv gazlarni suyultirish uchun inert tashuvchi gazlar sifatida ishlatiladi. Boshqalar uchun ishlatiladi yotqizish, qaerda a gaz odatlangan depozit ustiga yupqa material plyonkasi gofret. Masalan, kimyoda Bug' Depozit (CVD), gazlar chip sxemasining bir qismiga aylanadigan qattiq plyonka hosil qilish uchun reaksiyaga kirishadi. So'ngra, o'xshash gazlar bor NF₃, bu qatlamlarda naqshlarni aniq o'yib, elektr oqimi uchun murakkab yo'llarni yaratish uchun ishlatiladi.

Doimiy, ultra-yuqori tozalik bu turli gazlar bilan ta'minlash, butun ishlab chiqarish jarayoni to‘xtab qolardi. Hatto bir minuskul nopoklik a ichida gaz gofretlarning butun partiyasini vayron qilishi mumkin, bu esa kompaniyaga millionlab dollarga tushadi. Shuning uchun yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari gaz yetkazib beruvchilarining sifati va ishonchliligiga nihoyatda sezgir. ning tozaligi gaz sifatiga bevosita tarjima qiladi va ishlab chiqarish rentabelligi yakuniy mahsulotdan.

NF₃ gazi yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarida qanday ishlatiladi?

Azot trifloridi da ikkita asosiy, muhim ilovaga ega yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlari: plazma bilan ishlov berish va kamerani tozalash. Har ikkisi ham protsessorlardan tortib yuqori samarali mikrochiplarni yaratish uchun zarurdir NAND flesh xotirasi.

Birinchidan, etching haqida gapiraylik. Kabi material qatlamidan keyin kremniy dioksid a ga qo'yiladi gofret, yorug'lik yordamida unga naqsh proyeksiya qilinadi. The etch jarayon keyin materialni himoyalanmagan joylardan olib tashlaydi. NF₃ kameraga kiritiladi va a yaratish uchun quvvatlanadi plazma- zaryadlangan bulut ion zarralar va reaktiv ftor radikallar. Bu radikallar aniq bombardimon qiladi gofret bilan reaksiyaga kirishuvchi sirt kremniy va uni a ga aylantirish gazsimon birikma (kremniy tetraflorid) kameradan osongina chiqarib yuborilishi mumkin. Ushbu jarayonning aniqligi hayratlanarli bo'lib, muhandislarga inson sochidan minglab marta yupqaroq xususiyatlarni o'yib olish imkonini beradi.

Ikkinchi va keng tarqalgan, azot trifloriddan foydalanish kabidir tozalash gaz. davomida Kimyoviy bug'larning cho'kishi (CVD) ustida yupqa plyonkalar o'stiriladigan jarayon gofret, keraksiz materiallar jarayon kamerasining ichki devorlarida ham to'planadi. Bu qoldiq, ko'pincha dan yasalgan kremniy yoki kremniy nitridi, har birini qayta ishlash o'rtasida butunlay olib tashlanishi kerak gofret yoki gofretlar to'plami. Agar yo'q bo'lsa, bu birikma parchalanib, keyingisiga tushishi mumkin gofret, nuqsonga olib keladi. Bu yerga, NF₃ bo'sh kameraga pompalanadi va a plazma yonadi. Kuchli ftor radikallar kamera devorlarini tozalab, qattiqni aylantiradi qoldiq a ichiga gazsimon yon mahsulot bu osongina olib tashlanadi. Bu tozalash davri saqlash uchun muhim ahamiyatga ega ishlab chiqarish muhitining tozaligi va yuqoriligini ta'minlash ishlab chiqarish rentabelligi.

Nima NF₃ muqobillarga nisbatan yuqori tozalovchi gaz qiladi?

Ko'p yillar davomida, yarimo'tkazgich sanoati uglerod tetraflorid (CF₄) kabi perflorokarbonlarga (PFC) tayanadi va geksaftoroetan (C₂F₆) tozalash va silliqlash uchun. Samarali bo'lsa-da, bu birikmalar katta kamchilikka ega edi: ular atmosferada ishlash muddati juda uzoq bo'lgan juda kuchli issiqxona gazlari. Misol uchun, C₂F₆ da mavjud yuqori global isish potentsiali (GWP) va atmosferada 10 000 yil saqlanishi mumkin. Atrof-muhitni muhofaza qilish qoidalari kuchaytirilgach, sanoat yaxshi yechimga muhtoj edi.

