تېلېفونىڭىز, كومپيۇتېرىڭىز, كومپيۇتېرىڭىز ھەتتا ماشىنىڭىز ھەتتا ماشىنىڭىز. بۇ ئاجايىپ مۇرەككەپ ئۈسكۈنىلەر ناھايىتى ئېنىق بولۇپ, ياساشنىڭ مەركىزىدە جىم تۇرغان, ئەمما كەم بولسا بولمايدىغان كۈچ. ئالاھىدە گاز. بۇ ماقالە بۇ Ultra-يۇقىرى ساپلارنى يېرىم يىلتىز تارتتا ئوينايدۇ ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى سانائەت, ئۇلارنىڭ سۈپىتىنى چۈشەندۈرۈش ۋە ئۇلارنىڭ قانداق قىلغاندا توقۇلما بىز ھەر كۈنى تايىنىدىغان تېخنىكا. بۇنى مۇشۇنداق ئويلاڭ: بۇ گازلار زامانىۋى ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى مۇمكىن. ئۇلارنىڭ مۇھىملىقىنى چۈشىنىش تېخنىكا كەلگۈسىنى چۈشىنىشنىڭ ئاچقۇچى.

تەپسىلاتلارغا ئېرىشىش: گازلارنىڭ مۇھىم رولى

بۇ سوئاللارنىڭ ھەر بىرىنى تەپسىلىي تەتقىق قىلايلى.

1. «يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازى» ياكى «ئېلېكترون ئالاھىدە گاز» نېمە قىلىدۇ?

ھەممىسى ئەمەس gas ئوخشاش يارىتىلغان, بولۇپمۇ ئۇ نازۇك جەريانغا كەلگەندە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازىدەپمۇ ئاتىلىدۇ ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز, ئالاھىدە يۇقىرى سەۋىيىگە ئىگە بولۇش purity. بۇ ئۇلارنىڭ مەقسەت قىلىنغاندىن پۈتۈنلەي قاپلانغانلىقىدىن دېرەك بېرىدۇ gas, مىنۇس سومكىسى بىلەن باشقا ماددىلار بىلەن, ھەمىشە ھەر مىليارد (PPB) بىلەن ئۆلچەنگەن. ئوخشىمايدىغىنى bulk gases باشقا كەسىپلەردە ئىشلىتىلىدۇ ئالاھىدە گاز ئۇلارنىڭ ئالاھىدە خىمىيىلىك خۇسۇسىيىتى ۋە ئۇلارنىڭ ئىمكانقەدەر تېز ئىقتىدارلارنى ئىشلەش ئىقتىدارى توقۇلما مۇرەككەپ ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر. بۇلار gases are used پەقەت خام ئەشيا سۈپىتىدەلا ئەمەس, ئەمما مۇرەككەپ قاتناشقۇچىلارغا ئوخشاش خىمىيىلىك رېئاكسىيە قۇرۇلدى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى.

ئېنىق بولمىغان ئالاھىدىلىك ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ئالاھىدە گاز ئۇنىڭ كونترول قىلىنغان پاكلىق جەريان. بۇلار گاز ۋە گاز ئارىلاشمىسى ھەمىشە ئاكتىپ ياكى ئىنېرت, ئۇلارنىڭ ئىقتىدارى ئۈچۈن ئەستايىدىللىق بىلەن تاللانغان etch, dopeياكى ياكى كونكرېت قەۋەت قۇر سىلئون ۋافېر. مەسىلەن, بەزىلىرى gases نېپىز فىلىملەرنى ئامانەت قويۇشتا ئىشلىتىلىدۇئامانەت), بەزىلىرىدە باشقىلار ئىشلىتىلىدۇ etchكېرەكسىز ماتېرىياللارنى ئۆچۈرۈش جەريانى. The craincegorgent تەلەپ ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ئېھتىياج يۇقىرى ساپلىق بىلەن تەمىنلەش ئاخىرقى ئىقتىدار ۋە ئىقتىدارغا كاپالەتلىك قىلىش ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر. كۆپ خىللىقنى چۈشىنىش دائىرىسىنى ئىزدەيسىز.

2. نېمە ئۈچۈن دەرىجىدىن تاشقىرى ساپلىق شۇنچە كۆپ ساپلىق شۇنچە كۆپ سۇسقا, يېرىم ئۆتكۈزگۈچتىكى توقۇلمىلاردا ئىشلىتىلەمدۇ?

