زامانىۋى دۇنيا ئۆزەك ئۈستىدە يۈردى. يانچۇقىڭىزدىكى ئەقلىي ئىقتىدارلىق تېلېفوندىن ئالەم قاتنىشى قۇرۇلۇشىدىكى يېتەكچى سىستېمىلارغىچە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى رەقەملىك دەۋرنىڭ نامەلۇم قەھرىمانى. ئەمما قەھرىماننىڭ ئارقىسىدىكى قەھرىمان نېمە؟ ئۇ ئالاھىدە گازلارنىڭ كۆرۈنمەيدىغان ، دائىم ئۆزگىرىشچان دۇنياسى. كونكرېت قىلىپ ئېيتقاندا ، فتور خىمىيىسى .دا مۇھىم رول ئوينايدۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىغۇچى پەقەت ئالماشتۇرغىلى بولمايدىغان جەريان.

ئەگەر سىز تەمىنلەش زەنجىرىنى باشقۇرۇۋاتقان ياكى مەھسۇلاتنىڭ سۈپىتىنى نازارەت قىلىۋاتقان بولسىڭىز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇت ، خاتالىقنىڭ پەرقى نۆل ئىكەنلىكىنى بىلىسىز. نەملىكتىكى بىر تاياق ياكى مىكروسكوپ زەررىچىسى مىليون دوللارلىق ئىشلەپچىقىرىش يۈكىنى بۇزىدۇ. بۇ ماقالە رولىغا چوڭقۇر چۆكۈپ كەتتى تەركىبىدە فتور بار گازلار - نېمىشقا ئۇلارنى ئىشلىتىمىز ، ئۇلارنى ئۈنۈملۈك قىلىدىغان ئالاھىدە خىمىيىلىك دورا ۋە تەمىنلەش زەنجىرىنىڭ مۇقىملىقى ۋە ساپلىقىنىڭ ھالقىلىق ئەھمىيىتى. بىز بۇلارنىڭ قانداق بولىدىغانلىقى ئۈستىدە ئىزدىنىمىز يۇقىرى ساپلىق گاز ئىشلىتىلىدۇ etch ۋە ئامانەت قويۇش باسقۇچلىرى ، نېمىشقا ئۇلارنى ئىشەنچلىك ھەمراھىدىن ئىزدەش بۇ يىل چىقارغان ئەڭ مۇھىم قارار.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى نېمە ئۈچۈن فتور بار گازغا تايىنىدۇ؟

چۈشىنىش ئۈچۈن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى، قەرەللىك جەدۋەلگە قاراش كېرەك. كىرىمنىي بولسا كاناي ، ئەمما فتور چوتكا. The يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇمىچىلىق بۇ جەريان بىر قەۋەت ماتېرىياللارنى ياساشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئاندىن ئۇلارنى تاللاپ چىقىرىپ توك يولى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ئېلىۋېتىش جەريانى قىچىشىش دەپ ئاتىلىدۇ.

فتور ئەڭ ئېلېكترونلۇق ئېلېمېنت. ئاددىي قىلىپ ئېيتقاندا ، ئۇ ئېلېكترونلارغا ئاجايىپ ئاچ. تونۇشتۇرغاندا فتور گازى ياكى فتورلۇق بىرىكمىلەر پلازما ئۆيىگە ، فتور ئاتوملىرى كرېمنىي بىلەن تاجاۋۇزچىلىق قىلىدۇ كرېمنىي ئوكسىد. بۇ خىمىيىلىك رېئاكسىيە قاتتىق كرېمنىينى ئاسان سۈمۈرۈۋالىدىغان تۇراقسىز گازغا ئايلاندۇرىدۇ. بۇ خىمىيىلىك رېئاكسىيە بولمىسا ، بىز زامانىۋى ئېھتىياجلىق بولغان مىكروسكوپ ئۆستەڭ ۋە ئالاقىلىشىش تۆشۈكى ھاسىل قىلالمايمىز ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر.

In يۇقىرى ھەجىملىك ياسىمىچىلىق، سۈرئەت ۋە ئېنىقلىق ھەممە نەرسە. تەركىبىدە فتور بار گازلار كىرگۈزۈشنى ساقلاش ئۈچۈن كېرەكلىك يۇقىرى ئېتىز نىسبىتىنى تەمىنلەڭ ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ئۇنىڭ ئاستىدىكى قەۋەتكە زىيان يەتكۈزمەيلا بىر ماتېرىيالنى كېسىپ تاشلاشنى تاللايمىز. بۇ بىر نازۇك تەڭپۇڭلۇق ھەرىكىتى خىمىيە ۋە فىزىكا.