Bu joy NF₃ yaqqol g‘olib sifatida maydonga chiqdi. Vaholanki Azot trifloridi ham a kuchli issiqxona gazlari, uning atmosfera muddati ancha qisqaroq (taxminan 500 yil). Eng muhimi, tozalash jarayonida ancha samarali. Ichkarida plazma palatasi, ancha yuqori foiz NF₃ molekulalar parchalanib, reaktivlarini chiqaradi ftor PFC bilan solishtirganda. Bu kamroq degani reaksiyaga kirishmagan gaz palatadan charchagan. Zamonaviy yarimo'tkazgich fabrikalari shuningdek, deyarli barchasini yo'q qiladigan kamaytirish tizimlarini (skrubberlar) o'rnating reaksiyaga kirishmagan NF₃ va zararli yon mahsulot gazlar chiqarilishidan oldin.

Yuqori samaradorlik va yanada samarali kamaytirishning kombinatsiyasi haqiqiy ekanligini anglatadi issiqxona gazlari emissiyasi foydalanishdan NF₃ eski PFC gazlariga qaraganda ancha past. Ushbu yuqori samaradorlik uning keng tarqalishining asosiy sababidir.

Yuqori toza azot trifloridi qanday ishlab chiqariladi?

Ishlab chiqaruvchi sifatida men sizga ishlab chiqarishni ayta olaman NF₃ murakkab va yuqori darajada nazorat qilinadigan ishlab chiqarish jarayoni. Maqsad nihoyatda sof (ko'pincha 99,999% yoki undan yuqori) yakuniy mahsulotni yaratishdir, chunki hatto eng kichik bo'lsa ham nopoklik uchun halokatli bo'lishi mumkin yarimo'tkazgich ishlab chiqarish. Jarayon, ayniqsa, yuqori reaktiv kimyoviy moddalar bilan ishlashda tajriba talab qiladi ftor.

The NF₃ ishlab chiqarish odatda reaksiyaga kirishishni o'z ichiga oladi ammiak (a birikma azot o'z ichiga oladi) yoki ammoniy ftorid elementar bilan birikma ftor da reaktordagi gaz yuqori haroratlar. Bu reaktsiya, shu jumladan, gazlar aralashmasi hosil qiladi NF₃, reaksiyaga kirishmagan materiallar va turli xil yon mahsulotlar. Haqiqiy qiyinchilik va etkazib beruvchining tajribasi haqiqatda namoyon bo'ladigan joyda tozalash keyingi bosqich.

Xom gazsimon aralashmasi bir necha o'tadi tozalash kiruvchi birikmalarni olib tashlash uchun qadamlar. Bu ko'pincha bir qator tozalashni o'z ichiga oladi, adsorbsiya, va kriogen distillash jarayonlari. The distillash jarayoni, xususan, turli gazlarni qaynash nuqtalariga qarab ajratish uchun juda past haroratlardan foydalanadi, ularni izolyatsiya qiladi. NF₃ qolgan aralashmalardan. Yakuniy mahsulotning qat'iy talablarga javob berishiga ishonch hosil qilish uchun har bir qadam ilg'or analitik uskunalar bilan nazorat qilinadi. yarimo'tkazgich sanoat. Ishonchli yetkazib beruvchini boshqalardan ajratib turadigan narsa sifat nazorati bo'yicha ushbu majburiyatdir.

NF₃ gazi uchun xavfsizlik va ishlov berish qoidalari qanday?

Sanoatda xavfsizlik birinchi o'rinda turadi gaz biznes. Vaholanki NF₃ yonmaydigan va xona haroratida nisbatan barqaror, u kuchli oksidlovchi vositadir, ayniqsa yuqori haroratlarda. Bu yonuvchan materiallar bilan zo'ravonlik bilan reaksiyaga kirishishi mumkinligini anglatadi va ehtiyotkorlik bilan ishlashni talab qiladi. Asosiy xavf uning toksikligidir; nafas olish gaz zararli bo'lishi mumkin, shuning uchun to'g'ri shamollatish va shaxsiy himoya vositalari har qanday holatda juda muhimdir ishlab chiqarish sayti.

