يېرىم خىل گازغا تايىنىدىغان يېرىم گازغا تايىنىدۇ, بۇ ئۈچ ئاساسلىق تۈرگە ئايرىلىدۇ: bulk gases, ئالاھىدە گازۋە گازنى يۆلەش. بۇ گازلارنى بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن چوقۇم ساپلىق بولۇشى كېرەك, بۇ نازۇك ۋە مۇرەككەپ توقۇشنى بۇلغىما قويۇپ بېرەلەيدۇ.

Bulk gases

ئازوت (n₂):

روك: NB لار ساپور چىقىرىش جەريانى پونكىتى ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش جەريانىدا پۇشايمان قىلىش جەريانى ۋە ئىنتېرنېت ئارىلىي كەيپىيات بىلەن تەمىنلەش.
قوشۇمچە خاتىرىلەر: ئازوتنى توشۇشقا ۋە كرېمنىي ۋاپات-چىۋىقنى توشۇشقا ئىشلىتىلىدۇ. ئۇنىڭ ئىنتتىدىكىلىكى بۇنىڭ ئىچىدىكى باشقا ماتېرىياللار بىلەن ئىنكاس قايتۇرمايدۇ, ئۇنى پاكىز پىششىقلاپ ئىشلەش مۇھىتىنى ساقلاپ قېلىشقا ماس كېلىدۇ.

ئارگون (AR):
رولى: پلازما جەريانلىرىنىڭ قاتنىشىشىدىن باشقا, ئارگون كونترول قىلىنغان تەبىئىي گازنىڭ مەزمۇنى كونترول قىلىنىشى مۇھىم جەريانلارغا نىسبەتەن ئىنتايىن مۇھىم.
قوشۇمچە خاتىرىلەر: چۈنكى ئۇ كۆپىنچە ماتېرىياللارغا ئىنكاسمايدۇ, ئارگون يەر تەۋرەشتە يەر تەۋرەشتە مېيىپ, مېتال ياكى يېمەك-ئىچمەك فىتىسىنى ئىشلىتىشكە بوشىتىشقا ياردەم بېرىدۇ.

Herium (ئۇ):
رولى: Erium نىڭ ئىسسىقلىق خاسلىقى باھانىسى ئاكتىپلىق بىلەن رېمونت قىلىش جەريانىدا تېمپېراتۇرىلارنى سوۋۇتۇش ئۈچۈن قىممەتلىك قىلىدۇ.
قوشۇمچە خاتىرىلەر: ئۇ دائىملىق ئەمەس, ئۇششاق-چۈششەك بولمىغان جىگەرنىڭ ئاكتىپ ئەمەسلىكى ۋە ئوپتىكىلىق يولىنى ساقلاش ئىقتىدارىدا Lorseal سىستېمىسىدا ئىشلىتىلىدۇ.

ھىدروگېن (H₂):
رولى: ئۇنىڭ قوللىنىلىشىدا) ھىدروگېن ئۈنۈمپەتنىڭ يۈزىنى تازىلاشقا تېگىپەزەسلىكى قاتارلىقلارغا ياردەم بېرىدۇ.
قوشۇمچە خاتىرىلەر: نېپىز فىلىمنىڭ ئامانەت قويۇشىدىكى ھىسدروگېن ئىشلىتىش يەر00 خاسلانمىلاردا توشۇغۇچى ماتېرىياللىرى بىلەن كۆرۈنەرلىك كونترول قىلىشىغا يول قويىدۇ.

ئالاھىدە گاز ۋە دورا

سىلنې (sih₄):
رولى: كرېنىي ھاكىمىيەتنى ئالدىنقى قاتلاشتىن باشقا, بۇ لىنىيىگە كومپيۇتېرنى ياخشىلاش دورىسى بولغان ئەڭ تېز فىلىمگە يېمەكلىككە ئايلاندۇرغىلى بولىدۇ.
قوشۇمچە ئەسكەرتىش: ئۇنىڭ رېئاللىقى بىخەتەرلىك ئەندىشىسى سەۋەبىدىن ئەستايىدىل بىر تەرەپ قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ, بولۇپمۇ ھاۋا ياكى ئوكسىگېن بىلەن ئارىلاشتۇرۇلىدۇ.

ئاممىياك (NH₃):
رولى: Nitride Windims ئىشلەپچىقارغاندىن باشقا, ئاممىياكە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىشەنچلىكلىكىنى ئاشكارىلاش ئەھمىيىتىدە مۇھىم ئەھمىيەتكە ئىگە.
قوشۇمچە خاتىرىلەر: ئازوتوگېننىڭ كىرىپىغا كىرگۈزۈشكە ئېھتىياجلىق بولغان جەريانلارغا قاتناشمايدىغان تەكلىپلەرگە قاتناشتى, ئېلېكترونلۇق مۈلۈكنى ياخشىلاش كېرەك دەپ چېتىلىدۇ.