فتورلۇق خىمىيىلىك ماددىنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىقتا يېيىشى ئۈچۈن نېمە ئالاھىدە بولىدۇ؟

دەپ سورىشىڭىز مۇمكىن ، نېمىشقا خلور ياكى بروم ئىشلەتمەيسىز؟ بىز بەزى قاتلاملار ئۈچۈن قىلىمىز. قانداقلا بولمىسۇن ، فتور خىمىيىسى كىرىمنىينى ئاساس قىلغان ماتېرىياللارنى قاچىلىغاندا ئۆزگىچە ئەۋزەللىك بىلەن تەمىنلەيدۇ. كرېمنىي بىلەن فتورنىڭ رىشتىسى ئاجايىپ كۈچلۈك. قاچان تەركىبىدە فتور بار پلازما ۋافېرغا ئۇرۇلدى ، ئىنكاسى تاشقى ۋە ئۆزلىكىدىن.

سېھىرگەرلىك يۈز بېرىدۇ پلازما. A يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانى كامېر ، بىز كاربون تېترافلورىد (CF4) ياكى گۈڭگۈرت Hexafluoride (SF6) غا ئوخشاش تۇراقلىق گازغا يۇقىرى ئېنېرگىيە ئىشلىتىمىز. بۇ گازنى پارچىلاپ ، رېئاكتىپ قويۇپ بېرىدۇ فتور رادىكاللار. بۇ رادىكاللار يەر يۈزىگە ھۇجۇم قىلىدۇ Wafer.

"ئېنىقلىق etch ئۆزەكنىڭ ئىقتىدارىنى بەلگىلەيدۇ. ئەگەر سىزنىڭ گاز ساپلىقىڭىز ئۆزگىرىپ كەتسە ، ئېففېكتىڭىز ئۆزگىرىپ ، ھوسۇلىڭىز چۈشۈپ كېتىدۇ ».

بۇ ئۇقۇمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ anisotropic قىچىشىش - يان تەرەپ يېمەي بىۋاسىتە كېسىش. ئارىلاشتۇرۇش ئارقىلىق فتور with other gaste، ئىنژېنېرلار ئۆستەڭنىڭ ئارخىپىنى مۇكەممەل كونترول قىلالايدۇ. كىچىك تۈگۈنلەرگە (7nm ، 5nm ۋە ئۇنىڭدىن تۆۋەن) يۆتكىگەندە بۇ ئىقتىدار ئىنتايىن مۇھىم ، ھەتتا نانومېتىر ئېغىشمۇ مەغلۇپ بولىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى گاز قانداق قىلىپ ئىلغار كاۋچۇك جەريانلارنى ئىلگىرى سۈرىدۇ؟

Etch جەريانلىرى نىڭ ھەيكەل ياساش قوراللىرى fabs. ھۆل تەمرەتكە (سۇيۇق خىمىيىلىك ماددىلارنى ئىشلىتىش دېگەندەك) ئاساسلىق ئىككى خىل بولىدۇ ھىدروگېن فتور) ۋە قۇرۇق كاۋاپ (پلازما ئىشلىتىپ). زامانىۋى ئىلغار يېرىم ئوكۇل تۈگۈنلەر ئاساسەن دېگۈدەك قۇرۇق پلازما كېسىشكە تايىنىدۇ ، چۈنكى ئۇ تېخىمۇ ئېنىق.

تىپىك plasma etching تەرتىپ ، a فتورلۇق گاز تونۇشتۇرۇلغان. ئىشلىتىلگەن سورتقا قاراپ باقايلى:

• كاربون Tetrafluoride (CF4): ئوكسىد يېيىشنىڭ خىزمەت مەيدانى.
• Octafluorocyclobutane (C4F8): ئۆستەڭنىڭ پىيادىلەر يولىغا پولىمېر قەۋىتى قويۇشقا ئىشلىتىلىدۇ ، ئاستى تېخىمۇ چوڭقۇر ئورالغان ۋاقىتتا ئۇلارنى قوغدايدۇ.
• گۈڭگۈرت Hexafluoride (SF6): ئىنتايىن تېز كرېمنىي قېتىش نىسبىتى بىلەن داڭلىق.