تەسەۋۋۇر قىلىپ Shaky خىش بىلەن ئېگىز بىنا بەرپا قىلماقچى بولۇۋاتىدۇ - ئۇ پەقەت ئىشلىمەيدۇ. ئوخشاشلا, توقۇلما Of يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۆزەك تەلەپ قىلىدۇ دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق. ھەتتا ئىزلارمۇ effurity in gases used ئاپەتنىڭ ئاقىۋىتى بولۇشى مۇمكىن. بۇلار effurity ئېلېمېنتلار ئوكسىگېن ۋە نەملىك, نازۇكغا دەخلى قىلالايدۇ خىمىيىلىك رېئاكسىيە during يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشكەمتۈكلۈك ۋە ئاخىرىدا, مەغلۇبىيەتنىڭ مەغلۇبىيىتىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى.

The ساپلىق دەرىجىسى تەلەپ قىلىنغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا گاز is دۇنيادىكى ئەڭ قاتتىق ئارىلىقتا. بىز سۆزلەۋاتىمىز دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق, مۇشۇنىڭغا قەدەر بۇلغانغان بۇلغانمىلارنىڭ ھەممىسى زىياپەتسىز بولىدۇ. مەسىلەن, كېرەكسىز مەۋجۇتلۇقنىڭ مەۋجۇتلۇقى ionS نىڭ ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتەلەيدۇ سىلۋېر, كۆرسىتىش Wafer پايدىسىز. بۇ مەن ئىنچىكە ھالقىلار سۈپەت كونتروللۇقى ۋە ئىلغار پاكلىنىش تېخنىكىلار ھەر قانداق ۋاقىتتا مۇتلەق كەم بولسا بولمايدۇ تەمىنلىگۈچى Of يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازى. تورت پىشۇرۇشنى پىشۇرۇشنى ئويلاڭ - ھەتتا كىچىك تەركىبنىڭ كىچىك تەركىبى پۈتۈن نەرسە.

3. قايسى گازلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساندىنىڭ خىزمەتچىلىرى?

نۇرغۇن كىشىلەر ئالاھىدە گاز رول ئويناڭ, بەزىلىرى كەم بولسا بولمايدىغان چېنىقىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى. ئازوت Active نىلا ئىشلىتىلىدۇ ئىنېرت gas كونترول قىلىنغان كەيپىيات يارىتىش, كېرەكسىز خىمىيىلىك رېئاكسىيە. Argon, يەنە بىرى ئىنېرت ئاز ئۇچرايدىغان گاز, بۇ كونترول قىلىنغان مۇھىتنى, بولۇپمۇ بۇ كونترول قىلىنغان مۇھىتنى, بولۇپمۇ كەينىگە ياندۇرۇش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم ئامانەت جەريانلار. ھىدروگېن ئازايتىشتا ئىنتايىن مۇھىم رول ئوينايدۇ ئوكسىد قەۋەت ۋە توشۇغۇچى سۈپىتىدە gas.

بۇنىڭدىن ھالقىپ كەتتى, ئوكسىگېن ئوكسىدلىنىش جەريانىدا ingidation جەريانلىرىدا ئىشلىتىلىدۇ dioxide, مۇھىم ئىزولياتورلۇق ماتېرىيال. كاربون تۆت ئوكسىد بەزى قوللىنىشچان پروگراممىلارنى تاپالايدۇ etching جەريانلىرى. Hiyium, يەنە بىرى ئاز ئۇچرايدىغان گاز, يوچۇق بايقاش ۋە خىروگېنلىق سوۋۇتۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. ھەر بىرىنىڭ كونكرېت خۇسۇسىيىتىنى چۈشىنىش gas ھەر خىل باسقۇچلارنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇمىچىلىق. ئوخشىمىغان خىزمەتلەرگە ئوخشاش ئوخشىمىغان قوراللارغا ئوخشاش, ئوخشىمايدۇ gases ئۆزەك ياساشتا ئوخشىمىغان باسقۇچلارغا ئېھتىياجلىق. بىزنىڭ يۇقىرى سۈپەتلىك ئىكەنلىكىمىز ھەققىدە تېخىمۇ كۆپ نەرسىلەرنى ئۆگىنەلەيسىز Nitrogen سىلىندىر تاللانما.

4. گىدروگېن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئېلېكترون ياساشتا قانداق ئىشلىتىلگەن?

ھىدروگېن كۆپ ئىقتىدارلىق gas بىر قانچە ھالقىلىق قوللىنىشچان پروگراممىلار بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ئىشلەپچىقىرىدۇ. ئۇنىڭ دەسلەپكى ئىشلىتىشنىڭ بىرى مېتالنى تۆۋەنلىتىشتە ئوكسىدs. بەزى باسقۇچلاردا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇمىچىلىق, كېرەكسىز ئوكسىد قەۋەتنى شەكىللەندۈرىدۇ سىلئون ۋافېر. يۇقىرى ساپلىق ھىدروگېن ئازايتىش ۋاكالەتچىسى بولۇپ, ئۇنىڭغا ئىنكاس قايتۇرىدۇ ئوكسىد ئۇنى ئېلىۋېتىپ پاكىز تاشلاڭ سىلۋېر يۈزى.