Fabrikamızdan tortib to mijozgacha bo'lgan butun ta'minot zanjiri yarimo'tkazgich fab, xavfsizlik atrofida qurilgan. NF₃ yuqori bosim ostida maxsus ishlab chiqilgan po'lat tsilindrlarda tashiladi. Ushbu tsilindrlar qattiq sinov va sertifikatlashdan o'tadi, ular xavfsiz tarzda o'z ichiga oladi gaz. Yetkazib beruvchi sifatida biz mijozlarimizga batafsil xavfsizlik ma'lumotlar varaqlari (SDS) va to'g'ri saqlash, ulanish va ishlov berish tartib-qoidalari bo'yicha treninglar beramiz. Bunga ko'rsatmalar kiradi oqim tezligi nazorat qilish va qochqinlarni aniqlash tizimlari.

Asosiy tashvishi silliq va ishonchli ta'minot zanjiri bo'lgan Mark kabi biznes egalari uchun xavfsizlik tajribasi tasdiqlangan yetkazib beruvchi bilan hamkorlik qilish juda muhimdir. Samarasiz aloqa yoki etkazib beruvchidan aniq xavfsizlik protokollarining yo'qligi asosiy qizil bayroqdir. Biz nafaqat mahsulotni, balki logistika yordami va xavfsizlik tajribasini o'z ichiga olgan to'liq xizmatni taqdim etishdan faxrlanamiz. gaz keladi va har qadamda xavfsiz tarzda ishlov beriladi.

Azot triflorid issiqxona gazimi? Atrof-muhitga ta'sirini tushunish.

Atrof-muhit masalalari bo'yicha shaffof bo'lish juda muhimdir NF₃. Ha, Azot trifloridi kuchli hisoblanadi issiqxona gazi. Iqlim o'zgarishi bo'yicha hukumatlararo panel (IPCC) uning global isish potentsiali (GWP) ugleroddan minglab marta ko'proq ekanligini hisoblab chiqdi. dioksid 100 yildan ortiq. Bu sanoat juda jiddiy qabul qiladigan haqiqatdir.

Biroq, hikoya shu bilan tugamaydi. The atrof-muhitga ta'siri nafaqat gazning potentsialiga, balki uning qanchalik atmosferaga haqiqatda chiqarilishiga bog'liq. Avval aytib o'tganimizdek, NF₃ yuqori samarali hisoblanadi. Zamonaviy holatda yarimo'tkazgich ob'ekt, ularning katta qismi ishlatiladigan gaz ishlab chiqarish jarayonida iste'mol qilinadi yoki yo'q qilinadi. The plazma uni buzadi va har qanday reaksiyaga kirishmagan gaz charchagan esa kamaytirish tizimiga yuboriladi. Ushbu tizimlar juda samarali bo'lib, ko'pincha qolganlarning 99% dan ortig'ini yo'q qiladi NF₃.

Sanoatning PFC dan o'zgarishi NF₃, kamaytirish texnologiyasini keng qo'llash bilan birgalikda, aslida aniq kamayishiga olib keldi. issiqxona gazlari emissiyasi ishlab chiqarish birligiga. Mas'uliyatli yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari va gaz etkazib beruvchilar chiqindilarni minimallashtirishni ta'minlash uchun birgalikda ishlaydi. Bu eng kam miqdorda foydalanish uchun tozalash jarayonini optimallashtirishni o'z ichiga oladi gaz zarur va eng yuqori ishlash uchun kamaytirish tizimlarini saqlash. Shunday qilib, vaqt NF₃ kuchli hisoblanadi issiqxona gazi laboratoriya sharoitida, uning haqiqiy dunyodagi ekologik izi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish ehtiyotkorlik bilan boshqariladi va u almashtirilgan muqobillardan sezilarli darajada past.

Katta yarimo'tkazgichli zavodlar uchun gaz ishlab chiqarishning o'rni qanday?

Zamonaviy ko'lami yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish hayratga soladi. Mega-fablar deb nomlanuvchi eng yirik ob'ektlar juda katta miqdorda gaz iste'mol qiladi. Ayrim gazlar, masalan, azot uchun, ularni minglab silindrlarda tashishdan ko'ra, to'g'ridan-to'g'ri korxonada ishlab chiqarish samaraliroq. Bu sifatida tanilgan ish olib borilayotgan joyda avlod. Yuqori ixtisoslashgan va reaktiv uchun gaz kabi NF₃, biroz boshqacha model paydo bo'ladi: ish olib borilayotgan joyda tozalash va tahlil qilish.