نىڭ ئۆز-ئارا تەسىر قىلىشى پلازما and the substrate is complex. ئۇ ئىئونلارنىڭ فىزىكىلىق بومبا پارتىلىشى ۋە رادىكاللارنىڭ خىمىيىلىك ئىنكاسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. The يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرى چوقۇم بۇ گازلارنىڭ ئېقىشى ، بېسىمى ۋە ئارىلاشمىسىنى قاتتىق كونترول قىلىشى كېرەك. ئەگەر ئالاھىدە گاز تەركىبىدە نەملىك قاتارلىق بۇلغانمىلار بار ، ئۇ يەتكۈزۈش لىنىيىسى ياكى كامېر ئىچىدە گىدروفلوئىك كىسلاتا ھاسىل قىلىپ ، چىرىش ۋە زەررىچە كەمتۈكلۈكنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

نىتروگېن Trifluoride نېمە ئۈچۈن كامېر تازىلاش ئىلتىماسىنىڭ پادىشاھى؟

While تازىلاش ۋە تازىلاش قول تۇتۇشۇپ ، ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىنى تازىلاش خۇددى ۋافېرنى پىششىقلاپ ئىشلەشكە ئوخشاشلا ئىنتايىن مۇھىم. مەزگىلىدە خىمىيىلىك ھور ئامانەت پۇلى (CVD)، كرېمنىي ياكى تۇڭگېن قاتارلىق ماتېرىياللار ۋافېرغا قويۇلدى. قانداقلا بولمىسۇن ، بۇ ماتېرىياللار يەنە كامېرنىڭ تېمىغا چاپلانغان. ئەگەر بۇ قالدۇقلار يىغىلىپ قالسا ، ئۇ پارچىلىنىپ ۋافېرغا چۈشۈپ ، نۇقسانلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

Enter ئازوت Trifluoride (NF3).

نەچچە يىل ئىلگىرى ، بۇ كەسىپ ئىشلىتىلگەن فتورلۇق پارنىك كامېر تازىلاش ئۈچۈن C2F6 غا ئوخشاش گازلار. قانداقلا بولمىسۇن ، NF3 نىڭ ئۆلچىمى بولۇپ قالدى كامېر تازىلاش جەريانى چۈنكى ئۇنىڭ ئۈنۈمى يۇقىرى. يىراقتىكى پلازما مەنبەسىدە بۇزۇلغاندا ، NF3 زور مىقداردا ھاسىل قىلىدۇ فتورلۇق ئاتوم. بۇ ئاتوملار كامېر تاملىرىنى پاكىز تازىلاپ ، قاتتىق قالدۇقلارنى سىرتقا چىقىرىلىدىغان گازغا ئايلاندۇرىدۇ.

Nitrogen Trivoride ياقتۇرىدۇ ، چۈنكى ئۇنىڭ ئىشلىتىش نىسبىتى يۇقىرى (گازنىڭ كۆپىنچىسى ئەمەلىيەتتە ئىشلىتىلىدۇ) ۋە بۇلغىما قويۇپ بېرىش نىسبىتى كونالارغا سېلىشتۇرغاندا تۆۋەن تازىلاش ۋاكالەتچىلىرى. ئەسلىھە باشقۇرغۇچىغا نىسبەتەن ئېيتقاندا ، بۇ ئاسراش ۋاقتى ۋە سۈرئىتىنى تېزلىتىش دېگەنلىك.

يۇقىرى مىقداردىكى ئىشلەپچىقىرىشتا قايسى خىل فتورلۇق بىرىكمىلەر كەم بولسا بولمايدۇ؟

The يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەمىنلەش زەنجىرى كونكرېت سېۋەتكە تايىنىدۇ تەركىبىدە فتور بار گازلار. ھەر بىرىدە ئالاھىدە «رېتسېپ» ياكى قوللىنىشچان پروگرامما بار. At جياڭسۇ خۇاجۇڭ گازى، بىز تۆۋەندىكىلەرگە بولغان زور ئېھتىياجنى كۆرىمىز:

بۇلار فتورلۇق بىرىكمىلەر ئۇلارنىڭ جان تومۇرى يۇقىرى ھەجىملىك ياسىمىچىلىق. بۇلارنىڭ مۇقىم ئېقىمى بولمىسا يېرىم ئۆتكۈزگۈچتىكى گازلار ئىشلەپچىقىرىش ، لىنىيەلەر توختايدۇ. ئۇ ئاددىي. شۇڭلاشقا ئېرىك مىللېرغا ئوخشاش سېتىۋېلىش دېرىكتورلىرى توختىماي نازارەت قىلىپ تۇرىدۇ تەمىنلەش زەنجىرى قالايمىقانچىلىق ئۈچۈن.