فوسفىن (PH₃), ash₃), docraine (b₂):
رولى: بۇ گازلارنى قىسىشتا بولۇپلا قالماي, ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىگە يېتىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
قوشۇمچە خاتىرىلەر: ئۇلارنىڭ زەھەرلىك چېكىملىك ​​بىخەتەرلىك ئۆزگىرىشى ۋە رەختنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئىقتىدارى تۆۋەنلەيدۇ.

گازلارنى تازىلاش ۋە تازىلاش

Florrocarbons (cf, SF₆):
رولى: بۇ گازلار قۇرۇق يارلىقلاردا ئىشلىتىدۇ, بۇ خىل ياڭراتقۇ ئۇسۇللىرىغا سېلىشتۇرغاندا يۇقىرى ئېنىقلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ.
قوشۇمچە خاتىرىلەر: CF ۋە SF₆ نىڭ كىرىشىيىش ماتېرىياللىرىنى ئۈنۈملۈك تۆلىتىش سەۋەبىدىن, زامانىۋى مىكروسكوياندا تەنقىدگە يول قويدى.

خلور (cl₂) ۋە ھىدروگېن فلۇرىدىن (HF):
رولى: chlore تاجاۋۇزچىلىق پەسلىتىش ئىقتىدارىنى تەمىنلەيدۇ, بولۇپمۇ مېتاللارغا نىسبەتەن, HF سىفىك دۇمورنى چىقىرىۋېتىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
قوشۇمچە خاتىرىلەر: بۇ مەيدانلارنىڭ بىرىكىشىنىڭ بىرىكىشى ھەر خىل توقۇلما باسقۇچلار جەريانىدا ئۈنۈملۈك قەۋەتنى ئېلىۋېتىشكە يول قويىدۇ.

ئازوت Trififorite (NF₃):
رولى: NF₃ CVD سىستېمىسىدا مۇھىت تازىلاش, بۇ يەردە ئەڭ ياخشى ئىقتىدارنى ساقلىشى بىلەن جاۋاب قايتۇرۇش.
قوشۇمچە خاتىرىلەر.

ئوكسىگېن (O₂):
رولى: ئوكسىگېن ئارقىلىق قۇلايلىق بىر تەرەپ قىلىش جەريانى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قۇرۇلمىسىدا كۆرۈنەرلىك ئىزدىنىش شامالدۇرغۇچ قۇرالايدۇ.
قوشۇمچە خاتىرىلەر: ئوكسىگېننىڭ Sernicon نىڭ Oxidate نىڭ OX مۇئامىلىسىنى ئاشۇرۇشتىكى رولى سىلىق رەسىم ھاسىل قىلىشتىكى رولى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا

يۇقىرىدىكى كۆرسىتىلدى, ئۇنىڭدىن يۇقىرى نەشر قىلىنغان ئەنئەنىۋى گازلارلاردىن باشقا, باشقا گازلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىمىچىلىق جەريانىدا دىققەت قىلىدۇ, مەسىلەن

كاربون تۆت ئوكسىد (كود): بەزى تازىلاش ۋە يىغىۋېلىشتا ئىشلىتىلىدۇ, بولۇپمۇ ئىلغار ماتېرىياللارغا چېتىلىدۇ.

Scuthon Dioxide (SiO₂): گەرچە ئۆلچەملىك شارائىتتا گاز, نۇرغۇن كرېمنىي دۇئوكىد شەكلى بەزى ئامانەت قويۇش جەريانلىرىدا ئىشلىتىلىدۇ.

مۇھىت قارىشى

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائەت سانائىتى بارباتلىق سان كۈنسېرى نەتىجىدە, بولۇپمۇ? بۇ ئىلغار تەبىئىي گاز باشقۇرۇش سىستېمىسىنى ۋە تۆۋەن مۇھىت تورى بىلەن مۇشۇ خىل پايدىنى تۆۋەن مۇھىت ئىزى بىلەن ئوخشاش پايدىنى تەمىنلىيەلەيدىغانلىقىنى قوزغىغان.

خۇلاسە

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلىدىغان گازلار قارا رەڭلىك جەرياننىڭ ئېنىق ۋە ئۈنۈمىنى ساقلاپ قېلىشتا ھالقىلىق رول ئوينايدۇ. تېخنىكا تەرەققىياتتا بولۇش سۈپىتى بىلەن, يېرىم ئۆتكۈزۈلمە رايونلىرى گاز پاك-مۈلۈك ۋە باشقۇرۇشنى ياخشىلاش, بۇ ۋاقىتتا بىخەتەرلىك ۋە مۇھىت ئەندىشىسىنىمۇ سوت قىلىش.