To'liq holda NF₃ ishlab chiqarish at fab o'zining murakkabligi tufayli kam uchraydi, keng miqyosli foydalanuvchilar ko'pincha murakkab ish olib borilayotgan joyda gazni boshqarish tizimlari. Ommaviy ta'minot NF₃ fabrikaga yetkazib beriladi va keyin bu tizim yakuniy bosqichni amalga oshiradi tozalash va undan oldin doimiy sifat tahlili gaz qimmatbaho ishlab chiqarish vositalariga kiradi. Bu sifat nazoratining yakuniy qatlamini ta'minlaydi va ta'minot liniyalaridan har qanday potentsial ifloslanishni ushlashni ta'minlaydi. Ushbu yondashuv ommaviy xaridlarning iqtisodiy afzalliklarini sifat kafolati bilan birlashtiradi ish olib borilayotgan joyda boshqaruv.

Ushbu rivojlanayotgan ta'minot modellarini tushunish muhimdir. Yetkazib beruvchi sifatida biz xizmatlarimizni silindrlarni to‘ldirishdan tashqari kengaytirdik. Endi biz bilan ishlaymiz global yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari gaz yetkazib berish va boshqarish bo‘yicha kompleks yechimlarni ishlab chiqish va amalga oshirish. Bunga bag'ishlangan bo'lishi mumkin ishlab chiqarish liniyasi yirik mijoz uchun imkoniyatlar, ixtisoslashgan logistika yoki ular bilan integratsiya ish olib borilayotgan joyda tizimlari. Bu talab qilinadigan ehtiyojlarga javob beradigan moslashuvchan va ishonchli ta'minot zanjirini ta'minlash haqida 21-asr ishlab chiqarish. Bu bizning strategiyamizning asosiy qismidir, ayniqsa muhim mijozlarga xizmat ko'rsatishda ishlab chiqarish quvvatlari.

Chip ishlab chiqarishda NF₃ tozaligi ishlab chiqarish rentabelligiga qanday ta'sir qiladi?

In yarimo'tkazgich dunyo, "hosildorlik" hamma narsadir. Bu bittadan ishlab chiqarilgan yaxshi, ishlaydigan chiplarning ulushi kremniy gofret. Yuqori rentabellik yuqori rentabellikni anglatadi; past rentabellik moliyaviy jihatdan halokatli bo'lishi mumkin. Jarayonning tozaligi gazlar, ayniqsa reaktiv gaz kabi NF₃, bevosita va dramatik ta'sir ko'rsatadi ishlab chiqarish rentabelligi.

Tasavvur qiling nopoklik namlikning mayda zarrasi (H₂O) yoki boshqasi kabi gazsimon birikma bilan aralashtiriladi NF₃. Nozik etch jarayonida, bu nopoklik kimyoviy reaksiyaga xalaqit berishi mumkin, bu esa mikrosxemaning mikroskopik nuqsonini keltirib chiqarishi mumkin. Bu blokirovka qilishi mumkin etch, materialni bo'lmasligi kerak bo'lgan joyda qoldirish yoki haddan tashqari chizishga olib kelishi va juda ko'p materialni olib tashlash. Qanday bo'lmasin, natija integral sxema yakuniy sinovdan o‘ta olmaydi. Bitta chipda millionlab tranzistorlar yasaganingizda, hatto bitta "qotil nuqson" ham sabab bo'ladi nopoklik butun chipni yaroqsiz holga keltirishi mumkin.

Shuning uchun biz sifat nazoratiga katta mablag 'sarflaymiz. Sertifikatlangan, ultra-yuqori tozalik NF₃, biz mijozlarimizga ishonchni beramiz gaz nuqsonlar manbai bo'lmaydi. Konsentratsiyani nazorat qilish har bir komponentning milliard boshiga bo'lgan qismi darajasiga qadar bo'lishini ta'minlaydi ishlab chiqarish jarayoni barqaror va takrorlanadi. Barqaror jarayon bashorat qilinadigan va yuqori darajaga olib keladi ishlab chiqarish rentabelligi, bu har bir kishi uchun yakuniy maqsaddir yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchi. Yetkazib beruvchi sifatida bizning rolimiz Yuqori tozalikdagi maxsus gazlar o'zgaruvchilarni bartaraf etish va murosasiz sifatli mahsulotni taqdim etishdir.