نېمىشقا يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز يېرىم ئۆتكۈزگۈچ مەھسۇلاتنىڭ ئومۇرتقىسى بولىدۇ؟

مەن بۇنىڭغا يېتەرلىك بېسىم قىلالمايمەن: پاكلىق ھەممە نەرسە.

بىز پاراڭلاشقاندا يۇقىرى ساپلىق گاز، بىز كەپشەرلەشكە ئىشلىتىلىدىغان «سانائەت دەرىجىسى» ھەققىدە سۆزلىمەيمىز. بىز 5N (99.999%) ياكى 6N (99.9999%) ساپلىق ھەققىدە سۆزلەۋاتىمىز.

نېمىشقا؟ چۈنكى ئا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى نانومېتىردا ئۆلچەنگەن ئىقتىدارلىرى بار. مېتال نىجاسەتنىڭ ياكى مول مىقداردىكى نەملىك (H2O) نىڭ مولېكۇلاسى قىسقا توك يولىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ياكى بىر قەۋەتنىڭ چاپلىشىشىنى توسىدۇ.

• نەملىك: بىلەن ئىنكاس قايتۇرىدۇ فتور گاز يەتكۈزۈش سىستېمىسىنى چىرىتىدىغان HF نى قۇرۇش.
• ئوكسىگېن: كرېمنىينى كونترول قىلغىلى بولمايدۇ.
• ئېغىر مېتاللار: ترانس ist ورنىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى بۇزۇڭ.

تەمىنلىگۈچى بولۇش سۈپىتىمىز بىلەن ، بىزنىڭ خىزمىتىمىز يۇقىرى ساپلىق Xenon ياكى ئېلېكترونلۇق دەرىجىدىكى نىترو ئوكسىد سىز قوبۇل قىلىسىز كەسىپ ئۆلچىمى. بايقاش ئۈچۈن ئىلغار گاز خروموگرافىيىسى ئىشلىتىمىز ئىز قوغلاش ھەر بىر مىلياردقا بۆلۈنىدۇ. سېتىۋالغۇچىغا نىسبەتەن ئانالىز گۇۋاھنامىسى (COA) نى كۆرۈش پەقەت ھۆججەتلا ئەمەس. بۇ ئۇلارنىڭ كاپالىتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇمىچىلىق ئاپەت خاراكتېرلىك مەھسۇلاتنىڭ چۈشۈپ كېتىشىگە دۇچ كەلمەيدۇ.

سانائەت پارنىك گازى قويۇپ بېرىش ۋە GWP نى قانداق باشقۇرىدۇ؟

ئۆيدە بىر پىل بار: مۇھىت. نۇرغۇن فتورلۇق گاز يۇقىرى يەرشارىنىڭ ئىللىپ كېتىش يوشۇرۇن كۈچى (GWP). مەسىلەن ، Sulfur hexafulaide (SF6) ئەڭ كۆپ كۈچلۈك پارنىك گازى كىشىلەرگە ئايان ، GWP CO2 دىن نەچچە مىڭ ھەسسە يۇقىرى.

The يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش سانائىتى كاربوننىڭ ئىزىنى ئازايتىش ئۈچۈن غايەت زور بېسىمغا دۇچ كەلمەكتە. بۇ ئىككى چوڭ بۇرۇلۇشنى كەلتۈرۈپ چىقاردى:

1. Abatement: Fabs ئۇلارنىڭ گاز چىقىرىش لىنىيىسىگە غايەت زور «كۆيدۈرۈش ساندۇقى» ياكى سۈرتكۈچ ئورنىتىۋاتىدۇ. بۇ سىستېمىلار بىر تەرەپ قىلىنمىغاننى پارچىلايدۇ پارنىك گازى ئاتموسفېراغا قويۇپ بېرىلىشتىن بۇرۇن.
2. ئالماشتۇرۇش: تەتقىقاتچىلار باشقا تاللاش ئىزدەۋاتىدۇ etch تۆۋەن GWP بولغان گازلار. قانداقلا بولمىسۇن ، مۇھىتقا تەسىر كۆرسەتمەي C4F8 ياكى SF6 غا ئوخشاش ئۈنۈم بېرىدىغان مولېكۇلا تېپىش خىمىيىلىك جەھەتتىن قىيىن.