ئۇندىن باشقا, ھىدروگېن توشۇغۇچى سۈپىتىدە دائىم ئىشلىتىلىدۇ gas ھەر خىل ئامانەت جەريانلار. ئۇ باشقا رېئاكسىيەنى توشۇشقا ياردەم بېرىدۇ gases to Wafer يۈزى كونترول قىلىنغان ئۇسۇلدا, بىر تۇتاش كىنولارنىڭ ئېشىشىغا كاپالەتلىك قىلىش. سىجىللىققا بولغان دىققىتىنى كۈچىنىڭ ئېشىشىمۇ قىزىقىدۇ يېشىل ھىدروگېن بۇ پروگراممىلارنى. تەمىنلەنگەن ئالدىن كونترول قىلىش ھىدروگېن Microchips نىڭ ئىقتىدارسىز قۇرۇلمىلىرىنى يارىتىشتا ناھايىتى قىممەتلىك قورال قىلىدۇ. بىز ئىشەنچلىك بىلەن تەمىنلەيمىز ھىدروگېن سىلىندىر ئېھتىياجىڭىز ئۈچۈن ھەل قىلىش چارىسى.

5. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساندۇقتا سۈپەتكە كاپالەتلىك قىلىشتا قانداق رول ئوينايدۇ?

ئازوت ئەڭ قورقۇنچ ۋە مۇھىم gas in يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى, ئاساسلىقى ئۇنىڭ سەۋەبىدىن ئىنېرت تەبىئەت. ئۇنىڭ مۇھىم رولى ئاتموسفېرادىن ياخشىلىقتىكى ئاتموسفېرا قۇرۇش ۋە ئاسراش ئوكسىگېن ۋە نەملىك, بۇ سەزگۈرنى بۇلغايدۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللىرى ۋە ئارىلىشىڭ خىمىيىلىك رېئاكسىيە. ئۇنى ياساش جەريانى ئۈچۈن قوغداش ئەدىيال دەپ ئويلاڭ.

ھەر خىل باسقۇچلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇمىچىلىق, خرۇستالنىڭ ئۆسۈشىدىن Wafer بىر تەرەپ قىلىش ۋە قۇراشتۇرۇش, ئازوت ئۈسكۈنىلەرنى تازىلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ, پاكىزراق مۇھىتنى قۇرۇپ, ئوكسىدىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. بۇ كەمتۈكلۈكنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ۋە ئاخىرقى سۈپەت ۋە ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى. يۇقىرى ساپلىق بىلەن تەمىنلەش ۋە ئىشەنچلىك تەمىنلەش ئازوت شۇڭا پارامېتىر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچىلار. ھەر خىل ئازوت تەمىناتىڭىزنىڭ ئوڭۇشلۇق بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن تەمىنلەش تاللانمىلىرى.

6. ئارگون نېمە ئۈچۈن يېرىم ئۆتكۈزگۈچلىك جەرياندا ئىنېرت گازى دەپ قارايدۇ?

شۇنىڭغا ئوخشاش ئازوت, argon بىر ئالىيجاناب gas شۇڭلاشقا خىمىيىلىك ئىنېرت, كونترول قىلىنغان كەيپىيات يارىتىش ئۈچۈن ئۇنى ناھايىتى ياخشى تاللاش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانى. While ئازوت كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدۇ, argon كونكرېت پروگراممىلاردا بەزى ئەۋزەللىكلەرنى تەمىنلەيدۇ. ئۇنىڭ يۇقىرى ئاتوم ئېغىرلىقى ئازوت كېرەكسىز كىشىلەرنىڭ تارقىلىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىشتا تېخىمۇ ئۈنۈملۈك قىلىدۇ effurity ئاتوم.