Azot triflorid yetkazib beruvchida nimani izlash kerak?

Mark kabi xaridlar bo'yicha xodim uchun muhim material uchun to'g'ri yetkazib beruvchini tanlash NF₃ narxlarni solishtirishdan ancha uzoqqa boradi. Yomon hamkorlikning xavfi - jo'natishning kechikishi, sifat muammolari, yomon aloqa - juda yuqori. Mening tajribamga asoslanib, bu erda e'tiborga olish kerak bo'lgan asosiy omillar:

Birinchidan, tekshirilishi mumkin bo'lgan sifat va sertifikatlar. Ishonchli yetkazib beruvchi har bir jo‘natilishda tozalik darajalari va aniqlangan aralashmalar ro‘yxatini ko‘rsatuvchi tahlil sertifikatini (CoA) taqdim etadi. Ular ISO 9001 kabi xalqaro standartlarga mos bo'lishi kerak. Ularning tahliliy imkoniyatlari haqida so'rang. Ular uchun zarur bo'lgan darajada iflosliklarni aniqlash uchun uskunalar bormi yarimo'tkazgich ilovalar?

Ikkinchidan, ta'minot zanjirining ishonchliligi va shaffofligi. Yetkazib beruvchi kechikishlarning oldini olish uchun mustahkam logistika tarmog'ini namoyish qila oladimi? Ularda ortiqcha bormi ishlab chiqarish quvvatlari barqaror ta'minotini ta'minlash uchun? Bu erda aloqa muhim ahamiyatga ega. Sizning yetkazib beruvchingiz proaktiv bo'lishi, jo'natmalar haqida yangilanishlarni taqdim etishi va savollarga javob berishga tayyor bo'lishi kerak. Bu bevosita samarasiz muloqotning og'riqli nuqtasiga murojaat qiladi.

Nihoyat, texnik ekspertizani qidiring. Yaxshi yetkazib beruvchi shunchaki mahsulotni sotmaydi; yechim beradilar. Ular sizning ilovalaringizni tushunishlari va texnik yordam taklif qilishlari kerak. Ular xavfsizlik, ishlov berish va hatto atrof-muhitni muhofaza qilish qoidalari haqida ma'lumotga ega bo'lishi kerak gaz ilovalari. Bilimli hamkor sifatida harakat qila oladigan yetkazib beruvchi shunchaki sotuvchidan ko'ra cheksiz qimmatroqdir. Ushbu tajriba uzoq muddatli, foydali munosabatlarning asosidir. Biz nafaqat barcha mijozlarimiz uchun hamkor bo'lishga intilamiz gaz lekin u bilan birga keladigan xotirjamlik.

Asosiy xulosalar

• Muhim vosita: Azot trifloridi (NF₃) muhim mutaxassislik hisoblanadi gaz plazma bilan qirqish va kamerani tozalash uchun ishlatiladi yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayoni.
• Yuqori ishlash: NF₃ Yuqori foydalanish stavkalari va zamonaviy pasaytirish tizimlari tufayli u almashtirilgan eski PFC gazlariga qaraganda samaraliroq va atrof-muhitga kamroq ta'sir qiladi.
• Soflik - bu rentabellik: ning ultra yuqori tozaligi NF₃ muzokara qilib bo'lmaydi. Hatto iz qoldiqlari ham nuqsonlarga olib kelishi mumkin kremniy gofretni keskin kamaytiradi ishlab chiqarish rentabelligi va rentabelligi chip ishlab chiqarish.
• Xavfsizlik va ishlov berish muhim: Barqaror holda, NF₃ zaharli va oksidlovchi hisoblanadi gaz Bu maxsus ishlov berish, sertifikatlangan silindrlar va xavfsizlik protokollarini chuqur tushunishni talab qiladi.
• Yetkazib beruvchini tanlash juda muhim: ni tanlashda NF₃ yetkazib beruvchi, tekshirilishi mumkin bo'lgan sifat, ta'minot zanjiri ishonchliligi, shaffof aloqa va chuqur texnik tajribani faqat narxdan ustun qo'ying.