Nitrogen Trivoride ئۇ تازىلاشنىڭ توغرا يۆنىلىشىدىكى بىر قەدەم ئىدى ، چۈنكى ئۇ كونا PFC غا قارىغاندا ئاسان پارچىلىنىپ ، ئومۇمىي جەھەتتىن ئاز بولىدۇ بۇلغىما قويۇپ بېرىش ئەگەر تۈزەش سىستېمىسى نورمال ئىشلەۋاتقان بولسا. ئازايتىش پارنىك گاز قويۇپ بېرىش ئەمدى PR ھەرىكىتى ئەمەس. بۇ ياۋروپا ئىتتىپاقى ۋە ئامېرىكىدىكى نازارەت قىلىپ باشقۇرۇش تەلىپى.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەمىنلەش زەنجىرى ئالاھىدە تەبىئىي گاز يېتىشمەسلىك مەسىلىسىگە دۇچ كېلەمدۇ؟

ئەگەر يېقىنقى بىر قانچە يىل بىزگە بىر نەرسە ئۆگەتكەن بولسا ، ئۇ تەمىنلەش زەنجىرى نازۇك. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچىلار neon دىن تارتىپ ھەممە نەرسىنىڭ كەمچىلىكىگە دۇچ كەلدى fluoropolymers.

تەمىنلەش فتور گازى ھەمدە ئۇنىڭ تۇغۇندى مەھسۇلاتلىرى فتورسپار (كالتسىي فتور) قېزىشقا باغلىق. جۇڭگو بۇ خام ئەشيانىڭ يەرشارىدىكى ئاساسلىق مەنبەسى. جۇغراپىيىلىك سىياسىي جىددىيلىك كۈچەيگەندە ياكى ئەشيا ئوبوروتى لىنىيىسى توسۇلۇپ قالغاندا ، بۇ ھالقىلىق ئامىللارنىڭ مەۋجۇتلۇقى gaste تۆۋەنلەيدۇ ، باھاسى شىددەت بىلەن ئۆرلەيدۇ.

ئېرىكقا ئوخشاش سېتىۋالغۇچىغا نىسبەتەن ، «Force Majeure» دىن قورقۇش ھەقىقىي. بۇنى پەسەيتىش ئۈچۈن ، ئەقىللىق شىركەتلەر تەمىنلىگۈچىلەرنى كۆپ خىللاشتۇرۇۋاتىدۇ. ئۇلار ئۆزىگە تەۋە شېرىك ئىزدەۋاتىدۇ iso-tank ھەمدە ئەشيا ئوبوروت تورى قۇردى. ئىشەنچلىك ئەشيا ئوبوروتى گازنىڭ ساپلىقىدەك مۇھىم. ئەڭ ساپ بولالايسىز C4F8 gas دۇنيادا ، ئەمما ئۇ پورتقا چاپلىشىپ قالسا ، بۇنىڭ پايدىسى يوق fab.

ھىدروگېن فتور ۋە باشقا زەھەرلىك ماتېرىياللارنى بىر تەرەپ قىلىشتىكى بىخەتەرلىك كېلىشىملىرى قايسىلار؟

بىخەتەرلىك كەسپىمىزنىڭ ئۇۋىسى. نۇرغۇن تەركىبىدە فتور بار گازلار زەھەرلىك ، نەپەسلىنىشچانلىقى كۈچلۈك ياكى ئاكتىپچانلىقى يۇقىرى. ھىدروگېن فتور (HF) ھەمىشە ھۆل كاۋىدا ئىشلىتىلىدۇ ياكى قوشۇمچە مەھسۇلات سۈپىتىدە ھاسىل بولىدۇ ، بۇ خەتەرلىك. ئۇ تېرىگە سىڭىپ كىرىپ ، سۆڭەك قۇرۇلمىسىغا ھۇجۇم قىلىدۇ.

بۇ ماتېرىياللارنى بىر تەرەپ قىلىش قاتتىق مەشىق ۋە مەخسۇس ئۈسكۈنىلەرنى تەلەپ قىلىدۇ.

• سىلىندىر: چوقۇم DOT / ISO گۇۋاھنامىسى بولۇشى ھەمدە قەرەللىك ھالدا ئىچكى چىرىشنى تەكشۈرۈشى كېرەك.
• Valves: دىئافراگما كلاپانلار ئېقىپ كېتىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.
• سېنزور: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ فاب ئەڭ ئاز بولغاندا ئاگاھلاندۇرۇش سىگنالى قوزغايدىغان گاز تەكشۈرۈش سېنزورى بىلەن قاپلانغان.