Argon ئومۇملاشقاندا ئادەتتە ئىشلىتىلىدۇ, ئا ئامانەت نىشان ماتېرىيالى بولسا, نىشان ماتېرىيالى بار ions, ئاتومنى چىقىرىپ چىقىرىۋېتىش ۋە نېپىز فىلىم سۈپىتىدە ئىشلىتىلىشى ۋە ئامانەت قويۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ Wafer. ئۇنىڭ ئىنېرتسى ئۇنىڭ نىشانلىق ماتېرىيالى ياكى ئامانەت قويۇلغان فىلىم بىلەن ئىنكاس قايتۇرىدۇ. Argon پلازمادىمۇ ئىشلىتىلىدۇ etching جەريانلىرى. Like ئازوت, يۇقىرى ساپلىق بىلەن تەمىنلەش argon ئۇنىڭ پۈتۈنلۈكىنى ساقلاپ قېلىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم ئىشلەپچىقىرىش جەريانى. بىزنىڭ ئىشەنچلىك ئىكەنلىكىمىزنى ئويلاڭ ئارگون تەبىئىي گاز سىلىندىر ئەسلىھەلىرىڭىزنىڭ تاللانمىلىرى.

7. ئاساستىن ھالقىغان: باشقا ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز قايسىسى مۇھىم?

While ھىدروگېن, ئازوتۋە argon ئاساسلىقى, يەنە بىر قاتار ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز كونكرېت پروگراممىلاردا ئىنتايىن مۇھىم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش. فوسفىن بىر ئاچقۇچ dopant فوسفورنى تونۇشتۇرۇشنىڭ مەنبەسى سىلۋېر, ئۇنىڭ ئېلېكتر قىرائىپىي ئەمەلدارلىرىنى ئۆزگەرتۈش. ئوخشاشلا, ئارسېن (ئارسېنوۋ) ۋە دىنىل (ئۆز ئىچىگە ئالغان) بور) ئىشلىتىلىۋاتىدۇ dopants.

Hiyium, نۇر ئاز ئۇچرايدىغان گاز, ۋاكۇئۇم سىستېمىسىدا ئاشكارلانغان ئاشكارىلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ ھەمدە تۆۋەن قايناق نۇقتىسى سەۋەبىدىن سوۋۇتۇش ۋاكالەتچى بولۇش سۈپىتى بىلەن ئىشلىتىلىدۇ. فتور-ئۆرگۈچ gasesمەسىلەن, گۈڭگۈرت ھۈجەيىنالىتەك, پاشمادا ئىشلىتىلىدۇ etchئۇلارنىڭ ماتېرىياللىرىنى تاللاش ئىقتىدارى سەۋەبىدىن. كونكرېت بىرلەشتۈرۈش گاز ۋە گاز ئارىلاشمىسى ئىشلىتىلگەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانى چېتىشلىق. بىز كەڭرى قىلىمىز گازنىڭ دائىرىسى كۆپ خىل ئىشلەپچىقىرىش ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش.

8. قايسى قاتتىق تەدبىر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازىنىڭ يۇقىرى ساپلىقىغا قانداق كاپالەتلىك قىلىدۇ?

ساقلاپ قېلىش دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق Of يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازى كۆپ قاتلىمىدىكى كۆپ خىل ئۇسۇل تەلەپ قىلىدۇ craincegorgent ئىشلەپچىقىرىشتىن ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن ھەر باسقۇچتا تەدبىرلەر. پاكلىنىش جەريانلارنى تارقىتىۋېتىدىغان ئىلغار تېخنىكىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئىلغار تېخنىكىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئىلغار تېخنىكىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ effurity. مۇرەككەپ تەھلىل قىلغۇچىs ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىشقا ئىشلىتىلىدۇ گاز ساپلىقى.

سىلىندىربۇلارنى ساقلاش ۋە توشۇش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ gases جەلىپكار تازىلاش ۋە سىناشنى داۋاملاشتۇرۇپ بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. تەمىنلىگۈچىبۇ كەسىپتە چوقۇم ئەڭ يۇقىرى ھالەتتە چىڭ تۇرۇش كېرەك سۈپەت كونتروللۇقى ئۆلچەم ۋە دائىم بۇ تەلەپنى تەلەپ قىلىش ئىقتىدارىنى نامايان قىلىش ئىقتىدارىنى كۆرسىتىدۇ. پۈتكۈل تەمىنلەش زەنجىرى ھەر قانداق تونۇش خەۋپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن effurity بۇ ھالقىلىق ماتېرىياللارغا. 7 ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسى بىلەن زاۋۇتىمىز ئەڭ يۇقىرى ئۆلچەمگە كاپالەتلىك قىلدى.

9. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ چولپىنىسىدىكى داۋالغۇش بولسا ئاخىرقى ئېلېكترونلۇق مەھسۇلاتقا تەسىر كۆرسىتىدۇ?

ھەتتا مىنۇسقا ئايلىنىشنىڭ تەسىرى effurity in يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازى مۇھىم بولالايدۇ, ئاز سانلىق مەلۇماتلارنى كەمسىتىش ۋە ئازايتىشقا يېتەكلەيدۇ ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر. بۇلغانغۇچىلار نازۇكنى قالايمىقانلاشتۇرالايدۇ خىمىيىلىك رېئاكسىيە during ئامانەت ۋە etching, فورما بولمىغان قەۋەت ياكى كېرەكسىز ئوكۇلىنى يېتەكلەيدۇ. Effurity ئاتومنىمۇ ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ سىلۋېر رېشاتكا, ئېلېكتر خاسلىقىنى, بەلكىم ئۈسكۈنىنىڭ مەغلۇبىيىتىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغانلىقىنى ۋە يوشۇرۇن.

ئاخىرىدا, effurity ئىقتىدارنىڭ ھويلىسىنى تۆۋەنلىتىدۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى, ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى ئاشۇرۇش, ئاخىرقىسىنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە زىيان يەتكۈزۈش ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى. بۇ نېمە ئۈچۈن? يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى بۇنداق كۈچلۈك ئەھمىيەتكە ئىگە گاز ساپلىقى ھەمدە يېقىندىن ھەمكارلىشىدۇ تەمىنلىگۈچىتەلەپ قىلىنغان كىمگە كاپالەتلىك قىلالايدۇ دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق. مىكروسكوپ توك يولىنى ۋارقىراش - بۇ خىرىسنىڭ ئۆلچىمى.

10. قاراپ بېقىڭ: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئېلېكترونلار ئۈچۈن كەلگۈسىدىكى يۈزلەر نېمە?

The يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى توختىماي تەرەققىي قىلىدۇ, تەلەپ قىلىدۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازى ئۇنىڭ بىلەن ئۆزگىرىۋاتىدۇ. يۈزلىنىشنىڭ ئېھتىياجنى تېخىمۇ يۇقىرىراقلىقىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ پاكلىق گازى ئۆزەكنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى. يېڭى تەرەققىي قىلىشتا يەنە نۇرغۇن نۇقتا بار ئالاھىدە گاز ۋە گاز ۋە ئارىلاشمىلار ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش تېخنىكىسى ئۈچۈن كۈچەيتىلگەن مۈلۈكلەر بىلەن.

سىجىللىقنىڭ ئۆسۈم نىسبىتىنىڭ يەنە بىر مۇھىم شوپۇرى يېشىل ھىدروگېن ۋە باشقا مۇھىت ئاسرايدۇ gases. ئىلغار تەرەققىياتنىڭ تەرەققىياتى تەھلىل قىلغۇچى تۆۋەن دەرىجىدىكى ھەتتا بايقاش ئۈچۈن تېخنىكا effurity ئىنتايىن مۇھىم. كەلگۈسى ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى بۇ موھىمدىكى ئىشلەپچىقىرىش ۋە بىر تەرەپ قىلىشتا ئىلگىرىلەشكە بولىدۇ gases.

ئاچقۇچلۇق يوللار: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازىنىڭ مۇھىملىقى

• ئالاھىدە گاز with دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق ئىنتايىن مۇھىم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى ئىشلەپچىقىرىدۇ.
• ھەتتا ئىزلارمۇ effurity سۈپەت ۋە ئىشەنچلىكلىكىنىڭ ئېغىرلىقىغا ئېغىر تەسىر كۆرسىتەلەيدۇ ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر.
• ئازوت ۋە argon قۇرۇش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم ئىنېرت ئاتموسفېرا, ھىدروگېن ئازايتىش ۋە توشۇغۇچى پروگراممىلار ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
• باشقا بىر قاتار ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گاز, like فوسفىن ۋە hiyium, كونكرېت جەريانلارغا ئىشلىتىلىدۇ.
• قاتتىق تەدبىر چوقۇم كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن جايىدا يۇقىرى ساپلىق بۇلارنىڭ ئىچىدە gases تەمىنلەش زەنجىرى ئۈستىدە.
• كەلگۈسى ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرى داۋاملىق داۋاملىق يېڭىلىق يارىتىشقا باغلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گازى تېخنىكا.

ئىشەنچلىك يۇقىرى ساپلىق بىلەن تەمىنلەش سانائەت گازسىben ends ئازوت, argonۋە ھىدروگېن, بىز بىلەن ئالاقىلىشىڭ خۇجۇڭوڭدا. تەمىناتىمىزنىمۇ ئىلگىرىلەلەيسىز تۆۋەن تېمپېراتۇرا قورشاۋدىكى گاز سىلىندىرلىق بىزنىڭ دائىرىسىمىز ئارگون تەبىئىي گاز سىلىندىر.