بىز بىر سىلىندىر تولدۇرساق ئېلېكترونلۇق دەرىجىدىكى نىترو ئوكسىد ياكى زەھەرلىك سېھىرگەر ، بىز ئۇنىڭغا يۈكلەنگەن قورالدەك مۇئامىلە قىلىمىز. بىز سىلىندىرنىڭ ئىچىدە سىلىقلىنىپ ، دانىچىلارنىڭ ئالدىنى ئېلىش ۋە كلاپاننىڭ قاپلانغان ۋە پېچەتلىنىشىگە كاپالەتلىك قىلىمىز. خېرىدارلىرىمىز ئۈچۈن توشۇغۇچى گازى ياكى كاۋاپدان بىخەتەر ، ماس كېلىدىغان ئورالمىلارغا يېتىپ كېلىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان ماتېرىياللارنىڭ ئالدىدا نېمە بار؟

The يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش يول خەرىتىسى تاجاۋۇزچىلىق. ئۆزەكلەر Gate-All-Around (GAA) ترانس ist ورستورغا ئوخشاش 3D قۇرۇلمىغا يۆتكىگەندە ، مۇرەككەپلىكى تازىلاش ۋە تازىلاش كۆپىيىدۇ. بىز تېخىمۇ غەلىتە نەرسىگە بولغان ئېھتىياجنى كۆرۈۋاتىمىز فتورلۇق گاز چوڭقۇر ، تار تۆشۈكلەرنى ئاتوم ئېنىقلىقى بىلەن ھاسىل قىلالايدىغان ئارىلاشمىلار.

ئاتوم قەۋىتى Etching (ALE) يېڭىدىن بارلىققا كەلگەن تېخنىكا ، ئۇ بىرلا ۋاقىتتا ماتېرىيالنى بىر ئاتوم قەۋىتىنى چىقىرىپ تاشلايدۇ. بۇنىڭ ئۈچۈن ئاجايىپ ئېنىق دورا ئىشلىتىش تەلەپ قىلىنىدۇ رېئاكسىيە گازى. ئۇندىن باشقا ، «يېشىل» ياسىمىچىلىقنىڭ تۈرتكىسى بەلكىم يېڭى قوللىنىشقا تۈرتكە بولۇشى مۇمكىن فتور خىمىيىسى تۆۋەن بىلەن ئوخشاش ئىقتىدار بىلەن تەمىنلەيدۇ GWP.

كەلگۈسى تەبىئىي گاز بىرىكتۈرۈش ۋە ساپلاشتۇرۇشتا يېڭىلىق يارىتالايدىغانلارغا مەنسۇپ. دېگەندەك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللىرى تەرەققىي قىلىدۇ ، ئۇلارنى شەكىللەندۈرۈشتە ئىشلىتىلىدىغان گازلارمۇ چوقۇم تەرەققىي قىلىشى كېرەك.

ئاچقۇچلۇق يول

• فتور مۇھىم: فتور خىمىيىسى ئاچقۇچ ئاچقۇچى etch ۋە پاكىزە قەدەم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياسىغۇچى.
• پاكلىق پادىشاھ: ساپلىقى يۇقىرى (6N) نۇقساننىڭ ئالدىنى ئېلىش ۋە ئۇنىڭغا كاپالەتلىك قىلىش توغرىسىدا سۆھبەتلىشىشكە بولمايدۇ جەريان مۇقىملىقى.
• ھەر خىل گازلار: CF4 ، SF6 ۋە Nitrogen Trivoride بۇنىڭدا ئالاھىدە رول ئوينايدۇ توقۇلما.
• مۇھىت تەسىرى: باشقۇرۇش پارنىك گاز قويۇپ بېرىش ۋە abatement كەسكىن رىقابەت.
• تەمىنلەش بىخەتەرلىكى: پۇختا تەمىنلەش زەنجىرى ھەمدە ئىشەنچلىك شېرىكلەر ئىشلەپچىقىرىشتىن توختاپ قېلىشتىن ساقلىنىش كېرەك.

جياڭسۇ خۇاجۇڭ گازىدا بىز بۇ رىقابەتلەرنى چۈشىنىمىز ، چۈنكى بىز ھەر كۈنى ياشايمىز. ئېھتىياجلىقمۇ High Purity Xenon سىزنىڭ ئەڭ يېڭى كاۋچۇك جەريانىڭىز ياكى ئۆلچەملىك سانائەت گازىنى ئىشەنچلىك يەتكۈزۈشىڭىز ئۈچۈن ، بىز كەلگۈسىنى بەرپا قىلىدىغان تېخنىكىنى قوللايمىز.